JP2008070180A - 移動軌跡計測装置、計測方法及び露光記録装置、並びに、これらに用いられるスケール - Google Patents
移動軌跡計測装置、計測方法及び露光記録装置、並びに、これらに用いられるスケール Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】マーカm1、m2、…、mkが形成されたスケール13を板材15a側を上として露光ステージ18に設置した後、露光ステージ18を矢印Y方向に移動させてマーカm1、m2、…、mkの位置を計測し、次いで、スケール13を反転させ板材15b側を上として露光ステージ18に設置した後、同様にしてマーカm1、m2、…、mkの位置を計測し、これらの位置の平均値を求めることにより、露光ステージ18の矢印Y方向の移動軌跡を求める。
【選択図】図2
Description
前記移動体に設置され、前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成され、反転させることで第1の設置状態から第2の設置状態に設定可能なスケールと、
前記移動体とは独立の所定位置に固定され、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するマーカ位置計測手段と、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出する移動軌跡算出手段と、
を備えることを特徴とする。
前記移動体とは独立の所定位置に設置され、前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成され、反転させることで第1の設置状態から第2の設置状態に設定可能なスケールと、
前記移動体に設置され、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するマーカ位置計測手段と、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出する移動軌跡算出手段と、
を備えることを特徴とする。
前記移動体の前記移動軌跡に基づいて、前記移動体によって移動される記録媒体に露光記録を行う露光ヘッドと、
を備えることを特徴とする。
前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成されたスケールを第1の設置状態で前記移動体に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記移動体とは独立の所定位置に固定されたマーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記第1の設置状態の前記スケールを反転させ、第2の設置状態に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記マーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出するステップと、
を含むことを特徴とする。
前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成されたスケールを、前記移動体とは独立の所定位置に第1の設置状態で設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記移動体に設置されたマーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記第1の設置状態の前記スケールを反転させ、第2の設置状態に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記マーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出するステップと、
を含むことを特徴とする。
直線に沿ってマーカが形成され、当該スケールを反転させた第1の設置状態と第2の設置状態との双方で前記マーカの位置を計測可能に構成されることを特徴とする。
15a、15b…板材 16…ガイドレール
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
58…画像解析部 60…マーカ位置算出部
62…マーカ位置記憶部 64…ステージ移動軌跡算出部
66…ステージ移動軌跡記憶部 68…基板基準位置算出部
70…基板基準位置記憶部 72…補正データ算出部
73…補正データ記憶部 74…描画データ記憶部
76…描画データ補正部 82…ステージ移動軌跡
F…基板 m1〜mk…マーカ
Claims (8)
- 直線状の軌道に沿って移動する移動体の移動軌跡を計測する移動軌跡計測装置において、
前記移動体に設置され、前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成され、反転させることで第1の設置状態から第2の設置状態に設定可能なスケールと、
前記移動体とは独立の所定位置に固定され、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するマーカ位置計測手段と、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出する移動軌跡算出手段と、
を備えることを特徴とする移動軌跡計測装置。 - 直線状の軌道に沿って移動する移動体の移動軌跡を計測する移動軌跡計測装置において、
前記移動体とは独立の所定位置に設置され、前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成され、反転させることで第1の設置状態から第2の設置状態に設定可能なスケールと、
前記移動体に設置され、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するマーカ位置計測手段と、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出する移動軌跡算出手段と、
を備えることを特徴とする移動軌跡計測装置。 - 請求項1又は2記載の装置において、
前記マーカは、透明体からなる前記スケールに形成される光非透過性の材料から形成されることを特徴とする移動軌跡計測装置。 - 請求項3記載の装置において、
前記マーカは、2枚の透明体からなる前記スケール間に形成されることを特徴とする移動軌跡計測装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の移動軌跡計測装置と、
前記移動体の前記移動軌跡に基づいて、前記移動体によって移動される記録媒体に露光記録を行う露光ヘッドと、
を備えることを特徴とする露光記録装置。 - 直線状の軌道に沿って移動する移動体の移動軌跡を計測する移動軌跡計測方法において、
前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成されたスケールを第1の設置状態で前記移動体に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記移動体とは独立の所定位置に固定されたマーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記第1の設置状態の前記スケールを反転させ、第2の設置状態に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記マーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出するステップと、
を含むことを特徴とする移動軌跡計測方法。 - 直線状の軌道に沿って移動する移動体の移動軌跡を計測する移動軌跡計測方法において、
前記移動体の移動方向に沿ってマーカが形成されたスケールを、前記移動体とは独立の所定位置に第1の設置状態で設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記移動体に設置されたマーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記第1の設置状態の前記スケールを反転させ、第2の設置状態に設置するステップと、
前記移動体を移動させ、前記マーカ位置計測手段により、前記移動体の移動方向と直交する方向に対する前記マーカの位置を、前記移動体の所定の移動位置毎に計測するステップと、
前記マーカ位置計測手段により計測された、前記第1の設置状態における前記マーカの位置と、前記第2の設置状態における前記マーカの位置との平均値から、前記移動体の移動軌跡を算出するステップと、
を含むことを特徴とする移動軌跡計測方法。 - 直線状の軌道に沿って移動する移動体の移動軌跡を計測するため、前記移動体又は前記移動体とは独立の所定位置に設置されるスケールであって、
直線に沿ってマーカが形成され、当該スケールを反転させた第1の設置状態と第2の設置状態との双方で前記マーカの位置を計測可能に構成されることを特徴とするスケール。
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JP2006247752A JP4818857B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 移動軌跡計測装置、計測方法及び露光記録装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106944308A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-14 | 东莞职业技术学院 | 一种基于插补原理的双轨迹涂胶路径驱动的方法及涂胶机构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337874A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Fujifilm Holdings Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP2007034168A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Fujifilm Holdings Corp | ステージ位置変動情報取得方法および装置 |
JP2007041244A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Fujifilm Corp | ステージ位置変動情報取得方法および装置 |
-
2006
- 2006-09-13 JP JP2006247752A patent/JP4818857B2/ja active Active
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CN106944308A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-14 | 东莞职业技术学院 | 一种基于插补原理的双轨迹涂胶路径驱动的方法及涂胶机构 |
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