JP2008150257A - 炭化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粉砕粉を窒素雰囲気下で焼成することにより焼成粉を生成し、焼成粉を粉砕することにより再粉砕粉を生成し、再粉砕粉を焼結させることにより炭化珪素焼結体を生成する。
【選択図】図1
Description
実施例1では、始めに、20[μm]程度の粒度の炭化珪素粉体を粉砕することにより粒度1[μm]以下の粉砕粉を生成し、粉砕粉を圧力110[kPa],温度1900[℃]の窒素雰囲気下で焼成することにより10[μm]程度の粒度の焼成粉を生成する。次に、焼成粉を粉砕することにより粒度2[μm]の再粉砕粉を生成し、再粉砕粉をアルゴンガス雰囲気下でホットプレス焼結させることにより、実施例1の炭化珪素焼結体を得た。
従来例1では、20[μm]程度の粒度の炭化珪素粉体を粉砕することにより粒度2[μm]の粉砕粉を生成し、粉砕粉をホットプレス焼結させることにより、従来例1の炭化珪素焼結体を得た。
従来例2では、始めに、20[μm]程度の粒度の炭化珪素粉体を粉砕することにより粒度1[μm]以下の粉砕粉を生成し、粉砕粉を1900[℃]の真空雰囲気下で焼成することにより10[μm]程度の粒度の焼成粉を生成する。次に、焼成粉を粉砕することにより粒度2[μm]の再粉砕粉を生成し、再粉砕粉をホットプレス焼結させることにより、従来例2の炭化珪素焼結体を得た。
従来例3では、始めに、20[μm]程度の粒度の炭化珪素粉体を粉砕することにより粒度1[μm]以下の粉砕粉を生成し、粉砕粉を1900[℃]の真空雰囲気下で焼成することにより10[μm]程度の粒度の焼成粉を生成する。次に、焼成粉を粉砕することにより粒度2[μm]の再粉砕粉を生成し、再粉砕粉を温度2300[℃]の窒素雰囲気下で焼結させることにより、従来例3の炭化珪素焼結体を得た。
実施例1及び従来例1〜3の炭化珪素焼結体の体積抵抗率を測定した結果、図1に示すように、実施例1の炭化珪素焼結体の体積抵抗率は2.0×10−3[Ω・cm]であったのに対し、従来例1〜3の炭化珪素焼結体の体積抵抗率はそれぞれ、1.3×10−2,1.1×10−1,3.1×10−2[Ω・cm]であった。また、放電加工により従来例2の炭化珪素焼結体を成形するのに要した時間は25.6時間であったのに対し、実施例1の炭化珪素焼結体を成形するのに要した時間は18.6時間であった。
Claims (1)
- 炭化珪素粉体を粉砕することにより粉砕粉を生成する工程と、
前記粉砕粉を窒素雰囲気下で焼成することにより焼成粉を生成する工程と、
前記焼成粉を粉砕することにより再粉砕粉を生成する工程と、
前記再粉砕粉を不活性ガス雰囲気下で焼結させることにより炭化珪素焼結体を生成する工程と
を有することを特徴とする炭化珪素焼結体の製造方法。
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