JP2008185730A - 露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008185730A JP2008185730A JP2007018460A JP2007018460A JP2008185730A JP 2008185730 A JP2008185730 A JP 2008185730A JP 2007018460 A JP2007018460 A JP 2007018460A JP 2007018460 A JP2007018460 A JP 2007018460A JP 2008185730 A JP2008185730 A JP 2008185730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- opening pattern
- exposure
- substrate
- transmission part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】光透過部用開口パターンと、この光透過部用開口パターンよりも大きい光反射部用開口パターンとを有するフォトマスクを用いて、光源からの光を、最初に前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンのいずれか一方を通して前記基板上に形成された感光性着色樹脂層の前記光透過部形成領域又は光反射部形成領域のいずれか一方に照射し、次いで前記基板を前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に対応する位置に移動させて、前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に部分的に重ねて照射。
【選択図】図3
Description
2.反射表示部の明度を向上させるために画素の一部に着色層のない空所を設けたカラーフィルタ
3.それぞれの色特性を最適化するために、透過表示部と反射表示部を別個に設けたカラーフィルタ
以上のカラーフィルタのうち、パネルの色特性の点では、3番目のカラーフィルタが最も良いが、露光に用いるフォトマスクの数が6個必要であり、またRGBの各着色画素の形成工程の数が2倍必要となる。このカラーフィルタを製造するための露光の手順を図7に示す。
Claims (7)
- 1画素内に光透過部とこの透過部よりも膜厚の薄い光反射部とを有する着色画素を基板上に形成するための露光を行う露光方法において、前記露光は、光透過部用開口パターンと、この光透過部用開口パターンよりも大きい光反射部用開口パターンとを有するフォトマスクを用いて、光源からの光を、最初に前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンのいずれか一方を通して前記基板上に形成された感光性着色樹脂層の前記光透過部形成領域又は光反射部形成領域のいずれか一方に照射し、次いで前記基板を前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に対応する位置に移動させて、前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に部分的に重ねて照射し、前記光透過部形成領域の露光エネルギー量を前記光反射部形成領域の露光エネルギー量よりも多くすることを特徴とする露光方法。
- 前記露光をパルスショット方式により行うことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記フォトマスクは、前記基板の移動方向に分離して配列された透過部用開口パターン及び光反射部用開口パターンを有することを特徴とする請求項2に記載の露光方法。
- 前記露光をスキャニング方式により行うことを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記フォトマスクは、前記基板の移動方向に連結して1つの開口パターンを構成する透過部用開口パターン及び光反射部用開口パターンを有することを特徴とする請求項4に記載の露光方法。
- 表面に感光性材料層を有する基板を移動する手段、光源、光透過部用開口パターンと、この光透過部用開口パターンよりも大きい光反射部用開口パターンとを有するフォトマスク、及び前記光源からの光を前記フォトマスクを通して前記感光性材料層に露光する手段を具備する、1画素内に光透過部とこの透過部よりも膜厚の薄い光反射部とを有する着色画素を基板上に形成するための露光を行う露光装置において、最初に前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンのいずれか一方を通して前記感光性着色樹脂層の光透過部形成領域又は光反射部形成領域のいずれか一方に照射し、次いで前記基板を前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に対応する位置に移動させて、前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に部分的に重ねて照射し、前記光透過部形成領域の露光エネルギー量を光反射部形成領域の露光エネルギー量よりも多くすることを特徴とする露光装置。
- 移動する基板上に形成された感光性材料層を、請求項1〜5のいずれかに記載の露光方法により露光し、現像することにより、1画素内に光透過部とこの透過部よりも膜厚の薄い光反射部とを有する着色画素を基板上に形成する工程を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007018460A JP4967689B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007018460A JP4967689B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008185730A true JP2008185730A (ja) | 2008-08-14 |
JP4967689B2 JP4967689B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=39728837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007018460A Expired - Fee Related JP4967689B2 (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | 露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4967689B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010098093A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
US20100261105A1 (en) * | 2009-04-12 | 2010-10-14 | Bo-Kyoung Ahn | Method of Exposing Substrate, Apparatus for Performing the Same, and Method of Manufacturing Display Substrate Using the Same |
CN102428394A (zh) * | 2009-04-28 | 2012-04-25 | 凸版印刷株式会社 | 彩色滤光片、液晶显示装置、彩色滤光片的制造方法 |
WO2021038919A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 株式会社日立ハイテク | 回折格子、回折格子の製造方法およびフォトマスク |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002236371A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-08-23 | Dainippon Printing Co Ltd | 凹凸パターン層の製造方法、およびこの方法を用いて製造される液晶ディスプレイおよびカラーフィルタ |
JP2006039507A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液晶表示装置用構成物の製造方法、液晶表示装置用構造物、転写材料、及び液晶表示装置 |
-
2007
- 2007-01-29 JP JP2007018460A patent/JP4967689B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002236371A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-08-23 | Dainippon Printing Co Ltd | 凹凸パターン層の製造方法、およびこの方法を用いて製造される液晶ディスプレイおよびカラーフィルタ |
JP2006039507A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液晶表示装置用構成物の製造方法、液晶表示装置用構造物、転写材料、及び液晶表示装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010098093A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
CN102334048A (zh) * | 2009-02-26 | 2012-01-25 | 凸版印刷株式会社 | 彩色滤光片及彩色滤光片的制造方法 |
JP5360620B2 (ja) * | 2009-02-26 | 2013-12-04 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
US8804075B2 (en) | 2009-02-26 | 2014-08-12 | Toppan Printing Co., Ltd. | Color filter and color filter manufacturing method |
US20100261105A1 (en) * | 2009-04-12 | 2010-10-14 | Bo-Kyoung Ahn | Method of Exposing Substrate, Apparatus for Performing the Same, and Method of Manufacturing Display Substrate Using the Same |
CN102428394A (zh) * | 2009-04-28 | 2012-04-25 | 凸版印刷株式会社 | 彩色滤光片、液晶显示装置、彩色滤光片的制造方法 |
KR20110062881A (ko) * | 2009-12-04 | 2011-06-10 | 삼성전자주식회사 | 기판의 노광방법, 이를 수행하기 위한 기판의 노광장치 및 이를 이용한 표시기판의 제조방법 |
US8367281B2 (en) * | 2009-12-04 | 2013-02-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of exposing substrate, apparatus for performing the same, and method of manufacturing display substrate using the same |
KR101652887B1 (ko) | 2009-12-04 | 2016-09-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판의 노광방법, 이를 수행하기 위한 기판의 노광장치 및 이를 이용한 표시기판의 제조방법 |
WO2021038919A1 (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | 株式会社日立ハイテク | 回折格子、回折格子の製造方法およびフォトマスク |
CN114174872A (zh) * | 2019-08-29 | 2022-03-11 | 株式会社日立高新技术 | 衍射光栅、衍射光栅的制造方法和光掩模 |
CN114174872B (zh) * | 2019-08-29 | 2023-10-17 | 株式会社日立高新技术 | 衍射光栅、衍射光栅的制造方法和光掩模 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4967689B2 (ja) | 2012-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20150253473A1 (en) | Color filter array substrate, method for fabricating the same and display device | |
CN104656306A (zh) | 设置有黑矩阵的基板及其制造方法、显示装置 | |
TW200424612A (en) | Substrate for optoelectronic device, manufacturing method of substrate for optoelectronic device, optoelectronic device, manufacturing method of optoelectronic device, electronic machine and mask | |
JP4967689B2 (ja) | 露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 | |
KR20120018151A (ko) | 컬러 필터, 액정 표시 장치, 컬러 필터의 제조 방법 | |
KR100660671B1 (ko) | 전기 광학 장치용 기판 및 그 제조 방법, 전기 광학 장치및 그 제조 방법, 노광용 마스크, 및 전자기기 | |
JP2005181827A (ja) | 露光用マスク及びその製造方法、並びに液晶装置の製造方法 | |
JP4968429B2 (ja) | 液晶表示装置用のカラーフィルタ形成基板の製造方法 | |
JP4503212B2 (ja) | 露光システム、及び該露光システムを応用した液晶パネルのカラーフィルタ形成方法。 | |
JP2008076724A (ja) | カラーフィルタ用フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
JP4013889B2 (ja) | 電気光学装置用基板の製造方法、および、電気光学装置の製造方法 | |
JP2006201433A (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ | |
TWI276839B (en) | Color filter and manufacture method thereof | |
JP2002318382A (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
TWI281577B (en) | Manufacturing method of substrate for optoelectronic device, manufacturing method for optoelectronic device, substrate for optoelectronic device, optoelectronic device, and electronic machine | |
TWI230301B (en) | Color filter substrate and fabricating method thereof | |
JP4013888B2 (ja) | 電気光学装置用基板の製造方法、および、電気光学装置の製造方法 | |
JP5061419B2 (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP2004212846A (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2005215642A (ja) | フォトマスク及び拡散反射板の製造方法 | |
JP2004317619A (ja) | 液晶表示パネル用基板の製造方法および液晶表示パネル用基板 | |
JP2005148384A (ja) | 電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置の製造方法 | |
KR20120131338A (ko) | 레이저 패터닝 장치 | |
JP2005208128A (ja) | 露光用マスク及びその製造方法、並びに液晶装置の製造方法 | |
JP2004347990A (ja) | 拡散反射板、カラーフィルタ、フォトマスク、及び、拡散反射板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120306 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120319 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |