JP2008091841A5 - - Google Patents
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- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 12
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Claims (12)
- それぞれ光電変換部を有する複数の画素が形成された半導体基板と、
前記半導体基板上に積層される複数層の絶縁膜と、
前記複数層の絶縁膜の間に形成される配線膜と、
前記複数層の絶縁膜の間に各光電変換部に対応して形成される層内レンズと、
前記絶縁膜上に各光電変換部に対応して形成される光学フィルタと、
前記光学フィルタ上に各光電変換部に対応して形成されるオンチップレンズとを有し、
前記層内レンズ及びオンチップレンズの少なくとも一つは、前記光学フィルタの特性に応じて画素毎に異なる構造を有する、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 複数層の前記層内レンズを有し、少なくとも１層の層内レンズが一部の光学フィルタに対応する画素の光電変換部にのみ対応して形成されていることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
- 前記層内レンズが凸レンズを含むことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
- 前記層内レンズが凹レンズを含むことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
- 前記光学フィルタが３原色カラーフィルタであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
- 前記層内レンズ及びオンチップレンズの少なくとも一つは、前記カラーフィルタの色に応じて画素毎に異なる構造を有することを特徴とする請求項５記載の固体撮像装置。
- 被写体の撮像を行うための固体撮像装置と、前記固体撮像装置の受光部に被写体像を結像させる撮像光学系と、前記撮像光学系を駆動する駆動制御部と、前記固体撮像装置からの出力信号を信号処理し、撮像信号を生成する信号処理部と、前記信号処理部によって生成された撮像信号を記録する記録部と、前記信号処理部によって生成された撮像信号を出力する出力部と、撮像動作を制御するための各種信号を入力する操作部と有し、
前記固体撮像装置は、
それぞれ光電変換部を有する複数の画素が形成された半導体基板と、
前記半導体基板上に積層される複数層の絶縁膜と、
前記複数層の絶縁膜の間に形成される配線膜と、
前記複数層の絶縁膜の間に各光電変換部に対応して形成される層内レンズと、
前記絶縁膜上に各光電変換部に対応して形成される光学フィルタと、
前記光学フィルタ上に各光電変換部に対応して形成されるオンチップレンズとを有し、
前記層内レンズ及びオンチップレンズの少なくとも一つは、前記光学フィルタの特性に応じて画素毎に異なる構造を有する、
ことを特徴とする撮像装置。 - 複数層の前記層内レンズを有し、少なくとも１層の層内レンズが一部の光学フィルタに対応する画素の光電変換部にのみ対応して形成されていることを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
- 前記層内レンズが凸レンズを含むことを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
- 前記層内レンズが凹レンズを含むことを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
- 前記光学フィルタが３原色カラーフィルタであることを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
- 前記層内レンズ及びオンチップレンズの少なくとも一つは、前記カラーフィルタの色に応じて画素毎に異なる構造を有することを特徴とする請求項１１記載の撮像装置。
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