JP2008103487A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置1は、複数の固体撮像素子3を備える。複数の固体撮像素子3は、エネルギー線の入射に感応して電荷を発生する撮像領域11を各々有し、該二次元配列の行方向に並んだ状態で互いに隣接して配置されている。各固体撮像素子3は、垂直転送電圧が印加される転送電極15と、金属または金属シリサイドからなり、撮像領域11の両端部に配置された画素列を除く各画素列に沿って撮像領域11上に設けられた複数のエネルギー線遮蔽部17とを有する。一部のエネルギー線遮蔽部17は、供給配線21a,21bとして転送電極15と電気的に接続されており、垂直転送電圧が供給される。
【選択図】 図1
Description
図1は、本実施形態に係る固体撮像装置を示す概略構成図である。図2は、本実施形態の固体撮像装置が備える固体撮像素子を示す概略構成図である。図3は、図2におけるIII−III線に沿った断面構成を説明するための図である。なお、図1及び図2には、説明のためXY直交座標系が示されている。
続いて、上記実施形態の一変形例に係る固体撮像装置について説明する。図4は、本変形例の固体撮像装置が備える固体撮像素子3aを示す概略構成図である。この固体撮像素子3aと上記実施形態の固体撮像素子3との相違点は、ダミー配線の有無である。すなわち、本変形例の固体撮像素子3aはダミー配線を備えておらず、撮像領域11上には、供給配線21a,21bが所定の間隔をあけて設けられている。
Claims (3)
- 複数の画素が二次元配列されて成りエネルギー線の入射に感応して電荷を発生する撮像領域を各々有し、該二次元配列の第1の方向に並んだ状態で互いに隣接して配置されている複数の固体撮像素子を備え、
前記複数の固体撮像素子のそれぞれが、
前記第1の方向を長手方向として前記撮像領域上に設けられ、前記二次元配列の第2の方向に前記電荷を転送するための転送電圧が印加される転送電極と、
金属または金属シリサイドからなり、前記第1の方向と交差する方向を長手方向として前記撮像領域上に設けられ、前記転送電極に電気的に接続されて前記転送電圧を前記転送電極に供給する供給配線と
を更に有し、
前記供給配線が、前記第1の方向における前記撮像領域の両端部に配置された画素列を除く領域上に設けられていることを特徴とする、固体撮像装置。 - 複数の画素が二次元配列されて成りエネルギー線の入射に感応して電荷を発生する撮像領域を各々有し、該二次元配列の第1の方向に並んだ状態で互いに隣接して配置されている複数の固体撮像素子を備え、
前記複数の固体撮像素子のそれぞれが、
前記第1の方向を長手方向として前記撮像領域上に設けられ、前記二次元配列の第2の方向に前記電荷を転送するための転送電圧が印加される転送電極と、
金属または金属シリサイドからなり、前記第1の方向における前記撮像領域の両端部に配置された画素列を除く各画素列に沿って前記撮像領域上に設けられた複数のエネルギー線遮蔽部と
を更に有し、
前記複数のエネルギー線遮蔽部のうち一部の前記エネルギー線遮蔽部が転送電極と電気的に接続されており、前記二次元配列の第2の方向に前記電荷を転送するための転送電圧が前記一部のエネルギー線遮蔽部に供給されることを特徴とする、固体撮像装置。 - 前記エネルギー線遮蔽部が、互いに隣接する画素列の間を跨ぐように配設されていることを特徴とする、請求項2に記載の固体撮像装置。
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