JP2008098269A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】半導体基板1の一方の主面に第一半導体機能領域2を形成する工程、他方の主面を削って耐圧に必要な厚さに加工する基板薄化工程、他方の主面側に第二半導体機能領域5を形成する工程、ポリイミド樹脂膜6パッシベーション処理工程、ライフタイム制御のための荷電粒子照射およびアニール処理工程を備える半導体装置の製造方法において、前記半導体基板の一方の主面に第一半導体機能領域2を形成する工程の後であって、前記基板薄化工程の前に、前記ポリイミド樹脂膜6パッシベーション処理工程とライフタイム制御のための荷電粒子照射およびアニール工程とを順に行う半導体装置の製造方法とする。
【選択図】 図1
Description
まず、n型FZシリコン半導体基板11の一方の表面に、アノードp+層12、ガードリング構造などの周辺耐圧構造部13、アルミニウム系のアノード金属電極膜14等を形成する(図3(a))。次に裏面バックグラインド工程によるシリコン半導体基板の裏面側の研削、研磨およびエッチングを経てFZシリコン半導体基板11を耐圧によって決まる所要の厚さにまで薄くする(図3(b))。次に、裏面にカソードn+層15を形成するために、リン、砒素などのイオン注入による不純物導入工程とその活性化工程を行う(図3(c))。その後、表面側にポリイミド膜16を塗布し、パターニングすることにより、周辺耐圧構造部13の上に選択的にパッシベーション膜を形成する(図3(d))。次に電子線照射とアニール処理を行い、前述したように設計素子特性にとって最適となるようにダイオードのライフタイムを調整する(図3(e))。最後に裏面のカソードn+層15表面にTi/Ni/Auなどのカソード金属電極膜17を形成し、ウエハプロセスが完了する(図3(f))。この後、高速回転ダイアモンドブレードによるダイシングによりウエハからチップを切断し個別化してパッケージに組み立てる。前記図3に示されるダイオードウエハの製造工程では、ノンパンチスルーやフィールドストップ型IGBTの製造工程でも既に採用されているのと同様のバックグラインド技術による薄ウエハ加工技術とポリイミドパッシベーション技術を用いることを特徴としている。
特許請求の範囲の請求項4記載の発明によれば、n型半導体基板の一方の主面にp型の第一半導体機能領域が形成される工程を備える特許請求の範囲の請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法とすることが望ましい。
要するに、本発明は、ダイオードなどの半導体装置のオン電圧ばらつきを抑制するために、ウエハの厚い状態でポリイミド塗布、パターニング工程を適用する。その後、電子線照射およびアニール処理工程、バックグラインド工程、裏面研削およびシリコンエッチング工程を経て、裏面n+カソード層形成工程、裏面電極形成工程を行う半導体装置の製造方法とするものである。
図1に本発明の半導体装置の製造方法にかかる実施例1を、主要な半導体基板の製造工程ごとに並べた半導体基板(ウエハ)の断面図を参照して説明する。実際には、この図1の断面構造がウエハ全体に複数個整列した状態で配置されている。
次にダイオードの少数キャリアのライフタイムを制御するため、電子線照射およびアニール処理を行う(図1(c))。電子線については、加速電圧を4.8MeVで、線量を100kGyで照射することによって、半導体基板に結晶欠陥を基板内に一様に導入する。電子線照射後、300℃〜360℃の範囲のいずれかの温度で1時間程度のアニール処理をすることにより、ライフタイムを所要の値に調整する。
前述の電子線照射工程と半導体基板の裏面側バックグラインド工程との工程順は以下の理由から決定している。一つは、バックグラインド工程後の薄く加工された半導体基板の状態でプロセスを流すことは、割れ、かけといった不良を発生する要因となりやすいこと。二つ目は、前述のようにバックグラインド工程後の薄く加工され、ウエハ反りがある半導体基板の状態で電子線照射することがオン電圧のばらつき増大の原因になっていることが測定結果から推測されることなどから決定している。そのため、薄く加工された半導体基板での工程フローを極力短くし、かつ厚い状態の半導体基板に対して電子線照射するために、バックグラインド工程を電子線照射工程の後の工程にしたのである。最後にカソードn+層表面に、Ti/Ni/Auなどのカソード金属電極膜7を形成すると、ダイオードのウエハプロセスが完了する(図1(f))。
表面保護膜にポリイミドを用い、荷電子粒子照射によりライフタイムをコントロールする工程を備えるMOSFET、IGBTといった他の半導体装置の製造方法においても、同様の半導体基板の薄化工程を経る場合には同様の効果があるのはもちろんのことである。
2、… アノードp+層、第一半導体機能層
3、… 周辺耐圧構造、ガードリング
4、… アノード金属電極膜
5、… n+カソード層、第二半導体機能層
6、… ポリイミド樹脂膜
7、… カソード金属電極膜
Claims (5)
- 半導体基板の一方の主面に第一半導体機能領域を形成する工程、他方の主面を削る基板薄化工程、他方の主面側に第二半導体機能領域を形成する工程、ポリイミド樹脂膜パッシベーション処理工程、ライフタイム制御のための荷電粒子照射およびアニール工程を備える半導体装置の製造方法において、前記半導体基板の一方の主面に第一半導体機能領域を形成する工程の後であって、前記基板薄化工程の前に、前記ポリイミド樹脂パッシベーション処理工程とライフタイム制御のための荷電粒子照射およびアニール処理工程とを順に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記ポリイミド樹脂パッシベーション処理工程にかかる前記ポリイミド樹脂膜の硬化温度が370℃以上であり、前記ライフタイム制御のための荷電粒子照射およびアニール処理における処理温度が300℃乃至360℃のいずれかの温度であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体装置がダイオードであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- n型半導体基板の一方の主面にp型の第一半導体機能領域が形成される工程を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 荷電粒子照射が電子線照射、プロトン照射、ヘリウム照射のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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