JP2008091434A - Mosトランジスタ集積素子及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高耐圧MOSトランジスタの形成領域に第1の低濃度拡散層を形成する第1ステップと、高耐圧MOSトランジスタの形成領域及び低耐圧MOSトランジスタの形成領域を分離する分離トレンチ及び上記高耐圧MOSトランジスタのゲートトレンチを同時に形成する第2ステップと、低耐圧MOSトランジスタの形成領域にプレート型ゲート電極を形成する第3ステップと、低耐圧MOSトランジスタの形成領域に第2の低濃度拡散層を形成する第4ステップと、を有している。
【選択図】図3
Description
12 低濃度拡散層
14 素子分離トレンチ
15 ゲートトレンチ
20,21 ゲート酸化膜
22 ポリシリコン
23 高耐圧MOSトランジスタのゲート電極
24 低耐圧MOSトランジスタのゲート電極
25 低濃度拡散層
26,27 サイドウォール
28,29 高濃度拡散層
31 高耐圧MOSトランジスタ
32 低耐圧MOSトランジスタ
HR 高耐圧素子領域
LR 低耐圧素子領域
Claims (3)
- 高耐圧MOSトランジスタ及び低耐圧MOSトランジスタを含む集積半導体素子の製造方法であって、
前記高耐圧MOSトランジスタの形成領域に第1の低濃度拡散層を形成する第1ステップと、
前記高耐圧MOSトランジスタの形成領域及び前記低耐圧MOSトランジスタの形成領域を分離する分離トレンチ及び前記高耐圧MOSトランジスタのゲートトレンチを同時に形成する第2ステップと、
前記低耐圧MOSトランジスタの形成領域にプレート型ゲート電極を形成する第3ステップと、
前記低耐圧MOSトランジスタの形成領域に第2の低濃度拡散層を形成する第4ステップと、を有することを特徴とする製造方法。 - 前記ゲートトレンチにトレンチゲート電極を形成する第5ステップと、前記高耐圧MOSトランジスタの形成領域及び前記低耐圧MOSトランジスタの形成領域に同時に高濃度拡散層を形成する第6ステップと、を有することを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記高耐圧MOSトランジスタの高濃度拡散層及び前記第1の低濃度拡散層の拡散深さの差が0.5μm以上であることを特徴とする請求項2に記載の製造方法による集積半導体素子。
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- 2006-09-29 JP JP2006268129A patent/JP2008091434A/ja active Pending
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