JP5081324B2 - アクティブマトリクス基板、ディスプレイパネル、表示装置およびトランジスタ素子 - Google Patents
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Description
まず、本発明の実施の形態1による表示装置として、有機ELディスプレイ装置100を例に挙げて説明する。図1は、有機ELディスプレイ装置100の概略構成を示すブロック図である。なお、本実施の形態では、発光素子(例えば図4における有機発光ダイオードD1参照)からの光を素子基板(例えば図4におけるアクティブマトリクス基板101A参照)を介してこれの下面(例えば図4における下面100a参照)から外部へ出力することが可能な、いわゆる裏面発光型(ボトムエミッションタイプ)の有機ELディスプレイ装置100を例に挙げる。
図1に示すように、有機ELディスプレイ装置100は、2次元マトリクス状に配列された画素(PX)101aを含むディスプレイパネル101と、これに接続された走査駆動部103、データ駆動部104、容量線駆動部105および駆動信号生成部106と、各部を制御するための信号制御部102と、を備える。なお、ディスプレイパネル101は、赤(R)、緑(G)および青(B)の三原色それぞれについての画素101aを備える。
次に、図2を用いて各画素101aの概略構成およびその動作を説明する。なお、以下の説明は、R,G,Bのうち何れの画素101aについても同様である。
次に、本実施の形態による有機ELディスプレイ装置100の製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。図5−1から図5−10は、本実施の形態による有機ELディスプレイ装置100におけるディスプレイパネル101の製造方法を示すプロセス断面図である。なお、図5−1から図5−10では、図4に示すA−A’断面と対応する断面を示す。
次に、本発明の実施の形態2による表示装置として、有機ELディスプレイ装置を例に挙げて説明する。なお、本実施の形態では、発光素子(例えば図6における有機発光ダイオードD2参照)からの光をディスプレイパネル101の上面(例えば図6における上面200a参照)および下面(例えば図6における下面100a参照)の両方から外部へ出力することが可能な有機ELディスプレイ装置を例に挙げる。すなわち、本実施の形態による有機ELディスプレイ装置は、上面発光型(トップエミッションタイプ)と裏面発光型との両方を兼ね備えた、いわゆる両面発光型の有機ELディスプレイ装置である。また、以下の説明において、本発明の実施の形態1と同様の構成については、説明の明確化のために、同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、各画素201aのレイアウト構造および層構造を詳細に説明する。本実施の形態による画素201aにおけるアクティブマトリクス基板101Aのレイアウト構造は、図3に示す画素101aのレイアウト構造と同様である。ただし、本実施の形態による画素201aの概略層構造は、図6に示すものとなる。なお、図6は、図4と同様に、図3のA−A’断面に対応する面における画素201aの概略断面図である。
また、本実施の形態による有機ELディスプレイ装置の製造方法は、本発明の実施の形態1による有機ELディスプレイ装置100の製造方法と同様の製造方法において、図5−10に示すカソード電極63の形成工程が、透明なカソード電極65の形成工程になると共に、カソード電極65上に補助電極66を形成する工程が加わる。なお、他の製造工程は、本発明の実施の形態1において図5−1から図5−10および図4を用いて説明した工程と同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。
次に、本発明の実施の形態3による表示装置として、液晶ディスプレイ装置300を例に挙げて説明する。図7は、液晶ディスプレイ装置300の概略構成を示すブロック図である。なお、本実施の形態では、いわゆるバックライトと呼ばれる光源(例えば図10における光源350参照)と液晶素子(例えば図10における液晶素子E31参照)との間に素子基板(例えば図10におけるアクティブマトリクス基板301A参照)が介在する構成の液晶ディスプレイ装置300を例に挙げる。また、本実施の形態において、本発明の実施の形態1または2と同様の構成については、同一の符号を付すことで、その詳細な説明を省略する。
図7に示すように、液晶ディスプレイ装置300は、2次元マトリクス状に配列された画素(PX)301aを含むディスプレイパネル301と、これに接続された走査駆動部103、データ駆動部104および容量線駆動部105と、各部を制御するための信号制御部102と、を備える。なお、ディスプレイパネル301は、赤(R)、緑(G)および青(B)の三原色それぞれについての画素301aを備える。
次に、図8を用いて各画素301aの概略構成およびその動作を説明する。なお、以下の説明は、R,G,Bのうち何れの画素301aについても同様である。
次に、本実施の形態による液晶ディスプレイ装置300の製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。図11−1および図11−2、図12−1から図12−6、ならびに図13は、本発明の実施の形態による液晶ディスプレイ装置300におけるディスプレイパネル301の製造方法を示すプロセス図である。なお、図11−1および図11−2、図12−1から図12−6、ならびに図13では、図9におけるB−B’断面と対応する断面を示す。
11、21、15 ゲート電極
12、22、16 ゲート絶縁膜
13、23、17 透明半導体層
14d、18d、24d ドレイン電極
14s、18s、24s ソース電極
31、35 下部電極
32、36 容量絶縁膜
33、37 上部電極
40、50 層間絶縁膜
41 第1配線レイヤ
41a 冗長配線
42 コンタクト内配線
43 第2配線レイヤ
44 透明半導体層
51 コンタクトプラグ
61 アノード電極
62 有機膜
63、65 カソード電極
64 カラーフィルタ
66 補助電極
70 隔壁
80 パッシベーション膜
100 有機ELディスプレイ装置
100a 下面
101、301 ディスプレイパネル
101A、301A アクティブマトリクス基板
101a、201a、301a 画素
200a、300a 上面
300 液晶ディスプレイ装置
302A 対向基板
311 画素電極
312 液晶層
313 共通電極
314、315 配向膜
316 誘電体突起
317 スペーサ
321 遮光膜
330、340 偏光板
C1 キャパシタ
C31 蓄積キャパシタ
D1、D2 有機発光ダイオード
E31 液晶素子
H1 コンタクト
LD データ線
LG 走査線
LP 駆動線
LC 容量線
L1、L2、L31 配線
Q1、Q31 スイッチングトランジスタ
Q2 駆動トランジスタ
RC 立体配線
Claims (13)
- 複数のトランジスタ素子を備えたアクティブマトリクス基板であって、
可視光を透過させることが可能な基板と、
前記基板上に形成され、亜鉛錫酸化物から構成される導電体材料よりなり、可視光を透過させることが可能な配線と、
前記基板の垂直方向からみて前記配線の少なくとも一部と重なり、前記配線よりもキャリア濃度が低く、亜鉛錫酸化物から構成される半導体材料よりなり、かつ可視光を透過させることが可能な半導体層と、
前記配線および半導体層の少なくとも一部を覆い、可視光を透過させることが可能な絶縁膜とを備え、
前記配線の一部が前記トランジスタ素子におけるゲート電極、ソース電極およびドレイン電極として機能し、前記絶縁膜の一部が、前記トランジスタ素子におけるゲート絶縁膜として機能していることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 前記配線は、アモルファスな配線であり、
前記半導体層は、アモルファスな層であることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記配線は、主配線と、該主配線から分岐されてなり、該主配線と前記トランジスタ素子とを接続する副配線と、を含むことを特徴とする請求項1または2記載のアクティブマトリクス基板。
- トランジスタ素子およびキャパシタを備え、
前記配線は、1つ以上の走査線の少なくとも一部と、1つ以上のデータ線の少なくとも一部と、1つ以上の容量線の少なくとも一部と、を構成し、
前記トランジスタ素子は、制御端子が前記走査線に接続され、入力端子が前記データ線に接続されており、
前記キャパシタは、一方の端子が前記トランジスタ素子の出力端子に接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のアクティブマトリクス基板。 - 請求項1〜4のいずれか一つに記載のアクティブマトリクス基板と、
前記アクティブマトリクス基板上に形成され、可視光を透過することが可能な第1電極と、
前記第1電極上に形成された有機膜と、
前記有機膜上に形成された第2電極と、
を備えたことを特徴とするディスプレイパネル。 - 前記第2電極は、可視光を透過することが可能であることを特徴とする請求項5記載のディスプレイパネル。
- 前記第2電極に電気的に接続された補助電極を備えたことを特徴とする請求項6記載のディスプレイパネル。
- 前記補助電極が、可視光を透過することが可能であることを特徴とする請求項7記載のディスプレイパネル。
- 前記有機膜に対して上層および/または下層に形成されたフィルタ膜を備えたことを特徴とする請求項5〜8のいずれか一つに記載のディスプレイパネル。
- 請求項1〜4のいずれか一つに記載のアクティブマトリクス基板と、
可視光を透過することが可能な対向基板と、
液晶層と、該液晶層をサンドウィッチする2つの配向膜と、前記液晶層と前記2つの配向膜とよりなる積層体をサンドウィッチする画素電極および共通電極と、を含む液晶素子と、を備え、
前記画素電極および共通電極は、可視光を透過することが可能であり、
前記画素電極は、前記アクティブマトリクス基板における前記配線と電気的に接続され、
前記液晶素子は、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板とでサンドウィッチされていることを特徴とするディスプレイパネル。 - 前記アクティブマトリクス基板と前記液晶素子と前記対向基板とよりなる積層体をサンドウィッチする2つの偏光板を備えたことを特徴とする請求項10記載のディスプレイパネル。
- 前記共通電極上に形成された遮光膜と、
少なくとも前記共通電極上に形成され、所定帯域の波長を透過させるフィルタ膜と、
を備えたことを特徴とする請求項10または11記載のディスプレイパネル。 - 請求項5〜12のいずれか一つに記載のディスプレイパネルを備えたことを特徴とする表示装置。
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