JP2008123663A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. パターン化磁気記録ディスクは、
   ＣｏＮｉＦｅ，ＦｅＣｏＢ，ＣｏＣｕＦｅ，ＮｉＦｅ，ＦｅＡｌＳｉ，ＦｅＴａＮ，ＦｅＮ，ＦｅＴａＣ，ＣｏＴａＺｒ，ＣｏＦｅＴａＺｒ，ＣｏＦｅＢおよびＣｏＺｒＮｂから成る合金の群から選択された軟磁性かつ透磁性の材料の下層、前記下層上に少なくとも１．５ｎｍの厚さを有する拡散障壁、前記拡散障壁上にほぼ平面の表面を有する非晶質Ｓｉ層、および、前記Ｓｉ層表面からほぼ垂直に延び、ほぼ同一平面上にある端部を有し、高さが５ｎｍ以上かつ５０ｎｍ以下であって、放射状に広がった同心円トラックに配置されて、前記トラックに沿って離間されている複数の柱を含む基板と、
   前記柱の前記端部上の垂直磁気異方性を有する記録層であって、Ｃｏ，Ｆｅ，ＰｔおよびＰｄから成る群から選択された１つまたは複数の元素を含む材料で形成された記録層と、
   前記柱の間の前記表面にある、Ｓｉと前記記録層の元素の少なくとも１つとの化合物を含む非磁性領域とを備えることを特徴とするパターン化磁気記録ディスク。
2. 前記記録層が、ＣｏおよびＦｅから成る群から選択された第１の材料の層と、ＰｔおよびＰｄから成る群から選択された第２の材料の層とが交互になった多層を備えることを特徴とする請求項１に記載のパターン化磁気記録ディスク。
3. 前記記録層の材料が粒状のＣｏ合金を含むことを特徴とする請求項１に記載のパターン化磁気記録ディスク。
4. 前記記録層の材料が、Ｓｉ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｖ、およびＢの１つまたは複数の酸化物をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のパターン化磁気記録ディスク。
5. 前記記録層の材料が、ＣｏＰｔ，ＣｏＰｄ，ＦｅＰｔ，およびＦｅＰｄから成る群から選択された化学的規則性をもつ合金を含むことを特徴とする請求項１に記載のパターン化磁気記録ディスク。
6. 垂直磁気記録システムは、
   請求項１に記載のディスクと、
   前記柱の前記端部上の前記記録層を、前記柱がそこから延びる前記基板表面にほぼ垂直な方向で磁化する書込みヘッドと、
   前記柱端部上の磁化された前記記録層を検出する読取りヘッドとを備えることを特徴とする垂直磁気記録システム。
7. パターン化垂直磁気記録媒体の製造法において、
   ＳｉおよびＧｅから選択された材料を含むとともに、ほぼ平面の表面と、前記表面からほぼ垂直に延びる複数の柱であって、ほぼ同一平面上にある端部を有し、前記表面において柱の間にトレンチを規定するように前記表面上で離間している柱とを有する基板を提供する工程と、
   前記柱の端部上および前記トレンチ内に、Ｃｏ，Ｆｅ，Ｐｔ，およびＰｄから成る群から選択された１つまたは複数の元素を含む垂直磁気記録材料の層を蒸着する工程と、
   前記記録材料の層を蒸着した後に、前記選択されたＳｉまたはＧｅを、前記トレンチ内の前記記録層元素の少なくとも１つと化学反応させるため、前記基板を加熱する工程とを含むことを特徴とするパターン化垂直磁気記録媒体の製造法。