JP2012519247A - 複数入口式真空ポンプ - Google Patents
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Description
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- 搬送方向(36)に連続的に配置された複数の第1のロータディスク(20,21) を有する第1のロータ要素(18)を備えた第1のポンプ装置(10)と、
前記搬送方向(36)に連続的に配置された複数の更なるロータディスク(27,28) を有する更なるロータ要素(26)を備えた少なくとも1つの更なるポンプ装置(12)と、
前記第1のポンプ装置(10)によって前記更なるポンプ装置(12)の方に搬送される第1の流体(34)を吸い込むための主入口(32)と、
前記更なるポンプ装置(12)によってポンプ出口の方に搬送される第2の流体(40)を吸い込むための少なくとも1つの中間入口(38)と
を備えた複数入口式真空ポンプにおいて、
該複数入口式真空ポンプ内で第1及び第2の流体(34,40) を混合する処理が、前記中間入口(38)内ではない領域で行なわれることを特徴とする複数入口式真空ポンプ。 - 前記第1及び第2の流体(34,40) の混合は、少なくとも主として前記少なくとも1つの更なるポンプ装置(12)内で行われており、好ましくは前記更なるポンプ装置(12)の2つの隣り合う更なるロータディスク(28;27,28)間で行われることを特徴とする請求項1に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 2つの更なるロータディスク(27,28) の直径が、前記第1のロータディスク(20)の直径より少なくとも部分的に大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記更なるポンプ装置(12)の少なくとも第1のロータディスク(28)は、第1の流体(34)を前記更なるポンプ装置(12)内に流入するための通過開口部(42)を前記搬送方向(36)に有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記通過開口部(42)は、ロータ翼板を支持する前記更なるポンプ装置(12)の第1のロータディスク(28)内に径方向に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記第1のポンプ装置(10)と前記更なるポンプ装置(12)との間に好ましくは径方向に配置されたハウジング壁(46)を更に備えており、該ハウジング壁は、外側のハウジング壁に好ましくは密閉して接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の複数入口式真空ポンプ。
- 限られた密閉隙間(48)が、前記ハウジング壁(46)とロータ軸(16)との間に設けられていることを特徴とする請求項6に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記第1のポンプ装置(10)を前記更なるポンプ装置(12)内の領域に接続する少なくとも1つの流路(58,60,64,74) を更に備えていることを特徴とする請求項1に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記流路(58,60,64,74) は、前記第1のロータ要素(18)及び前記更なるロータ要素(26)を支持するロータ軸(16)内に少なくとも部分的に配置されており、前記ロータ軸は、好ましくは中空軸として形成されていることを特徴とする請求項8に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記流路(58,60,64,74) は、前記ロータ軸(16)の長手方向に延びる少なくとも1つの溝(74)によって形成されており、該少なくとも1つの溝(74)は、好ましくはシェル(78)及び/又はロータ要素(18)によって径方向に閉じられていることを特徴とする請求項8に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記ロータ軸(16)は、好ましくは前記ロータ軸の周囲に対称的に配設されて前記ロータ軸の長手方向に延びる複数の前記溝(74)を有していることを特徴とする請求項10に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記第1のポンプ装置(10)の出口の領域に前記ロータ軸(16)に形成された少なくとも1つの第1の横断孔(58)を備えており、
前記ロータ軸(16)に形成されて、前記更なるポンプ装置(12)の2つの隣り合うロータディスク(28)間で終端をなす少なくとも1つの第2の横断孔(64)を好ましくは備えていることを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の複数入口式真空ポンプ。 - 前記第1のポンプ装置(10)の出口の領域に配置されて、ポンプハウジング(14)から前記ロータ軸(16)へと延びる密閉ディスク(54)を更に備えていることを特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記第1の横断孔(58)は、前記第1のポンプ装置(10)の最後のロータディスク(20)と前記密閉ディスク(54)との間に前記搬送方向(36)に配置されていることを特徴とする請求項13に記載の複数入口式真空ポンプ。
- 前記第1のポンプ装置(10)の少なくとも最後のロータディスク(68)は、前記中間入口(38)を通って吸い込まれる第2の流体(40)の一部が前記第1のポンプ装置(10)の方に前記搬送方向(36)の反対に搬送されるように構成されていることを特徴とする請求項8乃至14のいずれかに記載の複数入口式真空ポンプ。
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