JP2008058023A - 光学式検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蛍光発生ユニット5に、蛍光を上方へ反射させるテーパ部6aと反射部12cと、蛍光を通過させる貫通穴13a,14aと形成することで、光検出器7を被検査物2とは反対側に配置することとし、光検出器7が被検査物2や検査光源ユニット3と干渉することを防止し、各部品同士の距離を近づける。これによって、検査面積を広げた場合であっても、被検査物2の孔部への検査光量を増加させ、孔部を通過した検査光の蛍光板への入射量を増加させて、被検査物2の孔部に対する検査感度を向上させることを可能とする。また、被検査物2のエッジ部付近の孔部に対しても、十分な検査光量を確保して、装置全体として検査感度を均一とすることを可能とする。
【選択図】図3
Description
MICHEL F. LAGUESSE著, "Optical Detection and Localization of Holes inStrips Using a Fluorescent Fiber Sensor",Transaction on Instrumentation andMeasurement,(US),February 1990,p.242-246
Claims (4)
- 被検査物に孔部が存在するか否かを検査する光学式検査装置において、
前記被検査物が配置される検査空間の一方側に配置され、前記検査空間に向かって検査光を投射する検査光源と、
前記検査空間の他方側に配置され、前記検査光が入射することによって蛍光を発する蛍光板を有し、前記検査空間の反対側の面が前記蛍光を反射するようにされた蛍光発生部と、
前記蛍光発生部を挟んで前記検査空間と反対側に設けられ、前記蛍光を検出する光検出器と、
を備え、
前記蛍光発生部は、
前記光検出器が望む領域に前記蛍光を通過させる蛍光出力部を有し、かつ、
前記蛍光板の内部の蛍光を前記蛍光出力部を介して前記光検出器に向かうように反射させる蛍光反射部を有することを特徴とする光学式検査装置。 - 前記蛍光板は矩形状であり、その4つの隅部に対応して前記蛍光発生部は前記蛍光出力部および前記蛍光反射部をそれぞれ有し、
前記光検出器は4つの前記蛍光出力部をそれぞれ望むように4つ設けられている請求項1記載の光学式検査装置。 - 前記蛍光反射部は、前記蛍光板の4つの隅部にそれぞれ形成された光反射性の傾斜面を含んで構成される請求項2記載の光学式検査装置。
- 前記検査光源は、前記蛍光板に対面して発光する面状の光源である請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学式検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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2006
- 2006-08-29 JP JP2006232413A patent/JP4813294B2/ja active Active
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