JP2008060284A - 半導体基板の洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体基板1に形成した配線溝5,6やコンタクトホール7,8などの溝部内の異物を確実に且つ効率よく除去できるようにする。
【解決手段】ドライエッチング後の半導体基板1と洗浄液4を噴射する洗浄ノズル3とを、基板表面の任意の配線溝5,6(この場合は配線溝5)の長辺方向と洗浄液4の噴出方向とが平行になるように配置し、基板表面に洗浄液4を斜め方向に噴射する。このことにより、基板表面に速い流れを発生させることができ、この流れが基板表面の配線溝5,6内に十分に入り込み、配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部にある異物を浮遊させて前方へ、基板表面まで、さらには基板外部まで送り出すことが可能になるため、洗浄効果が高い。
【選択図】図1
【解決手段】ドライエッチング後の半導体基板1と洗浄液4を噴射する洗浄ノズル3とを、基板表面の任意の配線溝5,6(この場合は配線溝5)の長辺方向と洗浄液4の噴出方向とが平行になるように配置し、基板表面に洗浄液4を斜め方向に噴射する。このことにより、基板表面に速い流れを発生させることができ、この流れが基板表面の配線溝5,6内に十分に入り込み、配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部にある異物を浮遊させて前方へ、基板表面まで、さらには基板外部まで送り出すことが可能になるため、洗浄効果が高い。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体基板の洗浄方法および洗浄装置に関する。
たとえばCuデュアルダマシン法を用いた多層配線プロセスでは、コンタクトホールや配線溝を形成するドライエッチング工程でポリマー(レジスト)などの切削屑が発生するので、基板表面を洗浄して除去するようにしている。この洗浄工程で、図3に示すようにポリマーPが十分除去されずに配線溝21やコンタクトホール22に残ると、歩留りや信頼性の低下につながる。近年、配線の微細化がますます進むにつれ、配線溝21やコンタクトホール22の洗浄性の確保はより難しくなってきており、効率のよい洗浄性が必要不可欠となっている。
上記の洗浄工程で従来より行われている洗浄方法を図4に示す。半導体基板1をステージ2上に載せ、軸心廻りに回転させながら、洗浄ノズル3から洗浄液4を下向きに噴射することにより、基板表面に洗浄液4の流れを発生させ、基板表面の配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部にあるポリマーなどの異物を除去するというものである。洗浄ノズル3を半導体基板1上でスキャン移動させる提案もされている(たとえば特許文献1)。
特開2002−305174公報
上述した従来の洗浄方法では、半導体基板の回転によって基板表面で洗浄液の流れを発生させているので、その洗浄液の流れの向きは基板中心から外側に向かうものとなる。したがって、図4に示した半導体基板1では、洗浄液4の流れの向きに沿う方向の配線溝5内の異物は除去されやすいものの、そうでない方向の配線溝6には洗浄液4が入り込みにくく、配線溝6内の異物は除去されにくく、この配線溝6内に開口するコンタクトホール8内の異物はいっそう除去されにくい。この現象は、洗浄液の流れの向きと配線溝の延びている向きとがなす角度が大きくなればなるほど顕著になり、また配線溝の幅が狭くなるほど、コンタクトホールのアスペクト比が大きくなるほど顕著になる。
本発明は上記問題に鑑み、半導体基板に形成した配線溝やコンタクトホールなどの溝部内の異物を確実に且つ効率よく除去できるようにすることを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の半導体基板の洗浄方法は、ドライエッチング後の半導体基板と洗浄液を噴射する洗浄ノズルとを、前記半導体基板の表面に形成された任意の溝部の長辺方向と前記洗浄液の噴出方向とが平行になるように配置し、前記半導体基板の表面に前記洗浄液を斜め方向に噴射することを特徴とする。
前記洗浄ノズルを前記半導体基板上でスキャン移動させるのが好ましい。前記洗浄液を噴射しながら前記半導体基板を軸心廻りに回転させるのが好ましい。前記洗浄液の噴射角度を変えるのが好ましい。
本発明の半導体基板の洗浄装置は、半導体基板を上面に固定する支持台と、前記支持台の上面に向かう斜め方向に洗浄液を噴射可能な洗浄ノズルとを有することを特徴とする。
前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的にXY方向に移動させる移動機構を有することを特徴とする。前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的に回転させる回転機構を有することを特徴とする。前記洗浄ノズルが、前記半導体基板の直径以上の噴射領域となるように直線状に配列された複数の噴射孔を有することを特徴とする。
前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的にXY方向に移動させる移動機構を有することを特徴とする。前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的に回転させる回転機構を有することを特徴とする。前記洗浄ノズルが、前記半導体基板の直径以上の噴射領域となるように直線状に配列された複数の噴射孔を有することを特徴とする。
前記半導体基板のノッチまたはオリフラを検出する検出器と、前記検出器による検出結果と前記半導体基板の配線レイアウト情報とを基に、前記半導体基板が前記洗浄液の噴出方向に対して所定の向きとなるように、前記回転機構による回転を制御する制御装置とを有するのが都合よい。
本発明の半導体基板の洗浄方法および洗浄装置によれば、半導体基板に形成した溝部内、すなわち配線溝やコンタクトホールの内部に洗浄液を十分に入り込ませて、内部に残留している異物を確実に且つ効率よく除去することができる。よって、その後の工程を経て製造する半導体装置の歩留まり、信頼性を向上させることができるとともに、洗浄時間を短縮し、スループットを向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1(a)(b)はそれぞれ、本発明の一実施形態における半導体基板洗浄装置の構成を洗浄対象の半導体基板とともに簡略に示した平面図および側面図である。
図1(a)(b)はそれぞれ、本発明の一実施形態における半導体基板洗浄装置の構成を洗浄対象の半導体基板とともに簡略に示した平面図および側面図である。
洗浄対象の半導体基板1は、ドライエッチング法により、表面に配線溝5,6が形成されるとともに、これら配線溝5,6内に開口するコンタクトホール7,8が形成されている。配線溝5,6、コンタクトホール7,8のいずれかの内部に上述したポリマーなどの異物があるものとして説明する。
洗浄装置は、半導体基板1を上面に真空チャックなどで固定するステージ2と、ステージ2の上面に向かう斜め方向(0度より大きく90度より小さい角度)に洗浄液4を噴射可能な洗浄ノズル3と、ステージ2を回転させる回転軸9などの回転機構と、半導体基板1のノッチ1aの方向を検出するノッチ検出器10と、半導体基板1のレチクルまたは設計レイアウトの情報を格納したサーバー11と、これらに電気的に接続した制御装置12とを有している。洗浄ノズル3は、半導体基板1の直径以上の噴射領域となるように直線状に配列された複数の噴射孔3aを有し、半導体基板1の上方でXY方向に移動自在である。
上記の洗浄装置による半導体基板1の洗浄方法を図2をも参照しながら説明する。
半導体基板1は、ステージ2上へ設置される前に、ノッチ検出器10によってノッチ1aが検出され、検出結果が制御装置12に送られる。
半導体基板1は、ステージ2上へ設置される前に、ノッチ検出器10によってノッチ1aが検出され、検出結果が制御装置12に送られる。
それにより、制御装置12が、サーバー11から半導体基板1の配線長辺方向情報を入手し、ノッチ検出器10によって検出されたノッチ1aの方向を基準に、任意の配線(したがって配線溝)の長辺方向が洗浄ノズル3からの洗浄液4の噴出方向(噴射方向)13に対して平行になるように、ステージ2上での半導体基板1の配置位置(向きを含む)を決定する。
たとえば、この半導体基板1には長辺方向が異なる複数の配線溝5,6があるので、まず、図2(a)にも示すように、配線溝5の長辺方向が洗浄ノズル3からの洗浄液4の噴出方向13に平行になるように半導体基板1の配置位置を決定する。そして決定結果に基づいて半導体基板1をステージ2上に載置し、固定する。必要に応じて回転軸9によってステージ2を適切な向きに回転させる。
次に、洗浄ノズル3から薬液である洗浄液4を100ml/分以上の流量で噴出させながら、洗浄ノズル3を配線溝5の長辺方向に半導体基板1の直径以上の範囲でスキャンさせることで、半導体基板1の洗浄を行う。
次に、図2(b)に示すように、配線溝6の長辺方向が洗浄ノズル3からの洗浄液4の噴出方向13に平行になるように、回転軸9,ステージ2によって半導体基板1を回転させる。そして、上記と同様に洗浄液4を噴出させながら、洗浄ノズル3を配線溝6の長辺方向に半導体基板1の直径以上の範囲でスキャンさせることで、半導体基板1の洗浄を行う。
つまり、この半導体基板1のように、基板中心とノッチ位置とを結ぶ直線(仮想線で記す)に対して配線長辺方向(配線溝長辺方向)が0度方向と90度方向との2種類存在する場合、第1のステップで、洗浄液4の噴出方向13に対して前記の直線が90度になるように半導体基板1をステージ2上にセットし、洗浄ノズル3をその洗浄液4の噴出方向13に沿ってスキャンさせて洗浄を行い、第2のステップで、洗浄液4の噴出方向13に対して前記の直線が0度になるように半導体基板1を回転させたうえで、洗浄ノズル3をその洗浄液4の噴出方向13にスキャンさせて洗浄を行う。配線長辺方向がさらに多数存在する場合は、半導体基板1をより小さい角度で回転させて各回転位置で洗浄を行う。
この際に、洗浄ノズル3からの洗浄液4の噴出方向13を上記のように基板表面に対して斜め方向としているので、基板表面に配線溝5あるいは配線溝6の長辺方向に沿う速い流れを発生させることができる。この洗浄液4の流れが、基板表面の配線溝5,6内に十分に入り込み、配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部にある異物を浮遊させて前方へ、ここでは配線溝5,6の長辺方向に沿って基板表面まで、さらには基板外部まで送り出すため、洗浄効果が高い。
同時に、回転軸9,ステージ2によって半導体基板1を回転させると、基板表面にさまざまな方向の流れを発生させることができるので、洗浄効果がより高くなる。つまり、回転している半導体基板1の表面に斜め方向に洗浄液4を噴射すると、従来法でも利用されていた遠心力による流れ(半導体基板1の中心から外側へ向かう流れ)だけでなく、洗浄液4の噴出方向13に基づく流れ(半導体基板1への洗浄液4の落下位置から前方への流れ)が発生することとなり、結果的に、さまざまな方向の流れとなる。このことにより、配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部に洗浄液4が十分行き届き、洗浄効果が向上する。
この洗浄液4の流れは、半導体基板1の回転速度、洗浄液4の噴射速度、洗浄液4の粘度などに依存することになるが、上記のように配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部に洗浄液4が十分行き届くようにするためには、洗浄液4の噴射速度が最も支配的になることが効果的である。
この際にさらに、洗浄ノズル3からの洗浄液4の噴出方向13を基板表面に対して0度から180度の間で変化させると、配線溝5,6やコンタクトホール7,8の内部を効率よく洗浄することができる。コンタクトホール7,8のような深いものに対しては垂直気味で、配線溝5,6のような浅くて長いものは水平気味で噴射すると、洗浄液4が流れ込みやすくなる。
以上の洗浄液4による洗浄工程が終了したら、水洗工程を経て、半導体基板1を高速回転させて乾燥させる。
なお、上記のように半導体基板1のノッチ1aを基準にステージ2上での半導体基板1の配置位置を決定するのでなく、半導体基板1のオリフラ(図示せず)を検出して基準に用いてもよい。半導体基板1を洗浄液4の噴出方向13に対して所定の向きになるように配置するときには、上記のように回転軸9,ステージ2によって半導体基板1を回転させるのでなく、洗浄ノズル3を回転させてもよい。
なお、上記のように半導体基板1のノッチ1aを基準にステージ2上での半導体基板1の配置位置を決定するのでなく、半導体基板1のオリフラ(図示せず)を検出して基準に用いてもよい。半導体基板1を洗浄液4の噴出方向13に対して所定の向きになるように配置するときには、上記のように回転軸9,ステージ2によって半導体基板1を回転させるのでなく、洗浄ノズル3を回転させてもよい。
また洗浄ノズル3をスキャン移動させるのでなく、ステージ2をXY移動させる機構を設けて半導体基板1をスキャン移動させてもよい。洗浄ノズル3を半導体基板1に対して相対的にスキャン移動させる洗浄をある程度行った後に、回転を併用するようにすれば、洗浄効果がより高まる。
本発明に係る半導体基板の洗浄方法と洗浄装置は、半導体基板に形成した配線溝やコンタクトホールなどの溝部内の異物を確実に且つ効率よく除去できるので、線幅の狭い配線やアスペクト比の大きいビアが要求される半導体装置の製造に特に有用であり、かかる半導体装置の歩留まり、信頼性を向上させ、さらにはスループットを向上させることが可能である。
1・・・半導体基板
1a・・・ノッチ
2・・・ステージ
3・・・洗浄ノズル
3a・・・噴射孔
4・・・洗浄液
5,6・・・配線溝
7,8・・・コンタクトホール
9・・・回転軸
10・・・ノッチ検出器
11・・・サーバー
12・・・制御装置
13・・・洗浄液の噴出方向
1a・・・ノッチ
2・・・ステージ
3・・・洗浄ノズル
3a・・・噴射孔
4・・・洗浄液
5,6・・・配線溝
7,8・・・コンタクトホール
9・・・回転軸
10・・・ノッチ検出器
11・・・サーバー
12・・・制御装置
13・・・洗浄液の噴出方向
Claims (9)
- ドライエッチング後の半導体基板と洗浄液を噴射する洗浄ノズルとを、前記半導体基板の表面に形成された任意の溝部の長辺方向と前記洗浄液の噴出方向とが平行になるように配置し、前記半導体基板の表面に前記洗浄液を斜め方向に噴射することを特徴とする半導体基板の洗浄方法。
- 前記洗浄ノズルを前記半導体基板上でスキャン移動させることを特徴とする請求項1記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記洗浄液を噴射しながら前記半導体基板を軸心廻りに回転させることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の半導体基板の洗浄方法。
- 前記洗浄液の噴射角度を変えることを特徴とする請求項1記載の半導体基板の洗浄方法。
- 半導体基板を上面に固定する支持台と、前記支持台の上面に向かう斜め方向に洗浄液を噴射可能な洗浄ノズルとを有することを特徴とする半導体基板の洗浄装置。
- 前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的にXY方向に移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項5記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記支持台および前記洗浄ノズルを相対的に回転させる回転機構を有することを特徴とする請求項5または請求項6のいずれかに記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記洗浄ノズルが、前記半導体基板の直径以上の噴射領域となるように直線状に配列された複数の噴射孔を有することを特徴とする請求項5記載の半導体基板の洗浄装置。
- 前記半導体基板のノッチまたはオリフラを検出する検出器と、前記検出器による検出結果と前記半導体基板の配線レイアウト情報とを基に、前記半導体基板が前記洗浄液の噴出方向に対して所定の向きとなるように、前記回転機構による回転を制御する制御装置とを有することを特徴とする請求項7記載の半導体基板の洗浄装置。
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JP2006234697A JP2008060284A (ja) | 2006-08-31 | 2006-08-31 | 半導体基板の洗浄方法および洗浄装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014195765A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の洗浄処理装置及び洗浄処理方法 |
CN105904029A (zh) * | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
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2006
- 2006-08-31 JP JP2006234697A patent/JP2008060284A/ja active Pending
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CN105904029A (zh) * | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
JP2016157723A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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