JP2008153279A - ダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】８０μｍ以下の厚さの半導体基板であっても、ダイシングを安定して行うことができるとともに高速でピックアップすることができるダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイシングフィルム部分８と、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１との間の１８０°ピール強度が０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍ、より好ましくは０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満であるダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０を用い、ダイボンディングフィルム部分の粘着剤層２に、厚さが８０μｍ以下の半導体基板２４とリングフレーム２２を貼り付けて該半導体基板をダイシングする工程と、半導体基板のダイシングにより個片化された半導体チップを、ダイボンディングフィルム部分の接着剤層とダイシングフィルム部分との間で剥離させてピックアップする工程と、を含むことを特徴とする半導体チップの製造方法。
【選択図】図２

Description

本発明は、ダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法に関する。

半導体チップ（半導体デバイス）を製造する場合、以下のような工程が行われる。
シリコンウエハ等の半導体基板（以下、単にウエハという場合がある。）の片面に所定の回路を形成した後、裏面側を研削して薄型化する。次いで、ウエハの裏面側にフィルム状接着剤（ダイボンディングフィルム）とダイシングフィルム（ダイシングテープとも呼ばれる。）を貼り付け、ダイシングによりウエハを個片化する。ダイシングにより個片化されたチップをダイシングフィルムからピックアップし、チップの裏面側のダイボンディングフィルムを介してリードフレームや他のチップ等の支持基板に貼り付ける。その後、金ワイヤによってチップと支持基板とを電気的に接続し、さらに樹脂で封止する。このようにして得られた半導体デバイスは、プリント基板等に半田を用いて装着される。

最近では、ダイボンディングフィルムとダイシングフィルムを予め積層させた、ダイシングフィルム一体型ダイボンディングフィルム（本発明では、ダイシング兼ダイボンディング用フィルム、あるいは、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルム、という場合がある。）をウエハに貼り付けてダイシングを行う方法も提案されている。
図３は、ダイシング兼ダイボンディング用フィルムの一例を示している。ＰＥＴフィルム５上に円形のダイボンディングフィルム部分６が設けられ、さらにダイボンディングフィルム部分６よりも大きい径を有するダイシングフィルム部分８が積層されている。ダイシングの際は、ＰＥＴフィルムを剥がして、図４に示されるようにダイボンディングフィルム部分６にウエハ２４の裏面側を貼り付けるとともにウエハ２４の外側のダイシングフィルム部分８にリングフレーム２２を貼り付ける。そして、ウエハ２４の回路形成面側からウエハ２４及びダイボンディングフィルム部分６を切断した後、ダイシングフィルム側からもとの半導体ウエハ２４とリングフレーム２２との間に筒状体等を押し込むなどしてダイシングフィルム８を引き伸ばし、ダイボンディングフィルム６が貼り付いた半導体チップをダイシングフィルム８からピックアップする。このようなダイシング兼ダイボンディング用フィルム２０を用いれば、ウエハ２４への貼り付け作業が一回で済み、工程を簡易化することができる。

ダイシング兼ダイボンディング用フィルム２０は、ダイシング時は強固に接着し、ピックアップ時にはダイシングフィルム部分８とダイボンディングフィルム部分６との界面で容易に剥離できる特性が要求される。
従来、例えばＵＶ硬化型ダイシングフィルムがあるが（例えば特許文献１参照）、ＵＶ硬化型ダイシングフィルムでは、ダイシングフィルムの粘着剤とダイボンディングフィルムとが反応してピックアップ時に粘着力を十分低下させることができない、ＵＶ照射後経時的に粘着力が増加する、ウエハ面内で粘着力のばらつきがある等、様々な問題がある。

一方、例えばポリオレフィン系の感圧式粘着剤を有するダイシングフィルムを使用したダイシングフィルム一体型ダイボンディングフィルムも提案されている（例えば特許文献２及び３参照）。このような感圧式粘着剤を有するダイシングフィルムを用いれば、ＵＶ硬化型のダイシングフィルムが有する問題を回避することができるものの、ウエハ２４の厚みが８０μｍ以下となるような場合、ダイシング時の粘着力とピックアップ時の粘着力を両立させることが困難となってくる。すなわち、ピックアップ時にチップを破損させずに高速でピックアップできるように粘着力が小さいダイシングフィルムを採用すると、ダイシング時にダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８が剥離したり、ダイシングフィルム部分８とリングフレーム２２との間に水が侵入してリングフレーム２２が剥離するといった問題が発生し易い。

特開２００２−１５８２７６号公報 ＷＯ２００５／１１３６９６号公報 特開２００６−１６１０３８号公報

近年、デバイスの高集積化に伴い、薄型のチップを複数段に積層することが標準化されつつある。このようなチップの多段化に伴い、裏面研削により半導体基板の厚さをより薄くすることが要求されている。近年では８０μｍ以下の厚さに加工される場合があり、今後はさらに薄型化が進むことが予想される。

そこで、本発明は、８０μｍ以下の厚さの半導体基板であっても、ダイシングを安定して行うことができるとともに高速でピックアップすることができるダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明では、以下のダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法が提供される。

＜１＞ 半導体基板をダイシングして半導体チップを製造する方法において、
前記半導体基板をダイシングする際、ダイボンディングフィルム部分とダイシングフィルム部分とを有し、前記ダイボンディングフィルム部分が、前記半導体基板とダイシング用のリングフレームを貼り付けるための粘着剤層と、前記ダイシングフィルム部分と接着した接着剤層を含み、前記ダイシングフィルム部分と、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用い、前記ダイボンディングフィルム部分の粘着剤層に、厚さが８０μｍ以下の半導体基板と前記リングフレームを貼り付けて該半導体基板をダイシングする工程と、
前記半導体基板のダイシングにより個片化された半導体チップを、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間で剥離させてピックアップする工程と、を含むことを特徴とする半導体チップの製造方法。

＜２＞ 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２０Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする＜１＞に記載の半導体チップの製造方法。

＜３＞ 前記半導体基板の厚さが６０μｍ以下であることを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載の半導体チップの製造方法。

＜４＞ 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．１８Ｎ／２５ｍｍであり、前記半導体基板の厚さが５０μｍ未満であることを特徴とする＜１＞に記載の半導体チップの製造方法。

＜５＞ 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上、０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満であり、前記半導体基板の厚さが３０μｍ未満であることを特徴とする＜１＞に記載の半導体チップの製造方法。

＜６＞ 前記ダイシングフィルム部分が、基材層と、前記ダイボンディングフィルム部分と接着した粘着剤層を含むことを特徴とする＜１＞ないし＜５＞のいずれかに記載の半導体チップの製造方法。

＜７＞ 半導体基板をダイシングして半導体チップを製造する際に使用するダイシング兼ダイボンディングフィルムであって、ダイボンディングフィルム部分とダイシングフィルム部分とを有し、前記ダイボンディングフィルム部分が、前記半導体基板とダイシング用のリングフレームを貼り付けるための粘着剤層と、前記ダイシングフィルム部分と接着した接着剤層を含み、前記ダイシングフィルム部分と、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満であることを特徴とするダイシング兼ダイボンディング用フィルム。

＜８＞ 前記ダイシングフィルム部分が、基材層と、前記ダイボンディングフィルム部分と接着した粘着剤層を含むことを特徴とする＜７＞に記載のダイシング兼ダイボンディング用フィルム。

本発明によれば、８０μｍ以下の厚さの半導体基板であっても、ダイシングを安定して行うことができるとともに高速でピックアップすることができるダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法が提供される。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルム及び半導体チップの製造方法について具体的に説明する。
本発明者らは、厚さが薄い半導体基板から半導体チップを製造する技術について鋭意研究及び検討を行った。その結果、厚さが８０μｍ以下の半導体基板の場合、ダイシングフィルム部分とダイボンディングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が０．０５Ｎ／２５ｍｍ未満であると、ダイシング時にダイシングフィルム部分とダイボンディングフィルム部分との剥離が生じ易く、一方、０．２５Ｎ／２５ｍｍを超えると、ダイシング後、ピックアップ時にピックアップできなかったり、チップにクラックが入り易くなることが判明した。

ところが、上記ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．２５Ｎ／２５ｍｍ未満であっても、図４に示したようにダイボンディングフィルム部分６にウエハ２４を貼り付け、ダイシングフィルム部分８にリングフレーム２２を貼り付けてダイシングを行うと、ダイシング時にダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８との間や、リングフレーム２２とダイシングフィルム部分８との間に水が侵入し易く、剥離が生じ易いことが分かった。

そして、本発明者らは、厚さが８０μｍ以下の半導体基板の場合には、ダイシングフィルム部分とダイボンディングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用い、ダイボンディングフィルム部分の粘着剤層に、半導体基板とリングフレームを貼り付けて該半導体基板のダイシングを行えば、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離などが発生し難く、ダイシング後においてはチップを破損することなく高速でピックアップすることができることを見出した。

さらに本発明者らは、厚さがより薄い半導体基板を用いて半導体チップを製造する場合について研究及び検討を重ねたところ、半導体基板の厚さが６０μｍ以下である場合には、好ましくは上記ピール強度が０．０５〜０．２０Ｎ／２５ｍｍのダイボンディングフィルムを用い、半導体基板の厚さが５０μｍ未満である場合には、上記ピール強度が０．０５〜０．１８Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用い、さらに、半導体基板の厚さが３０μｍ未満である場合には、上記ピール強度が０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上、０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満のダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用いることで、安定したダイシングと高速でのピックアップを行うことができることを見出し、本発明の完成に至った。

図１は、本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルムの一例を示す概略図である。このダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０は、表面処理したＰＥＴフィルム５上に同じ径を有する円形のダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８とが積層されている。
ダイボンディングフィルム部分６は、ダイシングの際に半導体基板とダイシング用のリングフレームを貼り付けるための粘着剤層２と、ダイシングフィルム部分８と接着する接着剤層１とから構成されている。一方、ダイシングフィルム部分８は、基材層３と粘着剤層４とから構成されている。そして、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４とダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１とが接着して一体化されており、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４とダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．２５Ｎ／２５ｍｍ未満となっている。

図２は、本発明において半導体基板のダイシングを行う際のマウント構造を示している。すなわち、本発明では、厚さが８０μｍ以下の半導体基板のダイシングを行う際、上記のようなダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０を用い、ダイボンディングフィルム部分６の粘着剤層２に、半導体基板２４とリングフレーム２２を貼り付けてダイシングを行う。このようにダイシングを行えば、ダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８との剥離や、ダイボンディングフィルム部分６とリングフレーム２２との剥離を防ぐことができるとともにチップ飛びを防ぐことができる。また、ダイシング後においては個片化された半導体チップを高速でピックアップすることができる。
以下、本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０の各層を構成する材質等について具体的に説明する。

＜ダイボンディングフィルム部分の接着剤層＞
ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１は、ダイシングフィルム部分８と接着し、本発明では、ダイシングフィルム部分８とダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．２５Ｎ／２５ｍｍ未満となるような材質を採用する。接着剤層１は、これと接着するダイシングフィルム部分８の材質等にもよるが、例えば、熱可塑性ポリイミドを主成分として含み、ポリイミドのガラス転移温度が１００℃以下である接着剤を好適に使用することができる。

熱可塑性ポリイミドとしては、分子内に鎖状ポリエーテルを有するジアミンを含むジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られるポリイミドであることが好ましい。

分子内に鎖状ポリエーテルを有するジアミンの具体例としては、例えばポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｏ−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｍ−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｏ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｍ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエート等が挙げられるが、これらに限定されない。好ましくは、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエートである。

分子内に鎖状ポリエーテルを有するジアミンの全ジアミン成分に含まれる量は、１０モル％以上９０モル％以下とすれば、ガラス転移温度が適度な値となり、好ましい。
また、接着性の観点から、ジアミン成分には、分子内に少なくとも１個のフェノール性ヒドロキシル基を有するジアミンを含むことがより好ましい。
フェノール性ヒドロキシル基を有するジアミンとしては、特に限定なく使用できるが、下記一般式（１）〜（３）で表されるジアミンが好ましい。

上記一般式（１）〜（３）においてＺはそれぞれ独立に直結あるいは２価の有機基を表す。
Ｚの２価の有機基としては、炭素数２〜２７の、脂肪族基、脂環族基、単環式芳香族基、縮合多環式芳香族基、さらに芳香族基が直接または架橋員によって相互に連結された非縮合環式芳香族基等が挙げられる。

一般式（１）〜（３）で表されるジアミンの具体例としては、例えば、２，３−ジアミノフェノール、２，４−ジアミノフェノール、２，５−ジアミノフェノール、２，６−ジアミノフェノール、３，４−ジアミノフェノール、３，５−ジアミノフェノール、３，６−ジアミノフェノール、４，５−ジアミノフェノール、４，６−ジアミノフェノール、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジヒドロキシビフェニル、４，４’−ジアミノ−２，２’−ジヒドロキシビフェニル、４，４’−ジアミノ−２，２’，５，５’−テトラヒドロキシビフェニル、３，３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジヒドロキシジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−２，２’−ジヒドロキシジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−２，２’，５，５’−テトラヒドロキシジフェニルメタン、２，２−ビス[３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル]プロパン、２，２−ビス[４−アミノ−３−ヒドロキシフェニル]プロパン等が挙げられる。

フェノール性ヒドロキシル基を有するジアミンは、耐熱性及び接着性の観点から、全ジアミン成分中に０．１〜１０モル％であることが好ましく、更に好ましくは１〜５モル％である。

本発明で使用できる分子内に鎖状ポリエーテルを有するジアミンや分子内に少なくとも１個のフェノール性ヒドロキシル基を有するジアミン以外のその他のジアミンとしては、ポリイミドとした際のガラス転移温度が１００℃以下であれば特に限定なく使用できる。例えば、ｍ−フェニレンジアミン、ｏ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、ビス（３−アミノフェニル）スルフィド、ビス（４−アミノフェニル）スルフィド、ビス（３−アミノフェニル）スルホキシド、ビス（４−アミノフェニル）スルホキシド、ビス（３−アミノフェニル）スルホン、ビス（４−アミノフェニル）スルホン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］ブタン、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ビス（３−アミノプロピル）ジシロキサン、１，１，３，３−テトラフェニル−１，３−ビス（３−アミノプロピル）ジシロキサン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｏ−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｍ−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｏ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｍ−アミノベンゾエート、ポリトリメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエート等が挙げられる。

また、同様に、本発明で使用できるテトラカルボン酸二無水物成分としては、ポリイミドとした際のガラス転移温度が１００℃以下であれば特に限定なく使用できる。例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、エチレングリコールビストリメリート二無水物、２，２−ビス（４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル）プロパン二無水物、α，ω−ポリジメチルシロキサンテトラカルボン酸二無水物、α，ω−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ポリジメチルシロキサン二無水物等が挙げられる。

上記のようなポリイミドの製造方法としては、特に限定されないが、有機溶媒中で反応を行うことが好ましい。この反応において用いられる溶媒として、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トルエン、キシレン、メシチレン、フェノール、クレゾール等が挙げられる。

また、反応原料の溶媒中の濃度は、通常、２〜５０重量％、好ましくは５〜４０重量％であり、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分との反応モル比は、テトラカルボン酸成分／ジアミン成分で０．８〜１．２の範囲であることが好ましい。この範囲であれば、耐熱性が高くなり好ましい。

ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸合成における反応温度は、通常、６０℃以下、好ましくは５０℃以下１０℃以上である。反応圧力は特に限定されず、常圧で十分実施できる。また、反応時間は反応原料の種類、溶媒の種類および反応温度によって異なるが、通常０．５〜２４時間で十分である。本発明に係るポリイミドは、このようにして得られたポリアミド酸を１００〜４００℃に加熱してイミド化するか、または無水酢酸等のイミド化剤を用いて化学イミド化することにより、ポリアミド酸に対応する繰り返し単位構造を有するポリイミドが得られる。

また、１３０℃〜２５０℃で反応を行うことにより、ポリアミド酸の生成と熱イミド化反応が同時に進行し、本発明に係るポリイミドを得ることができる。すなわち、ジアミン成分とテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中に懸濁または溶解させ、１３０〜２５０℃の加熱下に反応を行い、ポリアミド酸の生成と脱水イミド化とを同時に行わせることにより、本発明に係るポリイミドを得ることができる。

本発明に係るポリイミドの分子量に特に制限はなく、用途や加工方法に応じ、任意の分子量とすることができる。本発明のポリイミドは、用いるジアミン成分、テトラカルボン酸二無水物の量比を調節することにより、例えば、ポリイミドを０．５ｇ／ｄｌの濃度でＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解した後、３５℃で測定した対数粘度の値を、０．１〜３．０ｄｌ／ｇの任意の値とすることができる。

なお、本発明に係るポリイミドは、１００％イミド化したポリイミド以外に、その前駆体であるポリアミド酸が一部共存した樹脂も含まれる。また、上記反応で得られたポリイミド溶液はそのまま用いても良いが、該ポリイミド溶液を貧溶媒中に投入してポリイミドを再沈析出させても良い。

本発明に係るダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１は、耐熱性を向上させる観点から熱硬化性樹脂及びフィラーを含有してもよい。
熱硬化性樹脂の具体例としては、例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦのグリシジルエーテル、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ化合物等が挙げられる。
熱硬化性樹脂の配合量は、熱可塑性ポリイミド１００重量部に対して、好ましくは１〜２００重量部、より好ましくは１〜１００重量部である。この範囲であれば、高い耐熱性が維持されるとともに、フィルム状に形成し易くなる。

また、フィラーとしては、例えば、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等の有機フィラー、アルミナ、窒化アルミ、シリカ等の無機フィラーが挙げられる。
フィラーの配合量は熱可塑性ポリイミド１００重量部に対して５０００重量部以下が好ましく、より好ましくは３０００重量部以下である。この範囲内であれば、樹脂溶液状態でフィラーが沈降し難く、樹脂溶液の保存安定性に優れ、また高い接着性を維持することができる。

本発明に係るダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１は、必要に応じて、硬化剤を配合しても良い。硬化剤としては、例えば、イミダゾール系硬化剤、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤等が挙げられる。
硬化剤の配合量は、熱硬化性樹脂１００重量部に対して、２０重量部以下であることが好ましい。この範囲内であれば、樹脂溶液状態でゲルが生じにくく、樹脂溶液の保存安定性に優れたものとなる。

また、本発明に係るダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１は、必要に応じてカップリング剤を添加しても良い。カップリング剤は、樹脂溶解溶剤への溶解性が良好なものが好ましく、例えば、シラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤等が挙げられる。
カップリング剤の配合量はポリイミド１００重量部に対して５０重量部以下、好ましくは３０重量部以下である。この範囲内であれば、耐熱性の低下を防ぐことができる。

接着剤層１の厚みは、材質等にもよるが、ダイボンディングフィルムとしての強度、チップの薄型化への対応を考慮し、５〜１００μｍとすることが好ましい。

＜ダイボンディングフィルム部分の粘着剤層＞
ダイボンディングフィルム部分６の粘着剤層２は、ダイシングの際、半導体基板２４とダイシング用のリングフレーム２２を貼り付け、ダイシング後、ピックアップ時にも半導体チップに貼り付いている必要があり、さらに、半導体パッケージとした後、例えば２５０℃以上の半田リフロー工程で膨れや剥がれ等の不具合が生じない材質を選択する。このような特性を有する粘着剤層２の具体例としてはシリコーン系粘着剤、アクリル系粘着剤等が挙げられる。

また、粘着剤層２の厚みは、シリコンウエハ等の半導体基板とリングフレームに対する密着性、耐熱性、チップの薄型化等の観点から、１〜１０μｍが好ましい。ダイボンディングフィルム部分６の粘着剤層２がこのような厚みであれば、ダイシングの際、半導体基板２４とリングフレーム２２に対して強い密着性を有するとともに、リフロー工程等の高温時においても剥離を効果的に防ぐことができる。また、粘着剤層２の厚さが上記のように薄ければ半導体チップの多段積層にも好都合である。

＜ダイシングフィルム部分の基材層＞
ダイシングフィルム部分８を構成する支持基材３としては、具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル等が挙げられる。また、支持基材３の２５℃での引張弾性率は、ピックアップ時のエキスパンド性の観点から５００ＭＰａ以下が好ましく、更に好ましくは４００ＭＰａ以下である。ダイシングフィルム部分８の基材層３の厚さはその材質等にもよるが、ダイシングフィルムとしての強度やダイシング後のピックアップ性等を考慮すると、５０〜１５０μｍ程度が好ましい。

＜ダイシングフィルム部分の粘着剤層＞
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４は、前記したように、ダイボンディングフィルム６の接着剤層１と接着し、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４と、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍとなるように、従来から公知の様々な構成成分により形成でき、何ら限定されるものではないが、ゴム系粘着材料、アクリル系粘着材料、シリコーン系粘着材料、ポリビニルエーテル系粘着材料、オレフィン系粘着材料等を用いることができる。
これらの材料の中で、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１への汚染が実質的に無い点、保存や輸送環境において粘着力が安定である点、環境への負荷が低い点、腐食性イオンや金属イオンを殆ど含まない点、基材層３と相互に強固な接着を形成し易い点から、α−オレフィン共重合体を主成分として用いることが好ましい。さらには、炭素原子数２〜１２のα−オレフィンから選ばれる少なくとも２種のα−オレフィンを主な単位成分とするα−オレフィン共重合体の１種または２種以上の混合物を主成分とするものが好ましい。炭素原子数２〜１２のα−オレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、３−メチル−１−ペンテン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン等が挙げられる。これらのα−オレフィンから選ばれる少なくとも２種の単量体からなる共重合体を、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４の主成分とする場合、粘着層４中に占めるα−オレフィン共重合体の総含有割合は、３０重量％以上が好ましく、特に５０重量％以上とすることが好ましい。
ダイシングフィルム部分８の粘着層４の構成成分としては、α−オレフィン共重合体以外に、エチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーやハロゲン元素を含まない熱可塑性エラストマーを適宜加えてもよい。エチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーやハロゲン元素を含まない熱可塑性エラストマーを加えることにより、ガラス転移温度が低下する傾向にあり、初期粘着強度を適正な範囲に調整しやすくなる。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４に、α−オレフィン系共重合体や熱可塑性エラストマーの一部に、酸素や窒素を含む極性基や不飽和結合を有する基を適度に導入してもよい。この場合、貼り付けた後での粘着強度の経時変化（加温、加圧、湿度、紫外線等による）を抑制しやすくなる。
前記のエチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーは、エチレンと他のα−オレフィンとの低分子量共重合体であって、通常、数平均分子量が１００〜１００００の範囲のものが好ましく、より好ましくは数平均分子量が２００〜５０００の範囲のものである。
また、熱可塑性エラストマーとしては、例えば、スチレン・ブタジエンブロック共重合体（ＳＢＲ）、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）、水添したスチレン・ブタジエンブロック共重合体（ＨＳＢＲ）、スチレン・エチレン・ブチレン・オレフィン（結晶性）ブロック共重合体（ＳＥＢＣ）、オレフィン（結晶性）・エチレン・ブチレン・オレフィン（結晶性）ブロック共重合体（ＣＥＢＣ）などが挙げられる。このＳＩＳの具体例としては、ＪＳＲ株式会社から商品名：ＪＳＲＳＩＳ（登録商標）として、またはシェル化学株式会社から商品名：クレイトンＤ（登録商標）として市販されているものなどが挙げられる。また、ＳＥＰＳの具体例としては、株式会社クラレから商品名：セプトン（登録商標）として市販されているものなどが挙げられる。ＨＳＢＲとＳＥＢＳとＳＥＢＣとＣＥＢＣの具体例としては、ＪＳＲ株式会社から商品名：ＤＹＮＡＲＯＮ（登録商標）として市販されているものが挙げられる。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４には、前記α−オレフィン系共重合体、エチレンと他のα-オレフィンとのコオリゴマーおよび熱可塑性エラストマー以外に、さらに各種の副成分を、本発明の目的を損ねない範囲で含んでいてもよい。例えば、液状ブチルゴム等の可塑剤、ポリテルペン等のタッキファイヤーなどを含んでいてもよい。

粘着剤層４の厚さはその材質等にもよるが、ダイシングフィルムとしての強度やピックアップ性等を考慮すると、５〜２０μｍ程度が好ましい。

本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０を製造する方法は特に限定されるものではないが、例えば、ダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８とを別々に作製した後、これらのフィルムをラミネートすることで容易に製造することができる。
ダイボンディングフィルム部分６は、例えば、ポリイミド樹脂を主成分として含む溶液を離型処理されたＰＥＴ等の支持フィルム上に塗布して乾燥させ、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１を形成する。次いで、接着剤層１上に、ダイボンディングフィルム部分６の粘着剤層２を形成する粘着剤溶液を塗布して乾燥させることにより粘着剤層２を形成する。
一方、ダイシングフィルム部分８は、押出成形等で基材層３及び粘着剤層４からなるダイシングフィルムを形成する。

そして、ダイボンディングフィルム部分６とダイシングフィルム部分８を、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４と、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１とを貼り合わせるようにラミネートした後、円周カットすればよい。ここで、ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４とダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍとなるようにする必要がある。このようなピール強度とするには、例えば、ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１やダイシングフィルム部分８の粘着剤層４の成分比率、貼り合わせる面の粗度等を調整することでピール強度を所望の範囲内に制御することができる。
このような方法により本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルム１０を製造することができる。

以下、実施例及び比較例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

［ダイシング兼ダイボンディング用フィルムの製造］
まず、実施例及び比較例で用いたダイシング兼ダイボンディング用フィルムの製造手順について説明する。

＜ダイボンディングフィルム部分の作製＞
ダイボンディングフィルム部分は以下の手順により作製した。
攪拌機、窒素導入管、温度計、メシチレンを満たしたディーンスターク管を備えた３リットルの５つ口のセパラブルフラスコに、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−ｐ−アミノベンゾエート（イハラケミカル工業株式会社製、商品名：エラスマー１０００、平均分子量１２６８）１６１．１ｇ、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物３９４．２ｇ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン８８０ｇ、メシチレン３８０ｇを窒素雰囲気下で溶解させ、そこにビスアミノプロピルテトラメチルジシロキサン（信越化学工業株式会社製、商品名：ＰＡＭ−Ｅ）２７５．０ｇを少量ずつ添加した。その後、窒素導入管を溶液内に挿入してバブリング状態とし、系内の温度を１７０℃〜１８０℃に加熱し、水を共沸除去しながら１２時間保持した。冷却後、メシチレン１２６０ｇを加えて希釈し、４，４’−ジミアノ−３，３’−ジヒドロキシビフェニル（和歌山精化工業株式会社製、商品名：ＨＡＢ）８．００２ｇを添加し、熱可塑性ポリイミドの溶液を得た。
得られたポリイミド固形分１００質量部に対して、エポキシ化合物（三井化学株式会社製、ＶＧ３１０１）２０質量部、シリカ系フィラー（株式会社龍森製、１−ＦＸ）３９質量部を配合し、攪拌機にて十分に混合し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物を表面処理ＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、銘柄ＴＮ１１０、厚み３８μｍ）上にダイコータにて塗布し、１２０℃で３分間加熱乾燥し、厚さ２２μｍの接着剤層１を得た。

アクリル粘着剤（株式会社日本触媒製：アクリセット５２０７）１００質量部、架橋剤（日本ポリウレタン株式会社：コロネートＬ−５５Ｅ）１．５質量部、酢酸エチル（関東化学製）１７０質量部を攪拌混合した樹脂組成物を、表面処理ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製、銘柄 ピューレックス Ａ３１、厚さ５０μｍ）上にグラビアコータにて塗布し、８０℃で１分間加熱乾燥した後に、先に形成した接着剤層１と室温で貼り合せて厚さ３μｍの粘着剤層２を形成した。貼り合せ圧力は０．２７５ＭＰａで行った。

ここで、接着剤層１のＰＥＴフィルムとは反対側の面に粘着剤層２を貼り合せた場合を貼り合せ構造Ａ１とし、接着剤層１をＰＥＴフィルムから一旦剥離し、ＰＥＴフィルムが貼り付いていた面に粘着剤層２を貼り合せた場合を貼り合せ構造Ａ２とした。このようにすることで、ダイシングフィルムと貼り合わせる面が変わり、ピール強度を異ならせることができる。接着剤層１と粘着剤層２を貼り合せた後に、４０℃で３日間放置して粘着剤層２の粘着力を安定化させた。

＜ダイシングフィルム部分の作製＞
ダイシングフィルム部分は以下の手順により作製した。
基材層３は、表面層と、粘着剤層４と接する中間層との２層からなり、基材層３と粘着剤層４とを三層共押出成形方法により製造した。
基材層３の表面層を形成する成分として、低密度ポリエチレン（三井化学（株）製、ミラソン１１ＰＬＤＰＥ；密度０．９２ｇ／ｃｍ^３）１００質量部を用いた。一方、基材層３の中間層を構成する成分として、シンジオクタクティックプロピレン重合体（ｓ−ＰＰ；ＡＴＯＦＩＮＡ，ＰＥＴＲＯＣＨＥＭＩＣＡＬＳ，ＩＮＣ．製：ＦＩＮＡＰＬＡＳＴＭ１５７１；密度０．８７ｇ／ｃｍ^３）４０質量部と、エチレンブテン共重合体（三井化学（株）製、タフマーＡ２０８５ＷＳＥＢ−Ａ；密度０．８９ｇ／ｃｍ^３）５５質量部と、ＰＰ系青色顔料（ｂ−ｄｙｅ；日本ピグメント（株）製；５Ｂ−Ｆ０７６１ＭＢブルー）３質量部と、高密度ポリエチレン（三井化学（株）製、ハイゼックス２１００Ｊ、ＨＤＰＥ；密度０．９６ｇ／ｃｍ^３）２質量部とを用いた。

粘着剤層４を構成する成分として、プロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）８１〜５４質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）５〜３２質量部と、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ；ＪＳＲ（株）製 ＳＩＳ５２２９Ｎ）４質量部、エチレンとα−オレフィンのコオリゴマー（ＬＥＯ；三井化学（株）製ルーカントＨＣ−２０）２質量部、オレフィン結晶・エチレン・ブチレン・オレフィン結晶ブロック共重合体（ＣＥＢＣ：ＪＳＲ（株）製ＤＹＮＡＲＯＮＴＭ６２００Ｐ）８質量部とを用いた。ＰＢ（４−ＭＰ）とｈ−ＰＰの比率を変えて粘着力を調節した。

次いで、各層３，４の材料をフルルライト型のスクリューを備えた押し出し機により溶融した。成形条件（溶融温度）は、粘着剤層：２２０℃、中間層：２３０℃、表面層：２２０℃であり、この３層の溶融樹脂を多層ダイ内で積層させた（共押出温度：２３０℃）。押し出された粘着フィルムを冷却し、スリットして巻き取った。
このようにして得られた粘着フィルムは、２層からなる基材層３と、粘着剤層４が積層されたものであり、各層の厚さは、粘着剤層：１４μｍ、基材：６６μｍ（表面層／中間層＝１４／５２μｍ）で、合計厚さは８０μｍであった。

＜図１に示す構造のフィルムの作製＞
上記のような方法により得たダイボンディングフィルム（接着剤層１＋粘着剤層２＋表面処理ＰＥＴフィルム５）の接着剤層１側に、ダイシングフィルム（支持基材３＋粘着剤層４）の粘着剤層４を介して１００℃でラミネートした後、ダイシングフィルムの基材層３側からφ２７０ｍｍの円形でダイボンディングフィルムの粘着剤層２が切れるまで打ち抜き加工を行い、図１に示すような構造（本明細書では「Ｂ１構造」と呼ぶ）のプリカットタイプのダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを得た。

上記のようにして得られたダイシングフィルムとダイボンディングフィルムを貼りあわせた後、２４時間以上経過したものをサンプルとして各種評価を行った。
また、後述する各実施例及び比較例において、上記Ｂ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用いる場合は、図２に示すようなマウント構造でウエハのダイシングを行った。

＜図３に示す構造のフィルムの作製＞
ダイボンディングフィルム（接着剤層１＋粘着剤層２＋表面処理ＰＥＴフィルム５）を、φ２２０ｍｍの円形で粘着剤層２が切れるまで打ち抜き加工を行った。そして、このダイボンディングフィルムの接着剤層１側に、ダイシングフィルム（基材層３＋粘着剤層４）の粘着剤層４を介して１００℃でラミネートし、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを得た。
得られたダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムをダイシングフィルム基材層３側からφ２７０ｍｍの円形でダイシングフィルムの粘着剤層４が切れるまで打ち抜き加工を行い、図３に示すような構造（本明細書では「Ｂ２構造」と呼ぶ）のプリカットタイプのダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを得た。

上記のようにして得られたダイシングフィルムとダイボンディングフィルムを貼りあわせた後、２４時間以上経過したものをサンプルとして各種評価を行った。
また、後述する比較例において、上記Ｂ２構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用いる場合は、図４に示すようなマウント構造でウエハのダイシングを行った。

［評価方法］
実施例及び比較例の各特性は以下の方法により測定した。

＜ピール強度＞
図５は、実施例及び比較例で得たダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムにおけるピール強度の測定方法を概略的に示している。なお、以下に示した条件以外は、JIS C 6471に準じて測定した。
実施例及び比較例で得たダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを、ラミネート後１日以上経過後、２５ｍｍ幅×２００ｍｍ長の短冊状に切断し、２５ｍｍ幅×１００ｍｍ長×１ｍｍ厚のガラスエポキシ基板３６に、測定中に剥がれない様に両面テープを介してダイボンディングフィルム粘着剤層２側を貼付ける。次いで、ガラスエポキシ基板３６の端部で短冊状のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを折り返し、折り返し部からダイボンディングフィルム接着剤層１とダイシングフィルム粘着剤層４との界面で約５０ｍｍほど剥離する。

ガラスエポキシ基板３６とダイボンディングフィルム部分（ダイボンディングフィルム粘着剤層２＋ダイボンディングフィルム接着剤層１）を測定装置（東洋精機社製、ストログラフＭ−１）の下側チャック部３２に固定し、上側チャック部３４には剥離して折り返したダイシングフィルム部分（ダイシングフィルム基材層３＋ダイシングフィルム粘着剤層４）の端部を固定した。その後、３００ｍｍ／ｍｉｎの速度にて１８０°剥離強度を測定した。各実施例につき、サンプルを５点分取し、分取したサンプル毎に測定値を行い（計５回）、この５回の平均値をもってピール強度とした。

＜ダイシング性＞
日東電工製 DR3000IIにて８インチミラーウエハにバックグラインドテープ(三井化学製 銘柄イクロステープＳＢ−１９５ＨＲＢ−ＣＣＨ−ＰＴ２)をラミネートし、ディスコ製ＤＧＰ８７６０にて２５〜７０μｍ厚まで研削を実施した。
研削後、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用い、ディスコ製ＤＦＭ２７００にてウエハのダイシング用リングフレームへの貼り付けを室温で行った。前記したように、図２は、図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用いてウエハを貼り付けた状態の断面を概略的に示している。また、図４は、図３に示すＢ２構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用いてウエハを貼り付けた状態の断面を概略的に示している。

ダイシング用リングフレームにウエハを貼り付けた後、更にディスコ製 ＤＦＤ６３４０により、シャワー水量１．５Ｌ／ｍｉｎ、スプレー水量１．５Ｌ／ｍｉｎ、ブレードクーラー水量１．０Ｌ／ｍｉｎ、ブレード速度３０ｍｍ／ｓｅｃの条件下で、３ｍｍ角チップにダイシングを行った。
ダイシング後にチップ飛び、フィルム内の剥離、及びダイシングフレームの剥離の有無について目視による判定を実施した。

＜ピックアップ性＞
日東電工製 DR3000IIにて８インチミラーウエハにＢＧテープ（三井化学製 ＳＢ−１９５ＨＲＢ−ＣＣＨ−ＰＴ２）をラミネートし、ディスコ製ＤＧＰ８７６０にて２５〜７０μｍ厚まで研削を実施した後に、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを用い、ディスコ製ＤＦＭ２７００にてウエハのダイシング用リングフレームへの貼り付けを室温で行った。更にディスコ製 ＤＦＤ６３４０により、シャワー水量１．０Ｌ／ｍｉｎ、スプレー水量１．０Ｌ／ｍｉｎ、ブレードクーラー水量１．０Ｌ／ｍｉｎ、ブレード速度３０ｍｍ／ｓｅｃの条件下で、１０ｍｍ角チップにダイシングを行った。

ダイシングしたサンプルをキャノンマシナリー製 ＣＰＳ３０００＋ニードルレスユニットにて、スライダー速度を３０ｍｍ／ｓｅｃと１００ｍｍ／ｓｅｃ、エキスパンド量４ｍｍ、ピックアップ後タイマー０．１ｓｅｃの条件下で、ピックアップが５個連続でピックアップできた場合をピックアップ可能とし、１個でもピックアップが実施できなかったものはピックアップ不可とした。

＜実施例１＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。 ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ１とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）５４質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）３２質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．０７Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃと１００ｍｍ／ｓｅｃの両条件で、全てのチップ厚みで５個連続ピックアップできた。

＜実施例２＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。 ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ１とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）５８質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２８質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．１０Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームからの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全てのチップ厚みで５個連続ピックアップできた。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、２５μｍ厚のチップ以外では５個連続ピックアップできた。

＜実施例３＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ１とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）６２質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２４質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．１２Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームからの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全てのチップ厚みで５個連続ピックアップできた。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、５０μｍと７０μｍ厚で５個連続ピックアップできた。

＜実施例４＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）５８質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２８質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．１７Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームからの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全てのチップ厚みで５個連続ピックアップできた。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、７０μｍ厚では５個連続ピックアップできた。

＜実施例５＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）６２質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２４質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．１９Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームからの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、５０μｍ厚と７０μｍ厚で５個連続でピックアップできた。ただし、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。

＜実施例６＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６を構成する接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）６６質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２０質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．２３Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームからの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、７０μｍ厚で５個連続でピックアップできた。ただし、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。

＜比較例１＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）７０質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）１６質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．３２Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでも、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。

＜比較例２＞
図１に示すＢ１構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）７４質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）１２質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．４７Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでも、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。

＜比較例３＞
図３に示すＢ２構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）５８質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）２８質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は０．１０Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離が発生した。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った時にも、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離が発生した。このため、ピックアップの評価を行う事は出来なかった。

＜比較例４＞
図３に示すＢ２構造のダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを作製した。
ダイボンディングフィルム部分６の接着剤層１と粘着剤層２との貼り合せ構造はＡ２とした。
ダイシングフィルム部分８の粘着剤層４を構成する成分は、フロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）８１質量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ^３）５質量部とした。

粘着剤層４と接着剤層１との間の剥離強度は１．００Ｎ／２５ｍｍであった。
ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを５０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、３ｍｍ角にダイシングで個片化を行ったところ、チップ飛び、フィルム内の剥離、ダイシングフレームの剥離などの発生は無く良好にダイシングすることができた。
さらに、ダイシングフィルム付きダイボンディングフィルムを２５μｍ、３７．５μｍ、５０μｍ、７０μｍ厚のＳｉウエハに室温で貼付後、１０ｍｍ角にダイシングで個片化を行った。ピックアップ速度３０ｍｍ／ｓｅｃでは、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。また、ピックアップ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでも、全ての厚みのチップでピックアップできなかった。

上記実施例及び比較例におけるダイシング兼ダイボンディング用フィルムの特性等を表１に、評価結果を表２に示す。

表１及び表２から、厚さが７０μｍの薄い半導体基板であっても、ダイシングフィルム部分とダイボンディングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用い、かつ、図２に示されるようにマウントしてダイシング及びピックアップを行えば、剥離することなくダイシングを行うことができるとともに、３０ｍｍ／ｓｅｃでは確実にピックアップを行うことができることがわかる。
厚さが２５μｍの極薄の半導体基板でも、実施例１の場合、すなわち、上記ピール強度が０．０７Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用いれば、ダイシングを良好に行うことができるとともに、１００ｍｍ／ｓｅｃでもピックアップを確実に行うことができることがわかる。

以上、本発明について説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態及び実施例では、ダイシングフィルム部分は基材層と粘着剤層とから構成されているものについて説明したが、単層構造のもの、すなわち、自己支持性を有するある程度の硬度がある粘着性のフィルムを採用することもできる。
また、ダイシングを行う半導体基板はシリコンウエハに限定されず、化合物半導体から半導体チップを製造する場合にも本発明を適用することができる。

本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルムの構造の一例を示す概略図である。（Ａ）平面図 （Ｂ）Ａ−Ａ´断面図 図１に示すダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用いて半導体基板のダイシングを行う際のマウント構造を示す概略断面図である。 従来のダイシング兼ダイボンディング用フィルムの構造の一例を示す概略図である。（Ａ）平面図 （Ｂ）Ａ−Ａ´断面図 図３に示すダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用いて半導体基板のダイシングを行う際のマウント構造を示す概略断面図である。 本発明に係るダイシング兼ダイボンディング用フィルムのピール強度の測定方法を示す概略図である。

符号の説明

１・・・ダイボンディングフィルム接着剤層
２・・・ダイボンディングフィルム粘着剤層
３・・・ダイシングフィルム基材層
４・・・ダイシングフィルム粘着剤層
５・・・ＰＥＴフィルム
６・・・ダイボンディングフィルム部分
８・・・ダイシングフィルム部分
１０・・・ダイシング兼ダイボンディング用フィルム
２２・・・ダイシング用リングフレーム
２４・・・半導体基板

Claims (8)

1. 半導体基板をダイシングして半導体チップを製造する方法において、
   前記半導体基板をダイシングする際、ダイボンディングフィルム部分とダイシングフィルム部分とを有し、前記ダイボンディングフィルム部分が、前記半導体基板とダイシング用のリングフレームを貼り付けるための粘着剤層と、前記ダイシングフィルム部分と接着した接着剤層を含み、前記ダイシングフィルム部分と、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２５Ｎ／２５ｍｍであるダイシング兼ダイボンディング用フィルムを用い、前記ダイボンディングフィルム部分の粘着剤層に、厚さが８０μｍ以下の半導体基板と前記リングフレームを貼り付けて該半導体基板をダイシングする工程と、
   前記半導体基板のダイシングにより個片化された半導体チップを、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間で剥離させてピックアップする工程と、を含むことを特徴とする半導体チップの製造方法。
2. 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．２０Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の半導体チップの製造方法。
3. 前記半導体基板の厚さが６０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半導体チップの製造方法。
4. 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５〜０．１８Ｎ／２５ｍｍであり、前記半導体基板の厚さが５０μｍ未満であることを特徴とする請求項１に記載の半導体チップの製造方法。
5. 前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層と前記ダイシングフィルム部分との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上、０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満であり、前記半導体基板の厚さが３０μｍ未満であることを特徴とする請求項１に記載の半導体チップの製造方法。
6. 前記ダイシングフィルム部分が、基材層と、前記ダイボンディングフィルム部分と接着した粘着剤層を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の半導体チップの製造方法。
7. 半導体基板をダイシングして半導体チップを製造する際に使用するダイシング兼ダイボンディングフィルムであって、ダイボンディングフィルム部分とダイシングフィルム部分とを有し、前記ダイボンディングフィルム部分が、前記半導体基板とダイシング用のリングフレームを貼り付けるための粘着剤層と、前記ダイシングフィルム部分と接着した接着剤層を含み、前記ダイシングフィルム部分と、前記ダイボンディングフィルム部分の接着剤層との間の１８０°ピール強度が、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．１０Ｎ／２５ｍｍ未満であることを特徴とするダイシング兼ダイボンディング用フィルム。
8. 前記ダイシングフィルム部分が、基材層と、前記ダイボンディングフィルム部分と接着した粘着剤層を含むことを特徴とする請求項７に記載のダイシング兼ダイボンディング用フィルム。

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