JP2008147384A - ドライエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このドライエッチング装置は、真空容器内を排気する排気口103と、真空容器内にガスを供給するガス導入口102とが接続された、真空容器101を備える。また、真空容器101内に、誘導結合されたプラズマを発生させるプラズマ源104と、基板108を搭載する第1の電極105を備える。また、第1の電極105とプラズマ源104との間の、真空容器101の内壁側に設置された、第2の電極109を備える。そして、第2の電極109には直流電源110が接続されている。直流電源110の調整により真空容器101内のイオンシースの広がりを制御し、真空容器101内のプラズマ密度を均一化し、エッチングの面内均一性を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の実施の形態1のドライエッチング装置の構造模式図である。図1に示すように、このドライエッチング装置では、真空容器101に、真空容器101内にガスを供給するガス導入部としてのガス導入口102と、真空容器101内を排気する排気部としての排気口103が設けられている。通常、排気口103には圧力制御バルブが設けられており、エッチングガス導入時には真空容器101内を所定の圧力に調整する。試料としての基板108は、真空容器101内に配置された第1の電極としての基板電極105の上に搭載され、基板電極105はプラズマ励起用の高周波電源とは別の高周波電源106に接続されている。
一例として圧力が高い場合には、式(3)より、真空容器101内のガス分子密度nが高くなる。プラズマ励起コイル104によりガス分子がほぼ完全にプラズマ励起されると仮定すると、式(1)におけるプラズマ電位Vpおよび電子濃度n0が変化する。プラズマ電位Vp及び電子濃度n0が変化することにより、プラズマ均一化用電極109近傍の電子濃度ne(x)が変わり、ひいては式(2)よりイオンシースの広がりが変化してしまう。
実施の形態1においては、第2の電極としてのプラズマ均一化用電極109には、導電性材料(金属)を用いていた。しかし、化合物半導体などをエッチングする場合には塩素系ガスを利用することが必要となり、導電性材料をプラズマ均一化用電極に用いることは、耐久性が短くなるため好ましくない。よって、プラズマ均一化用電極を絶縁物で覆うことで対応することができる。
Claims (2)
- 真空容器と、
前記真空容器内を排気する排気部と、
前記真空容器内にガスを供給するガス導入部と、
前記真空容器内に、誘導結合されたプラズマを発生させるプラズマ源と、
前記真空容器内に配置され、試料を搭載する第1の電極と、
前記第1の電極と前記プラズマ源との間の、前記真空容器の内壁側に設置された第2の電極とを備える、ドライエッチング装置において、
前記第2の電極には直流電源が接続されていることを特徴とする、ドライエッチング装置。 - 真空容器と、
前記真空容器内を排気する排気部と、
前記真空容器内にガスを供給するガス導入部と、
前記真空容器内に、誘導結合されたプラズマを発生させるプラズマ源と、
前記真空容器内に配置され、試料を搭載する第1の電極と、
前記第1の電極と前記プラズマ源との間の、前記真空容器の内壁側に設置された第2の電極とを備える、ドライエッチング装置において、
前記第2の電極は絶縁体で覆われており、
前記第2の電極は、容量を介して高周波電源と電気的に接続されていることを特徴とする、ドライエッチング装置。
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2006
- 2006-12-08 JP JP2006332249A patent/JP2008147384A/ja active Pending
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