JP2008163857A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハウジング3の内周面に、排気口33に食い込むリング状の溝34を形成する。排気口33の背圧空間S側の開口は符号Bで示す部分がネジステータ部31によって塞がれているが、溝34を排気口33に食い込むように形成しているため、排気口33の側周の一部が切り欠かれ、溝34を介して背圧空間Sに連通する開口33aが形成される。その結果、十分な開口面積を確保することができる。
【選択図】図4
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、ガス通路を、ハウジングの内周面の一周にわたって形成され、排気口の側周の一部を切り欠くリング状の溝としたものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、ネジポンプ部の下流側空間の軸方向寸法を、排気口の軸方向開口寸法よりも小さくしたものである。
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、ネジステータを、ハウジングに一体に形成したものである。
Claims (4)
- ターボポンプ部とネジポンプ部とを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ネジポンプ部のネジステータが設けられた略円筒状のハウジングと、
前記ハウジングの側面に形成され、前記ネジポンプ部の下流側空間とポンプ外部とを連通する筒状孔から成る排気口と、
前記下流側空間のガスを前記排気口の側周から前記排気口へと導くガス通路とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ガス通路は、前記ハウジングの内周面の一周にわたって形成され、前記排気口の側周の一部を切り欠くリング状の溝であることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ネジポンプ部の下流側空間の軸方向寸法が、前記排気口の軸方向開口寸法よりも小さいことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ネジステータは、前記ハウジングに一体に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
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