JP2008192741A - 電極パッド位置の検出方法及び電極パッド位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の半導体チップ91を含む画像が表示される画面においてクロスマーク16bと一致した半導体チップ91の頂点を、分割撮影の対象となる半導体チップ91の分割撮影対象領域19の原点として設定し、分割撮影対象領域19を全て覆うように複数の分割撮影領域20を配列して分割撮影シーケンスを設定し、該分割撮影シーケンスに従い分割撮影対象領域19を分割撮影し、分割撮影によって得られた各分割撮影領域20の画像に画像処理を施し、該画像における電極パッドの位置・形状の検出を試みる。
【選択図】図4
Description
10 電極パッド位置検出装置
11 CCDカメラ
12 光学部
15 コンピュータ
15a CPU
16 表示装置
16a 画面
18 マウス
19 分割撮影対象領域
20 分割撮影領域
21,22 形状線
91 半導体チップ
92 電極パッド
94 針跡
Claims (11)
- 半導体ウエハ上に形成された複数の半導体チップが備える複数の電極パッドの位置を検出する電極パッド位置の検出方法であって、
前記半導体ウエハにおいて前記半導体チップの大きさ以上の撮影対象領域を設定する領域設定ステップと、
前記設定された撮影対象領域を、一回の撮影で前記撮影対象領域よりも小さい領域を拡大して撮影する撮影装置により、全て覆うように分割撮影する分割撮影ステップと、
前記分割撮影によって得られた画像から各前記電極パッドの位置を画像処理によって検出する位置検出ステップとを有することを特徴とする検出方法。 - 前記領域設定ステップの前に、少なくとも1つの前記半導体チップが含まれる領域を撮影して、該撮影された領域を画像として表示する領域表示ステップを有し、
前記領域設定ステップでは、前記表示された画像において前記半導体チップに対応する1点を前記撮影対象領域の原点として設定し、該設定された原点及び予め設定された前記半導体チップの大きさに関するデータに基づいて前記撮影対象領域を設定することを特徴とする請求項1記載の電極パッド位置の検出方法。 - 前記領域設定ステップの前に、少なくとも1つの前記半導体チップが含まれる領域を撮影して、該撮影された領域を画像として表示する領域表示ステップを有し、
前記領域設定ステップでは、前記表示された画像において囲まれた前記半導体チップに対応する領域を前記撮影対象領域として設定することを特徴とする請求項1記載の電極パッド位置の検出方法。 - 前記領域設定ステップの前に、少なくとも1つの前記半導体チップが含まれる領域を撮影して、該撮影された領域を画像として表示する領域表示ステップを有し、
前記領域設定ステップでは、前記表示された画像において指定された2点を前記半導体チップに対応する矩形領域における対角の2頂点として前記撮影対象領域を設定することを特徴とする請求項1記載の電極パッド位置の検出方法。 - 前記分割撮影によって得られた画像から各前記電極パッドの形状を画像処理によって検出する形状検出ステップを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電極パッド位置の検出方法。
- 前記検出された電極パッドの形状を表示する形状表示ステップを有することを特徴とする請求項5記載の電極パッド位置の検出方法。
- 前記検出された電極パッドの形状を、前記分割撮影によって得られた画像に重畳して表示する重畳表示ステップを有することを特徴とする請求項5又は6記載の電極パッド位置の検出方法。
- 前記検出された電極パッドの形状を、撮影された前記半導体チップの全体画像に重畳して表示する全体重畳表示ステップを有することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の電極パッド位置の検出方法。
- 前記分割撮影ステップでは、隣接する、分割撮影される領域の少なくとも一部同士が重なることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電極パッド位置の検出方法。
- 前記隣接する、分割撮影される領域同士の重なり代は前記電極パッドよりも大きいことを特徴とする請求項9記載の電極パッド位置の検出方法。
- 半導体ウエハ上に形成された複数の半導体チップが備える複数の電極パッドの位置を検出する電極パッド位置検出装置であって、
前記半導体ウエハにおいて前記半導体チップの大きさ以上の撮影対象領域を設定する制御部と、一回の撮影で前記撮影対象領域よりも小さい領域を拡大して撮影する撮影装置とを備え、
前記撮影装置は、前記設定された撮影対象領域を全て覆うように分割撮影し、
前記制御部は、前記分割撮影によって得られた画像から各前記電極パッドの位置を画像処理によって検出することを特徴とする電極パッド位置検出装置。
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