JP4740577B2 - 共焦点走査型顕微鏡装置 - Google Patents

共焦点走査型顕微鏡装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4740577B2
JP4740577B2 JP2004335242A JP2004335242A JP4740577B2 JP 4740577 B2 JP4740577 B2 JP 4740577B2 JP 2004335242 A JP2004335242 A JP 2004335242A JP 2004335242 A JP2004335242 A JP 2004335242A JP 4740577 B2 JP4740577 B2 JP 4740577B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dimensional
image
sample
frame image
wire frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004335242A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006145794A (ja
Inventor
鉄也 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2004335242A priority Critical patent/JP4740577B2/ja
Publication of JP2006145794A publication Critical patent/JP2006145794A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4740577B2 publication Critical patent/JP4740577B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

本発明は、光学顕微鏡の光学系を介して試料を光で走査し、試料からの反射光または透過光を用いて得られた試料像に対する三次元注目領域指示する技術に係り、特に共焦点走査型顕微鏡による試料像に対する三次元注目領域指示に関する。
共焦点走査型顕微鏡は、点光源を用いて試料を走査するとともに、試料からの反射光や透過光のうちピンホールを通過した光のみを光検出器により電気信号に変換し、試料の三次元情報を得るようにしたものである。このような共焦点走査型顕微鏡は、レーザ光などの点光源とピンホールを組み合わせ、試料をピンポイントで照明することで、測定点以外からの散乱光を抑制し、また、光検出器の前面に空間フィルタとしてのピンホールを配置し、測定点と同一面内にある光をピンホール周辺に結像させ、また、光軸方向にずれた面からの光を対物レンズによってピンホールの前で広げピンホールを通過する光を抑制することにより、測定点以外からの反射光や透過光をカットして光電変換器により三次元空間中の一点だけを測定できるようにしている。
一方、共焦点走査型顕微鏡は、光軸方向に分解能をもつことも知られている。つまり、光軸上で焦点の合ったときに光強度が増大し、焦点から外れた点では、光強度がほぼゼロになることから、試料面でスポット光を二次元走査し、かつ、光軸方向となるZ軸方向に所定のピッチで焦点を移動することで、三次元空間のスライス像が得られることになる。
試料の各々のZ軸方向位置でのこれらスライス像から三次元像を構築し、前記三次元像の三次元的な特定領域に注目し、前記注目領域の再走査や、三次元的な解析をすることがある。
ここで、三次元的な注目領域を指示または抽出する方法としては、試料の各々のZ軸方向位置でのスライス像をもちいて注目領域を指示または抽出し、前記指示または抽出した領域を三次元的に連結している。
領域を指示する場合は、コンピュータのモニタなどの表示部に二次元のスライス像を表示し、コンピュータのマウス等の入力装置により、表示部に表示されている二次元スライス像上に円などを描画して、その描画した領域を注目領域として指示する。各々のZ位置でのスライス像で前記描画を行い、すべてのZ軸方向位置で描画した結果に基づき二次元スライス像連結して三次元的な注目領域を指示している。
特許文献1では、三次元像の領域を抽出したい場合、例えば、三次元物体を示す三次元画像を複数の二次元二値化画像に分割して入力し、入力された各二次元二値化画像に対して二次元連結成分を抽出してラベリング処理を施し、二次元画像ラベリング処理をして得られた領域毎に代表点を抽出し、抽出された代表点の隣接する二次元画像間の連結を検出して代表点の連結成分を抽出し、抽出された代表点の連結成分を内包する三次元連結に対してラベリング処理をする。
また、抽出方法は、まず三次元物体をスライスして複数の二次元画像を取得し、ラベリング処理によって各二次元画像の連結成分を求める。次に各二次元連結成分の代表点を求め取得した代表点の二次元画像間の連結が検出されたなら、その代表点を含むすべての二次元連結成分を三次元連結成分として抽出し、このようにして得られた三次元連結成分から、注目する領域の三次元連結成分のみを抽出する。
特公平7‐7444号公報
しかしながら、上記の方法で領域を指示する場合は、すべてのZ軸方向位置でのスライス像で指示する必要があるため、スライス数が多量であると領域の指示に多大な労力を要する。そして、複雑な注目領域を指示したい場合、連結していることを指示することが困難である。さらに、上記処理を実行すると全体処理時間が長くなる。
また、領域を抽出する場合は、代表点連結検出部で連結している。そのため、検出する範囲設定値によっては、本来1つの領域として連結している領域を2つ以上に分離して領域として検出してしまう恐れがある。
また、射影像を用いた注目領域指定方法では全てのZ軸方向のスライス像を用い三次元像を射影像として二次元に変換するため3次元像をあらゆる方向から観察することはできない。
本発明は上記従来技術の課題に鑑み、三次元像ワイヤーフレーム像を用いることで三次元画像上において注目領域の形状を認識することができ、さらにデータ量の少ないワイヤーフレーム像を用いることで処理を高速化することができかつ、三次元像を回転させることで、試料像を三次元的にあらゆる方向から確認しながら注目領域を指定することができる共焦点走査型顕微鏡および三次元注目領域指示方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡において、前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示手段と、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形手段と、前記変形手段によって前記三次元ワイヤーフレーム像を変形して前記三次元像の注目領域を指示する注目領域指示手段と、前記変形手段により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示手段と、を具備することを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡において、前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示手段と、前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動する手段と、前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出す読み出し手段と、前記読み出し手段で検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形手段と、前記変形手段によって前記三次元ワイヤーフレーム像を変形して前記三次元像の注目領域を指示する注目領域指示手段と、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出手段と、を具備することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域を展開して前記注目領域内に含まれる前記二次元像を抽出することを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域の表面積を算出することを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域の体積を算出することを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡の注目領域指示方法において、前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形して前記三次元像の注目領域とし前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する、ことを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡の注目領域抽出方法において、前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示し、前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出し、前記読み出しにより検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記画像輝度が前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形し、前記変形により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を前記三次元像の注目領域とし前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する、ことを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築するコンピュータで実行するプログラムであって、前記三次元像は、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示機能と、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形機能と、前記変形機能により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示機能と、前記注目領域指示機能により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出機能と、を実現させるためのプログラム。
請求項9に記載の発明は、光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築するコンピュータで実行するプログラムであって、前記三次元像は、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示機能と、前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動する機能と、前前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出す読み出し機能と、前記読み出し機能で検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記画像輝度が前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形機能と、前記変形機能により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示機能と、前記注目領域指示機能により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出機能と、を実現させるためのプログラムである。
本発明によれば、三次元像を用いて三次元像の形状を三次元ワイヤーフレーム像で指定することにより、本来の形状に近く、また実体に則した形状を注目領域として正確に表現することができ、また、試料全体を注目領域として三次元ワイヤーフレーム像で指示することで注目領域に近い形状に抽出することもできる。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。実施例1、2ともに共焦点走査型光学顕微鏡の光学系を使用して試料を二次元走査することにより試料形状情報を取得する例である。
本発明の構成を説明する。図1は、本発明を適用する共焦点走査型顕微鏡の概略構成を示している。図1において、1は光源で、レーザ光などの光源である。光源1から照射したスポット光は、二次元走査スキャナ2に導かれ、二次元走査スキャナ2は、光源1からのスポット光を試料4上に二次元走査するためのもので、例えばX軸方向走査用のガルバノミラーまたはレゾナントスキャナとY軸方向走査用のガルバノミラーを有し、これらXスキャナとYスキャナをX軸方向およびY軸方向に振ることでスポット光を試料4上でXY方向に振り走査することができる。
対物レンズ3を通して二次元走査されたスポット光をステージ5上の試料4に照射する場合、ステージ5は、Z軸方向に移動可能になっていて、試料4をスポット光の光軸方向に移動できるようになっている。
試料4からの反射光または透過光を、対物レンズ3を通して二次元走査スキャナ2に戻し、この二次元走査スキャナ2からの反射光または透過光を光検出器6に導く、この光検出器6は、受光面の前面に図示しないピンホールを有するもので、ピンホールを介して得られる光情報を受光し、その光強度に応じた電気信号に変換するようにしている。
そして、光検出器6には、A/D変換器7を介してCPU8を接続している。CPU8には二次元走査スキャナ2、ステージ5の他に、メモリ9、フレームメモリ10を介して表示部11を接続している。
CPU8は各所に制御命令を出すもので、例えば、二次元走査スキャナに対しレーザビーム走査の開始やステージのZ軸方向(高さ)の走査を指示するとともに、検出器より検出される試料4の光強度検出値を元にした三次元の三次元像を構築する。また、CPU8は入力装置13とも接続しており、入力装置13の指示に従って、表示部11に三次元ワイヤーフレーム像を表示する。
表示部11に表示された三次元ワイヤーフレーム像の形状を入力装置13の指示に従って変形させることで注目領域を描画し、メモリ9の対応する注目領域を指示している。さらには、三次元ワイヤーフレーム像の注目領域の二次元画象への展開などもしている。
メモリ9は、光検出器6より検出される試料4の光強度検出値、CPU8で生成される三次元の三次元像や三次元ワイヤーフレーム像、また注目領域などを記憶している。
そして、表示部11は、CPU8で生成された三次元の三次元像や三次元ワイヤーフレーム像を、フレームメモリ10を介して表示するようにしている。ここで、CPU8、メモリ9、フレームメモリ10等は一般的なパーソナルコンピュータを利用してもかまわない。
また、後述する処理はコンピュータプログラムにより処理可能で、その処理プログラムはCD−ROM等記録媒体やハードディスク等記憶装置12に記録されている。
そして、必要に応じて前記パーソナルコンピュータのメモリ上に前記処理プログラムを読み出し、CPU8により実行しパーソナルコンピュータに接続されている各装置を制御している。
(実施例1)
上記構成における実施例1の動作について図2を参照しながら説明する。なお、図2で用いている記号を以下に示す。また、共焦点画像のZ軸方向の測定間隔ΔZは予め指定することができる。
i,j:画素のX,Y座標(i=1,2,3,・・・Ni、j=1,2,3・・・Nj)
k :共焦点画像のZ軸方向の測定位置(k=0,1,2,3・・・Nk)
I(i,j,k):共焦点画像のデータ
まず、ステップS21でステージ5の移動を開始する。次に、ステップS22で共焦点画像データI(i,j,k)を取得する。ここで、ステップS22は全領域(走査可能なXY平面)を対象に共焦点画像データを取得する処理を実施する。ただし、ステップS22ではi、jを更新する処理は記載しないが、原点座標I(0,0,0)から走査を始め、Y軸方向の走査がNjまで完了したら、次にX軸をI(1,0,0)としてまたY軸方向の走査をNjまでし、I(Ni,Nj,0)になったら、Z軸k=0での共焦点画像データの取得を完了する。尚、Y軸を基準にX軸方向の走査をして共焦点画像データを取得してもかまわない。
続いて、ステップS23で共焦点画像の測定位置を更新する。つまりk=k+1とする。そして、ステップS24でZ軸方向に指定間隔ΔZ分移動し、Z軸方向の移動が終了位置かどうかを判定する。
Z軸方向への移動が終了であればYESとし、ステップS25でメモリ9に保存された値を用いて、CPU8で三次元像を構築し、表示部1 1へ表示する。NOであればS22に進み再度共焦点画像データを取得する。
ステップS26の処理では、三次元ワイヤーフレーム像から任意の形状(例では球形を選択)で三次元ワイヤーフレーム像を構築し、図3のように三次元像に関連付けて表示部11へ表示する。ここで、三次元ワイヤーフレーム像は予め用意をした任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像を使用してもかまわない。
次に、ステップS27で、各面の三次元ワイヤーフレーム像を例えばマウスなどの入力装置13によって、図4のように三次元ワイヤーフレーム像を変形させる。
ステップS28では、指示が終了したら、各面の三次元ワイヤーフレーム像上の指示した領域を二次元画像上へ展開する。
指示した領域を二次元画像上へ展開する方法は例えば次のようにする。まず、測定した各二次元画像上の各画素(測定したI(i,j,k)の各座標)について、試料を構成する各画素が、入力装置1 3で指示した三次元ワイヤーフレーム像の領域内に入るかどうかを検出する。
このとき、三次元ワイヤーフレーム像で指示した領域内に入る場合(図4の41のようになっていれば)は、二次元画像上の各画素に共通の番号を振る処理を行う。
そして、上記処理をメモリ9に保存されたすべての二次元画像の各画素について実施することにより三次元ワイヤーフレーム像で指示した領域内の注目領域がZ軸方向に関連付けができる。
上記処理により、従来のような二次元の注目領域を各層(Z軸の測定間隔ΔZ毎のスライス像)ごとに指示しなくても、一度に三次元ワイヤーフレーム像で指示した部分の二次元の注目領域を全て取得できる。
本発明によれば、三次元表示した試料を用いて、三次元像の形状を三次元ワイヤーフレーム像で指定することにより、試料の本来の形状に近い注目領域を設定できる。さらに、注目領域を各画像に指示することなく、三次元表示した試料を三次元的に指示するだけで、三次元ワイヤーフレーム像に囲まれた注目領域を含む全ての二次元画像が指示できる。
(実施例2)
次に実施例2について図5を用いて説明する。基本的な構成は実施例1と同様で、CPU8に、投影像から領域を抽出する手段を追加している。
このように構成した実施の形態の動作について図6を参照しながら説明する。なお、図6で用いている記号を以下に示す。また、共焦点画像のZ軸方向の測定間隔ΔZは予め指定されている。
i,j:画素のX,Y座標(i=1,2,3,・・・Ni、j=1,2,3・・・Nj)
k :共焦点画像の測定位置(k=0,1,2,3・・・Nk)
I(i,j,k):共焦点画像のデータ
まず、ステップS61で、Zステージ5の移動を開始する。次に、ステップS62共焦点画像データI(i,j, k)を取得する。S62は走査できる全領域を対象に前記共焦点画像データの取得する処理を実施する。
続いて、ステップS63で共焦点画像の測定位置を更新し、つまりk=k+1とする。
そして、ステップS64で、Z軸方向に指定間隔ΔZ分移動し、Z移動の終了位置かどうかを判定する。YESであればS65に進み、NOであればS62に戻る。
ステップS65では、Z軸方向への移動が終了したら、メモリ9に保存された値を用いて、CPU8で、三次元の三次元像を構築し表示部11へ表示する。上記処理までは実施例1と同じである。
そして、ステップS66で、表示部11へ任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像を構築し、例えば図3のように三次元像に関連付けて表示部11へ表示する。
次に、ステップS67で、三次元ワイヤーフレーム像の中心もしくは重心を三次元表示された試料の内に移動する。
ステップS68で、領域指定用に取得した3次元画像に重ねて表示された三次元ワイヤーフレーム像を、まず利用者が位置と大きさを調整して、所望の試料の全体が三次元ワイヤーフレーム像内部に含まれるように設定する。(図7にあるように設定する。)
つぎに、ステップS69で、試料と背景を区別するための光強度(画像輝度)を設定する。尚、利用する閾値は予め用意しておき、その中から指定してもかまわない。
ステップS610では、三次元ワイヤーフレーム像の重心(中心)とワイヤーの各交点A2を結ぶ直線を仮設し、この直線上で閾値を超える点A1を検索し、検索された点に当該三次元ワイヤーフレーム像の交点A2を移動する。これを三次元ワイヤーフレーム像の全ての交点について実行する。この処理を繰り返し、三次元ワイヤーフレーム像を注目領域に近い形状に変形させ最適化する。
ステップS611では、出来上がった三次元ワイヤーフレーム像が図8に示すように目的の試料を現したものになる。
抽出領域を二次元画像上へ展開する方法は、実施例1の指示領域を展開する方法と同様であり、メモリ9に保存された二次元画像上のすべての画素について実施すると、三次元の注目領域が抽出できる。
したがって、この三次元ワイヤーフレーム像を二次元スライス像に展開すると、はじめに領域指定用に取得した3次元画像(XY画像がZ方向に複数重ねられたものになる)と同等程度の形状になる。
この三次元ワイヤーフレーム像を用いれば、目的試料の表面積や体積の算出を簡単に行うことができる。
また、指定領域を3次元的に表示できるので利用者が直感的に理解でき、作業能率向上や操作ミスの防止に有用である。
上記実施例では、共焦点画像の測定位置は相対情報を用いたが、Z軸方向の位置の絶対情報または絶対情報から求めた相対情報を用いてもよい。
上記実施例では、Z軸方向の相対移動として、ステージを移動しているが、対物レンズを移動してもよい。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変形実施可能である。
実施例1の実施形態の概略構成を示す図である。 実施列1の実施形態の動作を説明するためのフローチャートである。 実施例1の実施形態の射影像と注目領域の関係を説明する図である。 実施例1の実施形態を示す図である。 実施例2の実施形態の概略構成を示す図である。 実施例2の実施形態の動作を説明するためのフローチャートである。 実施例2の実施形態の三次元ワイヤーフレーム像と注目領域の関係を説明する図である。 実施例2の実施形態の三次元ワイヤーフレーム像と注目領域の関係を説明する図である。
符号の説明
1・・・ 光源
2・・・ 二次元走査スキャナ
3・・・ 対物レンズ
4・・・ 試料
5・・・ ステージ
6・・・ 光検出器
7・・・ A/D変換器
8・・・ CPU
9・・・ メモリ
10・・・ フレームメモリ
11・・・ 表示部
12・・・ 記憶装置
13・・・ 入力装置


Claims (9)

  1. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡において、
    前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示手段と、
    前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形手段と、
    前記変形手段により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示手段と、
    前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出手段と、
    を具備することを特徴とする共焦点走査型顕微鏡装置。
  2. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡において、
    前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示手段と、
    前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動する手段と、
    前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出す読み出し手段と、
    前記読み出し手段で検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形手段と、
    前記変形手段によって前記三次元ワイヤーフレーム像を変形して前記三次元像の注目領域を指示する注目領域指示手段と、
    前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出手段と、
    を具備することを特徴とする共焦点走査型顕微鏡装置。
  3. 前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域を展開して前記注目領域内に含まれる前記二次元像を抽出することを特徴とする請求項1または2記載の共焦点走査型顕微鏡装置。
  4. 前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域の表面積を算出することを特徴とする請求項1または2記載の共焦点走査型顕微鏡装置。
  5. 前記注目領域抽出手段は、前記注目領域指示手段により指示された前記注目領域の体積を算出することを特徴とする請求項1または2記載の共焦点走査型顕微鏡装置。
  6. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡の注目領域指示方法において、
    前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示し、
    前記三次元ワイヤーフレーム像を変形して前記三次元像の注目領域とし前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する、
    ことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡装置の注目領域指示方法。
  7. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築する共焦点走査型顕微鏡の注目領域抽出方法において、
    前記三次元像を、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示し、
    前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動し、
    前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出し、
    前記読み出しにより検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記画像輝度が前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形し、
    前記変形により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を前記三次元像の注目領域とし前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する、
    ことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡装置の注目領域指示方法。
  8. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築するコンピュータで実行するプログラムであって、
    前記三次元像は、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示機能と、
    前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形機能と、
    前記変形機能により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示機能と、
    前記注目領域指示機能により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出機能と、
    を実現させるためのプログラム。
  9. 光源からの出射光を試料に対して走査し、前記試料からの光を受光して前記試料の光強度を検出し、前記検出した光強度に基づき複数の二次元像を構築し、さらに前記複数の二次元像を処理することで前記試料の三次元像を構築するコンピュータで実行するプログラムであって、
    前記三次元像は、任意の形状の三次元ワイヤーフレーム像とともに表示する表示機能と、
    前記三次元ワイヤーフレーム像の重心を前記試料の三次元像内に移動する機能と、
    前前記三次元ワイヤーフレーム像の重心と記三次元ワイヤーフレーム像の前記ワイヤーの各交点とを直線で結び前記直線上の画像輝度を読み出す読み出し機能と、
    前記読み出し機能で検出した画像輝度と、前記試料と背景を区別するための閾値とを比較し、前記画像輝度が前記閾値を超える検出点を求め、前記三次元ワイヤーフレーム像の前記交点を前記検出に移動し、前記三次元ワイヤーフレーム像を変形する変形機能と、
    前記変形機能により変形された前記三次元ワイヤーフレーム像を記三次元像の注目領域として指示する注目領域指示機能と、
    前記注目領域指示機能により指示された前記注目領域内の二次元像各々において各画素を抽出する注目領域抽出機能と、
    を実現させるためのプログラム。
JP2004335242A 2004-11-19 2004-11-19 共焦点走査型顕微鏡装置 Expired - Fee Related JP4740577B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004335242A JP4740577B2 (ja) 2004-11-19 2004-11-19 共焦点走査型顕微鏡装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004335242A JP4740577B2 (ja) 2004-11-19 2004-11-19 共焦点走査型顕微鏡装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006145794A JP2006145794A (ja) 2006-06-08
JP4740577B2 true JP4740577B2 (ja) 2011-08-03

Family

ID=36625581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004335242A Expired - Fee Related JP4740577B2 (ja) 2004-11-19 2004-11-19 共焦点走査型顕微鏡装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4740577B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006145794A (ja) 2006-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5997039B2 (ja) 欠陥検査方法および欠陥検査装置
US20050280818A1 (en) Confocal observation system
JP4700299B2 (ja) 共焦点走査型顕微鏡
EP2031558A2 (en) Image measurement apparatus
JP2009145774A (ja) レーザ走査型顕微鏡及びその表面形状の測定方法
JP2019158499A (ja) 外観検査システム、設定装置、画像処理装置、設定方法およびプログラム
US7205531B2 (en) Sample information measuring method and scanning confocal microscope
US7477775B2 (en) Microscope system
JP2018009894A (ja) 円筒内面観察装置、円筒内面観察方法、円筒内面検査装置及び円筒内面検査方法
JP4932202B2 (ja) 画像測定装置用パートプログラム生成装置、画像測定装置用パートプログラム生成方法、及び画像測定装置用パートプログラム生成用プログラム
JP4874069B2 (ja) 共焦点顕微鏡
JP4954738B2 (ja) 電極パッド位置の検出方法及び電極パッド位置検出装置
CN110044296B (zh) 3d形状的自动跟踪方法和测量机
JP4740577B2 (ja) 共焦点走査型顕微鏡装置
JP2001056438A (ja) 共焦点走査型顕微鏡、共焦点走査型顕微鏡における画像表示方法および画像表示処理をするための処理プログラムを記録した記録媒体
JP2000305021A (ja) 共焦点顕微鏡
JP5718012B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
JP2007286284A (ja) 共焦点走査型顕微鏡システム、及びそれを使用した観察方法
JP2010002758A (ja) 共焦点走査型顕微鏡システム
JP4885439B2 (ja) カラー画像取得方法及び共焦点レーザ顕微鏡
JP2018146496A (ja) 表面形状測定方法
JP4994587B2 (ja) 画像表示方法、プログラム、及び走査型共焦点顕微鏡
JPH10333056A (ja) 顕微鏡装置及び画像作成方法
JP2022506170A (ja) サンプル領域を画像化するための顕微鏡システムおよび相応する方法
JP4878708B2 (ja) 共焦点走査型顕微鏡、その位置合わせ方法、プログラム及び記憶媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071030

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110208

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110322

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110419

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110502

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4740577

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees