JP2008103626A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】活性層6と光取り出し層4とを含む複数の半導体層を有し、反射金属膜層11を有する半導体発光素子において、上記光取り出し層4が組成比の異なる複数の層23,24からなり、これら複数の層の最も外側の層23のみに主面Sを粗面とするための凹凸22が形成された。
【選択図】図1
Description
基準層厚dst=奇数の定数α×上記活性層からの光の波長λp
/(4×非オーミックコンタクト接合部における上記光の屈折率n)
の関係式で表される基準層厚dstに対し±30%の範囲内であり、かつ、上記酸化物層のオーミックコンタクト接合部における層厚が非オーミックコンタクト接合部における層厚と等しくてもよい。
図1に示した構造を有し、発光波長が630nm付近となる赤色LEDのためのLED用エピタキシャルウェハを作製し、LED素子を作製した。エピタキシャル成長方法、各エピタキシャル層の層厚、各エピタキシャル層の構造及び材料、反射金属膜層の構成、オーミックコンタクト接合部の構成及びサイズ、支持基板への貼り替え方法、電極形成方法、エッチング方法など作製の詳細は、以下の通りである。
従来例)
図9に示した構造を有し、発光波長が630nm付近となる赤色LEDのためのLED用エピタキシャルウェハを粗面化しないものと粗面化したものの2通り作製し、LED素子を作製した。エピタキシャル成長方法、各エピタキシャル層の層厚、各エピタキシャル層の構造及び材料、反射金属膜層の構成、オーミックコンタクト接合部の構成及びサイズ、支持基板への貼り替え方法、電極形成方法、エッチング方法など作製の詳細は、基本的に実施例と同じである。以下、実施例と異なる点のみ詳細に説明する。
2 第一電極
3 第一電極側コンタクト層
4 光取り出し層
5 第一クラッド層
6 活性層
7 第二クラッド層
8 介在層
9 反射金属膜層側コンタクト層
10 酸化物層
11 反射金属膜層
12 金属密着層
13 支持基板
14 第二電極
15 オーミックコンタクト接合部
23 第一光取り出し層
24 第二光取り出し層
Claims (25)
- 第一、第二のクラッド層に挟まれ光を発生する活性層と、第一クラッド層側の主面を形成する光取り出し層とを含む複数の半導体層を有し、上記光取り出し層を部分的に覆う第一電極と、上記主面の反対面を覆う第二電極と、第二クラッド層と第二電極との間で光を反射する反射金属膜層と、該反射金属膜層の活性層側に接する酸化物層と、該酸化物層中に部分的に形成されたオーミックコンタクト接合部とを有する半導体発光素子において、上記光取り出し層が組成比の異なる複数の層からなり、これら複数の層の最も外側の層のみに上記主面を粗面とするための凹凸が形成されたことを特徴とする半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層のうち最も外側の層の材料がその次に外側の層の材料よりAl組成比が大きいことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層のうち最も外側の層がその次に外側の層よりバンドギャップエネルギが大きいことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層の材料がそれぞれ(AlXGa1-X)YIn1-YP、ただし、0.3≦X≦1,0.4≦Y≦0.6で表されることを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層と第一クラッド層の層厚の和が1000〜3000nmであることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層のうち最も外側の層は、その次に外側の層よりも屈折率が小さいことを特徴とする請求項1〜5いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層と第一電極との間に、第一電極と同じ部分を覆い、上記活性層よりもバンドギャップエネルギが小さく、かつ、上記活性層からの光に対して不透明な第一電極側コンタクト層を有することを特徴とする請求項1〜6いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記第一電極側コンタクト層の層厚が5〜200nmであることを特徴とする請求項7記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層の材料は上記活性層の材料よりAl組成比が大きいことを特徴とする請求項1〜8いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記活性層の材料が(AlXGa1-X)YIn1-YP、ただし、0≦X<1,0.4≦Y≦0.6で表されることを特徴とする請求項1〜9いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記活性層が10〜160層の井戸層からなる多重量子井戸構造を有することを特徴とする請求項1〜10いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記活性層と第二クラッド層の間に第二クラッド層側アンドープ層を有することを特徴とする請求項1〜11いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記第二クラッド層側アンドープ層の材料が上記活性層の材料よりAl組成比が大きいことを特徴とする請求項12記載の半導体発光素子。
- 上記第二クラッド層側アンドープ層の材料が上記活性層の材料よりバンドギャップエネルギが大きいことを特徴とする請求項12又は13記載の半導体発光素子。
- 上記第二クラッド層側アンドープ層の材料が(AlXGa1-X)YIn1-YP、ただし、0.3≦X≦1,0.4≦Y≦0.6で表されることを特徴とする請求項12〜14いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記光取り出し層をなす複数の層のうち最も外側の層の層厚が1000nm以下であることを特徴とする請求項1〜15いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記複数の半導体層と第二電極との間に支持基板を有し、該支持基板の材料がSi、GaAs、Ge、Cu、Mo、W、CuWのいずれかであることを特徴とする請求項1〜16いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記酸化物層の全面積に対するオーミックコンタクト接合部の面積の割合が20%以下であることを特徴とする請求項1〜17いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記酸化物層と第二クラッド層との間に反射金属膜層側コンタクト層を有し、該反射金属膜層側コンタクト層の材料がGaPを主とすることを特徴とする請求項1〜18いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記反射金属膜層側コンタクト層と第二クラッド層との間に介在層を有し、該介在層の材料がGaXIn1-XP、ただし、0.6≦X<1で表されることを特徴とする請求項19記載の半導体発光素子。
- 上記反射金属膜層側コンタクト層が材料の添加物が異なる3つの層を有し、これら3つの層のうち上記介在層に接する層の材料は添加物がMgであり、上記酸化物層に接する層の材料は添加物がZnであり、これら2つの層の中間の層の材料は積極的な添加物がないことを特徴とする請求項19又は20記載の半導体発光素子。
- 上記酸化物層の非オーミックコンタクト接合部における層厚dは、
基準層厚dst=奇数の定数α×上記活性層からの光の波長λp
/(4×非オーミックコンタクト接合部における上記光の屈折率n)
の関係式で表される基準層厚dstに対し±30%の範囲内であり、かつ、上記酸化物層のオーミックコンタクト接合部における層厚が非オーミックコンタクト接合部における層厚と等しいことを特徴とする請求項1〜21いずれか記載の半導体発光素子。 - 上記第一クラッド層の層厚が300nm以上であって、該第一クラッド層が上記光取り出し層に兼用されると共に、この第一クラッド層中に該第一クラッド層の材料よりAl組成比が小さく、かつ、屈折率が大きい材料からなる第一クラッド層挿入層が挿入されていることを特徴とする請求項1〜22いずれか記載の半導体発光素子。
- 上記第一クラッド層挿入層の材料が(AlXGa1-X)YIn1-YP、ただし0<X≦0.3,0.4≦Y≦0.6で表されることを特徴とする請求項23記載の半導体発光素子。
- 上記第一クラッド層挿入層の層厚が5〜500nmであることを特徴とする請求項23又は24いずれか記載の半導体発光素子。
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