JP6462248B2 - 測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法 - Google Patents
測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法 Download PDFInfo
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Description
11 スピンドル
11−1 摺動軸
11−2 測定子軸
12 軸受
13 スケール部
14 スケール読取部
14−1 発光素子
14−2 パターン読取部(変位量算出手段)
15 測定子
16 バネ
17 回転防止手段
17−1 回り止めピン
17−2 回り止めガイド
18 キャップ
21 開口部
22 凹部
30 本体ケース
30−1 蓋
31 第1スケール
32 第2スケール
33 第3スケール
41 第1受光列
42 第2受光列
43 第3受光列
51 第1平行位置調整受光部(平行位置調整読取部)
52 第2平行位置調整受光部(平行位置調整読取部)
61 第1傾斜調整受光部(傾斜調整読取部)
62 第2傾斜調整受光部(傾斜調整読取部)
Claims (9)
- 3つのスケールを備え、各スケールは、第1スケールと第2スケールとが、互いに反転する同一パターンを有し、第3スケールがインクリメンタルパターンを有し、測長用の所定の連続的なパターンが記録された複数のスケールが並設されるスケール部と、
該スケール部の各スケールを読み取る読取部が、前記各スケールに対応して並設されるパターン読取部とを有し、
前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向の位置関係の変化に応じた前記パターン読取部の検出情報に基づき、前記スケール部と前記パターン読取部との変位量を算出するように構成された測長器において、
前記パターン読取部に、前記パターン読取部と前記スケール部との前記スケールの並び方向の偏位を検出する平行位置調整読取部と、前記第1スケール及び前記第2スケールに対応して設けられ、前記パターン読取部と前記スケール部との傾斜を検出する傾斜調整読取部とを設け、
前記平行位置調整読取部と前記傾斜調整読取部とは、前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向に沿う移動によって、前記平行位置調整読取部が所定の前記スケールを読み取り、前記傾斜調整読取部が異なる2つの前記スケールを読み取るように配置され、
前記平行位置調整読取部の出力波形の形状に基づき前記偏位を検出し、前記傾斜調整読取部の出力波形の位相に基づき前記傾斜を検出するように構成された測長器。 - 前記第3スケールは、前記第1スケールと前記第2スケールとの間に配置される、請求項1に記載の測長器。
- 前記スケールが光の透過部と不透過部とが所定のパターンで連続的に配置されて構成され、前記パターン読取部と前記平行位置調整読取部と前記傾斜調整読取部が、スケール部に対して照射される光を、各スケールを介して受光する受光素子から構成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の測長器。
- 前記平行位置調整読取部は、前記第1スケールを読み取るように配置された複数の受光素子からなる第1受光列と前記第3スケールを読み取るように配置された複数の受光素子からなる第3受光列との間、及び前記第2スケールを読み取るように配置された複数の受光素子からなる第2受光列と前記第3受光列との間にそれぞれ配置される、請求項3に記載の測長器。
- 前記平行位置調整読取部は、互いに電気的に接続された複数の受光素子からなる、請求項4に記載の測長器。
- 前記傾斜調整読取部は、前記第1受光列及び前記第2受光列に含まれる受光素子が兼用する、請求項4又は5に記載の測長器。
- 3つのスケールを備え、各スケールは、第1スケールと第2スケールとが、互いに反転する同一パターンを有し、第3スケールがインクリメンタルパターンを有し、測長用の所定の連続的なパターンが記録された複数のスケールが並設されるスケール部に対して、前記各スケールを読み取る読取部が、前記各スケールに対応して並設されるパターン読取部を備え、
該パターン読取部の前記スケール部に対する前記パターン方向の位置関係の変化に応じた前記パターン読取部の検出情報に基づき、前記スケール部と前記パターン読取部との変位量を算出する変位量算出手段において、
前記パターン読取部に、前記パターン読取部と前記スケール部との前記スケールの並び方向の偏位を検出する平行位置調整読取部と、前記第1スケール及び前記第2スケールに対応して設けられ、前記パターン読取部と前記スケール部との傾斜を検出する傾斜調整読取部とを設け、
前記平行位置調整読取部と前記傾斜調整読取部とは、前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向に沿う移動によって、前記平行位置調整読取部が所定の前記スケールを読み取り、前記傾斜調整読取部が異なる2つの前記スケールを読み取るように各々配置され、
前記平行位置調整読取部が、前記偏位に応じた形状の波形出力を行い、前記傾斜調整読取部が、前記傾斜に応じた位相で所定形状の波形出力を行う
ことを特徴とする変位量算出手段。 - 3つのスケールを備え、各スケールは、第1スケールと第2スケールとが、互いに反転する同一パターンを有し、第3スケールがインクリメンタルパターンを有し、測長用の所定の連続的なパターンが記録された複数のスケールが並設されるスケール部と、
該スケール部の各スケールを読み取る読取部が、前記各スケールに対応して並設されるパターン読取部とを有し、
前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向の位置関係の変化に応じた前記パターン読取部の検出情報に基づき、前記スケール部と前記パターン読取部との変位量を算出するように構成された測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法において、
前記パターン読取部に、前記パターン読取部と前記スケール部との前記スケールの並び方向の偏位を検出する平行位置調整読取部と、前記第1スケール及び前記第2スケールに対応して設けられ、前記パターン読取部と前記スケール部との傾斜を検出する傾斜調整読取部とを設け、
前記平行位置調整読取部と前記傾斜調整読取部とを、前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向に沿う移動によって、前記平行位置調整読取部が所定の前記スケールを読み取り、前記傾斜調整読取部が異なる2つの前記スケールを読み取るように配置し、
前記スケール部と前記パターン読取部とを前記パターン方向に沿うように移動させ、前記傾斜調整読取部の各スケールに対する出力波形が予め定められた所定の位相で出力されるように前記スケール部と前記パターン読取部とを相対的に傾斜調整する、
ことを特徴とする測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法。 - 測長用の所定の連続的なパターンが記録された複数のスケールが並設されるスケール部と、
該スケール部の各スケールを読み取る読取部が、前記各スケールに対応して並設されるパターン読取部とを有し、
前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向の位置関係の変化に応じた前記パターン読取部の検出情報に基づき、前記スケール部と前記パターン読取部との変位量を算出するように構成された測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法において、
前記パターン読取部に、前記パターン読取部と前記スケール部との前記スケールの並び方向の偏位を検出する平行位置調整読取部と、前記パターン読取部と前記スケール部との傾斜を検出する傾斜調整読取部とを設け、
前記平行位置調整読取部と前記傾斜調整読取部とを、前記スケール部と前記パターン読取部との前記パターン方向に沿う移動によって、前記平行位置調整読取部が所定の前記スケールを読み取り、前記傾斜調整読取部が異なる2つの前記スケールを読み取るように配置し、
前記スケール部と前記パターン読取部とを前記パターン方向に沿うように移動させ、前記平行位置調整読取部が、対応するスケールのみを読み取った形状の波形出力を行うように、前記スケール部と前記パターン読取部とを相対的に平行位置調整する、
ことを特徴とする測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014135267A JP6462248B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014135267A JP6462248B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016014534A JP2016014534A (ja) | 2016-01-28 |
JP6462248B2 true JP6462248B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014135267A Active JP6462248B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | 測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6462248B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6657005B2 (ja) | 2016-04-27 | 2020-03-04 | 株式会社ミツトヨ | リニアゲージ |
WO2022044753A1 (ja) * | 2020-08-25 | 2022-03-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | エンコーダ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006194720A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Mitsutoyo Corp | セパレート型エンコーダ、及び、その取付方法 |
US7709784B2 (en) * | 2008-04-30 | 2010-05-04 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Optical encoder with code wheel misalignment detection and automatic gain control |
JP5601876B2 (ja) * | 2010-05-07 | 2014-10-08 | 株式会社ミツトヨ | セパレート型エンコーダ、及び、その取付方法 |
JP6114538B2 (ja) * | 2012-12-04 | 2017-04-12 | 株式会社ミツトヨ | 光電式絶対位置検出器、及び、その取付方法 |
-
2014
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016014534A (ja) | 2016-01-28 |
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Legal Events
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180608 |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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