JPH11326239A - 光学的検査装置 - Google Patents
光学的検査装置Info
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- JPH11326239A JPH11326239A JP10128978A JP12897898A JPH11326239A JP H11326239 A JPH11326239 A JP H11326239A JP 10128978 A JP10128978 A JP 10128978A JP 12897898 A JP12897898 A JP 12897898A JP H11326239 A JPH11326239 A JP H11326239A
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- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物の膜厚より孔部の径が小さい場合で
あっても容易に孔部の有無を光学的に検査することがで
きる光学的検査装置を提供する。 【解決手段】 光源４１から出射された照射光は、拡散
板５１により拡散され、ステージ３１の上に開口部を覆
うように置かれた被検査物１１に、あらゆる方向から照
射される。もし、被検査物１１に孔部がある場合には、
照射光は、その孔部を通過して、蛍光板６１の入射面６
１Ａに入射する。蛍光板６１では、照射光の入射に伴い
蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そして、その蛍
光は、蛍光板６１の検出面６１Ｂから出射して光検出器
７１の受光面に入射し、光検出器７１により検出され
る。すなわち、光検出器７１による蛍光検出の有無に基
づいて、被検査物１１における孔部の有無が検出され
る。
あっても容易に孔部の有無を光学的に検査することがで
きる光学的検査装置を提供する。 【解決手段】 光源４１から出射された照射光は、拡散
板５１により拡散され、ステージ３１の上に開口部を覆
うように置かれた被検査物１１に、あらゆる方向から照
射される。もし、被検査物１１に孔部がある場合には、
照射光は、その孔部を通過して、蛍光板６１の入射面６
１Ａに入射する。蛍光板６１では、照射光の入射に伴い
蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そして、その蛍
光は、蛍光板６１の検出面６１Ｂから出射して光検出器
７１の受光面に入射し、光検出器７１により検出され
る。すなわち、光検出器７１による蛍光検出の有無に基
づいて、被検査物１１における孔部の有無が検出され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査物における
孔部の有無を光学的に検査する光学的検査装置に関する
ものである。
孔部の有無を光学的に検査する光学的検査装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】金属箔、磁気フィルム、塗膜および蒸着
膜などの薄膜においては、孔部の有無が品質に大きな影
響を与えることから、このような薄膜状の被検査物にお
ける孔部の有無を検査することは重要である。被検査物
における孔部の有無を検出する従来の光学的検査装置で
は、被検査物を挟んで光源と光検出器とを配し、光源か
ら出射された照射光のうち被検査物の孔部を通過した照
射光を光検出器により検出して、光検出器からの出力に
基づいて被検査物における孔部の有無を検査していた。
例えば、特開平５−２８１１５６号公報に開示された光
学的検査装置は、被検査物に対して照射光を走査しなが
ら照射し、この被検査物を通過した照射光を集光光学系
で集光して、その集光された照射光を光検出器で検出す
るものである。
膜などの薄膜においては、孔部の有無が品質に大きな影
響を与えることから、このような薄膜状の被検査物にお
ける孔部の有無を検査することは重要である。被検査物
における孔部の有無を検出する従来の光学的検査装置で
は、被検査物を挟んで光源と光検出器とを配し、光源か
ら出射された照射光のうち被検査物の孔部を通過した照
射光を光検出器により検出して、光検出器からの出力に
基づいて被検査物における孔部の有無を検査していた。
例えば、特開平５−２８１１５６号公報に開示された光
学的検査装置は、被検査物に対して照射光を走査しなが
ら照射し、この被検査物を通過した照射光を集光光学系
で集光して、その集光された照射光を光検出器で検出す
るものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光学的検査装置は、被検査物の膜厚程度以上の径を
有する孔部を容易に検出することができるものの、膜厚
以下の径を有する孔部を検出することは感度が悪いか又
は困難である。すなわち、被検査物の孔部の径が膜厚以
下であるときには、従来の光学的検査装置は、光源と光
検出器とを結ぶ直線が孔部を貫通する場合のみ、その孔
部を高感度に検出することができる。また、特開平５−
２８１１５６号公報に開示された光学的検査装置でも、
走査された照射光の光軸が孔部を貫通する場合のみ、そ
の孔部を高感度に検出することができる。一方、光源と
光検出器とを結ぶ直線または走査された照射光の光軸が
孔部を貫通しない場合には、その孔部を検出することは
感度が悪いか又は困難である。
来の光学的検査装置は、被検査物の膜厚程度以上の径を
有する孔部を容易に検出することができるものの、膜厚
以下の径を有する孔部を検出することは感度が悪いか又
は困難である。すなわち、被検査物の孔部の径が膜厚以
下であるときには、従来の光学的検査装置は、光源と光
検出器とを結ぶ直線が孔部を貫通する場合のみ、その孔
部を高感度に検出することができる。また、特開平５−
２８１１５６号公報に開示された光学的検査装置でも、
走査された照射光の光軸が孔部を貫通する場合のみ、そ
の孔部を高感度に検出することができる。一方、光源と
光検出器とを結ぶ直線または走査された照射光の光軸が
孔部を貫通しない場合には、その孔部を検出することは
感度が悪いか又は困難である。
【０００４】ところで実際には、薄膜状の被検査物は、
その膜厚より小さい径の微小な孔部の存在さえも許され
ない場合がある。例えば、膜厚５００μｍである被検査
物において径２０μｍ程度の孔部を検出することが要求
される場合がある。しかし、特開平５−２８１１５６号
公報に開示されたものを含め従来の光学的検査装置は、
このような微小な孔部を検出することができない。
その膜厚より小さい径の微小な孔部の存在さえも許され
ない場合がある。例えば、膜厚５００μｍである被検査
物において径２０μｍ程度の孔部を検出することが要求
される場合がある。しかし、特開平５−２８１１５６号
公報に開示されたものを含め従来の光学的検査装置は、
このような微小な孔部を検出することができない。
【０００５】本発明は、上記問題点を解消する為になさ
れたものであり、被検査物の膜厚より孔部の径が小さい
場合であっても容易に孔部の有無を光学的に検査するこ
とができる光学的検査装置を提供することを目的とす
る。
れたものであり、被検査物の膜厚より孔部の径が小さい
場合であっても容易に孔部の有無を光学的に検査するこ
とができる光学的検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光学的検査
装置は、被検査物における孔部を検出する光学的検査装
置であって、(1) 照射光を出射して被検査物に照射する
光源と、(2) 被検査物を挟んで光源とは反対側に配さ
れ、光源から出射された照射光のうち被検査物の孔部を
通過した照射光を入射面に入射し、その照射光の入射に
伴って蛍光を発生し、その蛍光を検出面から出射する蛍
光部材と、(3) 蛍光部材の検出面から出射した蛍光を検
出する光検出器と、を備えることを特徴する。
装置は、被検査物における孔部を検出する光学的検査装
置であって、(1) 照射光を出射して被検査物に照射する
光源と、(2) 被検査物を挟んで光源とは反対側に配さ
れ、光源から出射された照射光のうち被検査物の孔部を
通過した照射光を入射面に入射し、その照射光の入射に
伴って蛍光を発生し、その蛍光を検出面から出射する蛍
光部材と、(3) 蛍光部材の検出面から出射した蛍光を検
出する光検出器と、を備えることを特徴する。
【０００７】この光学的検査装置によれば、もし被検査
物に孔部がある場合には、光源から出射された照射光の
うち被検査物の孔部を通過した照射光は、被検査物の孔
部を通過して蛍光部材の入射面に入射する。蛍光部材で
は照射光の入射に伴って蛍光が発生し、その蛍光は、蛍
光部材の検出面から出射して光検出器に入射し、光検出
器により検出される。すなわち、光検出器による蛍光検
出の有無に基づいて、被検査物における孔部の有無が検
出される。
物に孔部がある場合には、光源から出射された照射光の
うち被検査物の孔部を通過した照射光は、被検査物の孔
部を通過して蛍光部材の入射面に入射する。蛍光部材で
は照射光の入射に伴って蛍光が発生し、その蛍光は、蛍
光部材の検出面から出射して光検出器に入射し、光検出
器により検出される。すなわち、光検出器による蛍光検
出の有無に基づいて、被検査物における孔部の有無が検
出される。
【０００８】また、本発明に係る光学的検査装置では、
光源は、発光点が線状に存在する線光源または発光点が
面状に存在する面光源であるのが好適であり、また、発
光素子が線状または面状に配されたものであるのも好適
である。これらの場合には、光源から出射された照射光
は被測定物の広い範囲に亘って照射されるので、被測定
物の広い範囲における孔部の有無が検出される。
光源は、発光点が線状に存在する線光源または発光点が
面状に存在する面光源であるのが好適であり、また、発
光素子が線状または面状に配されたものであるのも好適
である。これらの場合には、光源から出射された照射光
は被測定物の広い範囲に亘って照射されるので、被測定
物の広い範囲における孔部の有無が検出される。
【０００９】また、本発明に係る光学的検査装置は、光
源から出射された照射光を拡散して被検査物に照射する
拡散板を更に備えることを特徴とする。この場合には、
被検査物の孔部が斜めである場合であっても、拡散板に
より拡散された照射光は孔部を通過するので、その孔部
の有無が検出される。
源から出射された照射光を拡散して被検査物に照射する
拡散板を更に備えることを特徴とする。この場合には、
被検査物の孔部が斜めである場合であっても、拡散板に
より拡散された照射光は孔部を通過するので、その孔部
の有無が検出される。
【００１０】また、本発明に係る光学的検査装置では、
蛍光部材の入射面以外の面に照射光を透過させない遮光
部材が設けられていることを特徴とする。この場合に
は、外光が蛍光部材に入射してノイズ光が発生すること
はない。また、本発明に係る光学的検査装置では、蛍光
部材の検出面以外の面に蛍光を反射させる反射部材が設
けられていることを特徴とする。この場合には、蛍光部
材で発生した蛍光は効率よく光検出器に入射する。
蛍光部材の入射面以外の面に照射光を透過させない遮光
部材が設けられていることを特徴とする。この場合に
は、外光が蛍光部材に入射してノイズ光が発生すること
はない。また、本発明に係る光学的検査装置では、蛍光
部材の検出面以外の面に蛍光を反射させる反射部材が設
けられていることを特徴とする。この場合には、蛍光部
材で発生した蛍光は効率よく光検出器に入射する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明におい
て同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。
の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明におい
て同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。
【００１２】（第１の実施形態）先ず、第１の実施形態
について説明する。図１は、第１の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、遮光ケース２１の内部に、ステージ３１、光
源４１、拡散板５１、蛍光板６１および光検出器７１を
備えて構成される。図１（ａ）は、この光学的検査装置
の断面図であり、図１（ｂ）は、蛍光板６１および光検
出器７１の平面図である。
について説明する。図１は、第１の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、遮光ケース２１の内部に、ステージ３１、光
源４１、拡散板５１、蛍光板６１および光検出器７１を
備えて構成される。図１（ａ）は、この光学的検査装置
の断面図であり、図１（ｂ）は、蛍光板６１および光検
出器７１の平面図である。
【００１３】遮光ケース２１は、外部からの光が内部に
入らないようにするためのものである。ステージ３１
は、遮光ケース２１の内部を２つに区切るように設けら
れ、周囲が遮光ケース２１の内壁に接しており、中央領
域に開口部が設けられている。被検査物１１は、ステー
ジ３１上に開口部を覆うように置かれる。また、ステー
ジ３１上に置かれた被検査物１１の縁部にはマスク９１
が設けられている。このマスク９１は、ステージ３１と
被検査物１１との隙間からノイズ光が通過しないように
する為のものである。
入らないようにするためのものである。ステージ３１
は、遮光ケース２１の内部を２つに区切るように設けら
れ、周囲が遮光ケース２１の内壁に接しており、中央領
域に開口部が設けられている。被検査物１１は、ステー
ジ３１上に開口部を覆うように置かれる。また、ステー
ジ３１上に置かれた被検査物１１の縁部にはマスク９１
が設けられている。このマスク９１は、ステージ３１と
被検査物１１との隙間からノイズ光が通過しないように
する為のものである。
【００１４】光源４１は、遮光ケース２１の内部であっ
てステージ３１の開口部の下方に設けられている。光源
４１から出射される照射光は、蛍光板６１中に含まれる
蛍光物質を励起し得る波長の光である。光源４１は、例
えば蛍光灯や半導体発光素子（半導体レーザ光源、発光
ダイオード、等）であり、また、複数の半導体発光素子
が線状または面状に配列されたものであってもよい。特
に、光源４１は、ステージ３１の開口部と略同じ形状に
発光点が連続的または離散的に面状に存在する面光源で
あるのが好適である。
てステージ３１の開口部の下方に設けられている。光源
４１から出射される照射光は、蛍光板６１中に含まれる
蛍光物質を励起し得る波長の光である。光源４１は、例
えば蛍光灯や半導体発光素子（半導体レーザ光源、発光
ダイオード、等）であり、また、複数の半導体発光素子
が線状または面状に配列されたものであってもよい。特
に、光源４１は、ステージ３１の開口部と略同じ形状に
発光点が連続的または離散的に面状に存在する面光源で
あるのが好適である。
【００１５】拡散板５１は、遮光ケース２１の内部であ
ってステージ３１の開口部の下方かつ光源４１の上方に
設けられている。拡散板５１は、光源４１から出射され
た照射光を拡散して、その拡散された照射光をあらゆる
方向から被検査物１１に向けて照射するものである。
ってステージ３１の開口部の下方かつ光源４１の上方に
設けられている。拡散板５１は、光源４１から出射され
た照射光を拡散して、その拡散された照射光をあらゆる
方向から被検査物１１に向けて照射するものである。
【００１６】蛍光板６１は、遮光ケース２１の内部であ
ってステージ３１の開口部の上方に被検査物１１を覆う
ように設けられている。蛍光板６１は、例えば蛍光物質
を含有するアクリルやビニール等の樹脂板であり、被検
査物１１が孔部を有するときに、その孔部を通過した照
射光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励
起されて蛍光を発生する。
ってステージ３１の開口部の上方に被検査物１１を覆う
ように設けられている。蛍光板６１は、例えば蛍光物質
を含有するアクリルやビニール等の樹脂板であり、被検
査物１１が孔部を有するときに、その孔部を通過した照
射光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励
起されて蛍光を発生する。
【００１７】蛍光板６１は、単一の平板であってもよい
が、図示するように箱形のものとしてステージ３１およ
び被検査物１１とともに暗室を構成してもよい。蛍光板
６１を箱形に構成する場合、平板を接着する際に透明な
接着剤等を用いることにより、被検査物１１の孔部を通
過してあらゆる方向に進む照射光を蛍光板６１に入射さ
せて、これに伴って発生する蛍光を検出することができ
るので、蛍光検出効率すなわち孔部検出効率が高くな
る。
が、図示するように箱形のものとしてステージ３１およ
び被検査物１１とともに暗室を構成してもよい。蛍光板
６１を箱形に構成する場合、平板を接着する際に透明な
接着剤等を用いることにより、被検査物１１の孔部を通
過してあらゆる方向に進む照射光を蛍光板６１に入射さ
せて、これに伴って発生する蛍光を検出することができ
るので、蛍光検出効率すなわち孔部検出効率が高くな
る。
【００１８】被検査物１１の孔部を通過した照射光が入
射する蛍光板６１の入射面６１Ａ以外の面に、照射光を
透過させない遮光部材が設けられているのが好適であ
る。蛍光板６１を箱形に構成する場合には、蛍光板６１
の入射面６１Ａは箱の内壁面であり、遮光部材は箱の外
壁面に設けられる。このようにすることにより、外光が
蛍光板６１の入射面６１Ａに入射してノイズとなる蛍光
が発生しないので、蛍光検出感度すなわち孔部検出感度
が高くなる。また、蛍光板６１に入射した照射光が遮光
部材で反射されて再び蛍光板６１内を進む場合には、蛍
光板６１内の蛍光物質が励起される割合が高くなるの
で、この点でも蛍光検出感度すなわち孔部検出感度が高
くなる。
射する蛍光板６１の入射面６１Ａ以外の面に、照射光を
透過させない遮光部材が設けられているのが好適であ
る。蛍光板６１を箱形に構成する場合には、蛍光板６１
の入射面６１Ａは箱の内壁面であり、遮光部材は箱の外
壁面に設けられる。このようにすることにより、外光が
蛍光板６１の入射面６１Ａに入射してノイズとなる蛍光
が発生しないので、蛍光検出感度すなわち孔部検出感度
が高くなる。また、蛍光板６１に入射した照射光が遮光
部材で反射されて再び蛍光板６１内を進む場合には、蛍
光板６１内の蛍光物質が励起される割合が高くなるの
で、この点でも蛍光検出感度すなわち孔部検出感度が高
くなる。
【００１９】また、蛍光が光検出器７１へ出射する蛍光
板６１の検出面６１Ｂ以外の面に、蛍光を反射させる反
射部材が設けられているのが好適である。このようにす
ることにより、蛍光板６１に照射光が入射して発生した
蛍光は、反射部材により反射されて蛍光板６１の外部に
漏れる割合が少なくなるので、効率よく光検出器７１に
より検出されて孔部検出効率が高くなる。
板６１の検出面６１Ｂ以外の面に、蛍光を反射させる反
射部材が設けられているのが好適である。このようにす
ることにより、蛍光板６１に照射光が入射して発生した
蛍光は、反射部材により反射されて蛍光板６１の外部に
漏れる割合が少なくなるので、効率よく光検出器７１に
より検出されて孔部検出効率が高くなる。
【００２０】なお、遮光部材および反射部材それぞれ
は、蛍光板６１の面上に形成された多層膜であってもよ
い。また、遮光部材および反射部材それぞれは、必ずし
も別個のものではない。例えば、アルミニウム等のコー
ティング膜や蒸着膜あるいは板状部材は、照射光を透過
させない遮光部材としても、また、蛍光を反射させる反
射部材としても用いられる。このように遮光部材と反射
部材とを兼ねる場合には、これらは蛍光板６１の入射面
６１Ａおよび検出面６１Ｂを除く他の面に設けられる。
は、蛍光板６１の面上に形成された多層膜であってもよ
い。また、遮光部材および反射部材それぞれは、必ずし
も別個のものではない。例えば、アルミニウム等のコー
ティング膜や蒸着膜あるいは板状部材は、照射光を透過
させない遮光部材としても、また、蛍光を反射させる反
射部材としても用いられる。このように遮光部材と反射
部材とを兼ねる場合には、これらは蛍光板６１の入射面
６１Ａおよび検出面６１Ｂを除く他の面に設けられる。
【００２１】光検出器７１は、蛍光板６１の検出面６１
Ｂから出射された蛍光を検出するものであり、例えば、
光電子増倍管や半導体受光素子（フォトダイオード等）
が用いられる。光検出器７１として光電子増倍管が用い
られる場合には、高感度であるので好適である。また、
光検出器７１として特にサイドオン光電子増倍管が用い
られる場合には、受光面積が広く量子効率が高いことか
ら更に高感度であるので好適である。
Ｂから出射された蛍光を検出するものであり、例えば、
光電子増倍管や半導体受光素子（フォトダイオード等）
が用いられる。光検出器７１として光電子増倍管が用い
られる場合には、高感度であるので好適である。また、
光検出器７１として特にサイドオン光電子増倍管が用い
られる場合には、受光面積が広く量子効率が高いことか
ら更に高感度であるので好適である。
【００２２】また、蛍光板６０の断面が光検出器７１の
受光面と比較して大きい場合には、蛍光板６０の検出面
６１Ｂの大きさを光検出器７１の受光面の大きさに合わ
せる。このとき、２枚の長方形の蛍光板を接着剤を用い
て貼り合わせるのではなく、１枚の蛍光板から切り出す
等して図１（ｂ）に示すような蛍光板６１の形状とす
る。このようにすることにより、蛍光が接着剤により吸
収されることはなく、検出効率の低下が回避される。
受光面と比較して大きい場合には、蛍光板６０の検出面
６１Ｂの大きさを光検出器７１の受光面の大きさに合わ
せる。このとき、２枚の長方形の蛍光板を接着剤を用い
て貼り合わせるのではなく、１枚の蛍光板から切り出す
等して図１（ｂ）に示すような蛍光板６１の形状とす
る。このようにすることにより、蛍光が接着剤により吸
収されることはなく、検出効率の低下が回避される。
【００２３】本実施形態に係る光学的検査装置は以下の
ように作用する。光源４１から出射された照射光は、拡
散板５１により拡散され、ステージ３１の上に開口部を
覆うように置かれた被検査物１１に、あらゆる方向から
照射される。もし、被検査物１１に孔部がある場合に
は、照射光は、その孔部を通過して、蛍光板６１の入射
面６１Ａに入射する。蛍光板６１では、照射光の入射に
伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そして、そ
の蛍光は、蛍光板６１の検出面６１Ｂから出射して光検
出器７１の受光面に入射し、光検出器７１により検出さ
れる。すなわち、光検出器７１による蛍光検出の有無に
基づいて、被検査物１１における孔部の有無が検出され
る。
ように作用する。光源４１から出射された照射光は、拡
散板５１により拡散され、ステージ３１の上に開口部を
覆うように置かれた被検査物１１に、あらゆる方向から
照射される。もし、被検査物１１に孔部がある場合に
は、照射光は、その孔部を通過して、蛍光板６１の入射
面６１Ａに入射する。蛍光板６１では、照射光の入射に
伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そして、そ
の蛍光は、蛍光板６１の検出面６１Ｂから出射して光検
出器７１の受光面に入射し、光検出器７１により検出さ
れる。すなわち、光検出器７１による蛍光検出の有無に
基づいて、被検査物１１における孔部の有無が検出され
る。
【００２４】このように、本実施形態に係る光学的検査
装置では、被検査物１１の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６１に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１１の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板５１を用いたこと
により、被検査物１１の膜厚より孔部の径が小さく且つ
その孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有
無を検出することができる。
装置では、被検査物１１の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６１に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１１の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板５１を用いたこと
により、被検査物１１の膜厚より孔部の径が小さく且つ
その孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有
無を検出することができる。
【００２５】また、被検査物１１、光源４１、拡散板５
１、蛍光板６１および光検出器７１が遮光ケース２１内
に容れられているので、外光が蛍光板６１に入射してノ
イズ光が発生することはない。さらに蛍光板６１の入射
面６１Ａ以外の面に遮光部材が設けられている場合に
は、この点でも、外光が蛍光板６１に入射してノイズ光
が発生することはない。蛍光板６１の検出面６１Ｂ以外
の面に反射部材が設けられている場合には、蛍光板６１
で発生した蛍光は効率よく光検出器７１の受光面に入射
する。したがって、被検査物１１における孔部の有無を
高感度に検出することができる。
１、蛍光板６１および光検出器７１が遮光ケース２１内
に容れられているので、外光が蛍光板６１に入射してノ
イズ光が発生することはない。さらに蛍光板６１の入射
面６１Ａ以外の面に遮光部材が設けられている場合に
は、この点でも、外光が蛍光板６１に入射してノイズ光
が発生することはない。蛍光板６１の検出面６１Ｂ以外
の面に反射部材が設けられている場合には、蛍光板６１
で発生した蛍光は効率よく光検出器７１の受光面に入射
する。したがって、被検査物１１における孔部の有無を
高感度に検出することができる。
【００２６】（第２の実施形態）次に、第２の実施形態
について説明する。図２は、第２の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、遮光ケース２２の内部に、ステージ３２、光
源４２、蛍光板６２、光検出器７２およびローラ８２を
備えて構成される。本実施形態に係る光学的検査装置
は、例えば磁気テープ等の一方向に長いテープ状の被検
査物１２を該一方向に移動させながら連続的に検査する
ものである。図２（ａ）は、テープ状の被検査物１２の
面に垂直であって被検査物１２の移動方向に平行な面で
の光学的検査装置の断面図であり、図２（ｂ）は、被検
査物１２の移動方向に垂直な面での光学的検査装置の断
面図である。
について説明する。図２は、第２の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、遮光ケース２２の内部に、ステージ３２、光
源４２、蛍光板６２、光検出器７２およびローラ８２を
備えて構成される。本実施形態に係る光学的検査装置
は、例えば磁気テープ等の一方向に長いテープ状の被検
査物１２を該一方向に移動させながら連続的に検査する
ものである。図２（ａ）は、テープ状の被検査物１２の
面に垂直であって被検査物１２の移動方向に平行な面で
の光学的検査装置の断面図であり、図２（ｂ）は、被検
査物１２の移動方向に垂直な面での光学的検査装置の断
面図である。
【００２７】遮光ケース２２は、外部からの光が内部に
入らないようにするためのものであり、テープ状の被検
査物１２を入口２２Ａから取り込み、出口２２Ｂから取
り出す。遮光ケース２２の入口２２Ａおよび出口２２Ｂ
それぞれは、外光が入りにくい構造とされている。ステ
ージ３２は、遮光ケース２２の内部を２つに区切るよう
に設けられ、周囲が遮光ケース２２の内壁に接してお
り、中央領域に開口部が設けられている。ローラ８２
は、遮光ケース２２の入口２２Ａから入った被検査物１
２を移動させ、その被検査物１２をステージ３２上の開
口部を覆うように通過させて遮光ケース２２の出口２２
Ｂから出す。ローラ８２も外光が内部に入るのを防ぐ働
きをしている。また、ステージ３２上の被検査物１２の
縁部にはマスク９２が設けられている。このマスク９２
は、ステージ３２と被検査物１２との隙間からノイズ光
が通過しないようにする為のものである。
入らないようにするためのものであり、テープ状の被検
査物１２を入口２２Ａから取り込み、出口２２Ｂから取
り出す。遮光ケース２２の入口２２Ａおよび出口２２Ｂ
それぞれは、外光が入りにくい構造とされている。ステ
ージ３２は、遮光ケース２２の内部を２つに区切るよう
に設けられ、周囲が遮光ケース２２の内壁に接してお
り、中央領域に開口部が設けられている。ローラ８２
は、遮光ケース２２の入口２２Ａから入った被検査物１
２を移動させ、その被検査物１２をステージ３２上の開
口部を覆うように通過させて遮光ケース２２の出口２２
Ｂから出す。ローラ８２も外光が内部に入るのを防ぐ働
きをしている。また、ステージ３２上の被検査物１２の
縁部にはマスク９２が設けられている。このマスク９２
は、ステージ３２と被検査物１２との隙間からノイズ光
が通過しないようにする為のものである。
【００２８】光源４２は、遮光ケース２２の内部であっ
てステージ３２の開口部の下方に設けられている。光源
４２から出射される照射光は、蛍光板６２中に含まれる
蛍光物質を励起し得る波長の光である。光源４２は、例
えば蛍光灯や半導体発光素子であり、また、複数の半導
体発光素子が線状または面状に配列されたものであって
もよい。また、ステージ３２の開口部と光源４２との間
に拡散板を設けてもよい。
てステージ３２の開口部の下方に設けられている。光源
４２から出射される照射光は、蛍光板６２中に含まれる
蛍光物質を励起し得る波長の光である。光源４２は、例
えば蛍光灯や半導体発光素子であり、また、複数の半導
体発光素子が線状または面状に配列されたものであって
もよい。また、ステージ３２の開口部と光源４２との間
に拡散板を設けてもよい。
【００２９】本実施形態では、被検査物１２はテープ状
であって移動するので、ステージ３２に設けられた開口
部の形状は、被検査物１２の幅方向に長いスリット状で
よい。この場合、光源４２は、ステージ３２の開口部の
形状に合わせて、発光点が連続的または離散的に線状に
存在する線光源であるのが好適である。
であって移動するので、ステージ３２に設けられた開口
部の形状は、被検査物１２の幅方向に長いスリット状で
よい。この場合、光源４２は、ステージ３２の開口部の
形状に合わせて、発光点が連続的または離散的に線状に
存在する線光源であるのが好適である。
【００３０】蛍光板６２は、遮光ケース２２の内部であ
ってステージ３２の開口部の上方にある被検査物１２の
部分を覆うように設けられている。蛍光板６２は、例え
ば蛍光物質を含有するアクリルやビニール等の樹脂板で
あり、ステージ３２の開口部の上の被検査物１２の部分
が孔部を有するときに、その孔部を通過した照射光を入
射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励起されて
蛍光を発生する。
ってステージ３２の開口部の上方にある被検査物１２の
部分を覆うように設けられている。蛍光板６２は、例え
ば蛍光物質を含有するアクリルやビニール等の樹脂板で
あり、ステージ３２の開口部の上の被検査物１２の部分
が孔部を有するときに、その孔部を通過した照射光を入
射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励起されて
蛍光を発生する。
【００３１】本実施形態でも、第１の実施形態の場合と
同様に、被検査物１２の孔部を通過した照射光が入射す
る蛍光板６２の入射面以外の面に、照射光を透過させな
い遮光部材が設けられているのが好適であり、また、蛍
光が光検出器７２へ出射する蛍光板６２の検出面以外の
面に、蛍光を反射させる反射部材が設けられているのが
好適である。
同様に、被検査物１２の孔部を通過した照射光が入射す
る蛍光板６２の入射面以外の面に、照射光を透過させな
い遮光部材が設けられているのが好適であり、また、蛍
光が光検出器７２へ出射する蛍光板６２の検出面以外の
面に、蛍光を反射させる反射部材が設けられているのが
好適である。
【００３２】光検出器７２は、蛍光板６２の検出面から
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。光検出器７２
は、この図では遮光ケース２２の外部にあるが、遮光ケ
ース２２の内部に設けられてもよい。
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。光検出器７２
は、この図では遮光ケース２２の外部にあるが、遮光ケ
ース２２の内部に設けられてもよい。
【００３３】本実施形態に係る光学的検査装置は以下の
ように作用する。テープ状の被検査物１２は、ローラ８
２により駆動されて、入口２２Ａから遮光ケース２２内
に入り、ステージ３２の開口部の上を通過し、出口２２
Ｂから遮光ケース２２外に出る。光源４２から出射され
た照射光は、ステージ３２の開口部の上の被検査物１２
の部分に照射される。もし、照射光が照射されている被
検査物１２の部分に孔部がある場合には、照射光は、そ
の孔部を通過して、蛍光板６２の入射面に入射する。蛍
光板６２では、照射光の入射に伴い蛍光物質が励起され
て蛍光が発生する。そして、その蛍光は、蛍光板６２の
検出面から出射して光検出器７２の受光面に入射し、光
検出器７２により検出される。すなわち、光検出器７２
による蛍光検出の有無に基づいて、照射光が照射されて
いる被検査物１２の部分における孔部の有無が検出され
る。
ように作用する。テープ状の被検査物１２は、ローラ８
２により駆動されて、入口２２Ａから遮光ケース２２内
に入り、ステージ３２の開口部の上を通過し、出口２２
Ｂから遮光ケース２２外に出る。光源４２から出射され
た照射光は、ステージ３２の開口部の上の被検査物１２
の部分に照射される。もし、照射光が照射されている被
検査物１２の部分に孔部がある場合には、照射光は、そ
の孔部を通過して、蛍光板６２の入射面に入射する。蛍
光板６２では、照射光の入射に伴い蛍光物質が励起され
て蛍光が発生する。そして、その蛍光は、蛍光板６２の
検出面から出射して光検出器７２の受光面に入射し、光
検出器７２により検出される。すなわち、光検出器７２
による蛍光検出の有無に基づいて、照射光が照射されて
いる被検査物１２の部分における孔部の有無が検出され
る。
【００３４】このように、本実施形態に係る光学的検査
装置でも、被検査物１２の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６２に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１２の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置も、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板を用いることによ
り、被検査物１２の膜厚より孔部の径が小さく且つその
孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有無を
検出することができる。
装置でも、被検査物１２の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６２に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１２の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置も、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板を用いることによ
り、被検査物１２の膜厚より孔部の径が小さく且つその
孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有無を
検出することができる。
【００３５】また、被検査物１２の照射光が照射される
部分、光源４２および蛍光板６２が遮光ケース２２内に
容れられているので、外光が蛍光板６２に入射してノイ
ズ光が発生することはない。さらに蛍光板６２の入射面
以外の面に遮光部材が設けられている場合には、この点
でも、外光が蛍光板６２に入射してノイズ光が発生する
ことはない。蛍光板６２の検出面以外の面に反射部材が
設けられている場合には、蛍光板６２で発生した蛍光は
効率よく光検出器７２の受光面に入射する。したがっ
て、被検査物１２における孔部の有無を高感度に検出す
ることができる。
部分、光源４２および蛍光板６２が遮光ケース２２内に
容れられているので、外光が蛍光板６２に入射してノイ
ズ光が発生することはない。さらに蛍光板６２の入射面
以外の面に遮光部材が設けられている場合には、この点
でも、外光が蛍光板６２に入射してノイズ光が発生する
ことはない。蛍光板６２の検出面以外の面に反射部材が
設けられている場合には、蛍光板６２で発生した蛍光は
効率よく光検出器７２の受光面に入射する。したがっ
て、被検査物１２における孔部の有無を高感度に検出す
ることができる。
【００３６】さらに、本実施形態に係る光学的検査装置
では、テープ状の被検査物１２を長手方向に移動させな
がら検査するので、その被検査物１２の長手方向に亘っ
て孔部の有無を検出することができ、被検査物１２の長
手方向の孔部の存在位置も検出することができる。
では、テープ状の被検査物１２を長手方向に移動させな
がら検査するので、その被検査物１２の長手方向に亘っ
て孔部の有無を検出することができ、被検査物１２の長
手方向の孔部の存在位置も検出することができる。
【００３７】（第３の実施形態）次に、第３の実施形態
について説明する。図３は、第３の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、光源４３、拡散板５３、蛍光棒６３および光
検出器７３を備えて構成される。本実施形態における被
検査物１３は、金属タンクや缶などの容器、または、容
器の壁面の塗膜もしくは蒸着膜などである。
について説明する。図３は、第３の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、光源４３、拡散板５３、蛍光棒６３および光
検出器７３を備えて構成される。本実施形態における被
検査物１３は、金属タンクや缶などの容器、または、容
器の壁面の塗膜もしくは蒸着膜などである。
【００３８】光源４３は、被検査物１３の外壁全体に対
して照射光を照射し得るように被検査物１３の周囲に設
けられている。光源４３から出射される照射光は、蛍光
棒６３中に含まれる蛍光物質を励起し得る波長の光であ
る。光源４３は、例えば蛍光灯や半導体発光素子であ
り、また、複数の半導体発光素子が線状または面状に配
列されたものであってもよい。拡散板５３は、被検査物
１３と光源４３との間に設けられている。拡散板５３
は、光源４３から出射された照射光を拡散して、その拡
散された照射光をあらゆる方向から被検査物１３の外壁
全体に向けて照射するものである。
して照射光を照射し得るように被検査物１３の周囲に設
けられている。光源４３から出射される照射光は、蛍光
棒６３中に含まれる蛍光物質を励起し得る波長の光であ
る。光源４３は、例えば蛍光灯や半導体発光素子であ
り、また、複数の半導体発光素子が線状または面状に配
列されたものであってもよい。拡散板５３は、被検査物
１３と光源４３との間に設けられている。拡散板５３
は、光源４３から出射された照射光を拡散して、その拡
散された照射光をあらゆる方向から被検査物１３の外壁
全体に向けて照射するものである。
【００３９】蛍光棒６３は、被検査物１３の開口部から
内部に挿入されている。蛍光棒６３は、例えば蛍光物質
を含有するアクリルやビニール等の樹脂棒であり、被検
査物１３が孔部を有するときに、その孔部を通過した照
射光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励
起されて蛍光を発生する。
内部に挿入されている。蛍光棒６３は、例えば蛍光物質
を含有するアクリルやビニール等の樹脂棒であり、被検
査物１３が孔部を有するときに、その孔部を通過した照
射光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励
起されて蛍光を発生する。
【００４０】蛍光が光検出器７３へ出射する蛍光棒６３
の検出面以外の面に、蛍光を反射させる反射部材が設け
られているのが好適である。このようにすることによ
り、蛍光棒６３に照射光が入射して発生した蛍光は、反
射部材により反射されて蛍光棒６３の外部に漏れる割合
が少なくなるので、効率よく光検出器７３により検出さ
れて孔部検出効率が高くなる。
の検出面以外の面に、蛍光を反射させる反射部材が設け
られているのが好適である。このようにすることによ
り、蛍光棒６３に照射光が入射して発生した蛍光は、反
射部材により反射されて蛍光棒６３の外部に漏れる割合
が少なくなるので、効率よく光検出器７３により検出さ
れて孔部検出効率が高くなる。
【００４１】光検出器７３は、蛍光棒６３の検出面から
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。図示するように
蛍光棒６３の検出面および光検出器７３は被検査物１３
の開口部付近またはその外部に設けられるので、被検査
物１３の内部に外光が入らないように被検査物１３の開
口部にはパッキン９３が設けられている。
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。図示するように
蛍光棒６３の検出面および光検出器７３は被検査物１３
の開口部付近またはその外部に設けられるので、被検査
物１３の内部に外光が入らないように被検査物１３の開
口部にはパッキン９３が設けられている。
【００４２】本実施形態に係る光学的検査装置は以下の
ように作用する。光源４３から出射された照射光は、拡
散板５３により拡散され、被検査物１３の外壁全体に、
あらゆる方向から照射される。もし、被検査物１３に孔
部がある場合には、照射光は、その孔部を通過して、蛍
光棒６３の入射面に入射する。蛍光棒６３では、照射光
の入射に伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そ
して、その蛍光は、蛍光棒６３の検出面から出射して光
検出器７３の受光面に入射し、光検出器７３により検出
される。すなわち、光検出器７３による蛍光検出の有無
に基づいて、被検査物１３における孔部の有無が検出さ
れる。
ように作用する。光源４３から出射された照射光は、拡
散板５３により拡散され、被検査物１３の外壁全体に、
あらゆる方向から照射される。もし、被検査物１３に孔
部がある場合には、照射光は、その孔部を通過して、蛍
光棒６３の入射面に入射する。蛍光棒６３では、照射光
の入射に伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生する。そ
して、その蛍光は、蛍光棒６３の検出面から出射して光
検出器７３の受光面に入射し、光検出器７３により検出
される。すなわち、光検出器７３による蛍光検出の有無
に基づいて、被検査物１３における孔部の有無が検出さ
れる。
【００４３】このように、本実施形態に係る光学的検査
装置でも、被検査物１３の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光棒６３に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１３の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板５３を用いたこと
により、被検査物１３の膜厚より孔部の径が小さく且つ
その孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有
無を検出することができる。
装置でも、被検査物１３の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光棒６３に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１３の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板５３を用いたこと
により、被検査物１３の膜厚より孔部の径が小さく且つ
その孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有
無を検出することができる。
【００４４】（第４の実施形態）次に、第４の実施形態
について説明する。図４は、第４の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、光源４４、蛍光板６４および光検出器７４を
備えて構成される。本実施形態における被検査物１４
は、第３の実施形態の場合と同様に、金属タンクや缶な
どの容器、または、容器の壁面の塗膜もしくは蒸着膜な
どである。
について説明する。図４は、第４の実施形態に係る光学
的検査装置の構成図である。本実施形態に係る光学的検
査装置は、光源４４、蛍光板６４および光検出器７４を
備えて構成される。本実施形態における被検査物１４
は、第３の実施形態の場合と同様に、金属タンクや缶な
どの容器、または、容器の壁面の塗膜もしくは蒸着膜な
どである。
【００４５】光源４４は、被検査物１４の内壁全体に対
して照射光を照射し得るように被検査物１４の内部に設
けられている。光源４４から出射される照射光は、蛍光
板６４中に含まれる蛍光物質を励起し得る波長の光であ
る。光源４４は、例えば蛍光灯や半導体発光素子であ
り、また、複数の半導体発光素子が線状または面状に配
列されたものであってもよい。図示するように光源４４
は被検査物１４の開口部から挿入されるので、被検査物
１４の内部に外光が入らないように、被検査物１４の開
口部にはパッキン９４が設けられている。被検査物１４
の内部であって光源４４の周囲に拡散板を設けてもよ
い。
して照射光を照射し得るように被検査物１４の内部に設
けられている。光源４４から出射される照射光は、蛍光
板６４中に含まれる蛍光物質を励起し得る波長の光であ
る。光源４４は、例えば蛍光灯や半導体発光素子であ
り、また、複数の半導体発光素子が線状または面状に配
列されたものであってもよい。図示するように光源４４
は被検査物１４の開口部から挿入されるので、被検査物
１４の内部に外光が入らないように、被検査物１４の開
口部にはパッキン９４が設けられている。被検査物１４
の内部であって光源４４の周囲に拡散板を設けてもよ
い。
【００４６】蛍光板６４は、被検査物１４の周囲を囲む
ように配されている。蛍光板６４は、例えば蛍光物質を
含有するアクリルやビニール等の樹脂板であり、被検査
物１４が孔部を有するときに、その孔部を通過した照射
光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励起
されて蛍光を発生する。
ように配されている。蛍光板６４は、例えば蛍光物質を
含有するアクリルやビニール等の樹脂板であり、被検査
物１４が孔部を有するときに、その孔部を通過した照射
光を入射し、その照射光の入射に伴って蛍光物質が励起
されて蛍光を発生する。
【００４７】本実施形態でも、第１の実施形態の場合と
同様に、被検査物１４の孔部を通過した照射光が入射す
る蛍光板６４の入射面以外の面すなわち外壁面に、照射
光を透過させない遮光部材が設けられているのが好適で
あり、また、蛍光が光検出器７４へ出射する蛍光板６４
の検出面以外の面に、蛍光を反射させる反射部材が設け
られているのが好適である。
同様に、被検査物１４の孔部を通過した照射光が入射す
る蛍光板６４の入射面以外の面すなわち外壁面に、照射
光を透過させない遮光部材が設けられているのが好適で
あり、また、蛍光が光検出器７４へ出射する蛍光板６４
の検出面以外の面に、蛍光を反射させる反射部材が設け
られているのが好適である。
【００４８】光検出器７４は、蛍光板６４の検出面から
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。
出射された蛍光を検出するものであり、例えば、光電子
増倍管や半導体受光素子が用いられる。
【００４９】本実施形態に係る光学的検査装置は以下の
ように作用する。光源４４から出射された照射光は、被
検査物１４の内壁全体に照射される。もし、被検査物１
４に孔部がある場合には、照射光は、その孔部を通過し
て、蛍光板６４の入射面に入射する。蛍光板６４では、
照射光の入射に伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生す
る。そして、その蛍光は、蛍光板６４の検出面から出射
して光検出器７４の受光面に入射し、光検出器７４によ
り検出される。すなわち、光検出器７４による蛍光検出
の有無に基づいて、被検査物１４における孔部の有無が
検出される。
ように作用する。光源４４から出射された照射光は、被
検査物１４の内壁全体に照射される。もし、被検査物１
４に孔部がある場合には、照射光は、その孔部を通過し
て、蛍光板６４の入射面に入射する。蛍光板６４では、
照射光の入射に伴い蛍光物質が励起されて蛍光が発生す
る。そして、その蛍光は、蛍光板６４の検出面から出射
して光検出器７４の受光面に入射し、光検出器７４によ
り検出される。すなわち、光検出器７４による蛍光検出
の有無に基づいて、被検査物１４における孔部の有無が
検出される。
【００５０】このように、本実施形態に係る光学的検査
装置でも、被検査物１４の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６４に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１４の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板を用いることによ
り、被検査物１４の膜厚より孔部の径が小さく且つその
孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有無を
検出することができる。
装置でも、被検査物１４の孔部を通過した照射光を直接
に検出するのではなく、その照射光が蛍光板６４に入射
して発生した蛍光を検出することとしたので、被検査物
１４の膜厚より孔部の径が小さい場合であっても容易に
孔部の有無を検出することができる。また、本実施形態
に係る光学的検査装置は、大きな光学系が不要であり、
設計および光学的調整が容易であり、装置全体として小
型で安価なものとなる。また、拡散板を用いることによ
り、被検査物１４の膜厚より孔部の径が小さく且つその
孔部が斜めである場合であっても、容易に孔部の有無を
検出することができる。
【００５１】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明に
よれば、もし被検査物に孔部がある場合には、光源から
出射された照射光のうち被検査物の孔部を通過した照射
光は、被検査物の孔部を通過して蛍光部材の入射面に入
射する。蛍光部材では照射光の入射に伴って蛍光が発生
し、その蛍光は、蛍光部材の検出面から出射して光検出
器に入射し、光検出器により検出される。すなわち、光
検出器による蛍光検出の有無に基づいて、被検査物にお
ける孔部の有無が検出される。
よれば、もし被検査物に孔部がある場合には、光源から
出射された照射光のうち被検査物の孔部を通過した照射
光は、被検査物の孔部を通過して蛍光部材の入射面に入
射する。蛍光部材では照射光の入射に伴って蛍光が発生
し、その蛍光は、蛍光部材の検出面から出射して光検出
器に入射し、光検出器により検出される。すなわち、光
検出器による蛍光検出の有無に基づいて、被検査物にお
ける孔部の有無が検出される。
【００５２】このような構成としたことにより、被検査
物の孔部を通過した照射光を直接に検出するのではな
く、その照射光が蛍光部材に入射して発生した蛍光を検
出することとしたので、被検査物の膜厚より孔部の径が
小さい場合であっても容易に孔部の有無を検出すること
ができる。また、大きな光学系が不要であり、設計およ
び光学的調整が容易であり、装置全体として小型で安価
なものとなる。
物の孔部を通過した照射光を直接に検出するのではな
く、その照射光が蛍光部材に入射して発生した蛍光を検
出することとしたので、被検査物の膜厚より孔部の径が
小さい場合であっても容易に孔部の有無を検出すること
ができる。また、大きな光学系が不要であり、設計およ
び光学的調整が容易であり、装置全体として小型で安価
なものとなる。
【００５３】また、光源が、発光点が線状に存在する線
光源または発光点が面状に存在する面光源である場合、
または、発光素子が線状または面状に配されたものであ
る場合には、光源から出射された照射光は被測定物の広
い範囲に亘って照射されるので、被測定物の広い範囲に
おける孔部の有無が検出される。
光源または発光点が面状に存在する面光源である場合、
または、発光素子が線状または面状に配されたものであ
る場合には、光源から出射された照射光は被測定物の広
い範囲に亘って照射されるので、被測定物の広い範囲に
おける孔部の有無が検出される。
【００５４】また、本発明に係る光学的検査装置は、光
源から出射された照射光を拡散して被検査物に照射する
拡散板を更に備える場合には、被検査物の膜厚より孔部
の径が小さく且つその孔部が斜めである場合であって
も、拡散板により拡散された照射光は孔部を通過するの
で、容易に孔部の有無を検出することができる。
源から出射された照射光を拡散して被検査物に照射する
拡散板を更に備える場合には、被検査物の膜厚より孔部
の径が小さく且つその孔部が斜めである場合であって
も、拡散板により拡散された照射光は孔部を通過するの
で、容易に孔部の有無を検出することができる。
【００５５】また、蛍光部材の入射面以外の面に照射光
を透過させない遮光部材が設けられている場合には、外
光が蛍光部材に入射してノイズ光が発生することはな
い。また、蛍光部材の検出面以外の面に蛍光を反射させ
る反射部材が設けられている場合には、蛍光部材で発生
した蛍光は効率よく光検出器に入射する。したがって、
被検査物における孔部の有無を高感度に検出することが
できる。
を透過させない遮光部材が設けられている場合には、外
光が蛍光部材に入射してノイズ光が発生することはな
い。また、蛍光部材の検出面以外の面に蛍光を反射させ
る反射部材が設けられている場合には、蛍光部材で発生
した蛍光は効率よく光検出器に入射する。したがって、
被検査物における孔部の有無を高感度に検出することが
できる。
【図１】第１の実施形態に係る光学的検査装置の構成図
である。
である。
【図２】第２の実施形態に係る光学的検査装置の構成図
である。
である。
【図３】第３の実施形態に係る光学的検査装置の構成図
である。
である。
【図４】第４の実施形態に係る光学的検査装置の構成図
である。
である。
１１〜１４…被検査物、２１，２２…遮光ケース、３
１，３２…ステージ、４１〜４４…光源、５１，５３…
拡散板、６１，６２…蛍光板、６３…蛍光棒、６４…蛍
光板、７１〜７４…光検出器、８２…ローラ、９１，９
２…マスク、９３，９４…パッキン。
１，３２…ステージ、４１〜４４…光源、５１，５３…
拡散板、６１，６２…蛍光板、６３…蛍光棒、６４…蛍
光板、７１〜７４…光検出器、８２…ローラ、９１，９
２…マスク、９３，９４…パッキン。
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査物における孔部を検出する光学的
検査装置であって、 照射光を出射して前記被検査物に照射する光源と、 前記被検査物を挟んで前記光源とは反対側に配され、前
記光源から出射された照射光のうち前記被検査物の孔部
を通過した照射光を入射面に入射し、その照射光の入射
に伴って蛍光を発生し、その蛍光を検出面から出射する
蛍光部材と、 前記蛍光部材の前記検出面から出射した蛍光を検出する
光検出器と、 を備えることを特徴とする光学的検査装置。 - 【請求項２】 前記光源は、発光点が線状に存在する線
光源または発光点が面状に存在する面光源であることを
特徴とする請求項１記載の光学的検査装置。 - 【請求項３】 前記光源は、発光素子が線状または面状
に配されたものであることを特徴とする請求項１記載の
光学的検査装置。 - 【請求項４】 前記光源から出射された照射光を拡散し
て前記被検査物に照射する拡散板を更に備えることを特
徴とする請求項１記載の光学的検査装置。 - 【請求項５】 前記蛍光部材の前記入射面以外の面に前
記照射光を透過させない遮光部材が設けられていること
を特徴とする請求項１記載の光学的検査装置。 - 【請求項６】 前記蛍光部材の前記検出面以外の面に前
記蛍光を反射させる反射部材が設けられていることを特
徴とする請求項１記載の光学的検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12897898A JP4213252B2 (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 光学的検査装置 |
| PCT/JP1999/006281 WO2001035084A1 (en) | 1998-05-12 | 1999-11-11 | Optical inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12897898A JP4213252B2 (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 光学的検査装置 |
| PCT/JP1999/006281 WO2001035084A1 (en) | 1998-05-12 | 1999-11-11 | Optical inspection apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326239A true JPH11326239A (ja) | 1999-11-26 |
| JP4213252B2 JP4213252B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=26440205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12897898A Expired - Lifetime JP4213252B2 (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 光学的検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4213252B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035084A1 (en) * | 1998-05-12 | 2001-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection apparatus |
| JP2008058023A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学式検査装置 |
| JP2011095119A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Ngk Insulators Ltd | 測定装置および積層体の形成方法 |
| JP2014159069A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Toyota Motor Corp | 把持装置の当接部材 |
| KR102346404B1 (ko) * | 2020-08-07 | 2022-01-03 | 주식회사 아이키 | 의료용 임플란트 치료기구 유지관리 시스템 |
-
1998
- 1998-05-12 JP JP12897898A patent/JP4213252B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035084A1 (en) * | 1998-05-12 | 2001-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection apparatus |
| US6891612B1 (en) | 1999-11-11 | 2005-05-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection device that detects holes in an object to be inspected |
| JP2008058023A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学式検査装置 |
| JP2011095119A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Ngk Insulators Ltd | 測定装置および積層体の形成方法 |
| US8359761B2 (en) | 2009-10-30 | 2013-01-29 | Ngk Insulators, Ltd. | Measuring equipment and method for forming laminated body |
| JP2014159069A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Toyota Motor Corp | 把持装置の当接部材 |
| KR102346404B1 (ko) * | 2020-08-07 | 2022-01-03 | 주식회사 아이키 | 의료용 임플란트 치료기구 유지관리 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4213252B2 (ja) | 2009-01-21 |
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