JP2008116615A - プラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、ヘリコン波プラズマを発生させる石英ベルジャーを連設した真空チャンバーと、石英ベルジャーに高周波電圧を印加する高周波発振器と、ヘリコン波プラズマを制御する磁界を発生させるために石英ベルジャーの周囲に配置した電磁コイルと、真空チャンバー内に設けた酸素ガス及び水蒸気ガスを導入するための導入口と、真空チャンバーの下部に設けたマスクを載置するためのステージと、石英ベルジャー及び真空チャンバー内を真空にする真空ポンプとからなることを特徴とするプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離装置の構成とした。
【選択図】図1
Description
1a レジスト剥離方法
2 石英ベルジャー
3 電磁コイル
3a 直流電源
4 真空チャンバー
4a 永久磁石
5 酸素導入口
6 水蒸気導入口
7 マスク投入口
7a ゲートバルブ
8 ステージ
8a マスクホルダー
8b ピックアップピン機構
9 マスク
10 高周波発振器
10a アンテナ
11 マッチングボックス
12 真空ポンプ
12a 真空配管
12b 圧力調整バルブ
13 マスク載置
13a ゲートバルブ閉
13b 真空化
13c ガス導入
13d ヘリコン波プラズマ発生
13e レジスト剥離
13f プラズマ停止
13g 真空解除
13h ゲートバルブ開
13i マスク取出し
14 測定位置
14a 測定位置
15 酸素アッシャー
16 レジスト剥離量
16a 基板温度
17 10mTorrでのレジスト剥離レート
17a 30mTorrでのレジスト剥離レート
17b 40mTorrでのレジスト剥離レート
17c 10mTorrでの反射率変動
17d 30mTorrでの反射率変動
17e 40mTorrでの反射率変動
Claims (5)
- ヘリコン波プラズマを発生させる石英ベルジャーを連設した真空チャンバーと、前記石英ベルジャーに高周波電圧を印加する高周波発振器と、ヘリコン波プラズマを制御する磁界を発生させるために前記石英ベルジャーの周囲に配置した電磁コイルと、前記真空チャンバー内に設けた酸素ガスを導入するための酸素導入口と、前記真空チャンバー内に設けた水蒸気ガスを導入するための水蒸気導入口と、前記真空チャンバーの下部に設けたマスクを載置するためのステージと、マスクを前記ステージから浮かせて保持するためのピックアップピン機構を備えたマスクホルダーと、ゲートバルブを開閉してマスクを前記ステージに置いたり取り出したりするマスク投入口と、前記石英ベルジャー及び真空チャンバー内を真空にする真空ポンプとからなり、ヘリコン波プラズマによりマスクの表面及び端面に付着したレジストを洗浄することを特徴とするプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離装置。
- 真空チャンバー内のステージにマスクを載せ、マスク投入口を閉じた後に、真空ポンプを利用して石英ベルジャー及び真空チャンバー内を低圧化し、酸素導入口から酸素ガスを導入及び水蒸気導入口から水蒸気ガスを導入しながら、電磁コイルに電流を流して石英ベルジャー内に磁界を発生させた状態で、高周波発振器で石英ベルジャー内に高周波電圧を印加してヘリコン波プラズマを発生させることにより、マスクの表面及び端面に付着したレジストを洗浄することを特徴とするプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法。
- 酸素導入口を石英ベルジャーに近い真空チャンバーの上部に設置し、水蒸気導入口をマスクに近い真空チャンバーの下部に設置することにより、マスクの表面及び端面にヘリコン波プラズマを多量に発生させつつ、クロム界面では水蒸気によりエッチングレートを制御することを特徴とする請求項2に記載のプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法。
- 真空チャンバー内の圧力を30mTorr以下、好ましくは10mTorrに低圧化することによりアッシングレートを早くし、水蒸気の分圧比を15%以上とすることによりマスク表面のクロムの反射率変動を抑えることを特徴とする請求項2又は3に記載のプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法。
- 石英ベルジャーとマスクとの距離を300から500mmに設定し、マスク表面のクロムへのダメージを抑えたことを特徴とする請求項2乃至4に記載のプラズマアッシャーによるマスクレジスト剥離方法。
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