JP2008092333A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 開口部を有するパッケージ内に圧電振動片を収容して、蓋体により前記開口部を封止した圧電デバイスであって、
   前記蓋体は、枠状の金属体の内面に、光を透過する材料により形成された光透過部が接合されて形成されており、
   前記金属体は、前記パッケージに接合される底面を有する底部と、前記底面と反対側の上面を有する壁部と、を備え、
   前記壁部の幅寸法が前記底部の幅寸法より狭く形成されるように前記金属体に切欠きが形成され、
   前記光透過部の一部は、前記切欠き内に配置され、
   前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記金属枠の前記内面に接合され、
   前記金属体の前記底面の前記幅寸法は、前記パッケージの前記開口部側の端面の幅寸法以下である
   ことを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記金属体の前記内面は、
   前記切欠きの底面であって、前記底部の前記底面の反対側の上面である底部上面と、
   前記切欠きの側面であって、前記壁部の内面である壁部内面と、
   を含み、
   前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記底部上面と前記壁部内面とに接合されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
3. 前記金属体の前記底面の形状は、前記パッケージの前記開口部側の前記端面の形状と同様になっていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電デバイス。
4. 前記光透過部は、酸化物を含有するガラス材料から形成されており、
   前記金属体は、その内面に酸化膜が形成され、前記酸化膜を介して前記ガラス材料と接合されている
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス。
5. 前記金属体は、低融点金属であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス。
6. 前記低融点金属は、Ａｕ−Ｇｅ合金であることを特徴とする請求項５に記載の圧電デバイス。
7. 前記低融点金属の熱膨張係数は、前記金属体の熱膨張係数に比べて大きいことを特徴とする請求項５または６に記載の圧電デバイス。