JP2008137260A - 給液装置及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有した液滴吐出ヘッドに適用される場合にも小型化が図れる給液装置及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタ８０とを備え、複数のフィルタ８０を、異なる平面上に振り分けて配置し、且つ、各フィルタが平面的に見て互いにオーバラップするように配置した。
【選択図】図４

Description

本発明は、貯液装置に貯留された液体を液滴吐出ヘッドに供給する給液装置及び液滴吐出装置に関するものである。

従来、液滴吐出ヘッドから液体を吐出させる液滴吐出装置として、例えばインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置に設けられるインクジェットヘッドには、印刷速度の高速化及びカラー化を目的として、ノズル列を複数有する構造が求められている。更に、近年ノズル密度は、高密度化するとともに、長尺化（１列辺りのノズル数の増加）しており、インクジェットヘッド内のアクチュエータ数は益々増加している。

ところで、このようなインクジェット記録装置には、インクタンク（貯液装置）から供給されるインク中の塵埃や気泡を排除するためのフィルタを備えた給液装置がインクジェットヘッドとユニット化されて設けられている（例えば、特許文献１参照）。この種の給液装置のフィルタには、ヘッドチップへのインク供給時の動損圧（流路抵抗）が小さいものが望まれている。動損圧を小さくするためにはフィルタ面積を大きくする必要があり、近年、列内ノズル密度が高密度化し、列数が増加するに従って、フィルタ寸法も大きくなってきている。このため、給液装置が大型化傾向にあり、インクジェットヘッドユニットの小型化が難しいという問題があった。

そこで、上記特許文献１の技術では、フィルタを同一平面上で一直線上に配置せず、千鳥状に配置することによって、小型化することが提案されている。
特開２００４−９０４４０号公報

しかしながら、特許文献１の技術では、更なる列内ノズルの高密度化に対応しきれず、大幅な小型化が難しいという問題があった。

本発明はこのような点に鑑みなされたもので、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有した液滴吐出ヘッドに適用される場合にも小型化が図れる給液装置及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。

本発明に係る給液装置は、貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、複数のフィルタを、異なる平面上に振り分けて配置し、且つ、各フィルタが平面的に見て互いにオーバラップするように配置したものである。
このように配置することで、液滴吐出ヘッドのノズルの高密度化等に伴い、フィルタ面積が増加することによる給液装置の大型化を防止することが可能となる。その結果、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドに適用可能な小型の給液装置を得ることができる。

また、本発明に係る給液装置は、複数のフィルタを半数ずつ２組に分けて各組毎に異なる平面に振り分けて配置したものである。
給液装置の小型化に効果的なフィルタの配置方法として、このような配置を採用することができる。

また、本発明に係る給液装置は、貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、液滴吐出ヘッドが装着される装着面を表面に有する底壁と、底壁の周縁から上方へ延びる周壁とを有して全体箱状に形成されたユニット本体と、ユニット本体内に収納される薄板状のサブユニットと、ユニット本体とサブユニットとに連通して形成され、貯液装置から液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、複数のフィルタを、サブユニットの両面に振り分けて配置し、且つ、各フィルタが平面的に見て互いにオーバラップするように配置したものである。
このように配置することで、液滴吐出ヘッドのノズルの高密度化等に伴い、フィルタ面積が増加することによる給液装置の大型化を防止することが可能となる。その結果、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドに適用可能な小型の給液装置を得ることができる。また、簡単な構造で上記配置を実現でき、小型化が容易である。

また、本発明に係る給液装置は、貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、液滴吐出ヘッドが装着される装着面を表面に有する底壁と、底壁の周縁から上方へ延びる周壁とを有して全体箱状に形成されたユニット本体と、ユニット本体内に収納される薄板状のサブユニットと、ユニット本体とサブユニットとに連通して形成され、貯液装置から液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、複数のフィルタは、ユニット本体のサブユニットとの接触面と、サブユニットのユニット本体とは反対側の面に、平面的に見てオーバラップするように配置したものである。
このように配置することで、液滴吐出ヘッドのノズルの高密度化等に伴い、フィルタ面積が増加することによる給液装置の大型化を防止することが可能となる。その結果、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドに適用可能な小型の給液装置を得ることができる。また、簡単な構造で上記配置を実現でき、小型化が容易である。

また、本発明に係る給液装置は、複数のフィルタを半数ずつ２組に分けて各組毎に該当面に振り分けて配置したものである。
給液装置の小型化に効果的なフィルタの配置方法として、このような配置を採用することができる。

また、本発明に係る液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドへ液体を供給する上記の何れかに記載の給液装置とを備えたものである。
これにより、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有した液滴吐出ヘッドを備えつつも、小型化が可能な液滴吐出装置を得ることができる。

まず、液滴吐出装置の構成について図面を参照して説明する。
図１は、液滴吐出装置の斜視図である。図２は、図１の要部の拡大斜視図である。

図１において、符号１はキャリッジであり、このキャリッジ１はステップモータ２により駆動されるタイミングベルト３を介し、ガイド部材４に案内されてプラテン５の軸方向に往復移動されるように構成されている。

キャリッジ１の記録用紙６に対向する面（下面側）には、液滴吐出ヘッド１０が搭載され、また、その上部には、液滴吐出ヘッド１０に供給する液体を貯留する貯液装置７が着脱自在に装填されている。液滴吐出ヘッド１０には、貯液装置７内の液体を液滴吐出ヘッド１０へ供給する給液装置５０が装着されている。また、液滴吐出ヘッド１０は、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）８を介して駆動信号が供給されるようになっている。

図３は、液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。なお、図３には、ノズル孔が２列構成のヘッドを図示左右方向に３つ並べて全体として６列構成とされた液滴吐出ヘッドを示している。
以下、図３を用いて液滴吐出ヘッドの構造及び動作について説明する。

図３に示すように液滴吐出ヘッド１０は、本例では、ノズル基板１１、リザーバ基板２０、キャビティ基板３０、電極基板４０の４つの基板から構成され、この順で接合された構造となっている。

ノズル基板１１は、例えばシリコン基板からなり、複数のノズル孔１２が形成されてノズル列を構成している。なお、本例では、上述したように２列のノズル列が３つ並設されて６列構成となっており、以下では、必要に応じて、各２列のノズル列のうち、図示右側のノズル列を第１ノズル列１２ａ、左側のノズル列を第２ノズル列１２ｂとして区別する。

リザーバ基板２０は、例えば単結晶シリコンからなり、後述の各吐出室３２に液滴を供給するための共通液滴室２１となる凹部２１ａがノズル列毎に形成されている。凹部２１ａの底面には、共通液滴室２１から吐出室３２へ液滴を移送するための貫通孔２２が形成されている。また、凹部２１ａの底面には液滴供給孔２３が貫通形成されている。

またリザーバ基板２０の凹部２１ａ以外の部分には、各々の吐出室３２に連通し、吐出室３２からノズル孔１２に液滴を移送するためのノズル連通孔２４が形成されている。

キャビティ基板３０は、例えば単結晶シリコンからなり、底壁が振動板３１である吐出室３２となる凹部３２ａが形成されている。またキャビティ基板３０には、キャビティ基板３０を貫通する液滴供給孔３３が形成されている。

電極基板４０は、例えばホウ珪酸ガラス等のガラスから形成されている。電極基板４０には凹部４１が形成され、この凹部４１内には、振動板３１と対向するように個別電極４２が形成されている。
また電極基板４０には液滴供給孔４３が貫通形成されている。なお、液滴供給孔４３のうち、第１ノズル列１２ａに対応するものを液滴供給孔４３ａ、第２ノズル列１２ｂに対応するものを液滴供給孔４２ｂと符号を付している。

電極基板４０に形成された液滴供給孔４３と、キャビティ基板３０に形成された液滴供給孔３３及びリザーバ基板２０に形成された液滴供給孔２３は、これら３枚の基板が接合された状態において互いに繋がって、後述の給液装置５０から共通液滴室２１に液滴を供給するための液滴供給流路を形成している。

このように構成された液滴吐出ヘッド１０は、ＦＰＣ（Flexible Print Circuit）９を介してドライバＩＣ４４から個別電極４２とキャビティ基板３０との間にパルス電圧が印加されると、振動板３１と個別電極４２との間に静電気力が発生し、その吸引作用により振動板３１が個別電極４２側に引き寄せられて撓み、吐出室３２の容積が拡大する。これにより共通液滴室２１の内部に溜まっていた液体が貫通孔２２を通じて吐出室３２に流れ込む。次に、個別電極４２への電圧の印加を停止すると、静電吸引力が消滅して振動板３１が復元し、吐出室３２の容積が急激に収縮する。これにより、吐出室３２内の圧力が急激に上昇し、この吐出室３２内の液体がノズル連通孔２４を介してノズル孔１２に供給され、ノズル孔１２から液滴が吐出される。

そして、液滴吐出ヘッド１０の共通液滴室２１へ液体を供給する場合には、貯液装置７内の液体を後述の給液装置５０を通過させ、給液装置５０内部のフィルタによって液体から塵埃や気泡を排除した後、電極基板４０の液滴供給孔４３、キャビティ基板３０の液滴供給孔３３、リザーバ基板２０の液滴供給孔２３を介して共通液滴室２１へ供給するようになっている。

以下、給液装置５０について詳細に説明する。
図４及び図５は、本発明の一実施の形態の給液装置を示す分解斜視図、図６（ａ）は、図４に示すユニット本体とサブユニットとが組み立てられた状態においてサブユニット側から見た平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。
給液装置５０は、液滴吐出ヘッド１０が装着される装着面を有するユニット本体６０と、ユニット本体６０内に収納され、両面に複数（ノズル列と同数）のフィルタ８０が接着された薄板状のサブユニット９０とを備えた構成となっている。

ここで、本例の給液装置５０は、ノズル列の数に対応した６個のフィルタ８０を、サブユニット９０の両面に３個ずつに振り分けて配置し、また、各フィルタ８０を、後述するように平面的に見て互いにオーバラップするように配置することで、ノズル孔１２の高密度化等によるフィルタ面積の増加に伴う大型化を防止可能な給液装置を得ようとするものである。以下、具体的な構造について説明する。

ユニット本体６０は、液滴吐出ヘッド１０が装着される装着面を表面６１ａに有する底壁６１と、底壁６１の周縁から上方へ延びる周壁６２とを有して全体箱状に形成されている。
底壁６１の表面６１ａの中央部には、凹部６３が形成され、その凹部６３表面には、液滴吐出ヘッド１０が装着された際に、電極基板４０の液滴供給孔４３に連通する液体流路孔６４を有する筒部６５が突設されている。この筒部６５は、電極基板４０の液滴供給孔４３と同数６個設けられ、６個の液体流路孔６４のうち、図５において図示奥側の３つの液体流路孔６４ａは第１ノズル列１２ａに対応する液滴供給孔４３ａに連通し、図示手前側の３つの液体流路孔６４ｂは第２ノズル列１２ｂに対応する液滴供給孔４３ｂに連通するようになっている。

また、凹部６３表面には、ノズル列の並設方向に一直線上に並んで形成された３つの筒部６５毎に、各筒部６５を挟んで対向する一対の突条部６７が図示手前側と奥側に二列形成されている。一対の突条部６７間には、接着剤注入溝６８が形成されており、この接着剤注入溝６８は、ユニット本体６０の周壁６２の表面まで延びるように形成され、接着剤注入孔６９から外部に連通するようになっている。また、接着剤注入孔６９が形成されている面と対向する面に接着剤注入溝６８と連通した接着剤排出孔（不図示）が形成されている。この接着剤注入溝６８、接着剤注入孔６９及び接着剤排出孔は、ユニット本体６０と液滴吐出ヘッド１０とを接着し、各液体流路孔６４からの液漏れを防止するために設けられたもので、接着剤注入孔６９から接着剤排出孔に向け接着剤を注入することによって接着剤注入溝６８に接着剤を充填し硬化させることで両者を接着するようにしている。

また、ユニット本体６０の底壁６１の裏面６１ｂ側には、図４及び図６に示すように液滴吐出ヘッド１０のノズル列の数（本例では６つ）の半数（本例では３つ）の液体流路凹部７０がノズル列の並設方向（図４左右方向）に配設されている。液体流路凹部７０は、開口面の形状がここでは長円状とした凹部７０ａと、この凹部７０ａの底面に形成され、凹部７０の底面形状よりもやや小さい長円状の開口面を有する凹部７０ｂとから形成されている。凹部７０ｂは、長円状の開口面から底壁６１の厚み方向に向かって徐々に開口面積が小さくなる略漏斗状を成し、その先端部分には、底壁６１の表面６１ａまで貫通する液体流路孔７１が形成され、筒部６５の液体流路孔６４ｂと連通するようになっている。また、ユニット本体６０の底壁６１の裏面６１ｂ側には、液体流路孔６４ａに連通して底壁６１の厚み方向に貫通する液体流路孔７２が開口している。

また、ユニット本体６０の底壁６１の裏面６１ｂ側には、各液体流路凹部７０毎に、この液体流路凹部７０の凹部７０ａの周囲を取り囲む接着剤注入溝７３が形成されている。各接着剤注入溝７３は、液体流路凹部７０の並設方向に延びる接着剤注入溝７４によって互いに連通している。また、接着剤注入溝７４は、ユニット本体６０の周壁６２の表面まで延びるように形成され、接着剤注入孔７５で外部に連通するようになっている。また、接着剤注入孔７５が形成されている面と対向する面に接着剤注入溝７３，７４と連通した接着剤排出孔７７が形成されている。この接着剤注入孔７５、接着剤注入溝７３，７４及び接着剤排出孔７７は、ユニット本体６０とサブユニット９０とを接着し、各液体流路凹部７０からの液漏れを防止するために設けられたものである。

次に、サブユニット９０の構成について説明する。
サブユニット９０は、ノズル列に対応して６個のフィルタが装着されるもので、サブユニット９０の両面にそれぞれ３個ずつ装着されている。すなわち、６個のフィルタ８０を半数ずつ２組に分け、各組をサブユニット９０の両面に分けて配置している。以下、詳細に説明する。

本例のフィルタ８０は、液体の透過の際の動圧損が小さく（流路抵抗が低く）、メニスカス強度が可能な限り高く形成されたものを採用している。すなわち、不純物や異物、空気などを捕捉して流路に流入させない構成となっている。そして、フィルタ８０は、略長円状のシート状に形成されている。

サブユニット９０は、上述したように略薄板状に構成され、両面に３個ずつ液体流路凹部９１（１０１）が形成されている。液体流路凹部９１（図５参照）は、サブユニット９０のユニット本体６０との接着面側に形成された液体流路凹部を示し、液体流路凹部１０１（図４参照）は、その反対側の面に形成された液体流路凹部を示している。

この液体流路凹部９１（１０１）は、ユニット本体６０の液体流路凹部７０と同様の形状を成し、長円状の凹部９１ａ（１０１ａ）と、略漏斗状の凹部９１ｂ（１０１ｂ）とから形成されている。そして、凹部９１ａ（１０１ａ）の底面に長円状のフィルタ８０が熱溶着により固着されている。また、略漏斗状の凹部９１（１０１）の底面には、液体流路孔９２（１０２）が貫通形成されている。

各液体流路凹部９１は、ユニット本体６０の裏面６１ｂに設けられた各液体流路凹部７０と対向する位置に形成され、液体流路孔９２、液体流路凹部９１、液体流路凹部７０、液体流路孔７１及び液体流路孔６４ｂは、ユニット本体６０とサブユニット９０とが接着された状態で互いに繋がって第２ノズル列１２ｂに対応する流路を形成する（図６（ｂ）参照）。

また、液体流路凹部１０１の底面に貫通形成された液体流路孔１０２は、ユニット本体６０の液体流路孔７２と対向する位置に開口するように形成され、液体流路凹部１０１、液体流路孔１０２、液体流路孔７２、液体流路孔６４ａは、ユニット本体６０とサブユニットとが接着された状態で互いに繋がって第１ノズル列１２ａに対応する流路を形成する（図６（ｂ）参照）。

図７は、サブユニットの両面に配置されたフィルタ部分のみを抽出して示した平面図で、図示実線は、サブユニット９０の一方の面側に配置されたフィルタを示し、図示点線は、サブユニット９０の他方の面側に配置されたフィルタを示している。
図７に示すように、各フィルタ８０を平面的に見て互いにオーバラップするように配置するようにしている。このため、従来のように同一面上に一直線上に配置した場合に比べて格段に給液装置の小型化を図ることが可能となっている。

また、サブユニット９０の両面において、各液体流路凹部９１（１０１）毎に、この液体流路凹部９１（１０１）の凹部９１ａ（１０１ａ）の周囲を取り囲む接着剤注入溝９３（１０３）が形成されている。そして、同一面に形成された各接着剤注入溝９３（１０３）は、液体流路凹部９１（１０１）の並設方向に延びる接着剤注入溝９４（１０４）によって互いに連通している。なお、ユニット本体６０の周壁６２には、接着剤注入溝９４（１０４）に連通する接着剤注入孔７５（７６）が貫通形成されている。

サブユニット９０のユニット本体６０との接着面側に形成された接着剤注入溝９３，９４は、サブユニット９０をユニット本体６０に装着したときに、ユニット本体６０側の接着剤注入溝７３，７４と対向して連通し、サブユニット９０とユニット本体６０とを接着するための接着剤注入流路を形成する。

このような構成の給液装置５０を組み立てる際には、サブユニット９０の両面にフィルタ８０を熱溶着により接着した後、サブユニット９０をユニット本体６０内に収納する。これにより、上述したようにサブユニット９０側の接着剤注入溝９３，９４とユニット本体６０側の接着剤注入溝７３，７４とが対向して連通し、接着剤注入流路が形成される。この接着剤注入流路に、接着剤注入孔７５から接着剤排出孔７７に向けて接着剤を注入することによって接着剤注入溝７３、７４、９３、９４に接着剤が充填される。そして接着剤が硬化することでサブユニット９０とユニット本体６０とが接着される。

ここで、接着剤注入流路は、液体流路となる液体流路凹部７０，９１の周囲を取り囲むように設けているため、この接着剤注入流路に接着剤を流すことにより、各液体流路が互いに液密に分離されるようになっている。そして、ユニット本体６０の底壁６１の表面６１ａに、液滴吐出ヘッド１０を載置し、接着剤注入孔６９から接着剤排出孔に向けて接着剤を注入することによって、接着剤注入溝６８に接着剤が充填され、液滴吐出ヘッド１０とユニット本体６０とを接着し、液滴吐出ヘッド１０と給液装置５０とがユニット化される。なお、サブユニット９０のユニット本体６０との接着面と反対側に形成された接着剤注入溝１０３，１０４及びユニット本体６０に形成された接着剤注入孔７６は、サブユニット９０と貯液装置７側の構成部材との接着に利用される。

このように構成された給液装置５０は、貯液装置７に装着される。そして、貯液装置７内に貯留された液体からフィルタ８０により不純物や異物、空気などを取り除き、除去後の液体を液滴吐出ヘッド１０に供給する。

以上に説明したように、本実施の形態によれば、各フィルタ８０を異なる平面上（本例ではサブユニット９０の両面）に振り分けて配置するとともに、各フィルタ８０を平面的に見て互いにオーバラップするように配置するようにしたので、液滴吐出ヘッド１０のノズル孔１２の高密度化等に伴い、フィルタ面積が増加することによる給液装置５０の大型化を防止することが可能となる。その結果、ノズル密度が高く、長尺かつ多数列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドに適用可能な小型の給液装置を得ることができる。また、簡単な構造で上記配置を実現でき、小型化が容易である。

また、複数のフィルタ８０を半数ずつ２組に分け、各組を２つの配置面に振り分けて配置したので、給液装置５０の小型化に効果的な配置が可能となる。

なお、上記では、サブユニット９０の両面にフィルタ８０を配置する例を図示して説明したが、これに限られたものではなく、要は、異なる面上に振り分け、且つ各フィルタ８０が平面的に見て互いにオーバラップするように配置されていればよく、その配置面はどこでも良い。すなわち、例えば、サブユニット９０のユニット本体６０との接着面側にフィルタ８０を配置するのに代えて、ユニット本体６０の底壁６１の裏面６１ｂ側に配置するようにしてもよい。この場合も上記と同様の効果が得られる。

なお、上記実施の形態では、貯液装置７をキャリッジ１上に搭載したオンキャリッジタイプの液滴吐出装置を示したが、図８に示すように貯液装置７をキャリッジ１から離して配置し、可撓性のチューブ９を経由して液滴吐出ヘッド１０に液体を供給するようにした、いわゆるオフキャリッジタイプの液滴吐出装置にも本発明を適用できる。

上記の給液装置５０は、液滴としてインクを用いるようにしたインクジェットプリンタとして適用される他、液滴を種々変更することで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機ＥＬ表示装置の発光部分の形成、プリント配線基板製造装置にて製造する配線基板の配線部分の形成、生体液体の吐出（プロテインチップやＤＮＡチップの製造）など、様々な用途の液滴吐出装置に適用することができる。

本発明の一実施の形態の液滴吐出装置の内部の概略構成を示す斜視図。 図１の給液装置を含む要部の拡大斜視図。 実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを分解した状態を示す分解斜視図。 本発明の一実施の形態の給液装置の分解斜視図（その１）。 本発明の一実施の形態の給液装置の分解斜視図（その２）。 図６（ａ）は、図４に示すユニット本体とサブユニットが組み立てられた状態の平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ断面図。 本発明の給液装置が装着される他の液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。 オフキャリッジタイプの液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。

符号の説明

７ 貯液装置、１０ 液滴吐出ヘッド、１２ ノズル孔、５０ 給液装置、６０ ユニット本体、６１ 底壁、６１ａ 表面、６１ｂ 裏面、６２ 周壁、６４ 液体流路孔、６４ａ 液体流路孔、６４ｂ 液体流路孔、７０ 液体流路凹部、７１ 液体流路孔、７２ 液体流路孔、８０ フィルタ、９０ サブユニット、９１ 液体流路凹部、９２ 液体流路孔、１０１ 液体流路凹部、１０２ 液体流路孔。

Claims (6)

1. 貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、
   前記液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、
   前記各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、
   該複数のフィルタを、異なる平面上に振り分けて配置し、且つ、前記各フィルタが平面的に見て互いにオーバラップするように配置したことを特徴とする給液装置。
2. 前記複数のフィルタを半数ずつ２組に分けて各組毎に前記異なる平面に振り分けて配置したことを特徴とする請求項１記載の給液装置。
3. 貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、
   液滴吐出ヘッドが装着される装着面を表面に有する底壁と、該底壁の周縁から上方へ延びる周壁とを有して全体箱状に形成されたユニット本体と、
   該ユニット本体内に収納される薄板状のサブユニットと、
   前記ユニット本体と前記サブユニットとに連通して形成され、前記貯液装置から前記液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、
   前記各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、
   該複数のフィルタを、前記サブユニットの両面に振り分けて配置し、且つ、前記各フィルタが平面的に見て互いにオーバラップするように配置したことを特徴とする給液装置。
4. 貯液装置に貯留された液体を、この液体を吐出する液滴吐出ヘッドに供給する給液装置であって、
   液滴吐出ヘッドが装着される装着面を表面に有する底壁と、該底壁の周縁から上方へ延びる周壁とを有して全体箱状に形成されたユニット本体と、
   該ユニット本体内に収納される薄板状のサブユニットと、
   前記ユニット本体と前記サブユニットとに連通して形成され、前記貯液装置から前記液滴吐出ヘッドへ供給する液体が通過する複数の流路と、
   前記各流路の途中にそれぞれ設けられたフィルタとを備え、
   該複数のフィルタは、前記ユニット本体の前記サブユニットとの接触面と、前記サブユニットの前記ユニット本体とは反対側の面に、平面的に見てオーバラップするように配置したことを特徴とする給液装置。
5. 前記複数のフィルタを半数ずつ２組に分けて各組毎に該当面に振り分けて配置したことを特徴とする請求項３又は請求項４記載の給液装置。
6. 液滴吐出ヘッドと、
   該液滴吐出ヘッドへ液体を供給する請求項１乃至請求項５記載の給液装置と
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。

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