JP2008171907A - 半導体装置および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板1上に設けられたボトムゲート型の薄膜トランジスタTrと、薄膜トランジスタTrの上部に保護膜11および層間絶縁膜15を介して設けられた画素電極aとを備え、薄膜トランジスタTrと画素電極aとの間には、これらとの間に絶縁性を保って導電性のシールド層13aが配置されている。
【選択図】図1
Description
第1実施形態においては、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置に本発明を適用した実施の形態を説明する。
ゲート絶縁膜5…酸化シリコン、窒化シリコン、ポリビニルフェノール、ポリメチルメタクリレート(PMMA)など。
ソース・ドレイン電極7s,7d…金、金/クロムの積層膜、銀、白金、パラジウム、さらにはこれらの積層膜。
有機チャネル層9…ペンタセン、ゼキシチオフェンなどのチオフェンオリゴマー、ポリチオフェンなど。
保護膜11…窒化シリコン、酸化シリコン、ポリパラキシリレン、ポリビニルアルコールなど。
シールド層13a…金、金/クロムの積層膜、銀、アルミニウム、さらにはこれらの積層膜。
層間絶縁膜15…窒化シリコン、ポリパラキシリレン、PMMAなどのアクリル系樹脂、ポリビニルアルコールなど。
画素電極a…アルミニウム、金、金/クロムの積層膜、銀、パラジウム、これらの積層膜。
図4には、本第2実施形態の液晶表示装置40bの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図5には本第2実施形態の液晶表示装置40bの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、液晶表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第1実施形態において図1を用いて説明した構成と同様であって良い。
図6には、本第3実施形態の液晶表示装置40cの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図7には本第3実施形態の液晶表示装置40cの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、液晶表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第1実施形態において図1を用いて説明した構成と同様であって良い。
第4実施形態においては、発光素子として有機電界発光素子を用いたアクティブマトリックス方式の有機EL表示装置に本発明を適用した実施の形態を説明する。尚、以下の各図においては、上述した第1実施形態〜第3実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
図11には、本第5実施形態の有機EL表示装置50aの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第5実施形態は、第4実施形態の変形例的な実施形態である。
図12には、第6実施形態の有機EL表示装置50aの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第6実施形態は、第4実施形態の変形例的な実施形態のさらに他の例である。
図15には、本第8実施形態の有機EL表示装置50bの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第8実施形態は、第7実施形態の変形例的な実施形態である。
図16には、本第9実施形態の有機EL表示装置50cの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図17には本第9実施形態の有機EL表示装置50cの特徴部を説明するための要部平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、有機EL表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第4実施形態において図8を用いて説明した構成と同様であって良く、上述した第4実施形態〜第7実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
さらに、有機チャネル層9に対向配置されたシールド層13cをゲート電極3と接続させたことにより、Tr1に対する画素電極aの影響を排除すると同時にトランジスタの駆動能力が向上させることができる。
図18には、本第10実施形態の有機EL表示装置50cの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第10実施形態は、第9実施形態の変形例的な実施形態である。
図19には、本第11実施形態の有機EL表示装置60aの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図20には本第11実施形態の有機EL表示装置60aの特徴部を説明するための要部平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、有機EL表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第4実施形態において図8を用いて説明した構成と同様であって良く、上述した第4実施形態〜第10実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
図21には、第12実施形態の有機EL表示装置60aの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第12実施形態は、第11実施形態の変形例的な実施形態である。
図22には、第13実施形態の有機EL表示装置60aの特徴部を説明するための駆動基板側の4画素分の平面図を示す。この図に示す第13実施形態は、第11実施形態の変形例的な実施形態のさらに他の例である。
図23には、第14実施形態の有機EL表示装置60bの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図24には本第14実施形態の有機EL表示装置60bの特徴部を説明するための要部平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、有機EL表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第4実施形態において図8を用いて説明した構成と同様であって良く、上述した実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
図25には、第15実施形態の有機EL表示装置60cの特徴部を説明するための1画素分の断面図を示す。また図26には本第15実施形態の有機EL表示装置60cの特徴部を説明するための要部平面図を示す。尚、平面図は、説明のために一部を切り欠いており、さらに全体を覆う絶縁性材料からなる膜の図示を省略している。また、有機EL表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成は、第4実施形態において図8を用いて説明した構成と同様であって良く、上述した実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
第16実施形態においては、アクティブマトリックス方式の電気泳動型表示装置に本発明を適用した実施の形態を説明する。
図28は、本発明を適用した電気泳動型表示装の断面図である。この図に基づいて、本発明を適用したカラー表示のアクティブマトリックス型表示装置の実施の形態を説明する。
本第18実施形態においては、上述した各実施形態の表示装置のうち、各電極や配線に対して独立してシールド層の電位を制御することが可能な構成の表示装置においてのシールド層の制御の一例を説明する。
Claims (9)
- 基板上に設けられたボトムゲート型の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの上部に絶縁膜を介して設けられた電極とを備えた半導体装置において、
前記薄膜トランジスタと前記電極との間には、これらとの間に絶縁性を保って導電性のシールド層が配置されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記薄膜トランジスタのチャネル層は、有機半導体薄膜で構成されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記シールド層は、前記薄膜トランジスタのゲート電極またはソース電極と接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記シールド層は、前記薄膜トランジスタに対して独立して電位制御される
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記薄膜トランジスタの上部に設けられた電極は、当該薄膜トランジスタに接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記基板上には前記薄膜トランジスタが複数配置され、
前記シールド層は、複数の前記薄膜トランジスタを覆う状態で共通に設けられている
ことを特徴とする半導体装置。 - 基板上に設けられたボトムゲート型の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの上部に絶縁膜を介して設けられた電極とを備えた表示装置において、
前記薄膜トランジスタンと前記電極との間には、これらとの間に絶縁性を保ってシールド層が配置されている
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7記載の表示装置において、
前記薄膜トランジスタの上部に設けられた電極は、当該薄膜トランジスタに接続された画素電極である
ことを特徴とする表示装置。 - 請求項7記載の表示装置において、
前記基板上には前記薄膜トランジスタが複数配置され、
前記薄膜トランジスタの上部に設けられた電極は、複数の当該薄膜トランジスタに対して共通に対向配置された共通電極である
ことを特徴とする表示装置。
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