JP2008171919A - 半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 - Google Patents
半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008171919A JP2008171919A JP2007002154A JP2007002154A JP2008171919A JP 2008171919 A JP2008171919 A JP 2008171919A JP 2007002154 A JP2007002154 A JP 2007002154A JP 2007002154 A JP2007002154 A JP 2007002154A JP 2008171919 A JP2008171919 A JP 2008171919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive layer
- wiring
- electro
- optical device
- resistance element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 64
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 130
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 42
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 22
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 8
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- IZQZNLBFNMTRMF-UHFFFAOYSA-N acetic acid;phosphoric acid Chemical compound CC(O)=O.OP(O)(O)=O IZQZNLBFNMTRMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置(第1基板)10は、絶縁層(下地絶縁膜)11と、前記絶縁層11上に設けられた薄膜トランジスタ30と、前記薄膜トランジスタ30に信号を供給するための配線(走査線)3aと、前記配線3aに設けられた抵抗素子107とを備え、前記配線3aは複数層の導電層131,132,133からなり、前記抵抗素子107は、前記複数層の導電層のうちの1又は2以上の導電層132,133を部分的に除去することにより形成されている。
【選択図】図4
Description
次に、図6を用いて、本発明の液晶装置を備えた電子機器の実施形態について説明する。図6は、本発明の液晶装置の一例である液晶装置100を映像モニタ1200の表示部に適用した例の概略構成図である。同図の映像モニタ1200は、先の実施形態の液晶装置100を備えた表示部1201と、筐体1202と、スピーカ1203等を備えている。液晶装置100は、上記映像モニタに限らず、携帯電話、電子ブック、プロジェクタ、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、テレビジョン受像機、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、かかる構成とすることで、歩留まりが高く、電気的特性に優れた電子機器を提供できる。
Claims (13)
- 絶縁層と、前記絶縁層上に設けられた薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに信号を供給するための配線と、前記配線に設けられた抵抗素子とを備え、
前記配線は複数層の導電層からなり、
前記抵抗素子は、前記複数層の導電層のうちの1又は2以上の導電層を部分的に除去することにより形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 絶縁基板と、前記絶縁基板上に設けられた薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに信号を供給するための配線と、前記配線に設けられた抵抗素子とを備え、
前記配線は複数層の導電層からなり、
前記抵抗素子は、前記複数層の導電層のうちの1又は2以上の導電層を部分的に除去することにより形成されていることを特徴とする電気光学装置。 - 前記配線は、相対的に抵抗の大きい第1導電層と、相対的に抵抗の小さい第2導電層とを含み、
前記抵抗素子は、前記第1導電層を残し、前記第2導電層を部分的に除去することにより形成されることを特徴とする請求項2に記載の電気光学装置。 - 前記第1導電層と前記第2導電層は少なくとも薬液を用いたエッチング或いはプラズマを用いたエッチングにおいて選択性を持つことを特徴とする請求項3に記載の電気光学装置。
- 前記第1導電層はTiであり、前記第2導電層はAlCu、AlNd、AlNiB又はAlScCuであることを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。
- 前記第2導電層上にバリア層としての第3導電層が積層されており、
前記抵抗素子は、前記第1導電層を残し、前記第2導電層及び前記第3導電層を部分的に除去することにより形成されることを特徴とする請求項3〜5のいずれかの項に記載の電気光学装置。 - 前記第1導電層はTiであり、前記第2導電層はAlCu、AlNd、AlNiB又はAlScCuであり、前記第3導電層はTiN又はMoであることを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置。
- 前記配線は、前記絶縁基板上に設けられた表示領域と、前記表示領域の周囲に設けられた周辺駆動回路とを電気的に接続するための配線であることを特徴とする請求項2〜7のいずれかの項に記載の電気光学装置。
- 前記周辺駆動回路は走査線駆動回路であり、前記配線は走査線であることを特徴とする請求項8に記載の電気光学装置。
- 前記配線は、前記絶縁基板上に設けられた周辺駆動回路と、実装端子とを電気的に接続するための配線であることを特徴とする請求項2〜7のいずれかの項に記載の電気光学装置。
- 前記周辺駆動回路は走査線駆動回路であることを特徴とする請求項10に記載の電気光学装置。
- 前記周辺駆動回路は、ポリシリコン膜を用いて前記絶縁基板上に一体に形成されていることを特徴とする請求項8〜11のいずれかの項に記載の電気光学装置。
- 請求項1に記載の半導体装置又は請求項2〜12のいずれかの項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007002154A JP5127234B2 (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007002154A JP5127234B2 (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008171919A true JP2008171919A (ja) | 2008-07-24 |
JP5127234B2 JP5127234B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=39699754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007002154A Active JP5127234B2 (ja) | 2007-01-10 | 2007-01-10 | 半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5127234B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013250319A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板、製造方法、及び表示装置 |
JP2017139381A (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 株式会社コベルコ科研 | 表示装置用配線構造 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121665A (ja) * | 1991-10-26 | 1993-05-18 | Nec Corp | 半導体装置 |
JPH05198806A (ja) * | 1992-06-29 | 1993-08-06 | Seiko Epson Corp | マトリックスアレー基板 |
JPH0651346A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Sony Corp | 保護回路 |
JP2004088113A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-01-10 JP JP2007002154A patent/JP5127234B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121665A (ja) * | 1991-10-26 | 1993-05-18 | Nec Corp | 半導体装置 |
JPH05198806A (ja) * | 1992-06-29 | 1993-08-06 | Seiko Epson Corp | マトリックスアレー基板 |
JPH0651346A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Sony Corp | 保護回路 |
JP2004088113A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013250319A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板、製造方法、及び表示装置 |
JP2017139381A (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 株式会社コベルコ科研 | 表示装置用配線構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5127234B2 (ja) | 2013-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11563039B2 (en) | Display device | |
KR100884118B1 (ko) | 전기 광학 장치, 전자 기기, 및 전기 광학 장치의 제조방법 | |
JP4277874B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP4215068B2 (ja) | 電気光学装置および電子機器 | |
WO2020184533A1 (ja) | 表示装置及び半導体装置 | |
JP2008003118A (ja) | 電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法 | |
JP5940163B2 (ja) | 半導体装置及び表示装置 | |
JP2009180981A (ja) | アクティブマトリックス基板及びその製造方法 | |
JP2007212812A (ja) | 電気光学装置 | |
JP2007293072A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
US20130234331A1 (en) | Wiring structure, thin film transistor array substrate including the same, and display device | |
US7329901B2 (en) | Thin-film semiconductor device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP2007293073A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2009104108A (ja) | 液晶表示装置及び電子機器 | |
JP2011090288A (ja) | 薄膜トランジスタアレイパネル及びその製造方法 | |
US10777587B2 (en) | Active matrix substrate and display device provided with active matrix substrate | |
WO2018139450A1 (ja) | アクティブマトリクス基板およびそれを用いた表示装置 | |
US10884542B2 (en) | Display device | |
JP5127234B2 (ja) | 半導体装置、電気光学装置並びに電子機器 | |
KR20120113942A (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판 | |
US20120092240A1 (en) | Driving circuit and display panel having the same | |
JP2019197128A (ja) | 表示装置 | |
JP5156542B2 (ja) | Tft基板及びその製造方法 | |
KR100987709B1 (ko) | 액정표시장치 | |
JP2005043804A (ja) | 表示装置、アクティブマトリクス基板、及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091124 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100526 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100526 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121009 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5127234 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151109 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |