JP7272423B2 - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents

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Description

本発明は、撮像素子および撮像装置に関する。
複数の画素をブロックにまとめて、ブロック単位で信号を並列に読出す撮像素子が知られている(特許文献1参照)。このような撮像素子では、ブロック内に欠陥が生じた場合の補間処理が困難であった。
日本国特開2016-171455号公報
本発明の第1の態様による撮像素子は、第1領域、第2領域、および前記第1領域と前記第2領域との間にある第3領域にそれぞれ設けられ、光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部と、前記第1領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも一方を出力する第1出力部と、前記第3領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号を出力する第2出力部と、前記第1出力部から信号が出力され、第1方向に配線される第1配線と、前記第1方向と交差する第2方向に配線され、前記第1配線と異なる配線層に設けられる第2配線とを有する第1信号線と、を備える。
本発明の第2の態様による撮像装置は、第1の態様による撮像素子と、前記第1出力部および前記第2出力部の少なくとも一方から出力される信号に基づいて画像データを生成する生成部と、を備える。
デジタルカメラの構成例を示す図である。 撮像素子の概要を説明する図である。 撮像素子の断面を説明する図である。 ベイヤー配列を例示する図である。 ブロックの構成を説明する回路図である。 カラーフィルタの配置とブロックの関係性を例示する模式図である。 図7(a)~図7(d)は、それぞれ第1ブロックから第4ブロックを説明する図である。 補間処理を説明する図である。 図9(a)、図9(b)は出力信号線の配線例を説明する図である。 図10(a)、図10(b)は出力信号線の他の配線例を説明する図である。 図11(a)、図11(b)は出力信号線の別の配線例を説明する図である。 図12(a)、図12(b)は変形例1によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性等を説明する図である。 変形例2によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性を例示する図である。 変形例3によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性等を例示する図である。 変形例4によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性等を例示する図である。 変形例5によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性等を例示する図である。 図17(a)~図17(i)は、それぞれ変形例6による第1ブロックから第9ブロックを説明する図である。 出力信号線の配線の一例を説明する図である。 制御信号線の配線の一例を説明する図である。 制御信号線の配線の一例を説明する図である。
本実施の形態による撮像素子は、光を光電変換する光電変換部が複数設けられた領域が、複数配置されている。以下、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、一実施の形態による撮像素子101を備えるデジタルカメラの構成例を模式的に示す図である。デジタルカメラは、交換レンズ110とカメラボディ100とから構成され、交換レンズ110がレンズ取り付け部105を介してカメラボディ100に装着される。
なお、デジタルカメラをレンズ交換式ではなく、レンズ一体式のカメラとして構成してもよい。
図1において、互いに直交する座標系を構成するxyz軸を規定する。被写体からの光は、図1のz軸プラス方向に向かって入射するものとする。また、座標軸に示すように、z軸に直交する紙面手前方向をx軸プラス方向、z軸およびx軸に直交する上方向をy軸プラス方向とする。以降のいくつかの図においては、図1の座標軸を基準として、それぞれの図の向きがわかるように座標軸を表示する。
交換レンズ110は、例えば、レンズ制御部111、ズームレンズ112、フォーカスレンズ113、防振レンズ114、絞り部材115、レンズ操作部116などを備えている。レンズ制御部111は、CPUとメモリなどの周辺部品とを含む。レンズ制御部111は、フォーカスレンズ113、防振レンズ114、および絞り部材115の駆動制御、ズームレンズ112やフォーカスレンズ113の位置検出、カメラボディ100への交換レンズ110の情報の送信およびカメラボディ100からのカメラ情報の受信などを行う。
カメラボディ100は、例えば、撮像素子101、ボディ制御部102、ボディ操作部103、および表示部104などを備えている。撮像素子101は、交換レンズ110の予定結像面(予定焦点面)に配置され、交換レンズ110により結像される被写体像を光電変換する。ボディ操作部103は、シャッターボタンや、各種設定のための操作部材などを含む。表示部104は、例えばカメラボディ100の背面に搭載された液晶モニタ(背面モニタとも称される)によって構成される。
ボディ制御部102は、CPUとメモリなどの周辺部品とを含む。ボディ制御部102は、撮像素子101の駆動制御、撮像素子101からの信号の読み出し、焦点検出演算および交換レンズ110の焦点調節、画像信号の処理および記録などデジタルカメラの動作制御を行う。また、ボディ制御部102は、レンズ取り付け部105に設けられた電気接点106を介してレンズ制御部111と通信を行い、交換レンズ110の情報の受信およびカメラ情報(デフォーカス量や絞り値など)の送信を行う。
撮像素子101の受光面上には、交換レンズ110を通過した光束によって被写体像が形成される。この被写体像は撮像素子101によって光電変換され、光電変換後の信号がボディ制御部102へ送られる。
ボディ制御部102は、撮像素子101からの信号に基づいて公知の焦点検出演算を行うことにより、交換レンズ110のデフォーカス量を検出する。デフォーカス量は、交換レンズ110が形成した被写体像の位置(結像面)と撮像素子101の受光面位置とのずれ量である。
ボディ制御部102によって検出されたデフォーカス量は、レンズ制御部111へ送出される。レンズ制御部111は、受信したデフォーカス量に基づいてフォーカスレンズ113の駆動量を算出する。そして、算出した駆動量に基づいて不図示のモーター等を駆動することにより、フォーカスレンズ113を合焦位置へ移動させる。
また、ボディ制御部102は、撮像素子101からの信号を処理して画像データを生成する。画像データは、不図示のメモリカードに記録されたり、表示部104に画像を表示する際に用いられたりする。撮像素子101からの信号に対する画像処理には、後に詳述する補正処理と、色補間処理等が含まれる。ボディ制御部102はさらに、撮像素子101からの信号に基づくモニタ用画像(スルー画像とも称される)を表示部104に表示させる。
<撮像素子の構成>
図2は、撮像素子101の概要を説明する模式図である。撮像素子101は、CMOSイメージセンサによって構成される。撮像素子101は、画素エリア201と、垂直制御部202と、水平制御部203と、センサ出力部204と、センサ制御部205とを有する。なお、図2では、電源部や詳細回路は省略している。
画素エリア201には、例えば、x軸方向(第1方向)、および、y軸方向(第2方向)に二次元状に配置された複数の画素を有する。各画素は、入射光量に応じた電荷を生成する、光電変換部としてのフォトダイオードを有する。複数の画素は、それぞれが垂直制御部202および水平制御部203によって制御され、各画素のフォトダイオードで生成された電荷に基づく信号が、信号線210を介して読出される(出力される)。
センサ出力部204は、各画素から出力された信号に対して相関二重サンプリング(CDS)を行ったり、必要に応じてゲインをかけたりする。センサ出力部204で処理された信号は、後段の信号処理部(不図示)へ出力される。
なお、以上の説明では、センサ出力部204が後段の信号処理部へアナログ信号として出力する例を説明したが、センサ出力部204にA/Dコンバータを備え、A/D変換後の信号をデジタル出力する構成にしてもよい。
本実施の形態では、画素エリア201が複数の領域に分けられている。各領域は、それぞれ複数(例えば4つ)のフォトダイオードを有する。複数の領域のうち所定数(例えば4つ)の領域が後述する領域間の信号線で接続される。領域間の信号線で接続された所定数の領域をブロックと称する。ブロック内のいずれかの領域のフォトダイオードで生成された信号は、ブロックの信号線210を介して出力される。そのため、信号線210の数はブロックの数と等しい。このように構成したので、センサ出力部204は、複数のブロックからの信号を並列に入力し、入力した複数のブロックからの信号に対して並列に処理を行い、後段の信号処理部(不図示)へ並列に出力することができる。
なお、1つのブロックに複数の信号線210を設けてもよい。
センサ制御部205は、上述した撮像素子101の各部を制御する。すなわち、以降に説明する撮像素子101の動作は、ボディ制御部102の指令を受けたセンサ制御部205の制御に基づいて行われる。
なお、本実施の形態では、フォトダイオードと、フォトダイオードで生成された電荷に基づく信号を出力する出力部とを含めて「画素」と呼ぶ。出力部は、後述する各転送トランジスタ、フローティングディフュージョン(FD)領域、増幅トランジスタ、および選択トランジスタ、および信号を出力する信号線を含む例を説明するが、出力部の範囲は、必ずしも本例の通りでなくてもよい。
図3は、撮像素子101の断面を説明する図である。なお図3では、撮像素子101の全体のうち、一部の断面のみを示している。撮像素子101は、いわゆる裏面照射型の撮像素子として構成されており、z軸プラス方向に向かう入射光を光電変換する。撮像素子101は、例えば、第1半導体基板70と、第2半導体基板80とが積層して構成されている。
第1半導体基板70は、少なくともPD層71と、配線層72とを備える。PD層71は、配線層72の裏面側(z軸マイナス側)に配置される。PD層71には、複数のフォトダイオードPDが二次元状に配置される。配線層72には、配線61、配線62、配線63、配線64によって信号線210、後述する領域内の信号線、後述する領域間の信号線、および、後述する制御線の配線が形成される。配線61から配線64は、それぞれ配線層72の異なる層に形成される。上記の配線は、配線層72において同層の配線のみを用いて形成してもよいし、配線層72の異なる層の配線をそれぞれ用いて形成してもよい。
図3には4層の配線を例示したが、層数は適宜変更して構わない。配線層72の層間は、例えば不図示のビア(via)によって接続することができる。第2半導体基板80には、例えば、上記センサ出力部204等の各種回路が配置される。第2半導体基板80についても、多層に構成して構わない。
PD層71における入射光の入射側(z軸マイナス側)には、複数のフォトダイオードPDの各々に対応する複数のカラーフィルタ73が設けられる。カラーフィルタ73には、例えば赤(R)、緑(G)、青(B)の異なる分光特性を有する3つのカラーフィルタ(色フィルタ)のいずれかが設けられる。カラーフィルタ73には、入射した光のうち第1の波長域の光(赤(R)の光)を分光する分光特性を有するカラーフィルタと、入射した光のうち第2の波長域の光(緑(G)の光)を分光する分光特性を有するカラーフィルタと、入射した光のうち第3の波長域の光(青(B)の光)を分光する分光特性を有するカラーフィルタとが含まれる。カラーフィルタ73は、例えば赤(R)、緑(G)、青(B)に対応する3種類が、図4に例示するベイヤー配列を為すように配列される。
なお、本実施の形態ではベイヤー配列を例に説明するが、カラーフィルタ73をベイヤー配列以外の配列にしてもよい。
カラーフィルタ73における入射光の入射側(z軸マイナス側)には、複数のカラーフィルタ73の各々に対応する複数のマイクロレンズ74が設けられる。マイクロレンズ74は、対応するフォトダイオードPDに向けて入射光を集光する。マイクロレンズ74を通過した入射光は、カラーフィルタ73により一部の波長領域のみが透過され、フォトダイオードPDに入射する。フォトダイオードPDは、入射光を光電変換して電荷を生成する。
配線層72の表面(z軸プラス側)には複数の接合パッド75が配置される。第2半導体基板80の、配線層72に対向する面(z軸マイナス側)には、複数の接合パッド75に対向する複数の接合パッド76が配置される。複数の接合パッド75と複数の接合パッド76とが互いに接合されると、複数の接合パッド75と複数の接合パッド76とを介して、第1半導体基板70と第2半導体基板80とが電気的に接続される。
接合パッド75および複数の接合パッド76の数は、それぞれ上述したブロックの数と等しくすることができる。すなわち、1つのブロックに対応して一組の接合パッド75、接合パッド76が設けられる。
本実施の形態では、撮像素子101の1つの画素が、第1半導体基板70に設けられた第1画素部30xと、第2半導体基板80に設けられた第2画素部30yとによって構成される。第1画素部30xには、マイクロレンズ74、カラーフィルタ73、フォトダイオードPDの他に、後に詳述するトランジスタや、画素部30P間を接続する配線61から配線64等を含めることができる。第2画素部30yには、上記センサ出力部204等の回路を含めることができる。
<ブロックの説明>
図5は、撮像素子101のブロックの構成を説明する回路図である。図5に示す例では、ブロック1つ当たり4つの領域A~領域Dを有する。領域Aに、4つの第1画素部30x-1~30x-4が配置される。領域Bに、4つの第1画素部30x-5~30x-8が配置される。領域Cに、4つの第1画素部30x-9~30x-12が配置される。領域Dに、4つの第1画素部30x-13~30x-16が配置される。
第1画素部30xは、それぞれ、光電変換部としてのフォトダイオードPDと、4つのトランジスタ(転送部として機能する転送トランジスタTx、リセット部として機能するリセットトランジスタRST、増幅部として機能する増幅トランジスタSF、スイッチとして機能する選択トランジスタSEL)と、FD領域とを有する。
第1画素部30xの各部は、図5に示すように接続されている。図5において符号VDDは、電源電圧を示す。
転送トランジスタTxは、フォトダイオードPDで生成された電荷をFD領域へ転送する。転送トランジスタTxは、対応する制御信号φTxがHighレベルになるとオンして電荷を転送し、対応する制御信号φTxがLowレベルになるとオフする。
FD領域は、転送された電荷を蓄積するとともに、転送された電荷を電圧に変換する。増幅トランジスタSFは、ソースフォロワ回路を形成し、FD領域の電位に応じた信号を出力する。リセットトランジスタRSTは、FD領域やフォトダイオードPDの電荷をリセット(排出)する。リセットトランジスタRSTは、対応する制御信号φRSTがHighレベルになるとオンし、対応する制御信号φRSTがLowレベルになるとオフする。
選択トランジスタSELは、増幅トランジスタSFから出力された信号を領域内の信号線60へ出力する。選択トランジスタSELは、対応する制御信号φSELがHighレベルになるとオンして信号を出力し、対応する制御信号φSELがLowレベルになるとオフする。
領域内の信号線60は、領域A~領域Dのそれぞれにおいて、領域内の複数(本例では4つ)の選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を接続する。領域間の信号線90は、ブロック内の複数(本例では4つ)の領域A~領域Dの出力部、すなわち、領域A内の信号線60、領域B内の信号線60、領域C内の信号線60、および、領域D内の信号線60を接続する。
ブロックにおける信号線をこのように接続したので、ブロック内のいずれかの領域のフォトダイオードPDで生成された信号は、領域内の信号線60、領域間の信号線90、および、信号線210を介して出力される。
センサ制御部205は、ブロック内の16個の第1画素部30xの選択トランジスタSELに、それぞれ独立した制御信号φSEL-1~φSEL-16を供給することができる。例えば、センサ制御部205がHighレベルの制御信号φSEL-1~φSEL-16を順番に供給することで、16個の選択トランジスタSELが順番にオンになり信号線210へ信号が出力される。このように、ブロック内の16個の第1画素部30xによって生成された信号は、個別に出力することも可能である。
なお、センサ制御部205は、16個の選択トランジスタSELのうちの複数個を組み合わせて信号線210へ信号を出力させてもよい。例えば、センサ制御部205は、第1画素部30x-1~30x-16のうち複数の第1画素部30xへHighレベルの制御信号φSELを供給する。このように、Highレベルの制御信号φSELが供給された複数の第1画素部30xからそれぞれ出力された信号が領域内の信号線60、領域間の信号線90および信号線210において加算され、ビニングを行うことも可能である。
また、センサ制御部205は、ブロック内の16個の第1画素部30xの転送トランジスタTxに、それぞれ独立した制御信号φTx-1~φTx-16を供給することができる。例えば、センサ制御部205によってHighレベルの制御信号φTx-1~φTx-16を順番に供給することで、16個の転送トランジスタTxが順番にオンになりフォトダイオードPDで生成された電荷がFD領域へ転送される。このように、ブロック内の16個の第1画素部30xによって生成された電荷は、個別に転送することも可能である。
なお、センサ制御部205は、16個の転送トランジスタTxのうちの複数個を同じタイミングでオンさせてもよい。例えば、センサ制御部205は、第1画素部30x-1~30x-16のうち複数の第1画素部30xへHighレベルの制御信号φTxを供給する。このように、Highレベルの制御信号φTxが供給された複数の第1画素部30xにおいて生成された電荷がそれぞれのFD領域へ転送される。
図6は、カラーフィルタの配置とブロックの関係性を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成301を示す。画素エリア201には、構成301が、例えばx軸方向およびy軸方向に繰り返し配置されている。
<配置>
本実施の形態では、複数の領域に、それぞれ4つの画素が配置されている。図6の例では、構成301に含まれる64画素が16個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。
すなわち、赤(R)に対応する波長領域の光を透過するカラーフィルタ73を有する画素(R画素と称する)と、青(B)に対応する波長領域の光を透過するカラーフィルタ73を有する画素(B画素と称する)と、GR列上に位置して緑(G)に対応する波長領域の光を透過するカラーフィルタ73を有する画素(G画素と称する)と、GB列上に位置して緑(G)に対応する波長領域の光を透過するカラーフィルタ73を有する画素(G画素と称する)とによって、1つの領域が構成される。
そして、1つのブロックは、互いに離間して配置されている4つの領域により構成される。これにより、構成301は4つのブロックを有する。
図7(a)は第1ブロックを説明する図である。第1ブロックは互いに離間して配置されている4つの領域11~領域14を有する。領域11~領域14は、図5の領域A~領域Dに対応する。図7(b)は第2ブロックを説明する図である。第2ブロックは互いに離間して配置されている4つの領域21~領域24を有する。領域21~領域24は、図5の領域A~領域Dに対応する。図7(c)は第3ブロックを説明する図である。第3ブロックは互いに離間して配置されている4つの領域31~領域34を有する。領域31~領域34は、図5の領域A~領域Dに対応する。図7(d)は第4ブロックを説明する図である。第4ブロックは互いに離間して配置されている4つの領域41~領域44を有する。領域41~領域44は、図5の領域A~領域Dに対応する。
図6および図7において、第1ブロックが有する16個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する16個の画素をドットで示す。さらに、第3ブロックが有する16個の画素を縦縞で示す。さらにまた、第4ブロックが有する16個の画素を横縞で示す。
1つのブロックが、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域を有する理由を説明する。一般に、撮像素子101に生じた欠陥によってある画素からの信号を出力させることができない場合、撮像素子101は信号を出力できない画素の周囲に配置されている他の画素からの信号を用いた補間処理によって、信号を出力できない画素位置における信号を生成する。また、撮像素子101に生じた欠陥によってある画素からの信号に基づく画像データを生成できない場合、撮像素子101は画像データを生成できない画素位置の周囲に配置されている他の画素からの信号に基づいた画像データを補正する補正処理によって、画像データを生成できなかった画素位置における画像データを生成する。
本実施の形態では、例えば、第1ブロックに生じた欠陥により、第1ブロック内の画素(注目画素と称する)からの信号を出力できなくなると、例えばボディ制御部102またはセンサ制御部205が、注目画素の周囲に配置されている他の画素からの信号を用いて補間処理を行う。第1ブロックの欠陥には、第1ブロックの信号線210に故障が生じた場合、第1ブロックの領域間の信号線90に故障が生じた場合、第1ブロックの領域内の信号線60に故障が生じた場合、上記注目画素そのものに故障が生じた場合が含まれる。
図8は、補間処理を説明する図である。図8において、実線の円で囲んだR画素であって、図7(a)の第1ブロックを構成する領域14に含まれるR画素を注目画素とする。ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、例えば、破線の円で囲んだ4つのR画素であって、図7(b)の第2ブロックを構成する領域23、24にそれぞれ含まれるR画素と、図7(c)の第3ブロックを構成する領域32、34にそれぞれ含まれるR画素からの信号を用いて、注目画素の位置における信号を補間する。
このような補間処理を行う場合、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いる方が、注目画素の位置から遠い位置に配置されている画素からの信号を用いるよりも、補間処理の精度が高まる点で有利である。仮に、1つのブロックが、互いに隣接した領域を有するとすれば、注目画素を含む領域の周囲に位置する領域も、注目画素と同じ欠陥ブロックに含まれる可能性が高まる。注目画素を含む領域の周囲の領域が欠陥であると、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置からさらに離れた位置に配置されている他のブロックに含まれる画素からの信号を用いて補間しなければならず、補間処理の精度が低くなってしまう。
しかしながら、本実施の形態によれば、1つのブロックが、互いに離間した領域を有する構成にしたので、注目画素を含む第1ブロックの領域14の隣に位置する領域32、34、23、24は、いずれも第1ブロックと異なる第3ブロックまたは第2ブロックに含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理を精度よく行うことができる。
なお、例えば、第2ブロックの領域24の画素を注目画素とする場合、構成301のx軸プラス方向側に位置する他の構成(不図示)に含まれる画素からの信号を用いればよい。
<配線>
図9(a)~図9(b)は、構成301の出力信号線のうち領域間の信号線90の配線と領域内の信号線60の配線の一例を説明する模式図である。図9(a)は、第1ブロックの領域間の信号線90-1、第2ブロックの領域間の信号線90-2、第3および第4ブロックの領域内の信号線60の配線を例示する図である。第1ブロックの領域間の信号線90-1は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線90-2は、ドットで示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)出力部とが接続されることを示す。
また、図9(b)は、第3ブロックの領域間の信号線90-3、第4ブロックの領域間の信号線90-4、第1および第2ブロックの領域内の信号線60の配線を例示する図である。第3ブロックの領域間の信号線90-3は、縦縞で示される。第4ブロックの領域間の信号線90-4は、横縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
以上説明したように、領域内の信号線60の配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線90の配線は、各ブロックが有する4つの領域の領域内の信号線60を互いに接続する。
図9(a)、図9(b)の配線例によれば、上記配線を配線層72のうちの2層に納めることができる。換言すれば、領域内の信号線60と領域間の信号線90とが、配線層72で占有する層の数を少なくすることができる。配線の層数を少なくすることで、コスト抑制の効果を得ることができる。
<他の配線の例示(1)>
図10(a)~図10(b)は、構成301における出力信号線の他の配線例を説明する模式図である。図10(a)は、第1ブロックの領域間の信号線90-1、第4ブロックの領域間の信号線、第3および第4ブロックの領域内の信号線60の配線を例示する図である。第1ブロックの領域間の信号線90-1は、網掛けで示される。第4ブロックの領域間の信号線は、横縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
また、図10(b)は、第2ブロックの領域間の信号線90-2、第3ブロックの領域間の信号線90-3、第1および第2ブロックの領域内の信号線60の配線を例示する図である。第2ブロックの領域間の信号線90-2は、ドットで示される。第3ブロックの領域間の信号線は、縦縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域内の信号線60の配線が、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する点と、領域間の信号線90の配線が、各ブロックが有する4つの領域の領域内の信号線60を互いに接続する点は、図9(a)、図9(b)に例示した配線と同様である。図10(a)、図10(b)の配線例でも、図9(a)、図9(b)に例示した配線と同様に、上記配線を配線層72のうちの2層に納めることができる。換言すれば、領域内の信号線60と領域間の信号線90とが、配線層72で占有する層の数を少なくすることができる。
<他の配線の例示(2)>
図11(a)~図11(b)は、構成301における出力信号線の別の配線例を説明する模式図である。図11(a)は、第1ブロックの領域間の信号線90-1、第2ブロックの領域間の信号線90-2、第3ブロックの領域間の信号線90-3、および、第4ブロックの領域間の信号線90-4の配線のうちx軸方向の第1配線、第3配線と、第1ブロックから第4ブロックの領域内の信号線60の配線の一部とを例示する図である。第1ブロックの領域間の信号線90-1は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線90-2は、ドットで示される。第3ブロックの領域間の信号線90-3は、縦縞で示される。第4ブロックの領域間の信号線90-4は、横縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
また、図11(b)は、第1ブロックの領域間の信号線90-1、第2ブロックの領域間の信号線90-2、第3ブロックの領域間の信号線90-3、および、第4ブロックの領域間の信号線90-4の配線のうちy軸方向の第2配線、第4配線と、第1ブロックから第4ブロックの領域内の信号線60の配線の残り部分とを例示する図である。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域内の信号線60の配線が、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する点と、領域間の信号線90の配線が、各ブロックが有する4つの領域の領域内の信号線60の配線を互いに接続する点は、図9(a)、図9(b)および図10(a)、図10(b)に例示した配線と同様である。 図11(a)、図11(b)に例示した配線例でも、図9(a)、図9(b)および図10(a)、図10(b)に例示した配線と同様に、上記配線を配線層72のうちの2層に納めることができる。換言すれば、領域内の信号線60と領域間の信号線90とが、配線層72で占有する層の数を少なくすることができる。
以上説明した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
(1)撮像素子101は、第1領域としての領域11、第2領域としての領域12、および領域11と領域12との間にある第3領域としての領域21にそれぞれ設けられ、光を光電変換して電荷を生成する複数の第1画素部30xと、領域11に設けられる複数の第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号と、領域12に設けられる複数の第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号との少なくとも一方を出力する第1出力部(第1ブロックの領域内の信号線60、領域間の信号線90-1、信号線210)と、領域21に設けられる複数の第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号を出力する第2出力部(第2ブロックの領域内の信号線60、領域間の信号線90-2、信号線210)とを備える。このように、領域11と領域12との間に領域21を配置したため、仮に、領域11または領域12が欠陥になった場合に、領域11、領域12における第1画素部30xから得られるべき信号を、領域11、領域12の間に位置する領域21における第1画素部30xから得られた信号を用いて生成する補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
(2)複数の第1画素部30xは、第1方向および第2方向に、領域11、領域12および領域21においてそれぞれ設けられる。このように構成したので、各領域において第1方向および第2方向の位置が対応する第1画素部30xから得られる信号を用いることで、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
(3)上記(1)の第1出力部は、第1方向および第2方向の少なくとも一方に配線され、第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号を出力する第1信号線としての領域間の信号線90-1を有し、上記(1)の第2出力部は、第1方向および第2方向の少なくとも一方に配線され、第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号を出力する第2信号線としての領域間の信号線90-2を有する。このように構成したので、仮に、領域11または領域12が欠陥になって領域間の信号線90-1から信号が出力されない場合でも、領域21における第1画素部30xから得られる信号を領域間の信号線90-2から出力させることができる。
(4)領域間の信号線90-1と領域間の信号線90-2とは、配線層72の異なる層に設けたので、1つの層において第1方向および第2方向の配線を交差させずに適切に配線することができる。また、配線層72で領域間の信号線90が占有する層の数を少なくすることができる。配線の層数を少なくすることで、コスト抑制の効果を得ることができる。
(5)領域間の信号線90-1と領域間の信号線90-2とは、配線層72の同じ層に設けられ、交差しないよう配線されるので、1つの層において第1方向および第2方向の配線を交差させずに適切に配線することができる。また、配線層72で領域間の信号線90が占有する層の数を少なくすることができる。配線の層数を少なくすることで、コスト抑制の効果を得ることができる。
(6)領域間の信号線90-1は、図11(a)の第1方向に配線される第1配線と、図11(b)の第2方向に配線される第2配線とを有し、上記第1配線と上記第2配線とは、配線層72の異なる層に設けられる。このように構成したので、1つの層において第1方向および第2方向の配線を交差させずに適切に配線することができる。また、配線層72で領域間の信号線90が占有する層の数を少なくすることができる。配線の層数を少なくすることで、コスト抑制の効果を得ることができる。
(7)領域間の信号線90-2は、図11(a)の第1方向に配線される第3配線と、図11(b)の第2方向に配線される第4配線とを有し、上記第1配線と上記第3配線とは、配線層72の同じ層(図11(a))に設けられ、上記第2配線と上記第4配線とは、配線層72の同じ層(図11(b))に設けられる。このように構成したので、1つの層において第1方向および第2方向の配線を交差させずに適切に配線することができる。また、配線層72で領域間の信号線90が占有する層の数を少なくすることができる。配線の層数を少なくすることで、コスト抑制の効果を得ることができる。
(8)領域11、領域12および領域21と異なる、第4領域としての領域22に設けられる複数の第1画素部30xを備え、上記(1)の第2出力部は、領域21に設けられる複数の第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号と、領域22に設けられる複数の第1画素部30xで生成された電荷に基づく信号との少なくとも一方を出力する。このように構成したので、仮に、領域12が欠陥になって領域間の信号線90-1から信号が出力されない場合でも、領域21または領域22における第1画素部30xで得られる信号を第2信号線としての領域間の信号線90-2から出力させることができる。
(9)複数の第1画素部30xは、第1波長の光を光電変換する光電変換部と、第1波長と異なる第2波長の光を光電変換する光電変換部とを有する。このように構成したので、異なる波長の光をそれぞれ光電変換することができる。
(10)上記(1)の第1出力部および第2出力部の少なくとも一方から出力される信号に基づいて画像データを生成する生成部としてのボディ制御部102とを備える。このように構成したので、記録用の画像、モニタ用の画像を生成することができる。
(11)ボディ制御部102は、上記(1)の第2出力部から出力される信号に基づいて、上記(1)の第1出力部から出力される信号を補正して、画像データを生成する。このように構成したので、記録用の画像、モニタ用の画像を適切に生成することができる。
(12)ボディ制御部102は、上記(1)の第1出力部から信号が出力されない場合、上記(1)の第2出力部から出力される信号に基づいて画像データを補正して、画像データを生成する。このように構成したので、記録用の画像、モニタ用の画像を適切に生成することができる。
(13)ボディ制御部102は、は、上記(1)の第1出力部から信号が出力されない場合、画像データにおいて第1出力部から出力される信号に対応するデータを、第2出力部から出力される信号に基づいて生成する。このように構成したので、記録用の画像、モニタ用の画像を適切に生成することができる。
次のような変形も本発明の範囲内であり、変形例の1つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。
(変形例1)
上述した実施の形態では、1つのブロックが4つの領域(16画素)を有する例を説明した。この代わりに、1つのブロックが9つの領域(36画素)を有する構成にしてもよい。
図12(a)、図12(b)は、変形例1によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性、および、出力信号線の配線を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成302を示す。画素エリア201には、構成302が、例えばx軸方向(第1方向)およびy軸方向(第2方向)に繰り返し配置されている。
<配置>
変形例1の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図12(a)、図12(b)の例では、構成302に含まれる144画素が36個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、互いに離間して配置されている9つの領域により、1つのブロックを構成する。これにより、構成302は4つのブロックを有する。
図12(a)、図12(b)において、第1ブロックが有する36個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する36個の画素をドットで示す。さらに、第3ブロックが有する36個の画素を縦縞で示す。さらにまた、第4ブロックが有する36個の画素を横縞で示す。
変形例1においても、1つのブロックが、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域を有する。このように構成したので、例えば、注目画素を含む第1ブロックの領域の隣に位置する領域は、いずれも第1ブロックと異なる他のブロック(第2ブロック~第4ブロックのいずれか)に含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
<配線>
図12(a)には、第1ブロックの領域間の信号線、第2ブロックの領域間の信号線、第3および第4ブロックの領域内の信号線の配線を例示する。第1ブロックの領域間の信号線は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線は、ドットで示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
また、図12(b)には、第3ブロックの領域間の信号線、第4ブロックの領域間の信号線、第1および第2ブロックの領域内の信号線の配線を例示する。第3ブロックの領域間の信号線は、縦縞で示される。第2ブロックの領域間の信号線は、横縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域内の信号線の配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線の配線は、各ブロックが有する9つの領域の領域内の信号線を互いに接続する。
図12(a)、図12(b)に例示するように、変形例1の場合にも上記配線を2層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第4ブロックの配線を配線層72の異なる4つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を4から2へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例2)
1つのブロックが64画素を有する構成にしてもよい。図13は、変形例2によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成303を示す。画素エリア201には、構成303が、例えばx軸方向(第1方向)およびy軸方向(第2方向)に繰り返し配置されている。
<配置>
変形例2の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図13の例では、構成303に含まれる256画素が64個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、1つのブロックは、互いに離間して配置されている16個の領域により構成される。これにより、構成303は4つのブロックを有する。
図13において、第1ブロックが有する64個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する64個の画素をドットで示す。さらに、第3ブロックが有する64個の画素を縦縞で示す。さらにまた、第4ブロックが有する64個の画素を横縞で示す。
変形例2においても、1つのブロックは、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域を有する。このように構成したので、例えば、注目画素を含む第1ブロックの領域の隣に位置する領域は、いずれも第1ブロックと異なる他のブロック(第2ブロック~第4ブロックのいずれか)に含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
<配線>
図示を省略するが、変形例2における信号線の配線は、上記実施の形態の説明で参照した図9(a)、図9(b)、変形例1の説明で参照した図12(a)、図12(b)にならって配線することができる。すなわち、配線層72の1つの層において、第1ブロックの領域間の信号線、第2ブロックの領域間の信号線、第3および第4ブロックの領域内の信号線は、配線層72の1つの層に配線され、配線層72の他の層において、第3ブロックの領域間の信号線、第4ブロックの領域間の信号線、第1および第2ブロックの領域内の信号線は、配線層72の他の層に配線される。
このように配線することにより、変形例2の場合にも上記配線を2層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第4ブロックの配線を配線層72の異なる4つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を4から2へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例3)
ブロックが有する複数の領域の領域内の信号線を互いに接続する領域間の信号線を、x軸およびy軸に挟まれる方向に配線してもよい。図14は、変形例3によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性、および、出力信号線の配線を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成304を示す。画素エリア201には、構成304が、例えばx軸方向およびy軸方向に繰り返し配置されている。
<配置>
変形例3の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図14の例では、構成304に含まれる32画素が8個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、1つのブロックは、互いに離間して配置されている4個の領域により構成される。これにより、構成304は2つのブロックを有する。
図14において、第1ブロックが有する16個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する16個の画素をドットで示す。
変形例3においても、1つのブロックは、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域によって構成される。このように構成したので、例えば、注目画素を含む第1ブロックの領域の隣に位置する領域は、いずれも第1ブロックと異なる第2ブロックに含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
<配線>
図14には、第1ブロックの領域間の信号線、第2ブロックの領域間の信号線、第1および第2ブロックの領域内の信号線の配線を例示する。配線方向は、x軸とy軸に挟まれる方向である。例えば、x軸プラス方向およびy軸プラス方向に挟まれる方向を第1方向とすると、x軸プラス方向およびy軸マイナス方向に挟まれる方向は第2方向である。第1ブロックの領域間の信号線および領域内の信号線の配線は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線および領域内の信号線の配線は、ドットで示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域内の信号線の配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線の配線は、各ブロックを構成する4つの領域の領域内の信号線を互いに接続する。
図14に示すように、変形例3の場合の出力信号線の配線は、配線層72の1つの層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第2ブロックの領域間の信号線、領域内の信号線の配線を配線層72の異なる2つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を2から1へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例4)
上述した変形例3では、1つのブロックが16画素を有する例を説明した。この代わりに、1つのブロックが36画素を有する構成にしてもよい。図15は、変形例4によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性、および、出力信号線の配線を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成305を示す。画素エリア201には、構成305が、例えばx軸方向およびy軸方向に繰り返し配置されている。
<配置>
変形例4の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図15の例では、構成305に含まれる72画素が18個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、1つのブロックは、互いに離間して配置されている9個の領域により構成される。これにより、構成305は2つのブロックを有する。
図15において、第1ブロックが有する36個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する36個の画素をドットで示す。
変形例4においても、1つのブロックは、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域によって構成され。このように構成したので、例えば、注目画素を含む第1ブロックの領域の隣に位置する領域は、いずれも第1ブロックと異なる第2ブロックに含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
<配線>
図15には、第1ブロックの領域間の信号線、第2ブロックの領域間の信号線、第1および第2ブロックの領域内の信号線の配線を例示する。配線方向は、x軸とy軸に挟まれる方向である。例えば、x軸プラス方向およびy軸プラス方向に挟まれる方向を第1方向とすると、x軸プラス方向およびy軸マイナス方向に挟まれる方向は第2方向である。第1ブロックの領域間の信号線および領域内の信号線の配線は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線および領域内の信号線の配線は、ドットで示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線の配線は、各ブロックを構成する9つの領域の領域内の信号線を互いに接続する。
図15に示すように、変形例4の場合にも、出力信号線の配線を配線層72の1つの層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第2ブロックの領域間の信号線、領域内の信号線の配線を配線層72の異なる2つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を2から1へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例5)
出力信号線の配線を、配線層72の1つの層に納める他の例を説明する。図16は、変形例5によるカラーフィルタの配置とブロックの関係性、および、出力信号線の配線を例示する模式図であり、画素エリア201(図2)の一部の構成306を示す。画素エリア201には、構成306が、例えばx軸方向(第1方向)およびy軸方向(第2方向)に繰り返し配置されている。
<配置>
変形例5の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図16の例では、構成306に含まれる256画素が64個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、互いに離間して配置されている9つの領域により、1つのブロックを構成する。
図16において、第1ブロックが有する36個の画素を網掛けで示す。また、第2ブロックが有する36個の画素をドットで示す。さらに、第3ブロックが有する36個の画素を縦縞で示す。さらにまた、第4ブロックが有する36個の画素を横縞で示す。
変形例5では、第1ブロックと第2ブロックとが互いにブロックのx軸方向に一部が重なり合う。また、第1ブロックと第3ブロックとが互いにブロックのy軸方向に一部で重なり合う。さらに、第2ブロックと第4ブロックとが互いにブロックのy軸方向に一部が重なり合う。さらにまた、第3ブロックと第4ブロックとが互いにブロックのx軸方向に一部が重なり合う。
このように、変形例5の場合は構成306に4つのブロックが収まるわけではなく、4つのブロックがx軸またはy軸方向に部分的に重なるように配置される。
変形例5においても、1つのブロックは、互いに隣接して配置されている領域ではなく、互いに離間した領域によって構成される。このように構成したので、例えば、注目画素を含む第1ブロックの領域の隣に位置する領域は、いずれも第1ブロックと異なる他のブロック(第2ブロック~第4ブロックのいずれか)に含まれる。すなわち、注目画素を含む領域の周囲の領域は欠陥ブロックと異なるブロックに含まれるので、ボディ制御部102またはセンサ制御部205は、注目画素の位置から近い位置に配置されている画素からの信号を用いて、補間処理、補正処理を精度よく行うことができる。
<配線>
図16には、第1ブロックの領域間の信号線、第2ブロックの領域間の信号線、第3ブロックの領域間の信号線、第4ブロックの領域間の信号線、第1~第4ブロックの領域内の信号線の配線を例示する。第1ブロックの領域間の信号線は、網掛けで示される。第2ブロックの領域間の信号線は、ドットで示される。第3ブロックの領域間の信号線は、縦縞で示される。第4ブロックの領域間の信号線は、横縞で示される。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)とが接続されることを示す。
領域内の信号線の配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線の配線は、各ブロックを構成する9つの領域の領域内の信号線を互いに接続する。
図16において、例えば破線で囲む第1ブロックを例にすると、網掛けで示す第1ブロックの中心に位置する領域の第1画素部30xを起点に、渦巻き状に第1ブロックの領域をつないで配線する。例えば、第1ブロックの中心に位置する領域のR画素から、y軸プラス方向に1領域離れた領域のR画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぎ、さらにx軸プラス方向に1領域離れたG画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぐ。続いて、上記第1ブロックの中心に位置する領域のG画素(RG列)から、x軸プラス方向に1領域離れた領域のG画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぎ、さらにy軸マイナス方向に1領域離れた領域のR画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぐ。
同様に、第1ブロックの中心に位置する領域のB画素から、y軸マイナス方向に1領域離れた領域のB画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぎ、さらにx軸マイナス方向に1領域離れたG画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぐ。続いて、上記第1ブロックの中心に位置する領域のG画素(GB列)から、x軸マイナス方向に1領域離れた領域のG画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぎ、さらにy軸プラス方向に1領域離れた領域のB画素まで網掛けで示す領域間の信号線でつなぐ。
ドットで示す第2ブロック、縦縞で示す第3ブロック、および横縞で示す第4ブロックについても、同様に、各ブロックの中心に位置する領域の第1画素部30xを起点に、渦巻き状に各ブロックを構成する領域の第1画素部30xをつないで配線する。
図16に示すように、変形例5の場合の出力信号線の配線は、配線層72の1つの層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第4ブロックの領域間の信号線、領域内の信号線の配線を配線層72の異なる4つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を4から1へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例6)
上述した実施の形態および変形例では、ブロックが有する領域が、1領域離間して配置される場合を例示した。この代わりに、ブロックが有する領域を、2領域以上離間して配置してもよい。
<配置>
図17(a)は変形例6における第1ブロックを説明する図であり、第1ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域11、14、29、32を有する。符号307で示す枠は、画素エリア201(図2)の一部として、例えば144画素(x軸方向12×y軸方向12)を含む構成307である。
図17(b)は変形例6における第2ブロックを説明する図であり、第2ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域12、15、30、33を有する。
図17(c)は変形例6における第3ブロックを説明する図であり、第3ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域13、16、31、34を有する。図17(d)は変形例6における第4ブロックを説明する図であり、第4ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域17、20、35、38を有する。
図17(e)は変形例6における第5ブロックを説明する図であり、第5ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域18、21、36、39を有する。図17(f)は変形例6における第6ブロックを説明する図であり、第6ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域19、22、37、40を有する。
図17(g)は変形例6における第7ブロックを説明する図であり、第7ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域23、26、41、44を有する。図17(h)は変形例6における第8ブロックを説明する図であり、第8ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域24、27、42、45を有する。
図17(i)は変形例6における第9ブロックを説明する図であり、第9ブロックは互いに2領域離して配置されている4つの領域25、28、43、46を有する。
図17(a)~図17(i)に示すように、各ブロックを構成する領域は、2領域離して配置される。変形例6の場合も、画素エリア201を4画素ごとに区分けすることにより複数の領域に分ける。図17の例では、構成307に含まれる144画素が36個の領域に分けられている。1つの領域は、ベイヤー配列の4画素によって構成される。そして、互いに2領域おきに離間して配置されている4つの領域により、1つのブロックを構成する。これにより、構成307は図17(a)~図17(i)に示す9つのブロックを有する。
<配線>
図18は、構成307における出力信号線の配線の一例を説明する模式図である。網掛けで示す配線は、第1ブロックから第9ブロックまでの領域間の信号線の配線のうちx軸方向(第1方向)の配線と、第1-7、9領域の領域内の信号線の配線の一部とを例示する図である。
ドットで示す配線は、第1ブロックから第9ブロックまでの領域間の信号線のうちy軸方向(第2方向)の配線と、上記以外の領域内の信号線の配線とを例示する図である。 例えば、配線層72の1つの層において網掛けで示す配線を行い、配線層72の他の層においてドットで示す配線を行う。二重丸は、上記配線と第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)との間、異なる層間の配線が接続されることを示す。
領域内の信号線の配線は、各領域を構成する4つの第1画素部30xの選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)を互いに接続する。
また、領域間の信号線の配線は、各ブロックを構成する4つの領域の領域内の信号線を、第1画素部30xにおける選択トランジスタSELの出力部(ドレイン)または二重丸で示す接続点を介して互いに接続する。
このように配線することにより、変形例6の場合にも出力信号線の配線を2層に納めることができる。そのため、第1ブロック~第9ブロックの領域間の信号線の配線を配線層72の異なる9つの層にそれぞれ形成する場合と比べて、配線層72における配線の層数を9から2へ減らしてコストを抑えることができる。
(変形例7)
上述した実施の形態および変形例では、ブロックを構成する領域の数が、x軸方向にN個、y軸方向にN個配置される場合を例示した。この代わりに、ブロックを構成する領域の数が、x軸方向にN個、y軸方向にM個配置されるようにしてもよい。MとNの大小関係は、N<Mでも、N>Mでもよい。
<制御信号φSEL-1~φSEL-Nを供給するための配線>
上記の実施の形態および変形例では、出力信号線の配線を中心に説明したが、各ブロックを構成する複数の第1画素部30xの選択トランジスタSELのそれぞれに対し、制御信号φSEL-1~φSEL-Nを供給するための制御線も、上記配線層72に配線してよい。制御線を配線する層は、出力信号線を配線する層と分けてもよいし、制御線の一部を出力信号線と同じ層に配線してもよい。
また、制御線は、ブロック間で共通にしてもよい。例えば、図6、図7を参照して説明した構成301の場合、図19に例示するように制御線を配線することができる。
図19の場合、構成301の第1および第2ブロックに対する制御線の配線として配線1-1~1-16を設け、構成301の第3および第4ブロックに対する制御線の配線として配線2-1~2-16を設ける。二重丸は、上記配線と第1画素部30x-1~30x-16の選択トランジスタSELの制御部(ゲート)とが接続されることを示す。
センサ制御部205は、領域11に含まれるGB列上のG画素と、領域21に含まれるGB列上のG画素とに、配線1-1を介して同じタイミングで制御信号φSEL-1(第1ブロック)、φSEL-1(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-1の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域11に含まれるR画素と、領域21に含まれるR画素とに、配線1-2を介して同じタイミングで制御信号φSEL-2(第1ブロック)、φSEL-2(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-2の制御線を共通にする。
さらにセンサ制御部205は、領域12に含まれるGB列上のG画素と、領域22に含まれるGB列上のG画素とに、配線1-3を介して同じタイミングで制御信号φSEL-3(第1ブロック)、φSEL-3(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-3の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域12に含まれるR画素と、領域22に含まれるR画素とに、配線1-4を介して同じタイミングで制御信号φSEL-4(第1ブロック)、φSEL-4(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-4の制御線を共通にする。
そして、センサ制御部205は、領域11に含まれるB画素と、領域21に含まれるB画素とに、配線1-5を介して同じタイミングで制御信号φSEL-5(第1ブロック)、φSEL-5(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-5の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域11に含まれるRG列上のG画素と、領域21に含まれるRG列上のG画素とに、配線1-6を介して同じタイミングで制御信号φSEL-6(第1ブロック)、φSEL-6(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-6の制御線を共通にする。
さらにセンサ制御部205は、領域12に含まれるB画素と、領域22に含まれるB画素とに、配線1-7を介して同じタイミングで制御信号φSEL-7(第1ブロック)、φSEL-7(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-7の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域12に含まれるRG列上のG画素と、領域22に含まれるRG列上のG画素とに、配線1-8を介して同じタイミングで制御信号φSEL-8(第1ブロック)、φSEL-8(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-8の制御線を共通にする。
そして、センサ制御部205は、領域13に含まれるGB列上のG画素と、領域23に含まれるGB列上のG画素とに、配線1-9を介して同じタイミングで制御信号φSEL-9(第1ブロック)、φSEL-9(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-9の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域13に含まれるR画素と、領域23に含まれるR画素とに、配線1-10を介して同じタイミングで制御信号φSEL-10(第1ブロック)、φSEL-10(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-10の制御線を共通にする。
さらにセンサ制御部205は、領域14に含まれるGB列上のG画素と、領域24に含まれるGB列上のG画素とに、配線1-11を介して同じタイミングで制御信号φSEL-11(第1ブロック)、φSEL-11(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-11の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域14に含まれるR画素と、領域24に含まれるR画素とに、配線1-12を介して同じタイミングで制御信号φSEL-12(第1ブロック)、φSEL-12(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-12の制御線を共通にする。
そして、センサ制御部205は、領域13に含まれるB画素と、領域23に含まれるB画素とに、配線1-13を介して同じタイミングで制御信号φSEL-13(第1ブロック)、φSEL-13(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-13の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域13に含まれるRG列上のG画素と、領域23に含まれるRG列上のG画素とに、配線1-14を介して同じタイミングで制御信号φSEL-14(第1ブロック)、φSEL-14(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-14の制御線を共通にする。
さらにセンサ制御部205は、領域14に含まれるB画素と、領域24に含まれるB画素とに、配線1-15を介して同じタイミングで制御信号φSEL-15(第1ブロック)、φSEL-15(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-15の制御線を共通にする。
センサ制御部205はまた、領域14に含まれるRG列上のG画素と、領域24に含まれるRG列上のG画素とに、配線1-16を介して同じタイミングで制御信号φSEL-16(第1ブロック)、φSEL-16(第2ブロック)を供給する。すなわち、第1および第2ブロックの制御信号φSEL-16の制御線を共通にする。
以上説明したように、第1ブロックの領域11または領域12に設けられる複数の第1画素部30xは、第1方向または第2方向に設けられる第1画素部30x-1と第1画素部30x-2とを有し、第2ブロックの領域21に設けられる複数の第1画素部30xは、第1方向または第2方向に設けられる第1画素部30x-1と第1画素部30x-2とを有し、第1出力部は、第1ブロックの第1画素部30x-1で生成された電荷に基づく信号を領域間の信号線90-1に出力するための第1スイッチとしての選択トランジスタSEL-1(第1ブロック)と、第1ブロックの第1画素部30x-2で生成された電荷に基づく信号を領域間の信号線90-1に出力するための第2スイッチとしての選択トランジスタSEL-2(第1ブロック)とを有し、第2出力部は、第2ブロックの第1画素部30x-1で生成された電荷に基づく信号を領域間の信号線90-2に出力するための第3スイッチとしての選択トランジスタSEL-1(第2ブロック)と、第2ブロックの第1画素部30x-2で生成された電荷に基づく信号を領域間の信号線90-2に出力するための第4スイッチとしての選択トランジスタSEL-2(第2ブロック)と、を有し、第1方向行または第2方向に配線され、第1スイッチとしての選択トランジスタSEL-1(第1ブロック)と第3スイッチとしての選択トランジスタSEL-1(第2ブロック)とを制御するための第1制御線(配線1-1)と、第1方向または第2方向に配線され、第2スイッチとしての選択トランジスタSEL-2(第1ブロック)と第4スイッチとしての選択トランジスタSEL-2(第2ブロック)とを制御するための第2制御線(配線1-2)と、を有する。このように構成したので、ブロック間の制御線を共通にすることにより、制御線を共通にしない場合と比べて、制御線の配線をシンプルにすることができる。
上記の説明では、第1および第2ブロックに対する制御線の配線1-1~1-16を説明したが、第3および第4ブロックに対する制御線の配線2-1~2-16についても同様である。
なお、ブロックが有する領域の数、すなわち画素の数を増やす場合は、画素の数に応じて制御線の数を増やせばよい。
<制御信号φTx-1~φTx-Nを供給するための配線>
各ブロックを構成する複数の第1画素部30xの転送トランジスタTxのそれぞれに対し、制御信号φTx-1~φTx-Nを供給するための制御線も、図19を参照して説明した制御信号φSEL-1~φSEL-Nを供給するための制御線と同様に、上記配線層72に配線してもよい。
また、制御信号φTx-1~φTx-Nを供給するための制御線も、ブロック間で共通にしてもよい。ブロック間の制御線を共通にすることにより、制御線を共通にしない場合と比べて、制御線の配線をシンプルにすることができる。
<マトリクス状の配線>
図6、図7を参照して説明した構成301の場合、図20に例示するようなマトリクス状に制御線を配線してもよい。図20の場合、構成301の第1-第4ブロックに対する制御信号φSEL-1~φSEL-Nの配線として、x軸方向の配線a1~a8およびy軸方向の配線b1~b8を設ける。各第1画素部30xには、2つの選択トランジスタSELが設けられているものとする。各第1画素部30xにおいて、一方の選択トランジスタSELの制御部(ゲート)に配線a1~a8のいずれかが接続され、他方の選択トランジスタSELの制御部(ゲート)に配線b1~b8のいずれかが接続される。
センサ制御部205は、交差する配線a1~a8、b1~b8を介して、信号読出しの対象(信号を出力させる対象)とする第1画素部30xへ制御信号φSELを供給する。このように構成することにより、配線a1~a8、配線b1~b8により供給された制御信号φSELによって2つの選択トランジスタSELがともにオンする第1画素部30xで生成された信号が、信号線210へ出力される。
以上の説明では、撮像素子101をデジタルカメラに搭載する例を説明したが、撮像素子101は、デジタルカメラ以外にもスマートフォンやタブレット端末、ウェアラブル端末等の電子機器に搭載してもよい。
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
次の優先権基礎出願の開示内容は引用文としてここに組み込まれる。
日本国特願2019-069144号(2019年3月29日出願)
11-46…領域、30P…画素部、30x-1~30x-N…第1画素部、60…領域内の信号線、61~64…配線、71…PD層、72…配線層、73…カラーフィルタ、90、90-1~4-…領域間の信号線、100…カメラボディ、101…撮像素子、102…ボディ制御部、201…画素エリア、204…出力部、205…制御部、210…信号線、PD…フォトダイオード、SEL…選択トランジスタ、SF…増幅トランジスタ、Tx…転送トランジスタ

Claims (14)

  1. 第1領域、第2領域、および前記第1領域と前記第2領域との間にある第3領域にそれぞれ設けられ、光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部と、
    前記第1領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第2領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも一方を出力する第1出力部と、
    前記第3領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号を出力する第2出力部と、
    前記第1出力部から信号が出力され、第1方向に配線される第1配線と、前記第1方向と交差する第2方向に配線され、前記第1配線と異なる配線層に設けられる第2配線とを有する第1信号線と、
    を備える撮像素子。
  2. 請求項1に記載の撮像素子において、
    複数の前記光電変換部は、前記第1方向および前記第2方向に、前記第1領域、前記第2領域、および前記第3領域にそれぞれ設けられる撮像素子。
  3. 請求項2に記載の撮像素子において、
    前記第2出力部から信号が出力され、前記第1方向および前記第2方向の少なくとも一方に配線される第2信号線を備える撮像素子。
  4. 請求項3に記載の撮像素子において、
    前記第1信号線と前記第2信号線とは、異なる配線層に設けられる撮像素子。
  5. 請求項3に記載の撮像素子において、
    前記第1信号線と前記第2信号線とは、同じ配線層に設けられ、交差しないよう配線される撮像素子。
  6. 請求項3から5のいずれか一項に記載の撮像素子において、
    前記第2信号線は、前記第1方向に配線される第3配線と、前記第2方向に配線される第4配線と、を有し、
    前記第1配線と前記第3配線とは、同じ配線層に設けられ、
    前記第2配線と前記第4配線とは、同じ配線層に設けられる撮像素子。
  7. 請求項3からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
    前記第1領域または前記第2領域に設けられる複数の前記光電変換部は、前記第1方向または前記第2方向に設けられる第1光電変換部と第2光電変換部とを有し、
    前記第3領域に設けられる複数の前記光電変換部は、前記第1方向または前記第2方向に設けられる第3光電変換部と第4光電変換部とを有し、
    前記第1出力部は、前記第1光電変換部で生成された電荷を第1蓄積部に転送する第1転送部と、前記第2光電変換部で生成された電荷を第2蓄積部に転送する第2転送部と、を有し、
    前記第2出力部は、前記第3光電変換部で生成された電荷を第3蓄積部に転送する第3転送部と、前記第4光電変換部で生成された電荷を第4蓄積部に転送する第4転送部と、を有し、
    前記第1方向または前記第2方向に配線され、前記第1転送部と前記第3転送部とを制御するための第1制御線と、
    前記第1方向または前記第2方向に配線され、前記第2転送部と前記第4転送部とを制御するための第2制御線と、
    を備える撮像素子。
  8. 請求項3からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
    前記第1領域または前記第2領域に設けられる複数の前記光電変換部は、前記第1方向または前記第2方向に設けられる第1光電変換部と第2光電変換部とを有し、
    前記第3領域に設けられる複数の前記光電変換部は、前記第1方向または前記第2方向に設けられる第3光電変換部と第4光電変換部とを有し、
    前記第1出力部は、前記第1光電変換部で生成された電荷に基づく信号を前記第1信号線に出力するための第1スイッチと、前記第2光電変換部で生成された電荷に基づく信号を前記第1信号線に出力するための第2スイッチとを有し、
    前記第2出力部は、前記第3光電変換部で生成された電荷に基づく信号を前記第2信号線に出力するための第3スイッチと、前記第4光電変換部で生成された電荷に基づく信号を前記第2信号線に出力するための第4スイッチと、を有し、
    前記第1方向または前記第2方向に配線され、前記第1スイッチと前記第3スイッチとを制御するための第1制御線と、
    前記第1方向または前記第2方向に配線され、前記第2スイッチと前記第4スイッチとを制御するための第2制御線と、
    を備える撮像素子。
  9. 請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
    前記第1領域、前記第2領域および前記第3領域と異なる、第4領域に設けられる複数の前記光電変換部を備え、
    前記第2出力部は、前記第3領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号と、前記第4領域に設けられる複数の前記光電変換部で生成された電荷に基づく信号との少なくとも一方を出力する撮像素子。
  10. 請求項1からのいずれか一項に記載の撮像素子において、
    複数の前記光電変換部は、第1波長の光を光電変換する光電変換部と、前記第1波長と異なる第2波長の光を光電変換する光電変換部とを有する撮像素子。
  11. 請求項1から10のいずれか一項に記載の撮像素子と、
    前記第1出力部および前記第2出力部の少なくとも一方から出力される信号に基づいて画像データを生成する生成部と、を備える撮像装置。
  12. 請求項11に記載の撮像装置において、
    前記生成部は、前記第2出力部から出力される信号に基づいて、前記第1出力部から出力される信号を補正して、前記画像データを生成する撮像装置。
  13. 請求項11または12に記載の撮像装置において、
    前記生成部は、前記第1出力部から信号が出力されない場合、前記第2出力部から出力される信号に基づいて前記画像データを補正して、前記画像データを生成する撮像装置。
  14. 請求項13に記載の撮像装置において、
    前記生成部は、前記第1出力部から信号が出力されない場合、前記画像データにおいて前記第1出力部から出力される信号に対応するデータを、前記第2出力部から出力される信号に基づいて生成する撮像装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009044680A (ja) 2007-08-10 2009-02-26 Canon Inc 撮像システム
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