JP2008152066A - 表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】極めて簡単な構成で、導電体層の破損に対する修復を可能にする表示装置の製造方法の提供。
【解決手段】基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、
前記導電体層に破損部が生じている場合、その破損部とその近傍における半導体層の部分を結晶化させる。
【選択図】図1
【解決手段】基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、
前記導電体層に破損部が生じている場合、その破損部とその近傍における半導体層の部分を結晶化させる。
【選択図】図1
Description
本発明は表示装置およびその製造方法に係り、特に、各画素に薄膜トランジスタを備える表示装置およびその製造方法に関する。
たとえばアクティブ・マトリックス型の表示装置は、基板面に、そのx方向に延在しy方向に並設されるゲート信号線とy方向に延在しx方向に並設されるドレイン信号線とで囲まれた各領域を画素領域とし、これら各画素領域に、一方のゲート信号線からの走査信号の供給によって駆動される薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタを介してドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とが備えられて構成されている。
そして、このような各信号線、薄膜トランジスタ、および画素電極等は、フォトリソグラフィ技術によるエッチングによって所定のパターンで形成された導電体層、半導体層、あるいは絶縁体層を積層させることによって形成されている。
この場合、ドレイン電極を半導体層よりも上方に形成する薄膜トランジスタを備えるものにあって、たとえば、前記半導体層のエッチングの際に用いるマスクを、該半導体層の上面に形成される該薄膜トランジスタのドレイン電極、ソース電極およびこれら電極に接続される導電体層の形成の際に用いたフォトレジスト膜を溶融によってリフローさせた変形フォトレジスト膜によって形成するいわゆるレジストリフロー方式と称される製造方法が採用される場合がある。これにより、フォトリソグラフィ技術によるマスクの形成の回数を減らし、表示装置の製造を簡単にすることができるからである。
このレジストリフロー方式を用いた表示装置の製造方法は、たとえば下記特許文献1に開示されている。
特開2002−334830号公報
特開2003−215640号公報
特開平8−139335号公報
しかし、たとえば前記レジストリフロー方式を用いて形成された表示装置にあっても、近年の高精細化の向上の背景においてたとえばドレイン信号線の幅が小さく形成されてきており、往々にして該ドレイン信号線の断面の発生を免れないものとなっている。
この場合、たとえば上記特許文献2等に示すように、ドレイン信号線の下方に絶縁膜を介して導電層を形成しておき、該ドレイン信号線に断線が生じた場合、その断線個所を間にした各ドレイン信号線の一部にレーザ光線を照射し、その照射個所において前記導電層との電気的接続を図る方法が知られている。
しかし、上記特許文献2に示す技術は、後に修復可能な構成とするため、表示装置に断線個所を接続させるための接続部材等を予め形成しておくというもので、表示装置の構成を複雑にするものであった。
本発明の目的は、極めて簡単な構成で、導電体層の破損に対する修復を可能にした表示装置およびその製造方法を提供することにある。
なお、本発明は、後述で明らかとなるように非晶質の半導体層を結晶化する技術が採用され、この技術自体はたとえば上記特許文献3等に開示されているが、該特許文献3は本発明のように信号線等の修復等に適用されるものとはなっていない。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
(1)本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、
前記導電体層に破損部が生じている場合、その破損部とその近傍における半導体層の部分を結晶化させることを特徴とする。
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、
前記導電体層に破損部が生じている場合、その破損部とその近傍における半導体層の部分を結晶化させることを特徴とする。
(2)本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、(1)の構成を前提とし、前記半導体層の結晶化はレーザ光の照射によって行うことを特徴とする。
(3)本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、(1)の構成を前提とし、 前記導電体層の破損部は、該導電体層の分断された部分であることを特徴とする。
(4)本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、(1)の構成を前提とし、前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された透孔の部分であることを特徴とする。
(5)本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、(1)の構成を前提とし、前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された抉り部であることを特徴とする。
(6)本発明による表示装置は、たとえば、基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、該導電体層に破損部を有する場合に、該破損部とその近傍における部分が結晶化されていることを特徴とする。
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、該導電体層に破損部を有する場合に、該破損部とその近傍における部分が結晶化されていることを特徴とする。
(7)本発明による表示装置は、たとえば、(6)の構成を前提とし、前記導電体層の破損部は、該導電体層の分断された部分であることを特徴とする。
(8)本発明による表示装置は、たとえば、(6)の構成を前提とし、前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された透孔の部分であることを特徴とする。
(9)本発明による表示装置は、たとえば、(6)の構成を前提とし、前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された抉り部であることを特徴とする。
なお、本発明は以上の構成に限定されず、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
このように構成した表示装置およびその製造方法によれば、極めて簡単な構成で、導電体層の破損に対する修復を可能にすることができる。
以下、図面を用いて本発明による表示装置およびその製造方法の実施例を説明する。
図2は、本発明による表示装置としてたとえば液晶表示装置を例に挙げ、その液晶表示部における画素の等価回路の一実施例を示している。また、図2は、液晶を介して対向配置される各基板の一方の基板SUBの液晶側に面に形成される回路を示し、互いに隣接するたとえば2×3個の画素における回路を示している。
図2において、各画素は、図中y方向に延在し隣接する一対のドレイン信号線DL、x方向に延在し隣接する一対のゲート信号線GLによって、他の隣接する画素とそれらの領域が画されるようになっている。
そして、画素の一角において、MIS型構造からなる薄膜トランジスタTFT(Thine Film Transistor)が形成され、そのゲート電極は近接するゲート信号線GLに接続され、ドレイン電極は近接するドレイン信号線DLに接続されている。
また、各画素の領域内において一対の電極からなる画素電極PXと対向電極CTとが形成され、該画素電極PXは前記薄膜トランジスタTFTのソース電極に接続され、該対向電極CTは図中方向に伸張するコモン信号線CLに接続されている。
このような回路構成において、各画素の対向電極CTにコモン信号線CLを介して基準電圧(映像信号に対して基準となる電圧)を印加し、ゲート信号線GLにたとえば図中上方から順次ゲート電圧を印加することによって画素行が選択され、その選択のタイミングに応じて、各ドレイン信号線DLに映像信号を供給することにより、前記画素行の各画素に前記ゲート電圧によってオンされた薄膜トランジスタTFTを介して画素電極PXに該映像信号の電圧が印加される。そして、該画素電極PXと対向電極CTの間に前記映像信号の電圧に対応する強度のいわゆる横電界が発生し、この横電界の強度に応じて液晶の分子を挙動させるようになっている。
このように示した回路は、そのゲート信号線GL、ドレイン信号線DL、薄膜トランジスタTFTにおいて、後述する構成の画素において幾何学的に同様の配置となっているが、たとえば、対向電極CTは画素の大部分の領域に面状に形成され、画素電極PXは絶縁膜を介して前記対向電極CTと重畳された複数の帯状電極から構成されている。
このため、画素電極PXと対向電極CTとの間には液晶とともに前記絶縁膜を誘電体膜とする容量素子が形成され、前記画素電極PXに映像信号が印加された場合、その映像信号の印加は該容量素子によって比較的長い時間蓄積されるようになっている。
図3は、たとえば透明基板からなる前記基板SUBの液晶側の面に形成された画素の構成を示した図である。図3に示す画素は一つの画素を示している。
図3において、その(a)は平面図、(b)は(a)のb−b線における断面図、(c)は(a)のc−c線における断面図である。
まず、基板SUBの液晶側の面(表面)には、ゲート信号線GLおよびコモン信号線CLが比較的大きな距離を有して平行に形成されている。
ゲート信号線GLとコモン信号線CLの間の領域には、たとえばITO(Indium-Tin-Oxide)の透明導電材料からなる対向電極CTが形成されている。対向電極CTは、そのコモン信号線CL側の辺部において該コモン信号線CLに重畳されて形成され、これにより、該コモン信号線CLと電気的に接続されて形成されている。
そして、基板SUBの表面には、前記ゲート信号線GL、コモン信号線CL、および対向電極CTをも被うようにして絶縁膜GIが形成されている。この絶縁膜GIは、後述の薄膜トランジスタTFTの形成領域において該薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として機能するもので、それに応じて膜厚等が設定されるようになっている。
前記絶縁膜GIの上面であって、前記ゲート信号線GLの一部と重畳する個所において、たとえばアモルファスシリコンからなる非晶質の半導体層ASが形成されている。この半導体層ASは前記薄膜トランジスタTFTの半導体層となるものである。
なお、この半導体層ASは、後述でも明らかとなるが、該薄膜トランジスタTFTの形成領域に限らず、ドレイン信号線DLの下方において、該ドレイン信号線DLと薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTとを電気的に接続する接続部JCの下方において、薄膜トランジスタTFTのソース電極STの該薄膜トランジスタTFTの形成領域を超えて延在する部分の下方において、それぞれ、形成されている。このような半導体層ASは、該薄膜トランジスタTFTを、たとえばレジストリフロー方法で形成することによって、上述したパターンで構成され、たとえばドレイン信号線DLにおいて段差を少なく構成できいわゆる段切れの不都合を回避できる効果を奏する。なお、以下の説明において、前記半導体層ASのうち薄膜トランジスタTFTの形成領域以外の領域に形成された半導体層を符号AS’で示す場合がある。
そして、図中y方向に伸張してドレイン信号線DLが形成され、このドレイン信号線DLはその一部において前記薄膜トランジスタTFT側に延在する延在部を有し、この延在部(接続部JC)は前記半導体層AS上に形成された該薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTに接続されている。この場合、前記接続部JCはたとえば前記ゲート信号線GLに重畳して形成されたものとなっている。
また、該ドレイン信号線DLおよびドレイン電極DTの形成の際に同時に形成されるソース電極STが、前記半導体層AS上にて前記ドレイン電極DTと対向し、かつ、該半導体層AS上から画素領域側に若干延在された延在部を有して形成されている。この延在部は後に説明する画素電極PXと接続されるパッド部PDに至るようにして構成されている。
なお、前記ドレイン電極DTは、後述でも明らかとなるが、前記ソース電極STの先端部を囲むようにして形成されたたとえばU字状のパターンとして形成されている。これにより、該薄膜トランジスタTFTのチャネル幅を大きく構成できるようにせんがためである。
なお、前記半導体層ASは、それを絶縁膜GI上に形成する際に、たとえば、その表面に高濃度の不純物がドープされて形成され、たとえば、前記ドレイン電極DTおよびソース電極STをパターニングして形成した後に、該ドレイン電極DTおよびソース電極STをマスクとして該ドレイン電極DTおよびソース電極STの形成領域以外の領域に形成された高濃度の不純物層をエッチングするようにしている。半導体層ASとドレイン電極DTおよびソース電極STのそれぞれの間に高濃度の不純物層を残存させ、この不純物層をオーミックコンタクト層として形成するためである。
このようにすることにより、前記薄膜トランジスタTFTは、ゲート信号線GLをゲート電極としたいわゆる逆スタガ構造のMIS構造のトランジスタが構成されることになる。
なお、MIAS構造のトランジスタにあっては、そのバイアスの印加によってドレイン電極DTとソース電極STが入れ替わるように駆動するが、この明細書の説明にあっては、便宜上、ドレイン信号線DLと接続される側をドレイン電極DTと、画素電極PXと接続される側をソース電極STと称している。
基板SUBの表面には、前記薄膜トランジスタTFTをも被って保護膜PASが形成されている。この保護膜PASは、該薄膜トランジスタTFTを液晶との直接の接触を回避させるために設けられるようになっている。また、この保護膜PASは、前記対向電極CTと後述の画素電極PXとの間に介層して設けられ、前記絶縁膜GIとともに、該対向電極CTと画素電極PXの間に設けられた容量素子の誘電体膜としても機能するようになっている。
前記保護膜PASの上面には、画素電極PXが形成されている。この画素電極PXは、たとえばITO(Indium-Tin-Oxide)等の透明導電材からなり、前記対向電極CTと広い面積にわたって重畳して形成されている。
そして、該画素電極PXは、多数のスリットがその長手方向と交叉する方向に並設されて形成され、これによって両端が互いに接続された多数の帯状の電極からなる電極群を有するようにして形成されている。
また、前記基板SUBの表面には、画素電極PXをも被って配向膜(図示せず)が形成され、この配向膜によって該配向膜と直接に接触する液晶の分子の初期配向方向を設定するようになっている。
なお、画素電極PXの各電極は、図3(a)に示すように、画素の領域をたとえば図中上下に2分割させ、その一方の領域にはたとえばゲート信号線GLの走行方向に対して+45°方向に延在するように形成され、他方の領域には−45°方向に延在するようにして形成されている。いわゆるマルチドメイン方式を採用するもので、1画素内における画素電極PXに設けたスリットの方向(画素電極PXの電極群の方向)が単一である場合、観る方向により色つきが生じる不都合を解消した構成となっている。このことから、必ずしもこのような構成にする必要のないものである。
なお、上述した実施例では、ゲート信号GLの上方に絶縁膜GIを介して薄膜トランジスタTFTが重畳されて形成されたものである。しかし、ゲート信号線GLの一部において薄膜トランジスタTFTのゲート電極となるべく延在部を設け、この延在部の上方に絶縁膜GIを介して薄膜トランジスタTFTを形成するようにしてもよい。この場合においても、この明細書では、ゲート信号線GLは前記延在部を含めたものとして把握する。
図4は、図3で示した薄膜トランジスタTFT(図中点線枠Qの部分)を拡大して示した平面図である。
ゲート信号線GLを被って形成される絶縁膜GI(図示せず)の上面に半導体層ASが形成されている。
前記半導体層ASは、この半導体層ASの上面にパターン化されて形成された導電体層とほぼ同形のフォトレジスト膜(変形フォトレジスト膜)をマスクとしたエッチングによって形成され、そのパターンは、概略的には、該導電体層とほぼ同様の形状となっている。この半導体層ASのパターンについては後にさらに詳述する。
前記導電体層は、まず、前記ゲート信号線GLに重畳して配置される半導体層AS上に形成される薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTとソース電極STとから構成されている。
前記ドレイン電極DTは、平面的に観た場合にほぼU字状をなし、2つの棒状からなる各導電体層が、その長手方向を図中y方向に一致づけて平行に配置され、図中下方の画素領域側の端部において導電体層によって互いに結合された結合部CBを有する(図中上方の画素領域側の一端において開放部を有する)パターンで形成されている。
なお、このドレイン電極DTは、前記導電体層のエッチングによって、ドレイン信号線DLの形成とともに形成され、該ドレイン信号線DLと電気的接続を図る接続部JCを備えて構成されるようになっている。
また、前記ドレイン電極DTの形成の際に同時に形成されるソース電極STがあり、このソース電極STは、前記ドレイン電極DTの開放部の側から挿入され結合部CBの側へかけて延在するI字状のパターンから構成され、図中y方向に一致づけて配置されている。
これにより、前記ドレイン電極DTは、平面的に観た場合、ソース電極STの先端部を囲むようにして配置されるパターンを構成し、前記ドレイン電極DTとソース電極STが相互に対向する半導体層AS面にU字状のチャネル領域CHが構成されるようになる。これにより、該チャネル領域CHにおけるチャネル幅を大きく形成することができる。
なお、前記ソース電極STは、前記ゲート信号線GLに対し図中上方の画素領域側へ該ゲート信号線GLを越えて延在され、図示しない画素電極PXとの接続を図るべくパッド部PDに接続されている。なお、このパッド部PDも前記導電体層の選択エッチングによって形成され、前記ソース電極STとともに形成されるようになっている。
そして、前記半導体層ASは、ドレイン信号線DL、接続部JC、ドレイン電極DT、ソース電極ST、およびパッド部PDをそれぞれ構成する導電体層の下方領域、およびドレイン電極DTとソース電極STとの間のチャネル領域CHはもちろんのこと、これによって定められる輪廓よりも、さらに該輪廓のほぼ全周にわたって、概ね同寸法または外方に若干延在するはみ出し部を有するようにして形成されている。
このように、半導体層ASが、その上面に形成される導電体層のパターンによって該導電体層からのはみ出し部があるように形成されるのは、次に示すように、該半導体層ASの選択エッチングに際し、いわゆるレジストリフローによって形成された変形レジスト膜をマスクとして用いて形成する場合や、ハーフトーン露光技術を用いてパターンを形成する場合の特徴点となっている。
図5は、本発明による表示装置の製造方法の一実施例を前記薄膜トランジスタTFTの部分において示した工程図である。図4に示す各工程図は図1のV−Vにおける断面を示している。以下、図5を用いて工程順に説明する。
まず、図5(a)に示すように、主表面(液晶側の面)に、ゲート信号線GL、および該ゲート信号線GLをも被って絶縁膜GIが形成された基板SUBを用意する。
そして、前記基板SUBの絶縁膜GIの上面の全域に、たとえばCVD方法を用いて半導体層ASおよび導電体層CDTを順次積層する。
ここで、前記半導体層ASはたとえばアモルファスSiからなり、その表面は高濃度のn型不純物がドープされた高濃度不純物層CNLとして形成されている。この高濃度不純物層CNLは薄膜トランジスタTFTのオーミックコンタクト層として機能させるものである。
次に、図5(b)に示すように、前記導電体層CDTの表面の全域にフォトレジスト膜を塗布し、このフォトレジスト膜を周知のフォトリソグラフィ技術により選択的に除去してパターン化する。
ここで、残存されたフォトレジスタ膜PTRのパターンは、前記導電体層CDTのエッチングによって残存させようとするパターンと同様となっている。
次に、図5(c)に示すように、残存されたフォトレジスト膜PTRをマスクとして導電体層CDTおよび前記高濃度不純物層CNLを順次選択エッチングする。ここで、たとえば、導電体層CDTにはいわゆるウェットエッチングを用い、高濃度不純物層CNLにはドライエッチングを用いる。
このエッチングによって残存された導電体層CDTによって、薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTおよびソース電極STと、前記ドレイン電極DTに接続されるドレイン信号線DL(該ドレイン電極DTとの接続部JCも含む)、前記ソース電極STの画素電極と接続されるパッド部PDが形成されるようになる。
なお、導電体層CDTおよび前記高濃度不純物層CNLの選択エッチングが終了した段階でも前記フォトレジスト膜PTRを除去することなく次の工程に移行することになる。
次に、図5(d)に示すように、前記フォトレジスト膜PTRをリフローさせて変形フォトレジスト膜PTR’を形成する。このリフローによる変形フォトレジスト膜PTR’は、たとえば、前記フォトレジスト膜PTRを有機溶媒溶液の蒸気中に1〜3分間曝し、これによって、該フォトレジスト膜PTRに有機溶媒溶液を徐々に浸透させ、該フォトレジスト膜PTRに溶解を起こさせるようにして形成する。
このリフローによって、パターン化された導電体層CDTの上方に形成されている前記フォトレジスト膜PTRは、平面的に観た場合、該導電体層CDTの外方に及んで、換言すれば、該導電体層CDTの輪廓からはみ出した部分に及んで流動することになる。
この場合、ドレイン電極DTとソース電極STの間のチャネル領域CHに相当する部分において該フォトレジスト膜PTRが埋められるようになる。
図1(a)は、前述の図3(a)に相当する図であり、たとえばドレイン信号線DLの図中点線丸Pの部分に断線が生じていることを示している。また、その断線部における構成の拡大図を図1(b)に示している。
ドレイン信号線DLの上述したような断線は、たとえば、図5(c)に示す工程で、ドレイン信号線DLを選択エッチングで形成する際のマスクであるフォトレジスト膜PTRに欠陥があった場合に発生する。
ドレイン信号線DLの下層には半導体層AS’が形成され、該半導体層AS’のドレイン信号線DLとの界面には高濃度不純物層CNLを有する。したがって、ドレイン信号線DLに断線が発生した場合、この分断部において、前記高濃度不純物層CNLもエッチングがなされることから、該分断部を境とした一方のドレイン信号線DLと他方のドレイン信号線DLとは電気的に絶縁状態となってしまう。
図1(b)は、該ドレイン信号線DLの該分断部とその近傍における半導体層AS’が結晶化されてポリシリコン層PSが形成された状態を示す。このような状態にすることにより、該分断部を境とした一方のドレイン信号線DLと他方のドレイン信号線DLとの電気的接続を図った構成となっている。すなわち、前記ポリシリコン層PSは半導体層AS’と比較して約1010倍の導電性を有するようになり、前記一方のドレイン信号線DLと他方のドレイン信号線DLは、その前記分断部における各端が前記ポリシリコン層PS上に位置づけられることによって、互いに電気的接続されるようになる。
前記半導体層AS’における分断部における結晶化は、分断部に局部的熱処理を施すことによって行うことができる。
図6(a)ないし(c)は、前記半導体層AS’への局部的熱処理をたとえばレーザ光線を用いて行うことを示した工程図である。図6(a)は、半導体層AS’上に配置されるドレイン信号線DLにおいて断線が生じていることを示し、図6(b)は、該断線個所の周囲の半導体層AS’にレーザ光線RLを照射していることを示し、図6(c)は、前記レーザ光線RLの照射された個所の半導体層AS’が結晶化されてポリシリコン層PSとなり、断線された各ドレイン信号線DLは該ポリシリコン層PSを介して導通されていることを示している。
上述した実施例では、たとえばドレイン信号線DLが断線され、その断線を修復する場合を説明したものである。しかし、図7(a)に示すように、たとえばドレイン信号線DLに透孔THが形成された場合に、該透孔THとその近傍における半導体層AS’を結晶化するようにしてもよい。また、図7(b)に示すように、たとえばドレイン信号線DLに切り欠きCOが形成された場合に、該切り欠きCOとその近傍における半導体層AS’を結晶化するようにしてもよい。これらはいずれも断線に及ぶことのない破損であるが、前記透孔THあるいは切り欠きCOが形成されたドレイン信号線DLは高抵抗化してしまうことから、上述のような半導体層AS’の結晶化によって低抵抗化できるようになる。
上述した実施例では、ドレイン信号線DLに断線等の破損部が生じた場合を示したものである。しかし、ドレイン信号線DLに限定されることはなく、ドレイン信号線DLと薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTを接続する接続部JC、あるいは薄膜トランジスタTFTのソース電極STからパッド部PDに至る延在部など、導電層下に半導体層が形成された個所であれば、本発明を適用できることはいうまでもない。
また、上述した実施例では、表示装置として、たとえばレジストリフロー方式を用いて製造したものを例に挙げたものである。しかし、必ずしも該レジストリフロー方式を用いたものに限定されることはない。半導体層の上面にパターン化された導電体層が形成され、前記半導体層の選択エッチングの際のマスクとして前記導電体層がその一役をかうような方法によって製造される表示装置や、ハーフトーン露光技術を用いた方法によって製造される表示装置にも適用できるからである。このような場合でも、前記導電体層の下方に半導体層が配置された状態で構成でき、該半導体層の局部的結晶化によって前記導電体層の破損を修復することができるからである。
さらに、上述した実施例では、表示装置として液晶表示装置を例に挙げて示したものであるが、これに限定されることはない。たとえば有機EL表示装置において、発光媒体を有することを除いて、該液晶表示装置とほぼ同様の構成となっていることから、本発明は、たとえば有機EL表示装置においても適用できる。
上述した各実施例はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施例での効果を単独であるいは相乗して奏することができるからである。
SUB……基板、GL……ゲート信号線、DL……ドレイン信号線、CL……コモン信号線、TFT……薄膜トランジスタ、PX……画素電極、CT……対向電極、JC……接続部、DT……ドレイン電極、ST……ソース電極、PD……パッド部、GI……絶縁膜、AS、AS’……半導体層、PAS……保護膜、CDT……導電体層、PTR……フォトレジスト膜、PTR’……変形フォトレジスト膜、RL……レーザ光線、PS……ポリシリコン層、TH……透孔、CO……切り欠き。
Claims (9)
- 基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、
前記導電体層に破損部が生じている場合、その破損部とその近傍における半導体層の部分を結晶化させることを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記半導体層の結晶化はレーザ光の照射によって行うことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記導電体層の破損部は、該導電体層の分断された部分であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された透孔の部分であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された抉り部であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 基板上に、順次積層された、ゲート信号線、絶縁膜、非晶質の半導体層、および導電体層を有し、
前記導電体層は、少なくとも、前記半導体層の前記ゲート信号線と重畳するチャネル領域を間にして配置される薄膜トランジスタのドレイン電極およびソース電極、前記ドレイン電極と接続部を介して接続されるドレイン信号線を構成し、
前記半導体層は、前記導電体層の形成領域下に形成され、該導電体層に破損部を有する場合に、該破損部とその近傍における部分が結晶化されていることを特徴とする表示装置。 - 前記導電体層の破損部は、該導電体層の分断された部分であることを特徴とする請求項6に記載の表示装置。
- 前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された透孔の部分であることを特徴とする請求項6に記載の表示装置。
- 前記導電体層の破損部は、該導電体層に形成された抉り部であることを特徴とする請求項6に記載の表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006340740A JP2008152066A (ja) | 2006-12-19 | 2006-12-19 | 表示装置およびその製造方法 |
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JP2006340740A JP2008152066A (ja) | 2006-12-19 | 2006-12-19 | 表示装置およびその製造方法 |
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- 2006-12-19 JP JP2006340740A patent/JP2008152066A/ja active Pending
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