JP2008091374A - Manufacturing method of etching foil for electrolytic capacitor - Google Patents

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将輝 坂口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an etching foil for an electrolytic capacitor capable of increasing electrostatic capacity by making generation and growth of an etching pit more suitable. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of the etching foil for the electrolytic capacitor for chemically and/or electrochemically etching an aluminum foil in an etchant containing at least chlorine ions, ethylene diamine tetraacetate or its salt is added to the etchant. Further the etchant contains at least one kind of phosphoric ions, nitrate ions, sulfate ions and oxalate ions. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing an electrolytic capacitor etching foil.

電解コンデンサ用アルミニウム箔は、一般に陽極用、陰極用とも、塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または/および電気化学的なエッチングを行うことにより、表面を粗面化し、表面積の拡大化を図っている(例えば、非特許文献1参照)。   The aluminum foil for electrolytic capacitors is generally roughened in surface area by chemically or / and electrochemically etching the aluminum foil in an etching solution containing chlorine ions for both anode and cathode. The enlargement is aimed at (for example, refer nonpatent literature 1).

また、エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、シュウ酸等が配合されることもある。   The etching solution may further contain phosphate ions, nitrate ions, sulfate ions, oxalic acid and the like.

永田伊佐也著、「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」、日本蓄電器工業株式会社出版、平成9年2月24日、第2版第1刷、P221〜257Isaya Nagata, “Electrolytic Cathode Aluminum Electrolytic Capacitor”, Nihon Denki Kogyo Kogyo Co., Ltd., February 24, 1997, 2nd edition, 1st edition, pages 221-257

近年、電解コンデンサの小形化の要求はますます高まっており、それに伴い、電解コンデンサに用いられる電極箔には従来以上に高い静電容量が要求され、アルミニウム箔の表面積をより効率よく拡大することが望まれている。   In recent years, the demand for miniaturization of electrolytic capacitors has been increasing, and accordingly, the electrode foil used in electrolytic capacitors is required to have higher capacitance than before, and the surface area of aluminum foil can be expanded more efficiently. Is desired.

しかしながら、従来のエッチング方法では、形成されたエッチングピット内部は、溶解したアルミニウムにより、表面付近のアルミニウムイオン濃度が高い状態になり、エッチングピットが効率よく発生、成長する際の障害となっている。   However, in the conventional etching method, the inside of the formed etching pit is in a state where the aluminum ion concentration in the vicinity of the surface is high due to the dissolved aluminum, which is an obstacle to the efficient generation and growth of the etching pit.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、エッチングピットの発生、成長をより好適化することにより、静電容量の増大を図ることのできる電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an etching foil for an electrolytic capacitor capable of increasing the capacitance by optimizing the generation and growth of etching pits. It is in.

上記課題を解決するために、本発明に係る電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法では、少なくとも塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または/および電気化学的なエッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、前記エッチング液に、エチレンジアミン四酢酸またはその塩が配合されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, in the method for manufacturing an electrolytic capacitor etching foil according to the present invention, an electrolytic capacitor for chemically or / and electrochemically etching an aluminum foil in an etching solution containing at least chlorine ions. In the manufacturing method of etching foil, ethylenediaminetetraacetic acid or its salt is mix | blended with the said etching liquid.

本発明において、前記エッチング液におけるエチレンジアミン四酢酸またはその塩の濃度は、エッチング液全体に対して0.09〜0.5wt%であることが好ましい。   In this invention, it is preferable that the density | concentration of the ethylenediaminetetraacetic acid or its salt in the said etching liquid is 0.09-0.5 wt% with respect to the whole etching liquid.

本発明において、前記エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも1種が配合されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法である。   In the present invention, the etching solution further comprises at least one of phosphate ions, nitrate ions, sulfate ions, and oxalate ions. .

本発明では、エッチング液にエチレンジアミン四酢酸(EDTA)またはその塩を添加することで、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができ、単位面積当たりの静電容量の増大を図ることができる。
その理由としては、エッチング液において、アノードサイクルによりアルミニウムが溶解されるが、EDTAまたはその塩がカソードサイクルにおいて溶解されたアルミニウムとキレートを形成することにより、溶解したアルミニウムイオンを電気的にアルミニウム表面より引き離し、表面付近のアルミニウムイオン濃度を低下させるため、エッチングピットがアルミニウム箔の表面全体で効率よく発生、成長するためと考えられる。
In the present invention, by adding ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) or a salt thereof to the etching solution, the generation and growth of etching pits can be further optimized, and the capacitance per unit area can be increased. it can.
The reason is that, in the etching solution, aluminum is dissolved by the anode cycle, but EDTA or a salt thereof forms a chelate with the aluminum dissolved in the cathode cycle, so that the dissolved aluminum ions are electrically removed from the aluminum surface. It is considered that the etching pits are efficiently generated and grown on the entire surface of the aluminum foil in order to separate and reduce the aluminum ion concentration near the surface.

本発明は、前記エッチング液に対して、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも1種を配合した場合にも適用することができる。このようなイオンは、アルミニウムに対して皮膜生成能力を備えており、かかるイオンをエッチング液に配合すると、アルミニウムの溶解と皮膜生成の双方が起こり、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができる。   The present invention can also be applied to the case where at least one of phosphate ions, nitrate ions, sulfate ions, and oxalate ions is added to the etching solution. Such ions have a film-forming ability with respect to aluminum, and when such ions are mixed in an etching solution, both dissolution of aluminum and film formation occur, and the generation and growth of etching pits are further optimized. Can do.

このようなエッチング液にEDTAまたはその塩を添加すると、その効果がより大きくなる。その理由としては、エッチング液にEDTAまたはその塩を添加すると、アルミニウムの溶解と皮膜生成のいずれもが効率よく起こるため、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができると考えられる。   When EDTA or a salt thereof is added to such an etching solution, the effect becomes greater. The reason for this is that when EDTA or a salt thereof is added to the etching solution, both dissolution of aluminum and film formation occur efficiently, so that the generation and growth of etching pits can be further optimized.

以下、本願発明の実施例に基づいて、本発明をより詳細に説明する。   Hereinafter, based on the Example of this invention, this invention is demonstrated in detail.

以下に説明する実施例および比較例では、塩酸10.0wt%、リン酸2.0wt%、硝酸2.0wt%、硫酸1.0wt%を配合したエッチング液をベースとして用い、実施例1〜8では、表1に示す濃度(wt%)のEDTA・2Naをエッチング液に添加した。   In Examples and Comparative Examples described below, Examples 1 to 8 were used using an etching solution containing 10.0 wt% hydrochloric acid, 2.0 wt% phosphoric acid, 2.0 wt% nitric acid, and 1.0 wt% sulfuric acid as a base. Then, EDTA · 2Na having a concentration (wt%) shown in Table 1 was added to the etching solution.

Figure 2008091374
Figure 2008091374

ここで、アルミニウム箔は、純度99.9%の低電圧用の陽極箔である。   Here, the aluminum foil is an anode foil for low voltage having a purity of 99.9%.

また、エッチング条件は、電解液温度を30℃、電圧波形を正弦波、周波数を60Hz、電流密度を0.4A/cm2とした。 Etching conditions were such that the electrolyte temperature was 30 ° C., the voltage waveform was a sine wave, the frequency was 60 Hz, and the current density was 0.4 A / cm 2 .

また、いずれの条件においても、アルミニウム箔をエッチングした後、アルカリ、酸を用いた公知の方法でケミカル洗浄を行った。   Under any conditions, after the aluminum foil was etched, chemical cleaning was performed by a known method using an alkali and an acid.

得られたエッチング箔に対してアジピン酸アンモニウム水溶液中で印加電圧が20Vの条件で陽極酸化を行った。静電容量値を測定した結果を表1および図1に示す。図1は、エッチング液中へのEDTA・2Naの添加量と、比較例に対する容量比との関係を示すグラフである。   The obtained etching foil was anodized in an aqueous solution of ammonium adipate under the condition that the applied voltage was 20V. The results of measuring the capacitance value are shown in Table 1 and FIG. FIG. 1 is a graph showing the relationship between the amount of EDTA · 2Na added to the etching solution and the capacity ratio relative to the comparative example.

[実施例1〜7]
上記エッチング液中にEDTA・2Naを、各々0.02wt%、0.04wt%、0.07wt%、0.09wt%、0.13wt%、0.22wt%、0.43wt%、添加したエッチング液を使用した。
[Examples 1-7]
Etching solution containing 0.02 wt%, 0.04 wt%, 0.07 wt%, 0.09 wt%, 0.13 wt%, 0.22 wt%, 0.43 wt%, respectively, added to the above etching solution It was used.

(比較例)
エッチング液中にEDTA・2Naを添加しないエッチング液を使用した。
(Comparative example)
An etching solution to which EDTA · 2Na was not added was used in the etching solution.

[試験結果]
表1および図1から明らかなように、EDTA・2Naの添加によって、エッチングピットの発生、成長が効率的に行われ、化成容量の向上を図ることができた。ここで、EDTA・2Naの添加量については、0.02〜0.07wt%添加では静電容量の向上効果が小さいが、0.09〜0.43wt%では、静電容量を十分に向上できていることが分かる。0.5wt%を超えると溶解が限界に達することから、EDTA・2Naの添加量は、0.09〜0.5wt%の範囲が好ましい。
[Test results]
As apparent from Table 1 and FIG. 1, the addition and growth of etching pits were efficiently performed by adding EDTA · 2Na, and the formation capacity could be improved. Here, with regard to the amount of EDTA · 2Na added, the effect of improving the capacitance is small when 0.02 to 0.07 wt% is added, but the capacitance can be sufficiently improved when 0.09 to 0.43 wt% is added. I understand that Since dissolution reaches a limit when it exceeds 0.5 wt%, the amount of EDTA · 2Na added is preferably in the range of 0.09 to 0.5 wt%.

上記実施例では、EDTA・2Naを用いたが、これに限らず、EDTAまたはその他の塩を用いても同様の効果が得られる。   In the above embodiment, EDTA · 2Na is used. However, the present invention is not limited to this, and the same effect can be obtained by using EDTA or other salts.

また、上記実施例では、エッチング液を、塩酸10.0wt%、リン酸2.0wt%、硝酸2.0wt%、硫酸1.0wt%からなる組成としたが、これに限定されるものではない。   In the above embodiment, the etching solution is composed of 10.0 wt% hydrochloric acid, 2.0 wt% phosphoric acid, 2.0 wt% nitric acid, and 1.0 wt% sulfuric acid. However, the present invention is not limited to this. .

さらに、上記実施例では、低電圧用の陽極箔を対象としたが、陰極用または中高圧用の陽極箔を使用した場合でも、EDTAまたはその塩を添加することで静電容量の増大を図ることができる。   Furthermore, in the above-described embodiment, the anode foil for low voltage is targeted. However, even when the anode foil for cathode or medium / high voltage is used, the capacitance is increased by adding EDTA or a salt thereof. be able to.

エッチング液中へのEDTA・2Naの添加量と、比較例に対する実施例の静電容量比との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the addition amount of EDTA * 2Na in an etching liquid, and the electrostatic capacitance ratio of the Example with respect to a comparative example.

Claims (3)

少なくとも塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または/および電気化学的なエッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
前記エッチング液に、エチレンジアミン四酢酸またはその塩が配合されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
In a method for producing an etching foil for an electrolytic capacitor, in which an aluminum foil is chemically or / and electrochemically etched in an etching solution containing at least chlorine ions,
The manufacturing method of the etching foil for electrolytic capacitors characterized by mix | blending ethylenediaminetetraacetic acid or its salt with the said etching liquid.
前記エッチング液におけるエチレンジアミン四酢酸またはその塩の濃度は、エッチング液全体に対して0.09〜0.5wt%であることを特徴とする請求項1に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。   The manufacturing method of the etching foil for electrolytic capacitors of Claim 1 whose density | concentration of ethylenediaminetetraacetic acid or its salt in the said etching liquid is 0.09-0.5 wt% with respect to the whole etching liquid. 前記エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも1種が配合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。   3. The electrolytic capacitor etching foil according to claim 1, wherein the etching solution further contains at least one of phosphate ions, nitrate ions, sulfate ions, and oxalate ions. 4. Production method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009113123A1 (en) * 2008-03-11 2009-09-17 日本軽金属株式会社 Process for producing aluminum electrode plate for electrolytic capacitor

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