JP2008175586A - 硬さ試験機 - Google Patents
硬さ試験機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008175586A JP2008175586A JP2007007287A JP2007007287A JP2008175586A JP 2008175586 A JP2008175586 A JP 2008175586A JP 2007007287 A JP2007007287 A JP 2007007287A JP 2007007287 A JP2007007287 A JP 2007007287A JP 2008175586 A JP2008175586 A JP 2008175586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- focus adjustment
- degree
- indicator
- adjustment position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
【解決手段】入力部8によって、くぼみXが形成された試料Sにおける複数の焦点調整位置を指定し、操作パネル5による操作によって、焦点調整位置指定手段により指定された焦点調整位置に合焦するように撮像部2を操作し、合焦度算出手段(CPU61、合焦度算出プログラム63a)によって、指定された焦点調整位置において操作パネル5により操作された撮像部2により撮像されたくぼみXの合焦度を算出し、インジケータ表示制御手段(CPU61、インジケータ表示制御プログラム63b)によって、焦点調整位置毎に、合焦度算出手段により算出された合焦度を示すインジケータをモニタ7に表示させる。
【選択図】図3
Description
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの所定の特徴点間の距離を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記試料の表面に形成されたくぼみを撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記くぼみの画像を表示する表示手段と、
前記くぼみが形成された試料における複数の焦点調整位置を指定する焦点調整位置指定手段と、
前記焦点調整位置指定手段により指定された焦点調整位置に合焦するように前記撮像手段を操作するための操作手段と、
前記焦点調整位置指定手段により指定された焦点調整位置において前記操作手段により操作された前記撮像手段により撮像された前記くぼみの合焦度を算出する合焦度算出手段と、
前記焦点調整位置毎に、前記合焦度算出手段により算出された合焦度を示すインジケータを前記表示手段に表示させるインジケータ表示制御手段と、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の硬さ試験機において、
前記合焦度を示すインジケータのレンジを変更するインジケータレンジ変更手段を備えることを特徴とする。
請求項1又は2に記載の硬さ試験機において、
前記合焦度算出手段により算出された前記合焦度のピーク値を前記焦点調整位置毎に検出して保持するピークホールド手段を備え、
前記インジケータ表示制御手段は、
前記ピークホールド手段により保持された前記合焦度のピーク値を前記インジケータとともに前記表示手段に表示させることを特徴とする。
請求項3に記載の硬さ試験機において、
前記焦点調整位置毎の前記合焦度のピーク値に基づき、前記くぼみに対する合焦位置を設定する合焦位置設定手段を備えることを特徴とする。
請求項3又は4に記載の硬さ試験機において、
複数の前記焦点調整位置における前記合焦度のピーク値夫々における合焦位置の値の差を算出し、その差が所定の閾値を超える場合、所定のエラー情報を前記表示手段に表示するエラー情報表示制御手段を備えることを特徴とする。
従って、複数の焦点調整位置を指定して好適な焦点調整を行うことができる。
従って、試料の光学的性質により、合焦度のピーク値が低い場合でも、インジケータのレンジを変更できることにより、ユーザはインジケータ表示が見やすくなり、より好適に焦点調整を行うことができる。
従って、ユーザによる焦点調整作業のばらつきを好適に低減することができることとなり、焦点調整作業の精度を向上させることができる。
従って、焦点調整位置毎のピーク値に基づき、くぼみに対して適切な合焦位置を設定することができることとなり、ユーザにとって使い勝手が良い。
従って、複数の焦点調整位置におけるピーク値夫々の値の差が所定の閾値を超えると判断された場合に、所定のエラー情報を表示して、ユーザに対処を促すことができることとなり、ユーザにとって使い勝手が良い。
図1に示すように、硬さ試験機100は、試験機本体1と、この試験機本体1の上側に取り付けられ、試料Sに形成されたくぼみXを観察し、撮像する撮像部2と、この撮像部2の下部に設けられ、回転することにより圧子31と対物レンズ32との切換が可能なターレット3と、試験機本体1の下部に上下移動可能に取り付けられ、ターレット3と対向配置された試料台4と、この試料台4の下側に設けられ、当該硬さ試験機100の動作指示を行う操作パネル5等を備えている。
また、硬さ試験機100は、試験機本体1の外部に制御手段として機能する制御部6と、撮像部2により撮像されたくぼみX等を表示する表示手段としてのモニタ7と、ユーザが各種条件等の設定や操作を行う入力部8となるキーボード81、マウス82等を備えている。
具体的には、CPU61は、合焦度算出プログラム63aを実行することにより、入力部8により入力された試料Sにおける複数の焦点調整位置夫々において、試料S表面の高さ位置を変える度に得られるくぼみXの画像に対する合焦度合いを既知の算出方法を用いて算出する。
CPU61は、かかる合焦度算出プログラム63aを実行することで、合焦度算出手段として機能する。
具体的には、例えば、図3に示すように、CPU61がインジケータ表示制御プログラム63bを実行することにより、合焦度算出プログラム63aの実行により算出された現在の合焦度を示すインジケータをモニタ7に表示させるとともに、CPU61が後述するピークホールドプログラム63dを実行することによりRAM62に保持された合焦度のピーク値をモニタ7に表示させる。
なお、例えば、モニタ7において、インジケータとともに表示される合焦度のピーク値は、図4に示すように、デフォーカスの状態からフォーカス状態になるに従い、インジケータのフォーカスレベルメータは上昇し、これに伴い、ピーク値も上昇する。そして、再び、フォーカス状態からデフォーカス状態になるに従い、インジケータのフォーカスレベルメータは下降するが、このとき、CPU61が後述するピークホールドプログラム63dを実行することによりRAM62にフォーカス位置での合焦度のピーク値を保持しているので、ピーク値は、フォーカス位置で検出された合焦度のピーク値を表示することができる。
CPU61は、かかるインジケータ表示制御プログラム63bを実行することで、インジケータ表示制御手段として機能する。
具体的には、例えば、図3に示すように、モニタ7に表示されたインジケータのレンジを変更するためのスライダやアップダウンボタンを操作することにより、入力部8からインジケータのレンジを変更するための指示入力があると、CPU61は、インジケータレンジ変更プログラム63cを実行することによって、図5に示すように、合焦度を示すインジケータのレンジが大きくなるように設定する。
CPU61は、かかるインジケータレンジ変更プログラム63cを実行することで、インジケータレンジ変更手段として機能する。
具体的には、例えば、CPU61は、ピークホールドプログラム63dを実行することによって、合焦度算出プログラム63aの実行により合焦度の算出を開始してから、現在までの算出時間内に検出した合焦度のピーク値をRAM62に保持する。
なお、合焦度のピーク値が保持される時間は任意であり、例えば、図3に示すように、ピークホールドリセット機能を備え、ユーザ所望の時点でピーク値をリセットしたり、または、CPU61が、ピークホールドプログラム63dを実行してから所定の時間が経過することにより自動的にピーク値をリセットするリセット時間設定可能なピークホールドリセット機能を備える設計であっても良い。
CPU61は、かかるピークホールドプログラム63dを実行することで、ピークホールド手段として機能する。
具体的には、CPU61がピークホールドプログラム63dを実行することにより、例えば、菱形のくぼみの頂点T1〜T4夫々において、合焦度のピーク値がRAM62に保持されている場合、CPU61は、合焦位置設定プログラム63eを実行することにより、菱形のくぼみの頂点T1〜T4夫々における合焦度のピーク値に基づく合焦位置の平均値を算出し、算出された平均値を当該菱形のくぼみの合焦位置に設定する。
CPU61は、かかる合焦位置設定プログラム63eを実行することで、合焦位置設定手段として機能する。
具体的には、CPU61がピークホールドプログラム63dを実行することにより、例えば、菱形のくぼみの頂点T1〜T4夫々において、合焦度のピーク値がRAM62に保持されている場合、CPU61は、エラー情報表示制御プログラム63fを実行することにより、菱形のくぼみの頂点T1〜T4夫々におけるピーク値夫々から合焦位置の値の差を算出し、その差が所定の閾値を超える場合、図3に示すように、モニタ7に、「試料S表面が平坦でない虞があります。」等のメッセージ(エラー情報)を表示する。
CPU61は、かかるエラー情報表示制御プログラム63fを実行することで、エラー情報表示制御手段として機能する。
まず、ユーザが試料台4に硬さ試験の対象となる試料Sを載置し、固定する。次いで、ユーザは、入力部8から硬さ試験の指示を行い、CPU61が圧子駆動部31Aを駆動することにより、圧子31が下降し、試料SにくぼみXを形成する。なお、硬さ試験機100は、ビッカース硬さ試験機であるため、図3に示すように、くぼみXは菱形状に形成される。
次いで、撮像部2が試料Sに形成されたくぼみXを撮像し、制御部6がそのくぼみXをモニタ7に表示する。
なお、図5(a)に示すように、試料S表面の高さ位置を変えても、インジケータが示すフォーカスレベルメータのレンジが小さい場合には、図3に示すように、モニタ7に表示されたインジケータのレンジを変更するためのスライダやアップダウンボタンを操作して、入力部8からインジケータのレンジを変更するための指示入力を行うことにより、CPU61は、インジケータレンジ変更プログラム63cを実行し、図5(b)に示すように、合焦度を示すインジケータのレンジが大きくなるように設定する。
従って、複数の焦点調整位置を指定して好適な焦点調整を行うことができる。
また、CPU61が、インジケータレンジ変更プログラム63cを実行することによって、合焦度を示すインジケータのレンジを変更することができる。
従って、試料Sの光学的性質により、合焦度のピーク値が低い場合でも、インジケータのレンジを変更できることにより、ユーザはインジケータ表示が見やすくなり、より好適な焦点調整を行うことができる。
また、CPU61が、ピークホールドプログラム63dを実行することによって、合焦度算出プログラム63aの実行により算出された合焦度のピーク値を検出して保持することができ、インジケータ表示制御プログラム63bの実行によって、ピークホールドプログラム63dの実行により保持された合焦度のピーク値を、インジケータとともにモニタ7に表示することができる。
従って、ユーザによる焦点調整作業のばらつきを好適に低減することができることとなり、焦点調整作業の精度を向上させることができる。
また、CPU61が、合焦位置設定プログラム63eを実行することによって、焦点調整位置毎のピーク値に基づき、くぼみXに対する合焦位置を設定することができる。
従って、焦点調整位置毎のピーク値に基づき、くぼみXに対して適切な合焦位置を設定することができることとなり、ユーザにとって使い勝手が良い。
また、CPU61が、エラー情報表示制御プログラム63fを実行することによって、複数の焦点調整位置におけるピーク値夫々における合焦位置の値の差を算出し、その差が所定の閾値を超える場合、所定のエラー情報をモニタ7に表示することができる。
従って、複数の焦点調整位置におけるピーク値夫々の値の差が所定の閾値を超えると判断された場合に、所定のエラー情報を表示して、ユーザに対処を促すことができることとなり、ユーザにとって使い勝手が良い。
その他、本発明は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で自由に変更、改良が可能である。
2 撮像部(撮像手段)
31 圧子
31A 圧子駆動部
4 試料台
4A 試料台駆動部
5 操作パネル(操作手段)
6 制御部
61 CPU(合焦度算出手段、インジケータ表示制御手段、インジケータレンジ変更手段、ピークホールド手段、合焦位置設定手段、エラー情報表示制御手段)
62 RAM
63 記憶部
63a 合焦度算出プログラム(合焦度算出手段)
63b インジケータ表示制御プログラム(インジケータ表示制御手段)
63c インジケータレンジ変更プログラム(インジケータレンジ変更手段)
63d ピークホールドプログラム(ピークホールド手段)
63e 合焦位置設定プログラム(合焦位置設定手段)
63f エラー情報表示制御プログラム(エラー情報表示制御手段)
7 モニタ(表示手段)
8 入力部(焦点調整位置指定手段)
S 試料
X くぼみ
Claims (5)
- 試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの所定の特徴点間の距離を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記試料の表面に形成されたくぼみを撮像するための撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記くぼみの画像を表示する表示手段と、
前記くぼみが形成された試料における複数の焦点調整位置を指定する焦点調整位置指定手段と、
前記焦点調整位置指定手段により指定された焦点調整位置に合焦するように前記撮像手段を操作するための操作手段と、
前記焦点調整位置指定手段により指定された焦点調整位置において前記操作手段により操作された前記撮像手段により撮像された前記くぼみの合焦度を算出する合焦度算出手段と、
前記焦点調整位置毎に、前記合焦度算出手段により算出された合焦度を示すインジケータを前記表示手段に表示させるインジケータ表示制御手段と、
を備えたことを特徴とする硬さ試験機。 - 前記合焦度を示すインジケータのレンジを変更するインジケータレンジ変更手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。
- 前記合焦度算出手段により算出された前記合焦度のピーク値を前記焦点調整位置毎に検出して保持するピークホールド手段を備え、
前記インジケータ表示制御手段は、
前記ピークホールド手段により保持された前記合焦度のピーク値を前記インジケータとともに前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項1又は2に記載の硬さ試験機。 - 前記焦点調整位置毎の前記合焦度のピーク値に基づき、前記くぼみに対する合焦位置を設定する合焦位置設定手段を備えることを特徴とする請求項3に記載の硬さ試験機。
- 複数の前記焦点調整位置における前記合焦度のピーク値夫々における合焦位置の値の差を算出し、その差が所定の閾値を超える場合、所定のエラー情報を前記表示手段に表示するエラー情報表示制御手段を備えることを特徴とする請求項3又は4に記載の硬さ試験機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007007287A JP4913609B2 (ja) | 2007-01-16 | 2007-01-16 | 硬さ試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007007287A JP4913609B2 (ja) | 2007-01-16 | 2007-01-16 | 硬さ試験機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008175586A true JP2008175586A (ja) | 2008-07-31 |
JP4913609B2 JP4913609B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=39702725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007007287A Active JP4913609B2 (ja) | 2007-01-16 | 2007-01-16 | 硬さ試験機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4913609B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011002247A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0311884A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 撮像装置 |
JPH11283035A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Mitsutoyo Corp | 画像機器のフォーカス調整装置 |
JP2003344782A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-03 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用撮像装置 |
JP2004258086A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Fuji Photo Optical Co Ltd | レンズ制御システム |
JP2005345117A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
JP2006115210A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 画像入力方法、画像入力システム及びその動作プログラム |
-
2007
- 2007-01-16 JP JP2007007287A patent/JP4913609B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0311884A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 撮像装置 |
JPH11283035A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Mitsutoyo Corp | 画像機器のフォーカス調整装置 |
JP2003344782A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-03 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用撮像装置 |
JP2004258086A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Fuji Photo Optical Co Ltd | レンズ制御システム |
JP2005345117A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
JP2006115210A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 画像入力方法、画像入力システム及びその動作プログラム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011002247A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4913609B2 (ja) | 2012-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6016620B2 (ja) | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 | |
JP5840431B2 (ja) | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 | |
JP2014190890A (ja) | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 | |
JP6559023B2 (ja) | 硬さ試験機及び硬さ試験方法 | |
JP5955716B2 (ja) | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 | |
JP2012078306A (ja) | 硬さ試験機 | |
JP4843516B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JP5559587B2 (ja) | 硬さ試験機及び硬さ試験方法 | |
JPWO2016174926A1 (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法及びプログラム | |
WO2003102500A1 (fr) | Procede d'obtention de coordonnees 3 d | |
JP5258678B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JP6199692B2 (ja) | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 | |
JP4328671B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JP6560937B2 (ja) | 硬さ試験機及び硬さ試験方法 | |
JP4261418B2 (ja) | 硬さ試験機及び自動硬さ試験方法 | |
JP4913609B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
CN106525624B (zh) | 硬度测试设备和硬度测试方法 | |
JP5065189B2 (ja) | オートフォーカス装置 | |
JP2018160217A (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP2004012192A (ja) | 測定顕微鏡装置、その表示方法、及びその表示プログラム | |
JP2018165638A (ja) | 硬さ試験機及びプログラム | |
JP6464569B2 (ja) | 角膜内皮細胞解析プログラム | |
JP2010020075A (ja) | 顕微鏡システム及び顕微鏡制御プログラム | |
JP2007104296A (ja) | 解像度測定方法、装置及びプログラム | |
JP2011164009A (ja) | 硬さ試験機及びプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4913609 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |