JP2008064498A - 電磁誘導式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スケール30上に配設された、測定方向に長く、測定方向と垂直な方向に複数の傾き検出用スケールコイル34と、前記スライダ40上に配設された、3相の傾き検出用送信コイル44、及び、該送信コイル44から測定方向に離れた位置の3相の傾き検出用受信コイル46と、送受信9組の出力信号を3組ずつ所定の演算で足し合わせて得た3相信号R0、R1、R2から、2相信号に変換して、スケール30に対するスライダ40のヨー傾き角度θを求める手段(信号処理IC48)と、求められたヨー傾き角度θにより、前記エンコーダトラック32を用いて得られた変位を補正する手段(信号処理IC48)とを備える。
【選択図】図2
Description
R1=(A1+B0+C2)/3 …(2)
R2=(A0+B2+C1)/3 …(3)
Y(θ)=Asin{θ−(2π/3)} …(5)
Z(θ)=Asin{θ−(4π/3)} …(6)
(3/2)*Acosθ={(−2Y/√3)+(2Z/√3)} …(8)
=tan-1[{X−(Y/2)−(Z/2)}/{−2(Y/√3)+(2Z/√3)}]
…(9)
32…エンコーダトラック
34…傾き検出用スケールコイル
40…スライダ
42…エンコーダグリッド
44…傾き検出用送信コイル
46…傾き検出用受信コイル
48…信号処理IC
50…駆動回路
52…受信回路
54…演算回路
R0、R1、R2…3相出力信号
Claims (2)
- スケール上に形成されたエンコーダトラックを用いて得られる出力から、スケールに対するスライダの変位を検出するようにされた電磁誘導式エンコーダにおいて、
前記スケール上に配設された、測定方向に長く、測定方向と垂直な方向に複数の傾き検出用スケールコイルと、
前記スライダ上に配設された、3相の傾き検出用送信コイル、及び、該送信コイルから測定方向に離れた位置の3相の傾き検出用受信コイルと、
送受信9組の出力信号を3組ずつ所定の演算で足し合わせて得た3相信号から、2相信号に変換して、スケールに対するスライダのヨー傾き角度を求める手段と、
求められたヨー傾き角度により、前記エンコーダトラックを用いて得られた変位を補正する手段と、
を備えたことを特徴とする電磁誘導式エンコーダ。 - 前記複数の傾き検出用スケールコイルが、1本に直列接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式エンコーダ。
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2006
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