JP2008058086A - 水晶センサ及び感知装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線基板の凹部を塞ぐように設けられた水晶振動子の一面側を底面とする液収容空間を形成すると共に、この液収容空間を囲むように設けられかつ水晶振動子の一面側における前記凹部の外側部位を配線基板側に押し付けて水晶振動子の位置を固定するための環状突起を備えた、弾性素材からなる水晶押さえ部材を備えるように水晶センサを構成し、前記環状突起は両側面共に下方に向かうに連れて直径が小さくなるようにかつ両側面の距離が下方に向かうに連れて小さくなるように構成する。前記液収容空間に気泡が入っても、液収容空間の側面はその底面に対して鈍角をなしており、これらの各面がなす角部において、気泡から見て上方側は開放されているため、その気泡は浮上し、当該空間に留まることが抑えられることで測定精度が高くなる。
【選択図】図3
Description
板状の水晶片の一面側及び他面側に各々設けられ、前記電極に電気的に接続された励振電極を備えると共に、他面側の励振電極が前記凹部に臨むように当該凹部を塞いだ状態で配線基板に設けられた水晶振動子と、
水晶振動子の一面側を底面とする液収容空間を形成すると共に、この液収容空間を囲むように設けられかつ水晶振動子の一面側における前記凹部の外側部位を配線基板側に押し付けて水晶振動子の位置を固定するための環状突起を備えた弾性素材からなる水晶押さえ部材と、
配線基板と対向して前記水晶押さえ部材を覆い、その表面に前記液収容空間に連通し、試料液を前記液収容空間に注入するための注入口が設けられた液注入用カバーと、を備え、
前記環状突起は両側面共に下方に向かうにつれて直径が小さくなるようにかつ両側面の距離が下方に向かうにつれて小さくなるように構成されて先端が鋭角をなし、前記液収容空間に収容された試料液中の測定対象物が一面側の励振電極に接触することにより、水晶振動子の固有振動数が変化することを特徴とする。
前記測定器本体に接続される接続端子部が設けられると共に、その一面側に、前記接続端子部に電気的に接続された電極及び気密空間を構成するための凹部が設けられた配線基板と、
板状の水晶片の一面側及び他面側に各々設けられ、前記電極に電気的に接続された励振電極を備えると共に、他面側の励振電極が前記凹部に臨むように当該凹部を塞いだ状態で配線基板に設けられた水晶振動子と、
水晶振動子の一面側を底面とする液収容空間を形成すると共に、この液収容空間を囲むように設けられかつ水晶振動子の一面側における前記凹部の外側部位を配線基板側に押し付けて水晶振動子の位置を固定するための環状突起を備えた弾性素材からなる水晶押さえ部材と、
配線基板を支持する支持体と、
液収容空間に連通して、試料液を当該液収容空間に供給する供給路及び液収容空間に連通して、当該空間に収容された試料液を排出する排出路を備え、配線基板と対向して前記水晶押さえ部材を覆った状態で前記支持体に固着される液給排用カバーと、
を備え、
前記環状突起は両側面共に下方に向かうにつれて直径が小さくなるようにかつ両側面の距離が下方に向かうにつれて小さくなるように構成されて先端が鋭角をなし、
試料液の供給と排出とにより液収容空間に液流を形成して、試料液中の測定対象物を一面側の励振電極に接触させることにより、水晶振動子の固有振動数が変化することを特徴とする水晶センサ。
2 水晶振動子
21 水晶片
22,23 励振電極
3 配線基板
4 水晶押さえ部材
43 環状突起
44 開口部
45 液収容空間
5 液注入用カバー
6 測定器本体
71 支持体
81 液給排用カバー
Claims (8)
- 試料液中の測定対象物を検知するために測定器本体に電気的に接続される水晶センサにおいて、
前記測定器本体に接続される接続端子部が設けられると共に、その一面側に、前記接続端子部に電気的に接続された電極及び気密空間を構成するための凹部が設けられた配線基板と、
板状の水晶片の一面側及び他面側に各々設けられ、前記電極に電気的に接続された励振電極を備えると共に、他面側の励振電極が前記凹部に臨むように当該凹部を塞いだ状態で配線基板に設けられた水晶振動子と、
水晶振動子の一面側を底面とする液収容空間を形成すると共に、この液収容空間を囲むように設けられかつ水晶振動子の一面側における前記凹部の外側部位を配線基板側に押し付けて水晶振動子の位置を固定するための環状突起を備えた弾性素材からなる水晶押さえ部材と、
配線基板と対向して前記水晶押さえ部材を覆い、その表面に前記液収容空間に連通し、試料液を前記液収容空間に注入するための注入口が設けられた液注入用カバーと、を備え、
前記環状突起は両側面共に下方に向かうにつれて直径が小さくなるようにかつ両側面の距離が下方に向かうにつれて小さくなるように構成されて先端が鋭角をなし、前記液収容空間に収容された試料液中の測定対象物が一面側の励振電極に接触することにより、水晶振動子の固有振動数が変化することを特徴とする水晶センサ。 - 前記液注入用カバーの縁部に内側に屈曲した爪部を設け、前記配線基板に切欠き部を設け、切欠き部において爪部が内方側への復元力により配線基板の周縁部に係止されることで、液注入用カバーが水晶押さえ部材を配線基板に押圧した状態で当該配線基板に装着されることを特徴とする請求項1記載の水晶センサ。
- 試料液中の測定対象物を検知するために測定器本体に電気的に接続される水晶センサにおいて、
前記測定器本体に接続される接続端子部が設けられると共に、その一面側に、前記接続端子部に電気的に接続された電極及び気密空間を構成するための凹部が設けられた配線基板と、
板状の水晶片の一面側及び他面側に各々設けられ、前記電極に電気的に接続された励振電極を備えると共に、他面側の励振電極が前記凹部に臨むように当該凹部を塞いだ状態で配線基板に設けられた水晶振動子と、
水晶振動子の一面側を底面とする液収容空間を形成すると共に、この液収容空間を囲むように設けられかつ水晶振動子の一面側における前記凹部の外側部位を配線基板側に押し付けて水晶振動子の位置を固定するための環状突起を備えた弾性素材からなる水晶押さえ部材と、
配線基板を支持する支持体と、
液収容空間に連通して、試料液を当該液収容空間に供給する供給路及び液収容空間に連通して、当該空間に収容された試料液を排出する排出路を備え、配線基板と対向して前記水晶押さえ部材を覆った状態で前記支持体に固着される液給排用カバーと、を備え、
前記環状突起は両側面共に下方に向かうにつれて直径が小さくなるようにかつ両側面の距離が下方に向かうにつれて小さくなるように構成されて先端が鋭角をなし、
試料液の供給と排出とにより液収容空間に液流を形成して、試料液中の測定対象物を一面側の励振電極に接触させることにより、水晶振動子の固有振動数が変化することを特徴とする水晶センサ。 - 液給排用カバーの下部には、液収容空間に進入し、当該液収容空間における上下方向の液流を規制するための突起が設けられていることを特徴とする請求項3記載の水晶センサ。
- 配線基板及び水晶押さえ部材には互いに重なり合う孔が設けられ、
前記支持体には前記各孔に対応する、配線基板及び水晶押さえ部材の当該支持体への位置決め用の突起が設けられることを特徴とする請求項3または4に記載の水晶センサ。 - 前記供給路は、液給排用カバーに対して着脱自在な液供給管を備え、前記排出路は液給排用カバーに対して着脱自在な液排出管を備え、これらの液供給管及び液排出管は液給排用カバーに対して着脱自在なコネクタを介して液給排用カバーに装着されることを特徴とする請求項3ないし5のいずれか一に記載の水晶センサ。
- 環状突起が水晶振動子を配線基板に押し付けることにより、水晶振動子の励振電極と配線基板の電極とが電気的に接続されることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一に記載の水晶センサ。
- 請求項1ないし7のいずれか一に記載の水晶センサと、水晶振動子の固有振動数の変化分を検出し、その検出結果に基づいて試料液中の測定対象物を検知する測定器本体と、を備えたことを特徴とする感知装置。
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009162523A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
JP2009162528A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
JP2010526286A (ja) * | 2007-04-30 | 2010-07-29 | アッタナ アクチボラゲット | 質量感知化学センサ |
JP2011022129A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-02-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置及び感知方法 |
JP2011027716A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-02-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2011027717A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-02-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2012008029A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2012013534A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2012013535A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2012145566A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-08-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知センサー及び感知装置 |
JP2013145249A (ja) * | 2013-04-25 | 2013-07-25 | Shimizu Corp | ガスモニタリング装置 |
JP2014145651A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知センサー及び感知装置 |
US9086338B2 (en) | 2010-06-25 | 2015-07-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
WO2018003892A1 (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | 株式会社日立製作所 | 油分分析装置及び油分測定方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4299325B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2009-07-22 | 日本電波工業株式会社 | 水晶センサ及び感知装置 |
JP2011189795A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Pacific Ind Co Ltd | タイヤ摩耗検出装置 |
US9435767B2 (en) * | 2012-09-04 | 2016-09-06 | Syracuse University | Sensor for sensing substances in an environment |
RU2632997C1 (ru) * | 2016-05-24 | 2017-10-11 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Пьезорезонансный датчик для определения относительной влажности воздуха |
CN107881087B (zh) * | 2017-12-26 | 2023-08-08 | 华测检测认证集团股份有限公司 | 用于食品微生物的检测装置 |
CN111384921B (zh) * | 2018-12-29 | 2022-07-19 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 晶体谐振器与控制电路的集成结构及其集成方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2748246B2 (ja) * | 1995-11-14 | 1998-05-06 | デベロップメント センター フォー バイオテクノロジー | カートリッジ状の圧電センサチップ |
JPH11183479A (ja) | 1997-10-16 | 1999-07-09 | Fuji Electric Co Ltd | 溶液測定用センサ及び溶液成分測定方法 |
JP3700559B2 (ja) * | 1999-12-16 | 2005-09-28 | 株式会社村田製作所 | 圧電音響部品およびその製造方法 |
WO2002012873A2 (en) * | 2000-08-08 | 2002-02-14 | Smithkline Beecham P.L.C. | Quartz crystal microbalance |
JP4468166B2 (ja) * | 2002-06-19 | 2010-05-26 | バイオセンサー、アプリケーションズ、スエーデン、アクチボラグ | 溶液中にある幾つかの個別アナライトを検出するためのシステム、装置および方法、およびそこで使用する使い捨てフローセル |
JP2006029873A (ja) | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶センサ及び感知装置 |
JP4473815B2 (ja) | 2004-12-15 | 2010-06-02 | 日本電波工業株式会社 | 水晶センサ及び感知装置 |
USD540700S1 (en) * | 2005-03-18 | 2007-04-17 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Crystal resonator for QCM measurement of toxic materials |
CN1815176A (zh) * | 2006-02-10 | 2006-08-09 | 张超 | 在线监测液体粘度和颗粒量的压电传感器和测量方法 |
JP4299325B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2009-07-22 | 日本電波工業株式会社 | 水晶センサ及び感知装置 |
-
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010526286A (ja) * | 2007-04-30 | 2010-07-29 | アッタナ アクチボラゲット | 質量感知化学センサ |
JP2009162528A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
JP2009162523A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
US8601860B2 (en) | 2009-06-16 | 2013-12-10 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device and sensing method |
JP2011022129A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-02-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置及び感知方法 |
JP2011027716A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-02-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
US8377380B2 (en) | 2009-06-30 | 2013-02-19 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
JP2011027717A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-02-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
JP2012008029A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
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JP2012013535A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
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JP2013145249A (ja) * | 2013-04-25 | 2013-07-25 | Shimizu Corp | ガスモニタリング装置 |
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