JP2008094693A - ブレイク装置およびブレイク方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスカレットが付着したブレイクヘッドによるガラス基板への損傷を防止することができるブレイク装置およびブレイク方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板８０に直接接触してこれをブレイクするブレイクヘッド１０およびブレイクヘッド１０をブレイク動作させるブレイク動作機構１３から成るブレイクユニット１２と、ブレイクテーブル１１と、ブレイク後のブレイクヘッド１０を洗浄して付着したガラスカレットＣを除去するヘッド洗浄手段１４と、ブレイクヘッド１０を乾燥させるヘッド乾燥手段１５と、ブレイクヘッド１０を、ブレイクエリア２、洗浄エリア３、乾燥エリア４およびメンテナンスエリア５に、ブレイク動作毎に順に臨ませる循環移動手段１６と、を備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置およびブレイク方法に関するものである。

従来、ブレイク装置等において、ブレイク後の液晶パネルに付着したガラスカレットを除去する方法として、加圧ヘッドにより粘着テープを液晶パネルの表面に押し当て、液晶パネルに付着しているガラスカレットを粘着テープに粘着して除去するものが、知られている（例えば、特許文献１）。
この除去方法では、加圧ヘッドにより粘着テープを液晶パネルへの押付け動作と、ガラスカレットが粘着した粘着テープの巻取り動作と、を繰り返してブレイク後の複数の液晶パネルに対するガラスカレットの除去を行なうようにしている。
特開２００５−２０１９２０号公報

ところで、液晶パネルの母材となるガラス基板（マザー基板）をブレイクする方法として、ブレイク側のガラス基板と被ブレイク側のガラス基板とを、吸着し、或いは挟持して折り曲げる場合や、スクライブラインに沿って衝撃或いは押込み圧を加える場合等がある。これらのブレイク動作には、方法に応じて構成され、ガラス基板に直接接触するブレイクヘッドが用いられる。
一方、ブレイクにより発生するガラスカレットは、ガラス基板に付着する場合の他、ブレイクヘッドにも付着することがある。ガラス基板に付着したガラスカレットは、上記従来技術の方法によりこれを除去することができるが、ブレイクヘッドに付着したガラスカレットは、ブレイクヘッドの形状が単純ではないため、簡単に除去できず、ブレイクヘッドを介してガラス基板を傷付けてしまう問題があった。

本発明は、ガラスカレットが付着したブレイクヘッドによるガラス基板への損傷を防止することができるブレイク装置およびブレイク方法を提供することを課題としている。

本発明のブレイク装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置であって、ガラス基板に直接接触してこれをブレイクするブレイクヘッドおよびブレイクヘッドをブレイク動作させるブレイク動作機構から成るブレイクユニットと、ガラス基板がセットされるブレイクテーブルと、ブレイク後のブレイクヘッドを洗浄して付着したガラスカレットを除去するヘッド洗浄手段と、洗浄したブレイクヘッドを乾燥させるヘッド乾燥手段と、ブレイクユニットを保持すると共に、ブレイクヘッドを、ブレイクテーブルに臨むブレイクエリア、ヘッド洗浄手段に臨む洗浄エリアおよびヘッド乾燥手段に臨む乾燥エリアに、ブレイク動作毎に順に臨ませる循環移動手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、循環移動手段によりブレイクヘッドを、ブレイク動作毎にブレイクエリア、洗浄エリアおよび乾燥エリアに順に臨ませ、ブレイク後のブレイクヘッドを洗浄および乾燥させるようにしているため、ブレイク動作により、ブレイクヘッドにガラスカレットが付着してもこれを除去することができる。このため、常に、ガラスカレットが付着していないブレイクヘッドにより、ブレイク動作を行わせることができる。したがって、ブレイクヘッドによるガラス基板への損傷を有効に防止することができる。

この場合、乾燥エリアとブレイクエリアとの間に、ブレイクユニットのメンテナンスを行うためのメンテナンスエリアが設けられており、循環移動手段は、ブレイクヘッドを、乾燥エリアとブレイクエリアとの間でメンテナンスエリアに臨ませることが、好ましい。

この構成によれば、メンテナンスエリアを利用して、ブレイクヘッドの交換等を容易に行うことができる。

この場合、ブレイクエリア、洗浄エリア、乾燥エリアおよびメンテナンスエリアは、循環移動手段を中心とする仮想円の周方向に等間隔で配設されており、循環移動手段は、水平面内および鉛直面内のいずれか一方において回転する回転体と、回転体を間欠回転駆動する回転駆動機構と、を有し、回転体には、周方向に等間隔となるように４つのブレイクユニットが保持されていることが、好ましい。

この構成によれば、４つのブレイクユニットが、ブレイクエリア、洗浄エリア、乾燥エリアおよびメンテナンスエリアに臨んで、それぞれの動作が行なわれるため、ブレイク、洗浄、乾燥およびメンテナンスの各作業を効率良く行なうことができ、タクトタイムを短縮することができる。

これらの場合、ブレイクヘッドは、ガラスカレットを粘着するヘッドパッドを有し、ヘッド洗浄手段は、ヘッドパッドからガラスカレットを掻き落すブラシ体を有していることが、好ましい。

この構成によれば、ブレイクヘッドをガラスカレットが付着し易い構成とすることができ、ガラスカレットを可能な限り捕捉することができる。また、洗浄に際し、ブラシ体を用いることにより、ブレイクヘッドからガラスカレットを確実に除去することができる。

本発明の他のブレイク装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置であって、ガラス基板に直接接触してこれをブレイクするブレイクヘッドおよびブレイクヘッドをブレイク動作させるブレイク動作機構から成るブレイクユニットと、ガラス基板がセットされるブレイクテーブルと、ブレイク後のブレイクヘッドに付着したガラスカレットを除去するヘッドクリーニング手段と、ブレイクユニットを保持すると共に、ブレイクヘッドを、ブレイクテーブルに臨むブレイクエリアおよびヘッドクリーニング手段に臨むクリーニングエリアに、ブレイク動作毎に交互に臨ませる交互移動手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、交互移動手段によりブレイクヘッドを、ブレイク動作毎にブレイクエリアおよびクリーニングエリアに交互に臨ませるようにしているため、ブレイク動作により、ブレイクヘッドにガラスカレットが付着してもこれを除去することができる。このため、常に、ガラスカレットが付着していないブレイクヘッドにより、ブレイク動作を行わせることができる。したがって、ブレイクヘッドによるガラス基板への損傷を有効に防止することができる。

この場合、交互移動手段は、水平面内および鉛直面内のいずれか一方において回転する回転体と、回転体を回転駆動する回転駆動機構と、を有し、回転体には、１８０°点対称位置に２つのブレイクユニットが保持されていることが、好ましい。

この構成によれば、２つのブレイクユニットが、ブレイクエリアおよびクリーニングエリアに臨んで、それぞれの動作が行なわれるため、ブレイクおよびガラスカレットの除去の各作業を効率良く行なうことができ、タクトタイムを短縮することができる。

これらの場合、ブレイクヘッドは、ガラスカレットを粘着するヘッドパッドを着脱自在に有しており、ヘッドクリーニング手段は、ヘッドパッドをブレイクヘッドから離脱させる剥離機構と、ヘッドパッドをブレイクヘッドに装着する貼着機構と、を有していることが、好ましい。

この構成によれば、ヘッドパッドを交換するようにしているため、付着したガラスカレットをブレイクヘッドから確実に除去することができる。

同様に、ブレイクヘッドは、ガラスカレットを静電吸着するヘッドパッドを有しており、ヘッドクリーニング手段は、ガラスカレットを静電吸着したヘッドパッドを除電する除電手段と、除電後のガラスカレットを吸引により除去する吸引手段と、ガラスカレットを除去した後のヘッドパッドを帯電する帯電手段と、を有していることが、好ましい。

この構成によれば、ヘッドパッドを除電し、付着しているガラスカレットを吸引するようにしているため、ブレイクヘッドからガラスカレットを確実に除去することができる。

これらの場合、ブレイクヘッドは、ガラス基板のブレイク側および被ブレイク側に接触する一対の粘着ヘッドおよび一対の静電吸着ヘッドのいずれか一方から成る一対の押圧ヘッドにより構成され、ブレイク動作機構は、一対の押圧ヘッドに対応する一対の個別動作機構により構成され、ガラス基板のブレイク側に接触した一方の押圧ヘッドを、これに対応する個別動作機構により押込み動作させることにより、ブレイクが行なわれることが、好ましい。

同様に、ブレイクヘッドは、ガラス基板のブレイク側および被ブレイク側を吸着する一対の真空吸着ヘッドにより構成され、ブレイク動作機構は、一対の真空吸着ヘッドに対応する一対の個別動作機構により構成され、ガラス基板のブレイク側を吸着した一方の真空吸着ヘッドを、これに対応する個別動作機構により引付け動作させることにより、ブレイクが行なわれることが、好ましい。

これらの構成によれば、押付け動作によりブレイクを行なう一対の押圧ヘッド、或いは引付け動作によりブレイクを行なう一対の真空吸着ヘッドを、常にクリーンな状態に維持することができ、ガラスカレットの付着に基づく、ガラス基板の損傷を有効に防止することができる。

これらの場合、ガラス基板をブレイクすることにより、ガラス基板からＴＦＴ液晶パネルを複数枚取りすることが、好ましい。

この構成によれば、ガラス基板のブレイク時に、ブレイクヘッドにより、ガラス基板やＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネルを傷付けることが無いため、ＴＦＴ液晶パネルの歩留りを向上させることができる。

本発明のブレイク方法は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク方法であって、ガラス基板に対しブレイクを行うブレイク位置と、ブレイク時にブレイクヘッドに付着したガラスカレットを除去するクリーニング位置と、の間で移動自在に構成されたブレイクヘッドを用い、ブレイクヘッドによるブレイク動作と、ブレイクヘッドのクリーニング動作と、を交互に行なうことを特徴とする。

この構成によれば、ブレイク動作により、ブレイクヘッドにガラスカレットが付着してもこれを除去することができるため、常に、ガラスカレットが付着していないブレイクヘッドにより、ブレイク動作を行わせることができる。したがって、ブレイクヘッドによるガラス基板への損傷を有効に防止することができる。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係るガラスカレットの除去装置を適用した、ガラス基板のブレイク装置について説明する。このブレイク装置は、ガラス基板である円板状のＯＤＦ（One Drop Filling）マザー基板を、スクライブラインに沿ってマトリクス状に分割（ブレイク）し、小型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネルを複数枚取りするものである。

図１に示すように、ＯＤＦマザー基板８０は、液晶を滴下したシール材８３を介して、複数のＴＦＴを半導体技術によりマトリクス状に作りこんだ石英ガラス製の円形のＴＦＴマザー基板８１と、石英ガラス製の円形の対向マザー基板８２と、を貼り合わせて構成されている。一方、スクライブラインＬに沿ってＯＤＦマザー基板８０から分割されたＴＦＴ液晶パネル９０は、シール材８３を介して、ＴＦＴ基板８５と対向基板８６とを貼り合わせた構成を有し、全体として方形に形成されている。そして、ＴＦＴ液晶パネル９０の構成した端子部８７にＦＰＣが接続されるようになっている。

図２に示すように、ブレイク装置１は、ＯＤＦマザー基板８０をブレイクする４つのブレイクヘッド１０，１０，１０，１０を有しており、ブレイクによりガラスカレットＣが付着した各ブレイクヘッド１０を、ブレイクエリア２から洗浄エリア３、乾燥エリア４およびメンテナンスエリア５に順に臨ませて、常に洗浄後のブレイクヘッド２によりブレイク動作を行えるよう、構成されている。すなわち、ブレイク装置１は、図外の支持脚上に固定されＯＤＦマザー基板８０がセットされるブレイクテーブル１１と、ブレイクヘッド１０およびブレイクヘッド１０をブレイク動作させるブレイク動作機構１３から成る４組のブレイクユニット１２，１２，１２，１２と、洗浄エリア３に配設されブレイク後のブレイクヘッド１０を洗浄するヘッド洗浄機構（ヘッド洗浄手段）１４と、洗浄したブレイクヘッド１０を乾燥させるヘッド乾燥機構（ヘッド乾燥手段）１５と、４組のブレイクユニット１２，１２，１２，１２を四方に保持すると共に、これをブレイク動作毎に角度９０°間欠回転させる循環移動機構（循環移動手段）１６と、これらを統括制御する制御手段１７と、を備えている。

なお、同図において、各エリア２，３，４，５、ブレイクユニット１２および循環移動機構１６は模式的に記載されており、実際のものは、これら構成装置を鉛直ではなく水平に配置している。すなわち、後述する循環移動機構１６の各水平アーム４３の先端にブレイクユニット１２が垂設されている。

ＯＤＦマザー基板８０のスクライブラインを包含するブレイクエリア２、ヘッド洗浄機構１４を配置した洗浄エリア３、ヘッド乾燥機構１５を配置した乾燥エリア４およびブレイクユニット１２のメンテナンスのためのメンテナンスエリア５は、上記の循環移動機構１６を中心とする仮想円の周方向に等間隔で配設されており、循環移動機構１６により４組のブレイクユニット１２，１２，１２，１２は、いずれかのエリア２，３，４，５に臨むように間欠回転される。なお、言うまでもないが、ブレイク処理、洗浄処理および乾燥処理は同時並行で行なわれ、上記の間欠回転の時間ピッチは、ブレイク処理、洗浄処理、乾燥処理の内、最も長い処理時間となるものに合わせている。

ブレイクテーブル１１は、支持脚上に固定されたメインテーブル２１と、メインテーブル２１の端部に回動自在に取り付けられたサブテーブル２２と、サブテーブル２２を水平位置に戻す戻しバネ２３と、を有している。メインテーブル２１およびサブテーブル２２は、いわゆる真空吸着テーブルであり、ＯＤＦマザー基板８０は、そのスクライブラインＬを両テーブル２１，２２の境界線に位置合せして吸着セットされる。また、この状態でブレイクヘッド１０により、ＯＤＦマザー基板８０と共にサブテーブル２２が所定の角度に回動され、ＯＤＦマザー基板８０がブレイクされる。実際のブレイク作業では、縦横の一方のスクライブラインＬに沿って、ＯＤＦマザー基板８０を短冊状にブレイクし、この短冊状の各ＯＤＦマザー基板８０からＴＦＴ液晶パネル９０を１つずつブレイクする。なお、スクライブラインＬは、フェムト秒レーザによるＯＤＦマザー基板（ＴＦＴマザー基板８１および対向マザー基板８２）８０の改質や、物理的な溝形成により、形成されることが好ましい。

各ブレイクユニット１２は、押込みヘッド（押圧ヘッド）３１および押えヘッド（押圧ヘッド）３２から成るブレイクヘッド１０と、押込みヘッド３１をブレイク動作させるブレイク用エアーシリンダ３３および押えヘッド３２を押圧動作させる押圧用エアーシリンダ３４とから成るブレイク動作機構１３と、押込みヘッド３１および押えヘッド３２がスクライブラインＬを跨ぐように、これらブレイクヘッド１０およびブレイク動作機構１３を保持するヘッドフレーム３５と、により構成されている。押えヘッド３２は、押圧用エアーシリンダ３４によりＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側を押さえる一方、押込みヘッド３１は、ブレイク用エアーシリンダ３３によりＯＤＦマザー基板８０のブレイク側を押し込んで、これをブレイクする。

図３に示すように、押込みヘッド３１の先端および押えヘッド３２の先端には、ガラスカレットＣの付着を促進するヘッドパッド３７，３７がそれぞれ設けられており、ヘッドパッド３７は、上側の弾性材層３７ａと下側の粘着層３７ｂとを積層して構成されている。弾性材層３７ａは、例えば低反発素材（低反発ウレタン）やスポンジ素材で構成され、粘着層３７ｂは、弱い粘着剤で構成されている。ヘッドパッド３７に接触したガラスカレットＣは、粘着層に捕捉されるようになっている。

図２に示すように、循環移動機構１６は、各ブレイクユニット１２をそれぞれブレイクエリア２、洗浄エリア３、乾燥エリア４およびメンテナンスエリア５に順に臨ませるものであり、水平面内において回転する回転体４１と、回転体４１を間欠回転駆動する図外の回転駆動機構（モータ）とを有している。回転体４１は、軸部４２と、軸部４２から四方に延びる４本の水平アーム４３，４３，４３，４３とを有し、各水平アーム４３の先端部にブレイクユニット１２が垂設されている。これにより、４組のブレイクユニット１２，１２，１２，１２は、水平面内において周方向に等間隔となるように配設され、回転駆動機構により円を描くように旋回する。

図４に示すように、ヘッド洗浄機構１４は、洗浄液を満たした洗浄タンク４６と、洗浄タンク４６内に配設されブレイクヘッド（のヘッドパッド３７）１０をブラッシングする洗浄ブラシ（ブラシ体）４７とを有しており、洗浄タンク４７に臨んだブレイクヘッド１を洗浄液に浸漬し且つブラッシングすることで、ガラスカレットＣを除去する。なお、洗浄ブラシ４７は、回転や揺動する駆動機構付きのもので構成することが、好ましい。
ヘッド乾燥機構１５は、例えばボックス内ドライア等を有し、導入したドライエアーをヒートアップしてブレイクヘッド１０を乾燥させる。

ここで、上記の制御手段１７によるブレイク装置１の制御方法を簡単に説明する。ＯＤＦマザー基板８０をブレイクテーブル１１に吸着セットし、１つのブレイクヘッド１０をＯＤＦマザー基板８０に、他の３つのブレイクヘッド１０，１０，１０を、それぞれヘッド洗浄機構１４、ヘッド乾燥機構１５およびメンテナンスエリア５に臨ませておく。先ず、両エアーシリンダ３３，３４を駆動し、ブレイクヘッド１０によりＯＤＦマザー基板８０をブレイクする。このブレイクにより、ガラスカレットＣが発生し、ブレイクヘッド（押込みヘッド３１および押えヘッド３２）１０に付着するものがある。

次に、循環移動機構１６より、ガラスカレットＣの付着したブレイクヘッド１０をヘッド洗浄機構１４に送り込む。ここで、ブレイクヘッド１０を洗浄し、ガラスカレットＣを除去する。続いて、洗浄後のブレイクヘッド１０をヘッド洗浄機構１５に送り込み、乾燥させる。このように、各ブレイクヘッド１０は、ブレイクエリア２でブレイク動作し、洗浄エリア３で洗浄され、乾燥エリア４で乾燥され、メンテナンスエリア５で待機し、これを循環するようにして繰り返す。

このように、ブレイクヘッド１０をブレイクを行なう毎に洗浄するようにしているため、ブレイク動作により、ブレイクヘッド１０にガラスカレットＣが付着してもこれを除去することができる。このため、常に、ガラスカレットＣが付着していないブレイクヘッド１０により、ブレイク動作を行わせることができ、ガラスカレットＣに基づくＯＤＦマザー基板８０の損傷を有効に防止することができる。なお、メンテナンスエリア５を省略するようにしてもよい。

次に、図５を参照して、第２実施形態に係るブレイク装置１につき、第１実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態のブレイク装置１では、ＯＤＦマザー基板８０をブレイクする２つのブレイクヘッド１０，１０を有しており、ブレイクによりガラスカレットＣが付着した各ブレイクヘッド１０を、ブレイクエリア２とクリーニングエリア６との間で交互に臨ませて、常にクリーニン後のブレイクヘッド１０によりブレイク動作を行えるよう、構成されている。すなわち、このブレイク装置１には、第１実施形態と同様に構成された２組のブレイクユニット１２，１２が設けられると共に、２組のブレイクユニット１２，１２を両端に保持し、これをブレイク動作毎に交互に移動させる交互移動機構（交互移動手段）１８が設けられている。また、クリーニングエリア６には、ブレイク後のブレイクヘッド１０からガラスカレットを除去するヘッドクリーニング機構（ヘッドクリーニング手段）１９が配設されている。

図６に示すように、押込みヘッド３１の先端および押えヘッド３２の先端に設けられる本実施形態のヘッドパッド１０は、上側の粘着剤層３７ｃと中間の弾性材層３７ａと下側の粘着層３７ｂとを積層して構成されている。弾性材層３７ａは、例えば低反発素材（低反発ウレタン）やスポンジ素材で構成され、粘着層３７ｂは、弱い粘着剤で構成されている。一方、粘着剤層３７ｃは、粘着層３７ｂより強い粘着剤で構成されており、この粘着剤層３７ｃによりヘッドパッド３７は、押込みヘッド３１および押えヘッド３２に対し剥離可能に貼着されている。

図５に示すように、交互移動機構１８は、各ブレイクユニット１０をそれぞれブレイクエリア２とクリーニングエリア６との間で交互に臨ませるものであり、水平面内において回転する回転体５１と、回転体５１を角度１８０°ピッチで回転駆動する図外の回転駆動機構（モータ）とを有している。回転体５１は、軸部５２と、軸部５２から逆方向に延びる２本の水平アーム５３，５３とを有し、各水平アーム５３の先端部にブレイクユニット１２が垂設されている。２組のブレイクユニット１２，１２は、交互移動機構１８により、水平面内において円を描くように旋回する。

図７に示すように、ヘッドクリーニング機構１９は、押込みヘッド３１のヘッドパッド３７および押えヘッド３２のヘッドパッド３７を剥離する剥離機構５６と、押込みヘッド３１および押えヘッド３２に新しいヘッドパッド３７をそれぞれ貼着する貼着機構５７と、剥離機構５６および貼着機構５７を交互にブレイクヘッド１０に臨ませる移動テーブル５８と、を有している。ヘッドクリーニング機構１９にブレイクヘッド１０が臨むと、移動テーブル５８により剥離機構５６がブレイクヘッド１０の直下に移動し、押込みヘッド３１のヘッドパッド３７および押えヘッド３２のヘッドパッド３７（いずれもガラスカレットＣが付着）を同時に剥離する。次に、移動テーブル５８により貼着機構５７がブレイクヘッド１０の直下に移動し、押込みヘッド３１および押えヘッド３２にそれぞれ新しいヘッドパッド３７を貼着する。

第２実施形態のブレイク装置１では、一方のブレイクヘッド１０がブレイクエリア２に臨んでＯＤＦマザー基板８０のブレイクを行なっている間に、他方のブレイクヘッド１０がクリーニングエリア６に臨んでヘッドパッド３７の交換が行なわれる。そして、これを交互に繰り返すようにしている。
このように、常に、ガラスカレットＣが付着していないブレイクヘッド１０により、ブレイク動作を行わせることができ、ガラスカレットＣに基づくＯＤＦマザー基板８０の損傷を有効に防止することができる。

次に、図８を参照して、第３実施形態に係るブレイク装置１につき、第２実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態のブレイク装置１では、静電吸着を利用した２つのブレイクヘッド１０，１０を有しており、この静電吸着に対応するヘッドクリーニング機構１９が設けられている。なお、他の構成装置は、第２実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。

図９に示すように、各ブレイクヘッド１０において、押込みヘッド３１の先端および押えヘッド３２の先端に設けられるヘッドパッド６１は、上側の弾性材層６１ａと下側の帯電層６1ｂとを積層して構成されている。弾性材層６１ａは、例えば低反発素材（低反発ウレタン）やスポンジ素材で構成され、帯電層６１ｂは、樹脂等で構成されている。

図８に示すように、ヘッドクリーニング機構１９は、ブレイクヘッド（ヘッドパッド６１）１０に静電気を帯電させる帯電イオナイザ（帯電手段）６４と、ブレイクヘッド（およびガラスカレットＣ）１０を除電するための除電イオナイザ（除電手段）６５と、除電によりブレイクヘッド１０の拘束から解かれたガラスカレットＣをブレイクヘッドから吹き払う送風ノズル６６と、吹き払らわれたガラスカレットＣを吸引する吸引ノズル（吸引手段）６７と、を有している。送風ノズル６６は、図外の圧縮エアー供給手段やブロワー（送風機）に接続され、吸引ノズル６７は、図外の真空吸引手段に接続されている。また、送風ノズル６６および吸引ノズル６７は、対向配置され且つブレイクヘッド１０に平行に配設されている。

第３実施形態のブレイク装置１では、一方のブレイクヘッド１０がブレイクエリア２に臨んでＯＤＦマザー基板８０のブレイクを行なっている間に、他方のブレイクヘッド１０がクリーニングエリア６に臨んでそのヘッドパッド６１の除電、ガラスカレットＣの吸引回収およびヘッドパッド６１の帯電が行なわれる。そして、これを交互に繰り返すようにしている。
このように、常に、ガラスカレットＣが付着していないブレイクヘッド１０により、ブレイク動作を行わせることができ、ガラスカレットＣに基づくＯＤＦマザー基板８０の損傷を有効に防止することができる。

なお、第１実施形態において、ヘッド洗浄機構（およびヘッド乾燥機構１５）１４に代えて、第２、第３実施形態のクリーニング機構１９を適用することも可能であり、その逆も可能である。また、第１実施形態のブレイクエリア２、洗浄エリア３、乾燥エリア４およびメンテナンスエリア５を鉛直面内に、同様に第２、第３実施形態のブレイクエリア２およびクリーニングエリア６を鉛直面内に、それぞれ配設する（付随する装置も含む）ようにしてもよい。さらに、ブレイクヘッドを一対の真空吸着ヘッド（押込みヘッド３１および押えヘッド３２に相当）で構成し、一方の真空吸着ヘッドを引き上げるようにして、ＯＤＦマザー基板をブレイクするようにしてもよい。その他、本発明は、ＯＤＦマザー基板に衝撃を与えてブレイクするものやＯＤＦマザー基板を挟み折り曲げてブレイクするもの等、ブレイクヘッドがスクライブラインＬの近傍に接触するタイプのブレイク装置に適用可能である。さらにまた、これら実施形態において、ブレイクユニットが１つであってもよい。

ＯＤＦマザー基板（ａ）およびＴＦＴ液晶パネル（ｂ）の斜視図である。 第１実施形態に係るブレイク装置の模式図である。 第１実施形態のブレイクヘッドの側面図（ａ）、およびブレイクパッド（ｂ）の拡大断面図である。 第１実施形態のヘッド洗浄機構の模式図である。 第２実施形態に係るブレイク装置の模式図である。 第２実施形態のブレイクヘッドの側面図（ａ）、およびブレイクパッド（ｂ）の拡大断面図である。 第２実施形態のヘッドクリーニング機構の模式図である。 第３実施形態のヘッドクリーニング機構の模式図である。 第３実施形態のブレイクヘッドの側面図（ａ）、およびブレイクパッド（ｂ）の拡大断面図である。

符号の説明

１ ブレイク装置、２ ブレイクエリア、３ 洗浄エリア、４ 乾燥エリア、５ メンテナンスエリア、６ クリーニングエリア、１０ ブレイクヘッド、１１１ ブレイクテーブル、１２ ブレイクユニット、１３ ブレイク動作機構、１４ ヘッド洗浄機構、１５ ヘッド乾燥機構、１６ 循環移動機構、１７ 制御手段、１８ 交互移動機構、１９ ヘッドクリーニング機構、２１ メインテーブル、２２ サブテーブル、３３ ブレイク用エアーシリンダ、３４ 押圧用エアーシリンダ、３７ ヘッドパッド、４１ 回転体、４７ 洗浄ブラシ、５１ 回転体、５６ 剥離機構、５７ 粘着機構、６４ 帯電イオナイザ、６５ 除電イオナイザ、６７ 吸引ノズル、８０ ＯＤＦマザー基板、Ｃ ガラスカレット、Ｌ スクライブライン

Claims (12)

1. スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置であって、
   前記ガラス基板に直接接触してこれをブレイクするブレイクヘッドおよび前記ブレイクヘッドをブレイク動作させるブレイク動作機構から成るブレイクユニットと、
   前記ガラス基板がセットされるブレイクテーブルと、
   ブレイク後の前記ブレイクヘッドを洗浄して付着したガラスカレットを除去するヘッド洗浄手段と、
   洗浄した前記ブレイクヘッドを乾燥させるヘッド乾燥手段と、
   前記ブレイクユニットを保持すると共に、前記ブレイクヘッドを、前記ブレイクテーブルに臨むブレイクエリア、前記ヘッド洗浄手段に臨む洗浄エリアおよび前記ヘッド乾燥手段に臨む乾燥エリアに、前記ブレイク動作毎に順に臨ませる循環移動手段と、を備えたことを特徴とするブレイク装置。
2. 前記乾燥エリアと前記ブレイクエリアとの間に、前記ブレイクユニットのメンテナンスを行うためのメンテナンスエリアが設けられており、
   前記循環移動手段は、前記ブレイクヘッドを、前記乾燥エリアと前記ブレイクエリアとの間で前記メンテナンスエリアに臨ませることを特徴とする請求項１に記載のブレイク装置。
3. 前記ブレイクエリア、前記洗浄エリア、前記乾燥エリアおよび前記メンテナンスエリアは、前記循環移動手段を中心とする仮想円の周方向に等間隔で配設されており、
   前記循環移動手段は、水平面内および鉛直面内のいずれか一方において回転する回転体と、前記回転体を間欠回転駆動する回転駆動機構と、を有し、
   前記回転体には、周方向に等間隔となるように４つの前記ブレイクユニットが保持されていることを特徴とする請求項２に記載のブレイク装置。
4. 前記ブレイクヘッドは、前記ガラスカレットを粘着するヘッドパッドを有し、
   前記ヘッド洗浄手段は、前記ヘッドパッドから前記ガラスカレットを掻き落すブラシ体を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のブレイク装置。
5. スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置であって、
   前記ガラス基板に直接接触してこれをブレイクするブレイクヘッドおよび前記ブレイクヘッドをブレイク動作させるブレイク動作機構から成るブレイクユニットと、
   前記ガラス基板がセットされるブレイクテーブルと、
   ブレイク後の前記ブレイクヘッドに付着したガラスカレットを除去するヘッドクリーニング手段と、
   前記ブレイクユニットを保持すると共に、前記ブレイクヘッドを、前記ブレイクテーブルに臨むブレイクエリアおよび前記ヘッドクリーニング手段に臨むクリーニングエリアに、前記ブレイク動作毎に交互に臨ませる交互移動手段と、を備えたことを特徴とするブレイク装置。
6. 前記交互移動手段は、水平面内および鉛直面内のいずれか一方において回転する回転体と、前記回転体を回転駆動する回転駆動機構と、を有し、
   前記回転体には、１８０°点対称位置に２つの前記ブレイクユニットが保持されていることを特徴とする請求項５に記載のブレイク装置。
7. 前記ブレイクヘッドは、前記ガラスカレットを粘着するヘッドパッドを着脱自在に有しており、
   前記ヘッドクリーニング手段は、前記ヘッドパッドを前記ブレイクヘッドから離脱させる剥離機構と、前記ヘッドパッドを前記ブレイクヘッドに装着する貼着機構と、を有していることを特徴とする請求項５または６に記載のブレイク装置。
8. 前記ブレイクヘッドは、前記ガラスカレットを静電吸着するヘッドパッドを有しており、
   前記ヘッドクリーニング手段は、前記ガラスカレットを静電吸着したヘッドパッドを除電する除電手段と、除電後の前記ガラスカレットを吸引により除去する吸引手段と、前記ガラスカレットを除去した後の前記ヘッドパッドを帯電する帯電手段と、を有していることを特徴とする請求項５または６に記載のブレイク装置。
9. 前記ブレイクヘッドは、前記ガラス基板のブレイク側および被ブレイク側に接触する一対の粘着ヘッドおよび一対の静電吸着ヘッドのいずれか一方から成る一対の押圧ヘッドにより構成され、
   前記ブレイク動作機構は、前記一対の押圧ヘッドに対応する一対の個別動作機構により構成され、
   前記ガラス基板のブレイク側に接触した一方の前記押圧ヘッドを、これに対応する前記個別動作機構により押込み動作させることにより、ブレイクが行なわれることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のブレイク装置。
10. 前記ブレイクヘッドは、前記ガラス基板のブレイク側および被ブレイク側を吸着する一対の真空吸着ヘッドにより構成され、
    前記ブレイク動作機構は、前記一対の真空吸着ヘッドに対応する一対の個別動作機構により構成され、
    前記ガラス基板のブレイク側を吸着した一方の前記真空吸着ヘッドを、これに対応する前記個別動作機構により引付け動作させることにより、ブレイクが行なわれることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のブレイク装置。
11. 前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス基板からＴＦＴ液晶パネルを複数枚取りすることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載のブレイク装置。
12. スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク方法であって、
    前記ガラス基板に対しブレイクを行うブレイク位置と、ブレイク時に前記ブレイクヘッドに付着したガラスカレットを除去するクリーニング位置と、の間で移動自在に構成されたブレイクヘッドを用い、
    前記ブレイクヘッドによるブレイク動作と、前記ブレイクヘッドのクリーニング動作と、を交互に行なうことを特徴とするブレイク方法。

Images