JP2008058907A - 回折光学素子及びこれを有する光学系 - Google Patents
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Abstract
【課題】外圧等による基板の変形を防止し、一方の格子部の格子面が他方の格子部の格子面と抵触して格子面が破損するような状況を無くし、且つ、複数の回折格子を積層することができ、高い光学性能が得られる回折光学素子を得ること。
【解決手段】材質が異なる複数の回折格子11,21を積層した回折光学素子3において、該複数の回折格子11,21のうち少なくとも1つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部を基板面に形成して構成されており、その中心輪帯201の格子部は、その周囲の周辺輪帯の格子部に比べて基板面からの格子高さが高いことを特徴とすること。
【選択図】 図1
【解決手段】材質が異なる複数の回折格子11,21を積層した回折光学素子3において、該複数の回折格子11,21のうち少なくとも1つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部を基板面に形成して構成されており、その中心輪帯201の格子部は、その周囲の周辺輪帯の格子部に比べて基板面からの格子高さが高いことを特徴とすること。
【選択図】 図1
Description
本発明は回折光学素子及びこれを有する光学系に関するものである。
従来、硝材の組み合わせによりレンズ系の色収差を減じる方法に対して、レンズの表面やレンズ系の一部に回折作用を有する回折光学素子を設けることでレンズ系の色収差を減じる方法が知られている(非特許文献1、特許文献1〜3)。この回折光学素子を用いる方法は、光学系中の屈折面と回折面とでは、ある基準波長の光線に対する色収差が逆方向に発現するという物理現象を利用したものである。
また、回折光学素子は、その周期的構造の周期を適宜変化させることで非球面レンズ的な効果を持たせることができるので、色収差以外の諸収差の低減にも効果がある。
回折光学素子を有するレンズ系において、使用波長領域の光束が特定の一つの次数(特定次数又は設計次数とも言う)の回折光に集中している場合は、それ以外の次数の回折光の強度は低いものとなり、強度が0の場合はその回折光は存在しないものとなる。しかし、実際には設計次数以外の次数の不要回折光が存在し、ある程度の強度を有する場合は、設計次数の光線とは別な経路で光学系を進行するため、フレア光となる。
従って回折光学素子を利用して収差低減作用を利用するためには、使用波長領域全域において設計次数の回折光の回折効率が十分高いことが必要となってくる。この設計次数での回折効率の分光分布及び設計次数以外の不要回折光の振る舞いについても十分考慮する事が重要である。
そこで、回折効率を改善し、不要回折光を低減する構成の回折光学素子が、様々と提案されている(特許文献4〜6)。特許文献4〜6に開示された回折光学素子は、複数の回折格子を積層し、各回折格子を構成する材料や各回折格子の高さを適切に設定している。これにより、所望の次数の回折光に対し、広い波長帯域で高い回折効率(450nm〜650nmの波長域で98%程度)を実現している。なお、回折効率は全透過光束の光量に対する各次数の回折光の光量の割合で表される。
積層型の回折光学素子において、積層された複数の回折格子間に設計値からの位置ずれがあると、設計次数とは異なる次数の光の回折効率が増加する。この結果、光学系に用いると得られる画像の画質が大きく低下してくる。このため、積層型の回折光学素子を製作するには、積層される複数の回折格子を高精度で位置決めすることが重要になってくる。複数の回折格子を高精度に位置決めして積層するようにした回折光学素子の製造方法が知れている(特許文献7〜11)。
特許文献7では、一方の回折格子側に形成した凸部を他方の回折格子面側に形成した凹部に嵌め込むことで高精度の位置決めを行っている。
特許文献8では、第1の回折格子と第2の回折格子の各々を同心円状に形成し、回折格子にレジマークを施して位置決めを行っている。
特許文献9では、回折型レンズをレンズホルダーに装着するとき、回折型レンズの中心部に目印となる突起を設け、それを顕微鏡などで観察しながら位置合わせをして装着している。
特許文献10では、球形状の位置決め部材を用い、これに対応する、それぞれの光学素子の位置合わせ個所には半球状の嵌合穴を形成して位置合わせをしている。
特許文献11では、第1及び第2の光学素子のいずれか一方に凸部を形成し、他方に凹部を形成し、凸部と凹部が嵌合するようにしている。これにより、第1の光学素子と第2の光学素子の相対的な位置決めを行っている。
SPIE Vol.1354 International Lens Design Conference(1990) 特開平4−213421号公報
特開平6−324262号公報
米国特許5044706号明細書
特開平9−127322号公報
特開2000−98118号公報
特開2002−107523号公報
特開2001−141918号公報
特開2002−62417号公報
特開平10−274705号公報
特開2000−292668号公報
特開2000−114143号公報
SPIE Vol.1354 International Lens Design Conference(1990)
積層型の回折光学素子を用いると、広い波長域で高い回折効率を得ることができる。特に回折格子を構成する格子部の格子高さが低くても、可視領域全域で設計次数で高い回折効率を得ることが出来る。
しかしながら、複数の回折格子を積層するとき、各回折格子の互いの格子部のピッチや間隔等を高精度に位置合わせしなければならず、この為、高精度な位置合わせ手段が必要となる。
一方、回折効率を高めるには、積層される複数の回折格子の間隔(空気間隔)は狭い方が良い。
しかしながら、空気間隔が狭くなると、製造の際又は使用中に一方の回折格子の格子面が他方の回折格子の格子面と抵触して格子面が破損することがある。
又、複数の回折格子を薄型の基板で構成した場合には、回折格子に外圧が加わると基板が変形することがある。そうすると、一方の回折格子の格子面が他方の回折格子の格子面と抵触して格子面が破損する場合がある。
これを防ぐためには、複数の回折格子を積層するときに用いる位置決め部材を外圧による変形防止の支えとして使う方法がある。
しかしながら、この方法は位置決め部材が、一般に微小な一領域のみに用いられているため、大きな外圧が加わると、基板が大きく変形して格子面が接触して、格子面が破損してしまう。
本発明は、外圧等による基板の変形を防止し、一方の格子部の格子面が他方の格子部の格子面と抵触して格子面が破損するような状況を無くし、且つ、複数の回折格子を積層することができ、高い光学性能が得られる回折光学素子及びそれを有する光学系の提供を目的とする。
本発明の回折光学素子は、
材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部を基板面に形成して構成されており、その中心輪帯の格子部は、その周囲の周辺輪帯の格子部に比べて基板面からの格子高さが高いことを特徴としている。
材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部を基板面に形成して構成されており、その中心輪帯の格子部は、その周囲の周辺輪帯の格子部に比べて基板面からの格子高さが高いことを特徴としている。
この他、本発明の回折光学素子は、
材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち、対向する2つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部により構成されており、該2つの回折格子の中心輪帯の格子部の格子面間隔は、その周囲の周辺輪帯の格子部の格子面間隔より狭いことを特徴としている。
材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち、対向する2つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部により構成されており、該2つの回折格子の中心輪帯の格子部の格子面間隔は、その周囲の周辺輪帯の格子部の格子面間隔より狭いことを特徴としている。
本発明の回折光学素子によれば、薄型の基板で構成した場合にも外圧による変形等で一方の格子面が他方の格子面と抵触して格子面が破損するのを低減することができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図1〜図4には、本発明の実施例1の回折光学素子の構成の要部概略図である。
図5は、実施例1の回折光学素子から生ずる波面の説明図である。
図1は、積層型の回折光学素子としてユニット化(積層)する前の側断面図である。
図1において3は、材質の異なる複数の回折格子を積層してなる積層型の回折光学素子であり、空気層を介して対向配置された第1の素子部1と第2の素子部2を有している。
第1の素子部1は、ガラス基板10と、その面上に設けたUV硬化樹脂等から成るブレーズド型の第1の回折格子11とで構成されている。第2の素子部2は、ガラス基板20と、その面上に設けたUV硬化樹脂等から成るブレーズド型の第2の回折格子21とで構成されている。
図2は本発明の実施例1の積層型の回折光学素子3の正面図である。回折光学素子3は、中心輪帯部101、201を持つ輪帯状の複数の格子部より成る回折格子を有している。
図3、図4は本発明の実施例1の積層型の回折光学素子3の第1の素子部1と第2の素子部2とをユニット化した後の側断面図である。このうち図3はユニット化した回折光学素子3の通常の状態の図、図4は積層ユニット化した回折光学素子3に対して矢印方向から外圧がかかったときの図である。
第1の素子部1は、中心輪帯101から外側へ順に輪帯102,103,・・・と必要数だけ格子部11bが形成されている。格子部11bのそれぞれの格子高さは基板面11dからd1であり、周囲を取り囲む受け部1000は各格子部11bの高さd1に対して高さD1だけ高い構造になっている。11aは、格子部11bを形成する格子形成材料である。第2の素子部2は、中心輪帯201から外側へ順に輪帯202,203,・・・と必要数だけ格子部21bが形成されている。格子部21bの中心輪帯201を除く格子部21bのそれぞれの格子高さは基板面21dからd2であり、周囲を取り囲む受け部2000が輪帯202以降の各格子部21bに対して高さD2だけ高い構造になっている。
21aは、格子部21bを形成する格子形成材料である。
第2の素子部2の中心輪帯201の格子部は、格子部21bの形状として格子高さがd02であるが、その他の周辺輪帯の格子部に対しては高さD02−d2だけ高い層の上に形成された構造になっている。
本実施例では、2つの回折格子11、21の中心輪帯101、201の格子部11b、21bの格子面間隔が、その周囲の周囲輪帯の格子部11b、21bの格子面間隔より狭くなるように構成している。
格子部11b、21bは所定の格子ピッチで配置されている。第1、第2の回折格子11、21は同心円状の格子形状からなり、格子部11b、21bの格子ピッチを中心(光軸)から周辺へ向かって徐々に小さくすることでレンズ作用(収斂作用又は発散作用)を得ている。
そして、第1の素子部1の第1回折格子11と第2の素子部2の第2回折格子2は、ほぼ等しい格子ピッチ分布を持っており、対向する各格子部11b、21bの幅がほぼ等しくなっている。
各回折格子11、21は、全層を通して一つの回折光学素子として作用している。
尚、本実施例においては、第1、第2の素子部1、2とを公知の位置決め手段を用いて位置を決めて積層している。
以下の各実施例においても同様である。
図3では、第1の素子部1と第2の素子部2とがそれぞれの受け部1000,2000で接合されて積層型の回折光学素子3を形成している状態を示している。
回折光学素子3は、第1の素子部1の中心輪帯101の格子部を除く格子部11bと第2の素子部2の中心輪帯201の格子部を除く格子部21bとは、高さD(≒D1+D2)の空気層を隔てて格子部11b、21bが対向配置されている。
本実施例においては、格子部21bは中心輪帯部201のみを周辺部より高く、その高さD02を
D+d2<D02<D+d1+d2
としている。
D+d2<D02<D+d1+d2
としている。
これによって、回折光学素子3に矢印の方向から外圧がかかったとき、図4に示すように中心輪帯部分101、201のみの格子面11cと21cの一部又は全部とが接触し、他の格子部が接触しないようにして、格子部11b、12bが破損しないようにしている。
本実施例においては、第2の素子部2は中心輪帯201の格子部が他の格子部に対して基板20より高く形成されているが、格子部としての高さd02は他の格子部の高さd2と等しい。そのため、図5に示すように、空気層を挟んだ2つの第1、第2の素子部1、2により生じる位相差は通常の積層型の回折光学素子と同様に、設計次数により定まる方向に向かう平面波Saの集合となり、所定方向の点Paに向かう。
以上のように本実施例の構成では、回折格子21の中心輪帯201の格子21b部をその他の周囲輪帯の格子部に対して基板面21dより高くしている。これより、製造の際に対向する回折格子の中心輪帯以外の格子面が互いに接触することを防止し、製造時の格子部11b、21bの破損を防いでいる。
また、積層型の回折光学素子と同様の性能を維持し、薄型の基板で構成した場合にも外圧による変形等で一方の格子面が他方の格子面と抵触して格子面が破損するの低減している。
図6、図7は本発明の実施例2の回折光学素子の構成の要部概略図である。図6は、積層型の回折光学素子としてユニット化する前の側断面図である。図7は積層型の回折光学素子としてユニット化した後の側断面図である。
実施例2と実施例1との違いは、次のとおりである。
第1の素子部1と第2の素子部2のそれぞれの中心輪帯101、201の格子部11b、21bの格子高さd01、d02をその他の格子部の格子高さd1、d2と変えたことである。格子高さd01とd02とを等しい高さとしたことである。中心輪帯201の格子部の高さD02を、第1、第2の素子部1、2との空気層をDとするとき、
(D+d1+d2)/D02=1
としたことである。その他の構成は実施例1と同じである。
(D+d1+d2)/D02=1
としたことである。その他の構成は実施例1と同じである。
尚、0.9<(D+d1+d2)/D02<1.1は許容の範囲である。
ここで、本実施例の積層されユニット化された回折光学素子3の理想の回折方向を決める設計回折次数をmとする(mは整数)。第1の回折格子11の基準波長(例えば550nm)λ0における屈折率をn01とする。第2の回折格子21の基準波長λ0における屈折率をn02とする。この場合、高さd1とd2とに求められる条件は、光線が垂直入射する場合、
(n0l−1)dl−(n02−1)d2=mλ0 ・・・(1)
である。
(n0l−1)dl−(n02−1)d2=mλ0 ・・・(1)
である。
それに対して、中心輪帯101、201の格子部の格子高さd01とd02とに求められる条件は、
n0l・d01−n02・d02=mλ0 ・・・(2)
である。
n0l・d01−n02・d02=mλ0 ・・・(2)
である。
条件(2)を満足し、且つ、d01≒d02となるように中心輪帯101、201の格子部の格子高さを決めている。
即ち、
d01=d02=dとするときに
d=mλ0/(n0l−n02)
とする。
d01=d02=dとするときに
d=mλ0/(n0l−n02)
とする。
このようにすることで、周辺部で生じる位相差と中心部で生じる位相差とを等しくし、通常の空気層を挟んだ2層から成る積層型の回折光学素子と同様の光束進行方向並びに回折効率を得られるようにしている。
また、このようにすることで、図7に示すように、互いの中心輪帯部分101、201が密着した構成となる。即ち、実施例1のように外圧が加わった際だけでなく、ユニット化した初期状態において中心輪帯部分101、201が面として密着した状態となる。面で密着した状態であるので、外圧に対する荷重を分散し、より強度の高い回折光学素子とすることが出来る。これにより、実施例1と同様に、他の格子部が接触しないようにして、格子部11b、12bが破損しないようにしている。
また、本実施例において、互いの中心輪帯部101、201を接着剤を用いて接合しても良い。図8、図9は、中心輪帯部101、201を接合する際の、第1の素子部1と第2の素子部2との形状の例を示した図である。実際の回折光学素子においては、通常、図8のように格子部の一方の面も完全な垂直面でなく多少の傾斜を持っている。従って、この傾斜を延長した形で中心輪帯201を高さD02の高さにして、接合時に他方の中心輪帯101と周方向に隙間が出来るようにする。こうすることによって、接着剤の周辺格子部へのはみ出しを防ぐと、回折光学素子としての性能が損なわれない。図9の例は、両方の格子部11b、21bを高くして高さD01,D02になるようにしたものであるが、この例では、ユニット化したとき
D01+D02−d=D+d1+d2
(但し、d=d01=d02)
として中心輪帯101、201を接合可能にしている。また、接着剤の周辺格子部へのはみ出しを防ぐために素子部1側の中心輪帯101と隣り合う輪帯102との間に隙間101aを設けて回折効率の低下を防いでいる。
D01+D02−d=D+d1+d2
(但し、d=d01=d02)
として中心輪帯101、201を接合可能にしている。また、接着剤の周辺格子部へのはみ出しを防ぐために素子部1側の中心輪帯101と隣り合う輪帯102との間に隙間101aを設けて回折効率の低下を防いでいる。
本実施例においては、第1の素子部1、第2の素子部2の中心輪帯101、201の格子部が他の格子部に対して異なる高さで形成されているが、両者が密着されることにより生じる位相差は、他の格子が空気層を挟んだものの合成としての位相差と等しい。そのため、図10に示すように、積層型の回折光学素子3としての位相差は通常の積層型の回折光学素子と同様に、設計次数により定まる方向に向かう平面波Saの集合となり、所定方向の点Paに向かう。
図11、図12は本発明の実施例3の回折光学素子の要部概略図である。実施例1、2は、第1の素子部1と第2の素子部2の回折格子がブレーズド形状であった。これに対し、本実施例の第1の素子部1と第2の素子部2の回折格子はそれぞれ格子断面が曲線状のキノフォーム形状で構成されている。その他の構成は実施例2とほぼ同様であるので、同様の個所は同様の符号を付け説明を省略する。
本実施例では、実施例2に比べて次の点が同じである。
第1の素子部1と第2の素子部2とのそれぞれの中心輪帯101、201の格子部11b、12bの格子高さd01、d02をその他の格子部11b、12bの格子高さd1、d2と変えたことである。格子部11b、12bの高さd01と高さd02とを等しい高さとしたことである。
高さD02を(D+d1+d2)/D02=1
(0.9<(D+d1+d2)/D02<1.1は許容の範囲)
としたことである。
(0.9<(D+d1+d2)/D02<1.1は許容の範囲)
としたことである。
ここで、本実施例の積層されユニット化された回折光学素子3の理想の回折方向を決める設計回折次数をmとする。第1の回折格子11の基準波長λ0における屈折率をn0lとし、第2の回折格子21の基準波長λ0における屈折率をn02とする。このとき高さ、d1とd2とに求められる条件は、光線が垂直入射する場合、前述の(1)式と同様
(n0l−1)dl−(n02−1)d2=mλ0 ・・・(1)
である。
(n0l−1)dl−(n02−1)d2=mλ0 ・・・(1)
である。
積層型の回折格子としての位相関数φ(r)=2π/λ0・Φ(r)のうち光路差部分である光路差関数Φ(r)は、
Φ(r)=C1・r2+C2・r4+C3・r6+ ・・・(3)
と表される。rは中心(輪帯中心)からの距離である。C1、C2、C3・・・は定数である。
Φ(r)=C1・r2+C2・r4+C3・r6+ ・・・(3)
と表される。rは中心(輪帯中心)からの距離である。C1、C2、C3・・・は定数である。
これを用いると、第1、第2の回折格子11、21における格子の高さd1,d2は、回折次数をm01、m02とすると、
Φ(r)=(n0l−1)dl=m01λ0
Φ(r)=(n02−1)d2=m02λ0
m01+m02=m
で示される条件を満足する。
Φ(r)=(n0l−1)dl=m01λ0
Φ(r)=(n02−1)d2=m02λ0
m01+m02=m
で示される条件を満足する。
通常、積層型の回折光学素子の各々の回折格子11、12の中心輪帯の曲面の曲率半径をR1、R2とすると焦点距離f1、f2は、
f1=−0.5/C1=R1/(n01−1)
f2=−0.5/C1=R2/(n02−1)
となるように決まる。本実施例においては、R1=R2=Rとして焦点距離fが、
f=−0.5/C1=R/(n02−n01)
で決まる曲率半径Rにしている。
即ち、
R=−0.5×(n02−n01)/C1
となるようにしている。
このようにすることで、中心輪帯101と102との曲率半径を等しくしつつ、回折光学素子の周辺部で生じる位相差と中心部で生じる位相差とを等しくしている。そして、通常の空気層を挟んだ2層から成る積層型の回折光学素子と同様の光束進行方向並びに回折効率を得られるようにしている。
f1=−0.5/C1=R1/(n01−1)
f2=−0.5/C1=R2/(n02−1)
となるように決まる。本実施例においては、R1=R2=Rとして焦点距離fが、
f=−0.5/C1=R/(n02−n01)
で決まる曲率半径Rにしている。
即ち、
R=−0.5×(n02−n01)/C1
となるようにしている。
このようにすることで、中心輪帯101と102との曲率半径を等しくしつつ、回折光学素子の周辺部で生じる位相差と中心部で生じる位相差とを等しくしている。そして、通常の空気層を挟んだ2層から成る積層型の回折光学素子と同様の光束進行方向並びに回折効率を得られるようにしている。
また、このようにすることで、図12に示すように、互いの中心輪帯部分101、201が略密着した構成となる。即ち、実施例1のように外圧が加わった際だけでなく、ユニット化した初期状態において中心輪帯部分101、201が面として密着した状態となるようにしている。本実施例では、面で密着した状態であるので、外圧に対する荷重を分散し、より強度の高い回折光学素子3とすることが出来る。これにより実施例1と同様に、他の格子部が接触しないようにして、格子部11b、12bが破損しないようにしている。
また、本実施例においても、互いの中心輪帯部101、201を接着剤を用いて接合しても良い。また図8、9で説明した実施例2の派生形態の格子形状をキノフォーム形状とし、該派生形態と同様の構成をとって良い。
本実施例においては、第1の素子部1,第2の素子部2の中心輪帯101、201の格子部が他の格子部に対して異なる高さで形成されている。このとき両者が密着されることにより生じる位相差は、他の格子部が空気層を挟んだものの合成としての位相差と等しくなるよう曲率を決めている。そのため、図13に示すように、積層型の回折光学素子3としての光学系OB中に配置したときの位相差は通常の積層型の回折光学素子と同様に、設計次数により定まる方向に向かう球面波Saの集合となり、所定方向の点Paに向かう。
以上の各実施例では、回折格子として、回転対称のものを前提に説明してきたが、本発明に係る回折格子の格子部の外形の構成は図14のように楕円形状の輪帯であったり、中心輪帯101が外形に対して偏心していても良い。そのときは、積層しユニット化された回折光学素子の理想の回折方向を決める設計回折次数をmとし、位相関数をφ(r)
が0になるところを含むところを周囲格子に対して高くすれば良い。
が0になるところを含むところを周囲格子に対して高くすれば良い。
また、以上の各実施例では2つの層からなる回折格子が空気層を挟んで配置されるものを前提に説明してきた。各実施例では、それより多層の回折格子が空気層を挟んで配置されたものや、少なくとも対向する2つの回折格子の間に空気層を有していれば、その他の層間の回折格子間に空気層を持たないものに対しても適応可能である。上述した実施例と同様の効果を有する。また、図17のように回折格子1と2の層間に別の媒質4を有するものに対して利用しても良い。製造の際に一方の格子面が他方の格子面と抵触する際に中心輪帯部が先に接触するために、その他の格子面については互いに接触することを防止することが出来、製造時の格子面の破損を防止する効果が得られる。
また、以上の各実施例では、2つの回折格子がそれぞれ回折格子とは異なる基板上に形成されたものとして説明したが、少なくとも一方が基板上に直接回折格子が形成された一体型のものでも良い。
また、中心輪帯の直径φcが外形の大きさφdに対して、
φc/φd>1/20
が好ましい。更には、
φc/φd>1/10
が好ましい。
これによれば回折光学素子の強度を高くすることが出来る。
φc/φd>1/20
が好ましい。更には、
φc/φd>1/10
が好ましい。
これによれば回折光学素子の強度を高くすることが出来る。
外径が角型である場合は、一方の辺の長さをφdとしたものとして上記条件を満たせば良い。
また、各実施例において第1、第2の素子部を密着/接合させる場合は、中心輪帯部分の面積の80%以上を密着/接合するようにすることが好ましい。更には90%以上を密着/接合するようにすることが好ましい。密着/接合させることを前提に格子部の格子の高さ/曲率を決めているため、密着/接合していない箇所が増えることは、不要回折光の発生を招くためである。
また、中心輪帯以外の格子部の格子高さは一律として説明したが、回折格子の場所により主要光線の入射角度が違う場合には、格子部によって高さを変えたものが好ましい。この場合は、実施例1の場合ならば、中心輪帯以外で最も高い格子部の格子の高さd2に対して、
D+d2<D02<D+d1+d2
となるようにするのが良い。
実施例2、3の場合ならば、中心輪帯以外で最も高い格子部の格子の高さd1、d2に対して
0.9<(D+d1+d2)/D02<1.1
とすれば良い。
中心輪帯を除く格子間の空気層間隔D(μm)は
0μm<D<10μm
であることが好ましい。この条件を満たすことにより、入射光が格子基板面に対して斜入射する場合にも高い効率を得ることが出来る。
D+d2<D02<D+d1+d2
となるようにするのが良い。
実施例2、3の場合ならば、中心輪帯以外で最も高い格子部の格子の高さd1、d2に対して
0.9<(D+d1+d2)/D02<1.1
とすれば良い。
中心輪帯を除く格子間の空気層間隔D(μm)は
0μm<D<10μm
であることが好ましい。この条件を満たすことにより、入射光が格子基板面に対して斜入射する場合にも高い効率を得ることが出来る。
また、中心部にレジマーク等を施したものに適用しても良い。
本発明の回折光学素子を用いた光学系の実施例を図15に示す。図15はデジタルカメラやビデオカメラ等に用いられる撮影光学系の断面を示したものである。図15中、51は主に屈折レンズ(屈折光学素子)によって構成された撮影レンズで、内部に絞り52と前述の本発明の回折光学素子3を持つ。53は結像面であるフィルムまたはCCDが配置されている。回折光学素子3は、レンズ機能を有する素子であり、撮影レンズ52の色収差を補正している。
本発明の回折光学素子を用いた光学系の実施例を図16に示す。図16は、望遠端や双眼鏡等の観察光学系の断面を示したものである。図16中、54は対物レンズ、55は像を成立させるための像反転プリズム、56は接眼レンズ、57は評価面(瞳面)である。3は前述の本発明の回折光学素子である。回折光学素子3は対物レンズ54の結像面58での色収差等を補正する目的で設けてある。
図15、図16の実施例の他、本発明の回折光学素子はズームレンズ、事務機のスキャナー、そして地上望遠鏡や天体観測用望遠鏡等にも適用して同様の効果が得られる。この他、レンズシャッターカメラやビデオカメラなどの光学式のファインダーにも適用して同様の効果が得られる。
1 第1の素子部
2 第2の素子部
3 回折光学素子
10、20 基板
11、21 回折格子
101、201 中心輪帯
102、103、202、203 中心輪帯以外の格子
1000、2000 ユニット化時の受け部
11a,21a 格子形成材料
11b,21b 格子部
11c,21c 格子面
OB 光学系
51 撮影レンズ
52 絞り
53 撮像面
54 対物レンズ
55 像反転プリズム
56 接眼レンズ
57 観察面
58 一次結像面
2 第2の素子部
3 回折光学素子
10、20 基板
11、21 回折格子
101、201 中心輪帯
102、103、202、203 中心輪帯以外の格子
1000、2000 ユニット化時の受け部
11a,21a 格子形成材料
11b,21b 格子部
11c,21c 格子面
OB 光学系
51 撮影レンズ
52 絞り
53 撮像面
54 対物レンズ
55 像反転プリズム
56 接眼レンズ
57 観察面
58 一次結像面
Claims (10)
- 材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち少なくとも1つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部を基板面に形成して構成されており、その中心輪帯の格子部は、その周囲の周辺輪帯の格子部に比べて基板面からの格子高さが高いことを特徴とする回折光学素子。 - 前記複数の回折格子の一部は空気層を挟んで積層されていることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。
- 前記複数の回折格子のうち一方の回折格子の中心輪帯の格子部の格子面は、それと対向する他方の回折格子の中心輪帯の格子部の格子面と密着されていることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。
- 前記複数の回折格子は中心輪帯の格子部とそれ以外の格子部とが異なる位相関数によって表される形状より成ることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の回折光学素子。
- 前記格子部の格子面が密着されている部分の位相差を生じる格子部の格子高さdは、
前記一方の回折格子の格子部の材料の基準波長λ0における屈折率をn0l、前記他方の回折格子の格子部の材料の基準波長λ0における屈折率をn02、mを整数とするとき、
d=mλ0/(n0l−n02)
を満足することを特徴とする請求項3に記載の回折光学素子。 - 前記格子部の格子面が密着されている面は、曲率半径Rの曲面より成り、該格子部の輪帯中心からの距離をr、定数をC1、C2、C3・・・とし、該格子部の光路差関数φ(r)を、
φ(r)=C1・r2+C2・r4+C3・r6+・・・
と表し、前記一方の回折格子の格子部の材料の基準波長λ0における屈折率をn0l、前記他方の回折格子の格子部の材料の基準波長λ0における屈折率をn02とするとき、
R=−0.5×(n02−n01)/C1
を満足することを特徴とする請求項3に記載の回折光学素子。 - 材質が異なる複数の回折格子を積層した回折光学素子において、
該複数の回折格子のうち、対向する2つの回折格子は、輪帯状の複数の格子部により構成されており、該2つの回折格子の中心輪帯の格子部の格子面間隔は、その周囲の周辺輪帯の格子部の格子面間隔より狭いことを特徴とする回折光学素子。 - 前記対向する2つの回折格子の中心輪帯の格子部の格子面は、一部又は全てが互いに接触していることを特徴とする請求項7の回折光学素子。
- 前記対向する2つの回折格子は、空気層を挟んで配置されていることを特徴とする請求項7の回折光学素子。
- 請求項1から9のいずれか1項の回折光学素子と屈折光学素子とを有することを特徴とする光学系。
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DE10123230A1 (de) * | 2001-05-12 | 2002-11-28 | Zeiss Carl | Diffraktives optisches Element sowie optische Anordnung mit einem diffraktiven optischen Element |
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- 2006-09-04 JP JP2006238953A patent/JP2008058907A/ja not_active Withdrawn
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