JP2008055556A - マイクロピラーアレイ素子の製造方法と製造装置並びにマイクロピラーアレイ素子 - Google Patents
マイクロピラーアレイ素子の製造方法と製造装置並びにマイクロピラーアレイ素子 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 真空容器12内にプラズマを発生させて反応性イオンを生成し、真空容器12内に設けられた被エッチング材料30を、反応性イオンによりドライエッチングする。被エッチング材料30はポリマー材料であり、ポリマー材料の表面にマイクロピラーアレイ構造に対応した所定形状のマスクを施す。酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスによる反応性イオンのプロセス圧力を0.01Pa以上0.2Pa以下の条件にして、ドライエッチングを行い、ポリマー材料に微細なピラー構造を形成する。
【選択図】図1
Description
12 真空容器
14 永久磁石
16 上蓋
18 ガス導入口
20 排気ポンプ
22 電極
24 試料ステージ
26 アンテナ
28 基板取付部
30 被エッチング材料
32 高周波電源
Claims (9)
- 真空容器内にプラズマを発生させて反応性イオンを生成し、前記真空容器内に設けられた被エッチング材料を前記反応性イオンによりドライエッチングしてマイクロピラーアレイ構造を形成するマイクロピラーアレイ素子の製造方法において、
前記被エッチング材料をポリマー材料とし、このポリマー材料の表面に前記マイクロピラーアレイ構造に対応した所定形状のマスクを施し、酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスによる反応性イオンのプロセス圧力を0.01Pa以上0.2Pa以下の条件で前記ドライエッチングを行い、前記ポリマー材料に微細なピラー構造を形成することを特徴とするマイクロピラーアレイ素子の製造方法。 - 前記真空容器は、内部に所定間隔開けて互いに対向して設けられた一対の電極を備え、前記真空容器にマイクロ波を放射し、前記真空容器を共振器としてその真空容器内で電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを発生させるプラズマ処理装置を形成し、前記真空容器内の試料ステージ電力密度を0.3W/cm2以上5W/cm2以下にすることを特徴とする請求項1記載のマイクロピラーアレイ素子の製造方法。
- 前記プラズマ処理装置の試料ステージに供給する電力の周波数を、1.0MHz以上13.56MHz以下にすることを特徴とする請求項2記載のマイクロピラーアレイ素子の製造方法。
- 前記マスク材料を、金属もしくは酸化シリコン、カーボンナイトライドによるアモルファス材料で構成することを特徴とする請求項1記載のマイクロピラーアレイ素子の製造方法。
- 真空容器内で所定間隔開けて互いに対向して設けられた一対の電極を備え、前記真空容器にマイクロ波を放射し、前記真空容器を共振器としてその真空容器内で電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを発生させるプラズマ処理装置により構成され、前記真空容器内の一方の電極側に設けられた被エッチング材料を、前記プラズマによる反応性イオンによりドライエッチングを行うマイクロピラーアレイ素子の製造装置において、
前記被エッチング材料をポリマー材料とし、このポリマー材料の表面に所定形状のマスクを施し、酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスによる反応性イオンのプロセス圧力を0.01Pa以上0.2Pa以下の条件で、前記プラズマ処理装置の電極間に高周波の電力を印加してエッチングを行い、前記ポリマー材料に前記マスクに対応した微細なピラー構造を形成することを特徴とするマイクロピラーアレイ素子の製造装置。 - 一枚のポリマー材料の基板上に形成され、高さが数μmから40μmであり直径または幅が数μmから数十μmの柱状のマイクロピラーを所定間隔で複数備え、このマイクロピラーは、上面が平滑で側面がほぼ垂直に底面から起立し、前記マイクロピラー間の底面である前記基板表面も平滑であることを特徴とするマイクロピラーアレイ素子。
- 前記マイクロピラーは、垂直性が前記ポリマー材料の基板表面に対して、88°から92°の範囲にあり、アスペクト比が1から40の範囲にあることを特徴とする請求項6記載のマイクロピラーアレイ素子。
- 前記ポリマー材料は、厚み0.3〜3mmのシート材であることを特徴とする請求項6記載のマイクロピラーアレイ素子。
- 前記マイクロピラーは、ポリマー材料の基板内に形成されたマイクロ流体チップであることを特徴とする請求項6記載のマイクロピラーアレイ素子。
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WO2023046166A1 (zh) * | 2021-09-26 | 2023-03-30 | 瑞新(福州)科技有限公司 | 细胞机械力的检测系统、方法、装置及其制备方法 |
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2006
- 2006-08-31 JP JP2006235976A patent/JP5190571B2/ja active Active
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