JP2008133928A - ダイヤフラム式バルブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動部の小型化を図るのに有利なダイヤフラム式バルブ装置を提供する。
【解決手段】バルブ装置は、弁体２１を有する可動体２を開閉させる駆動部４と、可動体２の動作に伴い撓み変形するローリングダイヤフラム６とをもつ。ボディ１および可動体２のうちの少なくとも一方は、可動体２の開閉動作に伴いローリングダイヤフラム６に対面接触する傾斜面７をもつ。傾斜面７は、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の曲率を変化させてローリングダイヤフラム６の有効受圧面積を可変とする。弁体２１の閉弁時におけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積をＡshutとし、弁体２１の開弁時におけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積をＡopenとする。傾斜面７は、ＡshutよりもＡopenを小さくするように傾斜している。
【選択図】図１

Description

本発明はボディ内を仕切るダイヤフラムを備えるバルブ装置に関する。

可撓性をもつ膜状のダイヤフラムを搭載するダイヤフラム式バルブ装置が知られている。このものは、入口ポート、出口ポート、弁口をもつボディと、弁口を開閉する弁体と、弁体を開弁および閉弁させる弁軸と、弁軸を開弁動作および閉弁動作させる励磁コイル部を備える駆動部と、ボディ内を仕切るダイヤフラムと、弁体を閉弁方向に付勢するバネとを備えている。このものでは、入口ポートの入口側圧力はダイヤフラムの下面に受圧され、出口ポートの出口側圧力はダイヤフラムの上面に受圧される。そして励磁コイル部に通電されると、磁気吸引力が開弁力として作用して弁軸を開弁方向（下方向）に移動させ、これにより弁体を開弁方向（下方向）に移動させ、弁体を弁座から離して弁口が開弁される。

このものでは、入口ポートの入口側圧力は弁体に受圧され、下向きの力として開弁方向に作用する。また入口ポートの入口側圧力はダイヤフラムの下面に受圧され、上向きの力として閉弁方向に作用する。ここで弁体の有効受圧面積とダイヤフラムの有効受圧面積とは等しく設定されている。このため閉弁時には、入口ポートの入口側圧力の影響は、キャンセルされる。これにより弁口の前後の差圧だけで流量が一定となるように制御されている。
特開２００３−２６９２６２号公報

上記したバルブ装置では、ダイヤフラムの曲成部の有効受圧面積を可変とする構造は採用されていない。また上記したバルブ装置では、流量が増加すると、弁口の前後に大きさ差圧が発生するため、弁体を開くには、大きな開弁力が必要とされる。よって大きな開弁力を発生させる駆動部として機能する励磁コイル部の大電流化、励磁コイル部の大型化を招くおそれがある。

更に上記したバルブ装置では、出口ポートの出口側圧力がダイヤフラムの上面側に導入される構造が採用されているため、流体に異物質が含まれているときには、異物質がダイヤフラムの上面側に流入し、結果として、弁軸の摺動部位に異物質が付着したり堆積したりする不具合があり、弁軸の開弁動作不良が発生するおそれがある。

本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、弁体を開弁させる開弁力を発生させる駆動部の小型化を図るのに有利であり、更に、弁軸等の可動体の摺動部位に異物質が付着したり堆積したりすることを抑制するのに有利なダイヤフラム式バルブ装置を提供することを課題とする。

（１）様相１に係るダイヤフラム式バルブ装置は、
（ａ）流体が供給される入口ポート、流体が吐出される出口ポート、入口ポートおよび出口ポートの間に形成された弁口をもつボディと、
（ｂ）弁口を開閉する弁体と弁体を開弁および閉弁させる可動部とをもつ可動体と、
（ｃ）可動体を開弁動作および閉弁動作させる駆動部と、
（ｄ）入口ポートに連通する流体室と入口ポートに非連通の作動室とにボディ内を仕切るようにボディの可動体との間に設けられ、可動体の開弁動作および閉弁動作に伴い撓み変形するローリングダイヤフラムとを具備しており、
（ｅ）ボディおよび可動体のうちの少なくとも一方は、
可動体の開弁動作および閉弁動作に伴いローリングダイヤフラムに対面接触可能に設けられ、対面接触に伴いローリングダイヤフラムの曲成部の曲率を変化させてローリングダイヤフラムの有効受圧面積を可変とする傾斜面を備えており、
（ｆ）弁体が閉弁しているときにおける開弁方向に受圧するローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡshutとし、弁体が開弁しているときにおける開弁方向に受圧するローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡopenとするとき、ＡshutよりもＡopenを小さく（Ａopen＜Ａshut）設定するように、傾斜面は、可動体の軸芯に対して傾斜されていることを特徴とする。

本様相によれば、ローリングダイヤフラムは、入口ポートに連通する流体室と入口ポートに非連通の作動室とに、ボディ内を仕切る。ローリングダイヤフラムは、入口ポートおよび流体室の流体が作動室に進入することを防止する。これにより作動室内に保持されている部品を流体から保護する。入口ポートおよび流体室の流体圧は、弁体を開弁させる方向にローリングダイヤフラムに作用する。ここで、ローリングダイヤフラムの有効受圧面積とは、弁体を開弁させる方向に入口ポート側の流体がローリングダイヤフラムに作用する受圧面積であると定義される。ローリングダイヤフラムの有効受圧径とは、有効受圧面積を規定する直径と定義される。開弁状態の弁体を閉弁させるとき、ローリングダイヤフラムに作用する流体受圧力は、閉弁抵抗として作用する。このため駆動部の閉弁用駆動力は、ローリングダイヤフラムの流体受圧力（閉弁抵抗）に打ち勝って、弁体を閉弁方向に移動させる必要がある。

本様相によれば、上記したように弁体の開弁時における開弁方向に受圧するローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａopenは、弁体の閉弁時における開弁方向に受圧するローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａshutよりも相対的に小さい（Ａopen＜Ａshut）。このため開弁状態の弁体を閉弁させるとき、閉弁力を小さくでき、ひいては、駆動部の駆動力を小さくできる利点が得られる。この場合、駆動部の小型化を図り得る。

これに対して、閉弁状態の弁体を開弁させるときには、駆動部の開弁用駆動力は、ローリングダイヤフラムの有効受圧面積に作用する流体受圧力によってアシストされる。上記したように弁体の閉弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａshutは、弁体の開弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａopenよりも、相対的に大きい（Ａopen＜Ａshut）。従って、上記したローリングダイヤフラムを開弁方向に付勢するアシスト力は、相対的に大きい。このため閉弁状態の弁体を開弁させるとき、アシスト力を開弁力として加算できる。このため弁体を開弁方向に移動させる駆動部の開弁用駆動力を小さくできる利点が得られる。この場合、駆動部の小型化を図り得る。

駆動部としては、駆動モータが例示されるが、励磁コイル部としても良い、ポンプ類で生成される空気圧または油圧等の流体圧が供給される流体圧室としても良い。ローリングダイヤフラムは、入口ポートに連通する流体室と入口ポートに非連通の作動室とにボディ内を仕切るものである。可動体の開弁動作および閉弁動作に伴い、ローリングダイヤフラムは撓み変形する。なお、弁体を閉弁方向に付勢するバネ等の付勢要素は、装備されていても良いし、装備されていなくても良い。

（２）様相２に係るバルブ装置によれば、上記様相において、傾斜面は、ボディのうちダイヤフラムに対面する内壁面に設けられており、可動体の開弁動作が進行する方向に進むにつれて、内壁面の内径が減少するように円錐状に形成されていることを特徴とする。

この場合、傾斜面は、ボディのうちダイヤフラムに対面する内壁面において、可動体の開弁動作が進行する方向に進むにつれて、内壁面の内径が減少するように円錐状に形成されている。このため、弁体が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡshutとし、弁体が開弁しているときにおけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡopenとするとき、上記した傾斜面によって、ＡshutよりもＡopenを小さく（Ａopen＜Ａshut）設定することができる。

（３）様相３に係るバルブ装置によれば、上記様相において、傾斜面は、可動体のうちダイヤフラムに対面する外壁面に設けられており、可動体の開弁動作が進行する方向に進むにつれて、外壁面の外径が増加するように円錐状に形成されていることを特徴とする。このため、弁体が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡshutとし、弁体が開弁しているときにおけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡopenとするとき、上記した傾斜面によって、ＡshutよりもＡopenを小さく（Ａopen＜Ａshut）設定することができる。

（４）様相４に係るバルブ装置によれば、上記様相において、可動体は、ローリングダイヤフラムに対面してローリングダイヤフラムの姿勢を支持する姿勢支持部材を備えており、姿勢支持部材は傾斜面を備えていることを特徴とする。このため、様相３に示す作用が得られる。

本発明によれば、弁体の開弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａopenは、弁体の閉弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａshutよりも相対的に小さい（Ａopen＜Ａshut）。このため開弁状態の弁体を閉弁させるとき、閉弁抵抗が小さくなり、駆動部による閉弁力を小さくできる。このため弁体を閉弁方向に移動させる駆動部の駆動力を小さくできる。

また本発明によれば、弁体の開弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａopenよりも、弁体の閉弁時におけるローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａshutは、相対的に大きい（Ａopen＜Ａshut）。閉弁状態の弁体を開弁させるとき、開弁アシスト力（ローリングダイヤフラムの有効受圧面積Ａshutに流体圧が開弁方向に作用する力）が相対的に大きくなり、駆動部による開弁力を小さくできる。このため弁体を開弁方向に移動させる駆動部の駆動力を小さくでき、駆動部の小型化を図るのに有利である。

更に本発明によれば、出口ポートの流体はローリングダイヤフラムのうち可動体側に流入しない構造が採用されている。このため、弁軸などの可動体の摺動部位に異物質が付着したり堆積したりすることを抑制するのに有利となる。

（実施形態１）
以下、本発明の実施形態１について図１〜図４を参照して説明する。図１に示すように、バルブ装置は、ボディ１と、可動体２と、駆動部４と、ローリングダイヤフラム６とを備えている。ボディ１は、高圧側の横向きの入口ポート１０と、低圧側の下向きの出口ポート１１と、入口ポート１０および出口ポート１１の間に形成された円形状をなす弁口１２と、弁口１２を形成するリング形状の突起からなる弁座１３ともつ。ボディ１は、第１ボディ１ｆと、第１ボディ１ｆに取付具により着脱可能に固定された第２ボディ１ｓとを備える。第１ボディ１ｆは、入口ポート１０と、出口ポート１１と、弁口１２と、弁座１３とをもつ。第２ボディ１ｓは、円筒形状の取付孔１４をもつ円筒形状をなす鉛直方向に沿った軸芯をもつ取付部１５と、大気と連通する第１連通孔１６ｆおよび第２連通孔１６ｓとをもつ。第１連通孔１６ｆおよび第２連通孔１６ｓは、ローリングダイヤフラム６の作動につれて呼吸する呼吸孔とされている。このため後述する作動室１９は大気開弁とされている。

図１に示すように、可動体２は、弁口１２を開閉する円板状をなす弁体２１と、弁体２１を開弁および閉弁させる可動部として機能する弁軸２４とをもつ。弁軸２４は弁体２１の中央域に位置しており、弁軸２４の外径方向に突出する鍔部２５をもつ。弁体２１は弁軸２４に対して鍔状とされているため、弁体２１の外径は弁軸２４の外径よりも大きくされている。弁軸２４は鉛直方向に沿った縦軸型をなしており、第２ボディ１ｓの取付孔１４に筒形状のブッシュ１７を介して鉛直方向に沿って摺動可能に設けられている。弁軸２４の他端部（上端部）側には、ラック歯２６が連続するラック部２７（歯部）が弁軸２４の軸長方向に沿って形成されている。

図１に示すように、弁体２１は、弁軸２４の先端部（下端部）に取り付けられた金属または硬質樹脂製の第１弁体２１ｆと、第１弁体２１ｆの外周面および下面を被覆するゴムや軟質樹脂等の可撓材料で形成された第２弁体２１ｓとを備えている。第２弁体２１ｓが弁座１３に着座するため、弁体２１の閉弁時におけるシール性が得られる。

可動体２は、金属または硬質樹脂製の姿勢支持部材３を同軸的に備えている。姿勢支持部材３はローリングダイヤフラム６に対面してローリングダイヤフラム６の姿勢を支持するものである。姿勢支持部材３は、弁軸２４と同軸的に配置された円筒形状をなしており、弁軸２４の外径方向に突出する鍔部２５で固定された底部３０と、底部３０から上方に向けて延設された断面円形状をなす筒部３２とをもつ。筒部３２はこれの軸長方向において外径がほぼ等しい直円筒形状とされている。入口ポート１０の流体により、ローリングダイヤフラム６の上面６ｕが筒部３２に離脱可能に張り付いている。

図１に示すように、ローリングダイヤフラム６のうち外縁部６０は、厚肉状とされており、第１ボディ１ｆと第２ボディ１ｓとに挟持されて固定されている。ローリングダイヤフラム６の内縁部６１は、弁体２１の第１弁体２１ｆと鍔部２５とにより挟持されて固定されている。ローリングダイヤフラム６は、ゴムや軟質樹脂等の可撓性をもつ材料を基材として形成されている。ローリングダイヤフラム６の内部には、硬質樹脂や金属で形成された流体バリヤ層が埋設されていても良い。ローリングダイヤフラム６は、入口ポート１０に連通する流体室１８と入口ポート１０に非連通の作動室１９とにボディ１内を仕切る。作動室１９には弁軸２４および後述のピニオン４２が配置されている。ローリングダイヤフラム６は、可動体２の開弁動作（矢印Ｈ１方向）および閉弁動作（矢印Ｈ２方向）に伴い、撓み変形する。弁体２１が弁座１３に着座して弁口１２が閉弁されているときには、ローリングダイヤフラム６は上方（弁体２１および弁口１２から遠ざかる方向）に突出するように曲成された曲成部６３をもつ。曲成部６３は弁軸２４の軸芯ＰＫの回りでリング形状とされている。

駆動部４は、可動体２を開弁動作（矢印Ｈ１方向）および閉弁動作（矢印Ｈ２方向）させるものであり、ボディ１の第２ボディ１ｓに固定されている。駆動部４は、第２ボディ２ｓに固定された駆動モータ４０と、駆動軸４１と、駆動軸４１に取り付けられた作動子として機能するピニオン４２とをもつ。ピニオン４２はラック歯２６に噛み合う。駆動モータ４０が一方向に駆動すれば、ピニオン４２とラック歯２６との噛み合いにより、弁軸２４は開弁動作（矢印Ｈ１方向，上方向）に移動する。駆動モータ４０が他方向に駆動すれば、ピニオン４２とラック歯２６との噛み合いにより、弁軸２４は閉弁動作（矢印Ｈ２方向，下方向）に移動する。

図１に示すように、ボディ１の第２ボディ１ｓの内壁面１ｉは、作動室１９に対面している。第２ボディ１ｓの内壁面１ｉのうちローリングダイヤフラム６の上面６ｕに対面する領域には、傾斜面７が形成されている。傾斜面７としては、可動体２の開弁動作（矢印Ｈ１方向）が進行する方向に進むにつれて（鉛直方向の上方に向かうにつれて）、傾斜面７の内径Ｄｉが減少するように円錐状に形成されている。この円錐は弁軸２４の軸芯ＰＫの回りに形成されており、軸芯ＰＫに対して角度θａ傾斜している。角度θａとしては、５〜６０°の範囲内、１０〜３５°の範囲内で設定することが好ましい。可動体２の開弁動作が進行するにつれて、ローリングダイヤフラム６の上面６ｕは傾斜面７に離脱可能に張り付くことができる。

弁軸２４が開弁動作したり閉弁動作したりすると、第２ボディ１ｓの傾斜面７とローリングダイヤフラム６の上面６ｕとが対面接触しつつ、ローリングダイヤフラム６が曲成部６３を形成しつつ撓み変形するように、ローリングダイヤフラム６および傾斜面７は設けられている。この対面接触に伴い、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の曲率半径および曲率が変化し、曲成部６３の頂部６４の直径（有効受圧径）Ｒ０が変化する。このように開弁動作および閉弁動作に伴い、ローリングダイヤフラム６の有効受圧径の大きさが変化するため、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積の大きさは可変とされる。

以下、更に説明を加える。ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積は、弁体２１および弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に、入口ポート１０側の流体（一般的には気体または液体）がローリングダイヤフラム６を持ち上げて、弁体２１を開弁させる方向にアシスト力として寄与するものである。従ってローリングダイヤフラム６の有効受圧面積は、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４よりも内側の部分が受圧する面積を意味する。ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４よりも内側の部分に、入口ポート１０側の流体が作用すると、弁体２１および弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に付勢させる。ここで、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４よりも外側の部分は、第２ボディ１ｓを開弁方向（矢印Ｈ１方向）に引っ張る機能を果たすが、弁軸２４及び弁体２１の開弁力には寄与しないため、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積には含まれない。

図２は弁体２１がｙぶん開弁している状態を示す。開弁状態の弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向，下方向）に移動させて閉弁させるとき、入口ポート１０および流体室１８の流体の圧力は、ローリングダイヤフラム６の下面６ｄを上向き（矢印Ｈ１方向）に付勢するため、閉弁状態の弁体２１を矢印Ｈ１方向に開弁させるときには開弁アシスト力として寄与し、開弁状態の弁体２１を矢印Ｈ２方向に閉弁させるときには閉弁抵抗として作用する。このため、駆動部４の閉弁用駆動力は、ローリングダイヤフラム６に作用する流体受圧力（閉弁抵抗）に打ち勝って、弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向）に移動させる必要がある。

図３は、閉弁している弁体２１が開弁方向（矢印Ｈ１方向，上方）に移動するときにおけるローリングダイヤフラム６の曲成部６３の変化を示す。形態Ｍ０は、弁体２１が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の曲成部６３を示す。弁体２１が弁座１３から離間して弁口１２が開弁方向（矢印Ｈ１方向，上方）に進行すると、形態Ｍ０→形態Ｍ１→形態Ｍ２となる。

形態Ｍ０では、曲成部６３の中心をＣ０とし、中心Ｃ０の直径をＲ０とし、曲成部６３の曲率半径をｒ０とする。形態Ｍ１では、曲成部６３の中心をＣ１とし、中心Ｃ１の直径をＲ１とし、曲成部６３の曲率半径をｒ１とする。形態Ｍ２は、弁体２１が弁座１３から離間して弁口１２が少し開弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の曲成部６３を示す。形態Ｍ２では、曲成部６３の中心をＣ２とし、中心Ｃ２の直径をＲ２とし、曲成部６３の曲率半径をｒ２とする。

図３から理解できるように、弁体２１の開弁度が進行するにつれて、ローリングダイヤフラム６の上面６ｕがボディ１の傾斜面７に張り付く量が増加する。結果として、図３から理解できるように、曲成部６３の曲率半径としては、ｒ２＜ｒ１０＜ｒ０の関係とされており、弁体２１の開弁が進むにつれて、曲成部６３の曲率半径は次第に小さくなる。更に、ローリングダイヤフラム６の有効受圧径としては、Ｒ２＜Ｒ１＜Ｒ０の関係とされており、開弁が進むにつれて、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積は次第に小さくなる。

従って、本実施形態によれば、弁体２１が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積をＡshutとし、弁体２１が開弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積をＡopenとすると、ＡshutよりもＡopenは相対的に小さく（Ａopen＜Ａshut）設定されている。このため開弁状態の弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向）に移動させて閉弁させる初期において、入口ポート１０および流体室１８における流体の圧力に起因する閉弁抵抗が小さくなり、閉弁動作がスムースに行われる。このため開弁状態の弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向）に移動させる駆動部４の駆動力を小さくでき、駆動部４の小型化を図り得る。

図１は弁体２１が閉弁している状態を示す。閉弁状態の弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に持ち上げて開弁させるときには、駆動部４の駆動モータ４０が駆動して弁軸２４を矢印Ｈ１方向に持ち上げ、弁体２１を持ち上げる。この場合、入口ポート１０および流体室１８の圧力は、ローリングダイヤフラム６を持ち上げる方向（開弁方向）に寄与している。結果として、ローリングダイヤフラム６に作用する入口ポート１０および流体室１８の圧力は、開弁アシスト力として機能することができる。従って、駆動部４の開弁用駆動力によって弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に移動させるとき、駆動部４の開弁用駆動力は、ローリングダイヤフラム６の下面６ｄの有効受圧面積に作用する流体受圧力によってアシストされる。ここで、上記したようにＡopen＜Ａshutの関係に設定されている。この結果、閉弁状態の弁体２１を開弁させるとき、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａshut（Ａopen＜Ａshut）に起因するアシスト力によって開弁力を増加させることができる。このため閉弁状態の弁体２１を開弁方向に移動させる駆動部４の開弁用駆動力を小さくできる。この場合、駆動部４の小型化を図り得る。

本実施形態によれば、図１から理解できるように、弁体２１が閉弁しているとき、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４を、弁軸２４の軸芯ＰＫと平行に通過する仮想線をＫＡとすると、仮想線ＫＡの延長線は、ボディ１の弁座１３の着座部またはこの付近を通過するように設定されている。また図２から理解できるように、弁体２１が開弁しているとき、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４を、弁軸２４の軸芯ＰＫと平行に通過する仮想線をＫＢとすると、仮想線ＫＢは、ボディ１の弁座１３（仮想線ＫＡ）よりも径内側に移動している。従って仮想線ＫＢは仮想線ＫＡよりも径内側（軸芯ＰＫ側）に移動している。

更に本実施形態によれば、上記した特許文献１とは異なり、閉弁時において、出口ポート１１は弁体２１で閉鎖されている。よって、入口ポート１０の流体はもとより、出口ポート１１の流体はローリングダイヤフラム６のうち可動体２側の作動室１９に流入しない構造が採用されている。このため、流体（一般的には気体または液体）が異物質を含むときであっても、弁軸２４の摺動部位に異物質が付着したり堆積したりすることを抑制するのに有利となる。

（好ましい範囲）
好ましい範囲について、図４を用いつつ更に説明を加える。ここでＡは面積（Area）、vは弁体２１（valve）、inは入口、outは出口、ｄはダイヤフラム（diaphragm）を意味する。符号０はローリングダイヤフラム６の閉弁状態を意味する。符号１はローリングダイヤフラム６の開弁状態を意味する。入口ポート１０（流体室１８）の圧力をＰ１とし、出口ポート１１の圧力をＰ２とし、大気圧をＰａとする。

弁体２１が閉弁しているときには、図４に示すように、弁体２１の有効受圧径およびローリングダイヤフラム６の有効受圧径をそれぞれ同一径に設定し、Ｒ０とする。出口ポート１１には流体が流れていないため、出口ポート１１の圧力Ｐ２は大気圧となり、Ｐａとなる。入口ポート１０の圧力Ｐ１を下向きに受圧する弁体２１の有効受圧面積Ａvinとする。なお、弁体２１の上面の外縁領域２１ｕと弁体２１の下面の外縁領域２１ｄには、入口ポート１０の圧力Ｐ１が互いに逆方向に作用して実質的に相殺される。

図４において、出口ポート１１の圧力Ｐ２を上向き（開弁方向）に受圧する弁体２１の有効受圧面積をＡvout（弁体２１の下面のうちリング状の弁座１３の着座面で区画される開口の面積に相当）とする。ローリングダイヤフラム６の下面６ｄは、入口ポート１０の圧力Ｐ１を上向き（開弁方向）に受圧する。閉弁時において、入口ポート１０の圧力Ｐ１を上向き（開弁方向）に受圧するローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａdin０（Ａdin０はＡshutに相当）とする。また、開弁時において、入口ポート１０の圧力Ｐ１を上向き（開弁方向）に受圧するローリングダイヤフラム６の有効受圧面積をＡdin１（Ａdin１はＡopenに相当）とする。

ここで、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａdin０（Ａdin０はＡshutに相当）と、有効受圧面積Ａdin１（Ａdin１はＡopenに相当）とは共に、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４よりも径内側の領域に相当する。

また図４において、ローリングダイヤフラム６の上面６ｕは、作動室１９の圧力Ｐａを下向き（閉弁方向）に受圧する。閉弁時において、作動室１９の圧力（Ｐａ）を下向き（閉弁方向）に受圧するローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａdout０とする。開弁時において、作動室１９の圧力（Ｐａ）を下向き（閉弁方向）に受圧するローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａdout１とする。

Ａdout０およびＡdout１についても、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４の内側の領域の面積に相当する。作動室１９の圧力は弁軸２４の軸端面２４ｕに作用するため、Ａdout０およびＡdout１はそれぞれ、軸端面２４ｕの受圧面積も含む。

駆動部４の駆動力を小さくし、駆動部４の小型化を図るためには、弁体２１が閉弁している状態において、図４に示すように、Ａvin＝Ａdin０の関係、Ａvout＝Ａdout０の関係に、弁体２１、ローリングダイヤフラム６、傾斜面７，弁口１２および弁座１３の構造は設定されていることが好ましい。

更に説明を加える。入口ポート１０の流体がダイヤフラムを上向き（開弁方向）に加圧する力を負記号とする。入口ポート１０（流体圧１８）の流体が弁体２１を下向き（閉弁方向）に加圧する力を正記号とする。閉弁時には、出口ポート１１には流体が流れないため、出口ポート１１の圧力Ｐ２は大気圧Ｐａとなる。ここで、弁軸２４を閉弁方向に付勢する力をＦ１とすると、式（１）が得られる。
式（１）…
Ｆ１＝Ｐ１・Ａvin＋Ｐａ・Ａdout０−Ｐ１・Ａdin０−Ｐａ・Ａvout
ここで図４から理解できるように、弁体２１が閉弁しているとき、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４を、軸芯ＰＫと平行に通過する仮想線をＫＡとすると、仮想線ＫＡは、ボディ１の弁座１３の着座部を通るように設定されている。故に、図４から理解できるように、Ａvin＝Ａdin０であり、Ａvout＝Ａdout０の関係に設定されている。

故に、これらを式（１）に代入すれば、弁軸２４を閉弁方向に付勢する力Ｆ１としては、弁Ｆ１＝０となる。このため入口ポート１０および流体室１８の圧力Ｐ１の変動の影響を受けることを避けつつ、駆動部４は小さな開弁用駆動力で弁軸２４および弁体２１を開弁させることができる。故に、駆動モータ４０を、出力トルクが小さな小型のモータにでき、バルブ装置の小型化、軽量化および低廉化を図り得る。駆動モータ４０に代えて励磁コイル部を設ける場合であっても、励磁コイル部を小型化できる。

このように弁体２１が閉弁している状態において、弁軸２４を閉弁方向に付勢する力Ｆ１を０とし、入口ポート１０の圧力Ｐ１の変動の影響を駆動部４が受けることを抑えるという効果を得るためには、Ａvin＝Ａdin０の関係、Ａvout＝Ａdout０の関係、あるいは、Ａvin≒Ａdin０の関係、Ａvout≒Ａdout０の関係とすることが好ましい。従って、Ａvin／Ａdin０としては、０．８〜１．２の範囲内が好ましく、更には、０．９〜１．０の範囲内、あるいは、０．９５〜１．０５の範囲内が好ましい。また、弁体２１が閉弁しているとき、Ａvout／Ａdout０としては、０．８〜１．２の範囲内が好ましく、更には０．９〜１．０の範囲内、０．９５〜１．０５の範囲内が好ましい。

図２は弁体２１が開弁している状態を示す。開弁されている弁口１２を介して、流体が入口ポート１０から出口ポート１１に流れるとき、流体の流量をＱとすると、圧力損失により、Ｐ２−Ｐａ＝ｆ（Ｑ）の特性（一般的には一次式または二次式に近似）が得られる。流量Ｑの増加に伴い、圧力損失は増加する。

図４によれば、開弁しているとき弁軸２４に閉弁方向に付勢する力をＦ２とすると、式（２）が得られる。
式（２）…Ｆ２＝Ｐ１・Ａvin＋Ｐａ・Ａdout１−Ｐ１・Ａdin１−Ｐ２・Ａvout
ΔＰ１＝Ｐ１−Ｐａ、ΔＰ２＝Ｐ２−Ｐａとすると、式（３）が得られる。ここで、ΔＰ１は、バルブ装置自身の圧力損失とバルブ装置出口側に接続される配管等の圧力損失との和を意味する。ΔＰ２は、バルブ装置出口側に接続される配管等の圧力損失を意味する。
式（３）…Ｆ２＝（ΔＰ１＋Ｐａ）・Ａvin＋Ｐａ・Ａdout１−（ΔＰ１＋Ｐａ）・Ａdin１−（ΔＰ２＋Ｐａ）・Ａvout
更に、式（３）を整理すると、式（４）〜式（９）が得られる。
式（４）…Ｆ２＝ΔＰ１・Ａvin＋Ｐａ・Ａvin＋Ｐａ・Ａdout１−ΔＰ１・Ａdin１−Ｐａ・Ａdin１−ΔＰ２・Ａvout−Ｐａ・Ａvout
式（５）…Ｆ２＝ΔＰ１・Ａvin＋−ΔＰ１・Ａdin１−ΔＰ２・Ａvout＋Ｐａ・Ａvin＋Ｐａ・Ａdout１−Ｐａ・Ａdin１−Ｐａ・Ａvout
式（６）…Ｆ２＝ΔＰ１（Ａvin−Ａdin１）−ΔＰ２・Ａvout＋Ｐａ｛Ａvin−Ａdin１）−（Ａvout−Ａdout１）｝

閉弁状態から開弁状態に移行するにつれて、ローリングダイヤフラム６の有効受圧断面積が減少する減少量をΔＡ（図４参照）とする。図４から理解できるように、
ΔＡ+Ａdin１＝Ａvin、また、ΔＡ+Ａｄout１＝Ａdout０＝Ａｖout
従って、ΔＡ＝Ａvin−Ａdin１＝Ａvout−Ａdout１
これを式（６）に代入すると、式（７）が得られる。
式（７）…Ｆ２＝ΔＰ１（Ａvin−Ａdin１）−ΔＰ２・Ａvout
ここで、ｃ＝Ａvout／Ａvin（固定値）とすると、式（８）が得られる。
式（８）…Ｆ２＝ΔＰ１（Ａvin−Ａdin１）−ΔＰ２・ｃ・Ａvin
ここで、力Ｆ２を０とするためには、
Ｆ２＝０＝ΔＰ１（Ａvin−Ａdin１）−ΔＰ２・ｃ・Ａvin
０＝ΔＰ１・Ａvin−ΔＰ１・Ａdin１−ΔＰ２・ｃ・Ａvin
ΔＰ１・Ａdin１＝ΔＰ１・Ａvin−ΔＰ２・ｃ・Ａvin
Ａdin１＝Ａvin−（ΔＰ２／ΔＰ１）・ｃ・Ａvin
式（９）…Ａdin１＝Ａvin（１−ｃ（ΔＰ２／ΔＰ１））
上記した式（９）が得られるように、第２ボディの傾斜面７の円錐形状の傾き角度θａを設定すれば、力Ｆ２は０となる。この結果、圧力Ｐ１の変化の影響を避けつつ、駆動モータ４０の駆動力を低減させることができる。故に、駆動モータ４０を、出力トルクが小さな小型のモータにでき、バルブ装置の小型化および軽量化を図り得る。駆動モータ４０を励磁コイル部に変更した場合であっても、励磁コイル部を小型化できる。

上記した式（９）を考慮すれば、Ａdin１＝Ａvin（１−ｃ（ΔＰ２／ΔＰ１））×βが好ましい。βは補正係数であり、０．８〜１．２の範囲内が好ましく、更には、０．９〜１．０の範囲内、あるいは、０．９５〜１．０５の範囲内が好ましい。

なお、上記した流体が乾燥空気である場合、（Ｐ２／Ｐ１）＜０．５２が成立し、且つ、Ｐ１が一定の場合には、Ｐ２の値とは関係なしに、弁口１２の開口面積と流量とは比例関係となる。従って弁体２１の開弁方向の変位ｙと流量Ｑは比例関係となり（Ｑ＝ａ・ｙ）となる。また、弁口１２の圧損をΔＰ２とするとき、ΔＰ２が流量Ｑとほぼ比例関係と近似できる場合には（ΔＰ２＝ｂ・Ｑ）、ΔＰ２＝ａ・ｂ・ｙとなる。上記した式（９）にこれらを代入すると、Ａdin１＝Ａvin（１−（ａ・ｂ・ｃ・ｙ）／ΔＰ１）となる。この式がほぼ成立するように、傾斜面７の傾きを設定する。

（実施形態２）
図５は実施形態２を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成、作用効果を有する。以下、相違する部分を中心として説明する。図５に示すように、弁体２１を閉弁方向に付勢する付勢要素として機能するバネ９が設けられている。バネ９は弁軸２４と同軸的なコイル状をなしているが、板バネ等にしても良い。バネ９の一端部がブッシュ１７の着座面１７ｘに着座しており、バネ９の他端部が弁軸２４の鍔部２５に着座している。この場合、入口ポート１０の圧力Ｐ１、出口ポート１１の圧力Ｐ２が共に大気圧Ｐａとされるときであっても、バネ９の閉弁方向への付勢力により、弁体２１は良好に閉弁される。

閉弁時において、入口ポート１０の圧力Ｐ１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向、下向き）に受圧する弁体２１の有効受圧面積Ａvinとし、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４で区画され開弁方向（矢印Ｈ１方向、上向き）に受圧する有効断面積をＡdin０とすると、バネ９の閉弁方向（矢印Ｈ２方向）への付勢力を考慮し、Ａdin０＞Ａvinに設定する。

換言すると、バネ９が搭載されている場合には、バネ９の閉弁方向への付勢力をＦＳとすると、基本的には、Ｐ１・Ａvin＋ＦＳ＝Ｐ１・Ａdin０の関係に設定することが好ましい。即ち、ＦＳ＝Ｐ１・(Ａdin０−Ａvin）となるように、Ａdin０およびＡvinの各有効面積を設定することが好ましい。

従って補正係数をδとすると、ＦＳ＝Ｐ１・(Ａdin０−Ａvin）・δとなるようにＡdin０およびＡvinの有効受圧面積を設定することが好ましい。δは補正係数であり、０．８〜１．２、あるいは、０．９〜１．１、あるいは、０．９５〜１．０５が採用される。

（実施形態３）
図６〜図８は実施形態３を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成、作用効果を有する。以下、相違する部分を中心として説明する。図６に示すように、ボディ１は第１ボディ１ｆと第２ボディ１ｓとをもつ。第２ボディ１ｓのうち、ローリングダイヤフラム６に対面する内壁面１ｉは、鉛直方向に沿って延設されており、弁軸２４の軸芯ＰＫに沿ったほぼ円筒状の内周面をもつ。図６に示すように、可動体２は、鉛直方向に沿っており、弁口１２を開閉する円板状をなす弁体２１と、弁体２１を開弁および閉弁させる可動部として機能する弁軸２４とをもつ。弁軸２４は弁体２１の中央域に配置されている。弁軸２４は鉛直方向に沿った縦軸型をなしており、第２ボディ１ｓの取付孔１４に筒形状のブッシュ１７を介して鉛直方向に沿って摺動可能に設けられている。

図６に示すように、可動体２は、ローリングダイヤフラム６に対面してローリングダイヤフラム６の姿勢を支持する金属または硬質樹脂製の姿勢支持部材３Ｂを備えている。姿勢支持部材３Ｂは円錐筒形状をなしており、弁軸２４の鍔部２５と弁体２１とで固定された底部３０と、底部３０から上方に円錐筒形状に延設された筒部３２Ｂとをもつ。筒部３２Ｂの内壁面３２ｉは弁軸２４に対面している。筒部３２Ｂの外壁面としての傾斜面７Ｂは、可動体２のうちローリングダイヤフラム６に対面している。可動体２の開弁動作が進行する方向（矢印Ｈ１方向）に進むにつれて、筒部３２Ｂの傾斜面７Ｂの外径Ｄｐは増加するように、傾斜面７Ｂは円錐状に形成されている。傾斜面７Ｂは弁軸２４の軸芯ＰＫに対して角度θｂ傾いている。角度θｂとしては、５〜６０°の範囲内、１０〜３５°の範囲内で設定することが好ましい。このように姿勢支持部材３の筒部３２の外壁面に傾斜面７Ｂは形成されている。入口ポート１０および流体室１８の流体圧によって、姿勢支持部材３Ｂの傾斜面７Ｂとボディ１のほぼ直円筒形状の内壁面１ｉとにローリングダイヤフラム６が離脱可能に張り付いている。

図８は、閉弁している弁体２１が開弁方向（矢印Ｈ１方向，上方）に移動するときにおけるローリングダイヤフラム６の曲成部６３の変化を示す。弁軸２４が矢印Ｈ１，Ｈ２方向に移動するとき、姿勢支持部材３の傾斜面７Ｂは、実質的に平行移動する。図８において、形態Ｍ００は、弁体２１が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の曲成部６３を示す。弁体２１が開弁方向（矢印Ｈ１方向，上方）に進行すると、形態Ｍ００→形態Ｍ１０→形態Ｍ２０となる。

形態Ｍ００では、ローリングダイヤフラム６については、曲成部６３の中心をＣ００とし、中心Ｃ００の直径をＲ００とし、曲成部６３の曲率半径をｒ００とする。形態Ｍ１０では、曲成部６３の中心をＣ１０とし、中心Ｃ１０の直径をＲ１０とし、曲成部６３の曲率半径をｒ１０とする。形態Ｍ２０では、曲成部６３の中心をＣ２０とし、中心Ｃ２０の直径をＲ２０とし、曲成部６３の曲率半径をｒ２０とする。図８から理解できるように、曲成部６３の曲率半径としては、ｒ００＜ｒ１０＜ｒ２０とされており、ローリングダイヤフラム６の有効受圧径としては、Ｒ２０＜Ｒ１０＜Ｒ００とされている。

図８から理解できるように、閉弁している弁体２１が開弁方向（矢印Ｈ１方向）に移動して開弁度が進行するにつれて、ローリングダイヤフラム６が筒部３２Ｂの傾斜面７Ｂに張り付いている張り付き量は、次第に減少していく。更に、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４の直径を示す有効受圧径としては、Ｒ００→Ｒ１０→Ｒ２０のように次第に減少する。結果として、ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積（曲成部６３の頂部６４よりも内側の面積）は、次第に減少する。ローリングダイヤフラム６の有効受圧面積は、ローリングダイヤフラム６の有効受圧径Ｒ００，Ｒ１０，Ｒ２０に対応するためである。

従って、弁体２１が閉弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａshutとし、弁体２１が開弁しているときにおけるローリングダイヤフラム６の有効受圧面積Ａopenとするとき、Ａshutよりもopenは相対的に小さく（Ａopen＜Ａshut）設定されている。

この結果、入口ポート１０および流体室１８の流体の圧力Ｐ１がローリングダイヤフラム６の下面６ｄを開弁方向に付勢している力（開弁アシスト力、閉弁抵抗）については、開弁時は閉弁時よりも相対的に小さくなる。従って、開弁している弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向）に移動させる閉弁初期において、入口ポート１０および流体室１８における流体の圧力Ｐ１に起因する閉弁抵抗が小さくなり、駆動部４による閉弁動作をスムースに行なうことができる。このため開弁状態の弁体２１を閉弁方向（矢印Ｈ２方向）に移動させるとき、駆動部４の閉弁用駆動力を小さくでき、駆動部４の小型化を図り得る。

また図６は弁体２１が閉弁している状態を示す。閉弁状態の弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に持ち上げて開弁させるとき、駆動部４の駆動モータ４０が駆動して弁軸２４を矢印Ｈ１方向に持ち上げ、弁体２１を持ち上げる。この場合、第１ポート１０および流体室１８の流体（気体または液体）の圧力Ｐ１は、ローリングダイヤフラム６を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に付勢している。結果として、ローリングダイヤフラム６の下面６ｄに作用する第１ポート１０および流体室１８の圧力Ｐ１は、開弁アシスト力として機能することができる。従って、駆動部４の開弁用駆動力によって弁体２１を開弁方向（矢印Ｈ１方向）に移動させるとき、駆動部４の開弁用駆動力は、開弁アシスト力によってアシストされる。従って、駆動部４の開弁用駆動力を小さくできる。この場合、駆動部４の小型化を図り得る。

本実施形態では、図６から理解できるように、弁体２１が閉弁しているとき、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４を、弁軸２４の軸芯ＰＫと平行に通過する仮想線をＫＣとする。また図７から理解できるように、弁体２１が開弁しているとき、ローリングダイヤフラム６の曲成部６３の頂部６４を、弁軸２４の軸芯ＰＫと平行に通過する仮想線をＫＤとすると、仮想線ＫＤは仮想線ＫＣよりも径内側（軸芯ＰＫ側）に移動している。

更に本実施形態においても、上記した特許文献１とは異なり、図６から理解できるように、閉弁時において、出口ポート１１は弁体２１で閉鎖されている。故に、入口ポート１０の流体はもとより、出口ポート１１の流体は、ローリングダイヤフラム６のうち可動体２側に流入しない構造が採用されている。このため、流体が異物質を含むときであっても、弁軸２４の摺動部位に異物質が付着したり堆積したりすることを抑制するのに有利となる。

（実施形態４）
図９は実施形態４を示す。本実施形態は燃料電池システムに適用している。実施形態１と基本的には共通の構成および共通の作用効果を有する。共通する部位に共通の符号を付する。燃料発電システムは、改質器１００と、燃焼器２００と、燃料電池３００と、改質器１００と燃料電池３００とを繋ぐ供給通路４００とを備えている。改質器１００には、改質用原料としての原料ガス（例えば天然ガス、都市ガス）および原料水（または水蒸気）を送給する送給通路１１０が設けられている。送給通路１１０には、原料ガスの流量を制御する制御弁１００ｅ、原料ガスを搬送するポンプ等の搬送要素１００ｆ、原料ガスのガス源１００ｋが接続されている。改質器１００は、水蒸気を利用して原料ガスを改質させて水素リッチな燃料ガス（燃料）を生成する。このため改質器１００で改質された燃料ガスは水蒸気を含むことが多い。

燃焼器２００は、燃焼用原料としての燃焼用ガスを燃焼させることにより改質器１００を改質反応に適するように加熱する。燃焼器２００は改質器１００を効果的に加熱できるように改質器１００に隣接されている。改質器１００と燃焼器２００とで改質ユニットを構成する。燃焼器２００に燃焼用ガスを供給する燃焼用ガス通路２２０が設けられている。燃焼用ガス通路２２０には、燃焼用ガスの流量を調整する制御弁２２０ｅが設けられている。

燃料電池３００は燃料極と酸化剤極とを有する。燃料電池３００は発電運転により昇温するため、冷却水通路３２０を流れる冷却水により冷却され、燃料電池３００の過熱が抑制されている。供給通路４００は、改質器１００の出口１００ｐと燃料電池３００の燃料極の入口３００ｉとを繋ぐ。供給通路４００には、供給弁５００（燃料遮断要素）が燃料電池３の燃料極の入口３００ｉの上流に位置して設けられている。

改質器１００で改質された燃料ガスは、供給通路４００を介して燃料電池３００の燃料極に供給される。酸化剤通路３３０から酸化剤ガス（空気）は加湿器３３３で加湿された後に、燃料電池３００の酸化剤極に供給される。これにより燃料電池３００は発電する。

燃料電池３００の燃料極の燃料出口３００ｐと燃焼器２００とを繋ぐ帰還通路６１０が設けられている。帰還通路６１０には開閉可能な帰還弁６００（燃料オフ流体遮断要素）が設けられている。燃料電池３００で発電反応に使用された燃料オフガス（燃料オフ流体）には、燃料成分が残留していることがある。そこで、帰還弁６００が開弁すると、帰還通路６１０は、燃料電池３００で発電反応に使用された燃料オフガスを燃料極の出口３００ｐから凝縮器７３０を介して燃焼器２００に帰還させ、燃焼器２００で再利用する。

図９に示すように、供給通路４００には分岐部４００ａを介してバイパス通路６５０が設けられている。バイパス通路６５０は、改質器１００で改質された燃料ガスを燃料電池３００に流さないように、燃料電池３００を迂回させるものである。バイパス通路６５０には、開閉可能なバイパス弁６６０（燃料遮断要素）が設けられている。システムの起動時には、改質器１００の温度が必ずしも充分に安定していない。このため、改質器１００の改質反応で生成された燃料ガスの組成は、必ずしも充分に安定していないことがある。そこで、システムの起動時には、供給弁５００および帰還弁６００を遮断し、バイパス弁６６０を開弁させて、改質器１００からの燃料ガスを燃料電池３００に流さず、バイパス通路６５０から燃焼器２００に帰還させる。これにより起動直後に改質された燃料ガスは、燃焼器２００の燃焼に再利用される。

使用方法について説明を加える。起動時には、供給弁５００および帰還弁６００が閉弁されている。先ず、制御弁２２０ｅが開弁して燃焼用ガス通路２２０から燃焼用ガス（燃焼用原料）が燃焼器２００に供給されるとともに、空気通路２３０から空気が燃焼器２００に供給され、燃焼器２００で燃焼用ガスが燃焼する。これにより改質器１００が次第に加熱されて昇温する。送給通路１１０により原料ガスおよび水蒸気が改質器１００に供給され、改質器１００において改質反応により水素リッチな燃料ガスが生成される。

しかしシステムの起動時初期には、改質器１００の温度が必ずしも充分に安定していないことがある。このため、改質器１００の改質反応で生成された燃料ガスの組成は、必ずしも充分に安定していないことがある。例えば、定常運転のときよりも、水素濃度が低いことがある。また、燃料電池３００の燃料極に担持されている触媒に影響を与える物質が燃料ガスに含有されているおそれがある。

そこでシステムの起動時初期には、供給弁５００および帰還弁６００が閉弁されている状態で、バイパス弁６６０を開弁して、改質器１００からの燃料ガスを燃料電池３００の燃料極に流さず、バイパス通路６５０から凝縮器７３０を介して燃焼器２００に帰還させる。これにより燃料ガスは燃焼器２００の燃焼に再利用される。

燃焼器２００での燃焼が継続されると、改質器１００の温度が安定する。改質器１００の改質反応で生成された燃料ガスの組成も次第に安定する。そこで、バイパス弁６６０が閉弁した状態で、供給弁５００および帰還弁６００が開弁する。すると、改質器１００で生成された燃料ガスは、供給通路４００および供給弁５００を経て燃料電池３００の燃料極の入口３００ｉに至り、発電反応に使用される。燃料電池３００の酸化剤極の入口に繋がる酸化剤通路３３０には、酸化剤供給用の供給弁３３５が設けられている。燃料電池３００の酸化剤極の出口には酸化剤排出通路３３７が設けられ、酸化剤排出通路３３７には、酸化剤オフガスを排出する排出弁３３８が設けられている。発電反応を経た酸化剤ガス（一般的には空気）は酸化剤オフガスとなり、燃料電池３００の酸化剤極の出口から酸化剤排出通路３３７および排出弁３３８を経て外気に放出される。

発電反応を経た燃料は燃料オフガスとなる。燃料オフガスは、燃料電池３００の燃料極の出口３００ｐから帰還通路６００に吐出され、帰還通路６１０および帰還弁６００を経て、更に凝縮器７３０を経て燃焼器２００に帰還する。これにより燃料オフガスは燃焼器２００の燃焼に再利用される。発電反応を経た燃料は燃料オフガスとなる。

供給通路４００の供給弁５００、帰還通路６１０の帰還弁６００、バイパス通路６５０のバイパス弁６６０、酸化剤通路３３０の供給弁３３５、酸化剤排出通路３３７の排出弁３３８のうち少なくとも一つを、上記した各実施形態に係るバルブ装置とすることができる。更に制御弁２２０ｅについても、上記した各実施形態に係るバルブ装置とすることができる。このバルブ装置は上記したように駆動部の小型化を図り得る。なお、改質器を搭載しないものの燃料貯蔵タンクを搭載している燃料電池システムに適用しても良い。

（その他）
上記した実施形態によれば、駆動部４は駆動モータ４０を備えているが、これに限らず、駆動部は駆動モータ４０に代えて励磁コイル部を備えていることにしても良い。励磁コイル部に通電すると発生する磁気吸引力により弁軸２４を開弁方向に移動させても良い。この場合には弁軸２４は、磁気で吸引させる材質で形成する必要がある。あるいは、気体室をボディ内に設け、気体室に供給した気体の圧力により、弁軸２４を開弁方向に移動させても良い。更に上記した実施形態によれば、弁軸２４の軸芯ＰＫは鉛直方向に沿っているが、これに限らず、鉛直方向に対して傾斜させても良い。本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施可能である。ある実施形態に設けられている特有の構造および機能は、他の実施形態においても適用可能である。

本発明は車両、産業機器などに使用されるダイヤフラム式バルブ装置に利用できる。

実施形態１に係り、弁体が閉弁している状態を示す断面図である。 実施形態１に係り、弁体が開弁している状態を示す断面図である。 実施形態１に係り、ローリングダイヤフラムの曲成部の作動状態を示す断面図である。 実施形態１に係り、弁体が閉弁している状態において、ローリングダイヤフラムの有効受圧面積などを示す断面図である。 実施形態２に係り、弁体が閉弁している状態を示す断面図である。 実施形態２に係り、弁体が閉弁している状態を示す断面図である。 実施形態３に係り、弁体が開弁している状態を示す断面図である。 実施形態３に係り、ローリングダイヤフラムの曲成部の作動状態を示す断面図である。 実施形態４に係り、燃料電池システムのシステム図である。

符号の説明

１はボディ、１０は入口ポート、１１は出口ポート、１２は弁口、１３は弁座、２は可動体、２１は弁体、２４は弁軸、２７はラック部、４は駆動部、４０は駆動モータ、４１は駆動軸、４２はピニオン、１８は流体室、１９は作動室、３は姿勢支持部材、３２は筒部、６はローリングダイヤフラム、６３は曲成部、６４は頂部、７は傾斜面を示す。

Claims (4)

1. 流体が供給される入口ポート、流体が吐出される出口ポート、前記入口ポートおよび前記出口ポートの間に形成された弁口をもつボディと、
   前記弁口を開閉する弁体と前記弁体を開弁および閉弁させる可動部とをもつ可動体と、
   前記可動体を開弁動作および閉弁動作させる駆動部と、
   前記入口ポートに連通する流体室と前記入口ポートに非連通の作動室とに前記ボディ内を仕切るように前記ボディと前記可動体との間に設けられ、前記可動体の開弁動作および閉弁動作に伴い撓み変形するローリングダイヤフラムとを具備しており、
   前記ボディおよび前記可動体のうちの少なくとも一方は、
   前記可動体の開弁動作および閉弁動作に伴い前記ローリングダイヤフラムに対面接触可能に設けられ、対面接触に伴い前記ローリングダイヤフラムの曲成部の曲率を変化させて前記ローリングダイヤフラムの有効受圧面積を可変とする傾斜面を備えており、
   前記弁体が閉弁しているときにおける開弁方向に受圧する前記ローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡshutとし、前記弁体が開弁しているときにおける開弁方向に受圧する前記ローリングダイヤフラムの有効受圧面積をＡopenとするとき、
   ＡshutよりもＡopenを小さく（Ａopen＜Ａshut）設定するように、前記傾斜面は、前記可動体の軸芯に対して傾斜されていることを特徴とするダイヤフラム式バルブ装置。
2. 請求項１において、前記傾斜面は、前記ボディのうち前記ローリングダイヤフラムに対面する内壁面に設けられており、前記可動体の開弁動作が進行する方向に進むにつれて、前記内壁面の内径が減少するように円錐状に形成されていることを特徴とするダイヤフラム式バルブ装置。
3. 請求項１において、前記傾斜面は、前記可動体のうち前記ローリングダイヤフラムに対面する外壁面に設けられており、前記可動体の開弁動作が進行する方向に進むにつれて、前記外壁面の外径が増加するように円錐状に形成されていることを特徴とするダイヤフラム式バルブ装置。
4. 請求項３において、前記可動体は、前記ローリングダイヤフラムに対面して前記ローリングダイヤフラムの姿勢を支持する姿勢支持部材を備えており、
   前記姿勢支持部材は前記傾斜面を備えていることを特徴とするダイヤフラム式バルブ装置。

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