JP2008052875A - 潤滑膜形成方法、並びに、潤滑膜を備える摺動体、磁気記録媒体、磁気ヘッドスライダ及びハードディスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素原子に結合したOH基22を有する潤滑剤21が塗布された基板10の表面の一部のみに対して、OH基22のOH結合の振動を励起する赤外レーザ光を照射し、表面の一部のみに潤滑膜を形成させるレーザ光照射工程を備える。
【選択図】図2
Description
図1に基づき、処理対象となる基材について説明する。基材10は、他の部材と摺動などの接触をする、又は、その可能性がある摺動面Sを有するものである。基材10の材質は特に限定されない。例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン等の金属、アルミナ等の金属酸化物、アルティック(Al2O3-TiC)等のセラミック、シリコン、ガラス、炭素材料(アモルファスカーボン)等の無機材料や、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエチレンナフタレート、ポリ塩化ビニル、環状炭化水素基含有ポリオレフィンなどの高分子化合物等が挙げられる。また、これら基材表面には、NiP、NiP合金、他の合金から選ばれる1種以上の膜をスパッタリング、真空蒸着等の物理的蒸着法(PVD:physical vapor deposition)、若しくは電解メッキ等により形成することができる。もちろん、基材10が多層構造であってもよいのは言うまでもない。
X−CF2−O(−CF(CF3)−CF2−O−)m(−CF2−O−)nCF2−X (2)
X−CF2−O(−CF(CF3)−CF2−O−)mCF2−CF2−X (3)
X−CF2−CF2−O(−CF2−CF2−CF2−O−)mCF2−X (4)
続いて、上述の潤滑剤21が塗布された基板10の表面の一部のみに対して、OH基のOH結合の振動を励起すべく赤外レーザ光を照射するレーザ光照射工程について説明する。
続いて、潤滑膜30を構成する分子23以外の、基材10の表面に固定されていない潤滑剤21や、不要な副生物や異物、遊離油分等を潤滑膜30から除去(delube)する、必要に応じて行うクリーニング工程について図7に基づき説明する。
さらに、クリーニング工程後の基材10の表面に潤滑剤21を再度塗布する、必要に応じて行う、潤滑剤再塗布工程について、説明する。
続いて、上記実施形態をハードディスクに適用した場合について説明する。
次に、本実施形態に係る磁気記録媒体40について説明する。図10の部分断面図に示すように、磁気記録媒体40は、基板125上に、下地層126、磁気記録層129、保護膜127、及び、保護膜127の表面の一部に形成された潤滑膜128がこの順で積層された構造を有する。
(1)潤滑膜128が十分な耐久性を有するため、振動や衝撃等により、磁気記録媒体40が磁気ヘッドスライダ60に接触し摺動した場合に、摺動面からの潤滑膜128の脱落を十分に防止することができる。
(2)潤滑膜128が複数のドットパターンであることにより摺動面に凹凸が形成され、磁気記録媒体40と磁気ヘッドスライダ60との間の接触する可能性のある面積を減少させるため、磁気記録媒体40が磁気ヘッドスライダ60に接触した場合の摩擦と摩耗とを防止することができる。
(3)潤滑膜128が複数のドットパターンであることにより摺動面に凹凸が形成されるため、多湿下でも水滴が付着しづらい撥水効果が得られる。
(4)金子らによる日本機械学会論文集B66-644,139(2000)からも推測されるように、(3)で説明した撥水効果により、磁気記録媒体40と磁気ヘッドスライダ60との間の流動抵抗が減少するため、磁気ヘッドスライダ60の浮上安定性が得られる。
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ60について説明する。図13の模式断面図に示すように、磁気ヘッドスライダ60は、基板115上に、下地層116、保護膜117、及び、保護膜117の表面の一部に形成された潤滑膜118がこの順で積層された構造を有する。
(1)浮上時に空気流入端となるシャロー部78に不純物(磁気記録媒体40からの潤滑剤等を含む)が付着することにより起こるヘッドクラッシュを防止することができる。
(2)シャロー部78に潤滑膜118を設けることにより、エアベアリング面ABSの表面エネルギーを変化させることができ、それにより空気との摩擦抵抗が変化し、浮上姿勢のピッチ角を微調整することができる。その結果として、磁気ヘッドスライダ60の浮上安定性を向上させることができる。
(1)浮上中に負圧部となるキャビティー部79,110での不純物(磁気記録媒体40からの潤滑剤等を含む)の吸着(Fly Stiction)及びそれらの蓄積を防止することができる。
(2)キャビティー部79,110に潤滑膜を設けることにより、エアベアリング面ABSの表面エネルギーを変化させ、それにより空気との摩擦抵抗を下げることにより、キャビティー部79,110での乱流の発生を抑制し、浮上安定性を向上させることができる。
(1)磁気記録媒体40との接触する可能性のあるパッド部73,74,75の摩擦及び摩耗を防止することが可能となる。これにより、摩耗粉の発生や摩擦の低下による磁気ヘッドスライダと磁気記録ディスクとの接触によるダメージを減少させることが可能となる。
(2)スティクション(磁気記録媒体に磁気ヘッドスライダが吸着する現象)を防止することができ、磁気記録媒体40から磁気ヘッドスライダ60が離れる(Take off)ことが容易となる。
(1)浮上時に磁気記録媒体40に近づき、接触する可能性の高いセンサー部74bに潤滑膜118を設けることで、センサー部74bのダメージを軽減することができる。
(2)浮上時に空気流出端となるセンサー部74bに不純物(磁気記録媒体40からの潤滑剤等を含む)が付着することにより、磁気記録媒体40と磁気ヘッドスライダ60との間隔が狭まり、接触する問題があった。これに対し、センサー部74bに潤滑膜118を設けることにより、エアベアリング面ABSの表面エネルギーを低下させることが可能となり、スティクション(磁気記録媒体に磁気ヘッドスライダが吸着する現象)やヘッドクラッシュを防止することができる。
Co基板上に、真空下でダイアモンドライクカーボンを3nmの厚みで形成して基材とした。この潤滑剤層の一部に直径10μmの円形状の開口を複数有するフォトレジストを厚み100nmで形成した。フォトレジストとしてはノボラック樹脂を用いた。その後、潤滑剤を基材の表面に厚み1.2nm程度となるように塗布して潤滑剤層を形成した。潤滑剤としては(1)式のFomblin Zを用いた。その後、波長1.064μmのパルス赤外レーザ光(Nd−YAGレーザ)を潤滑剤層に照射した。レーザのパルス幅は0.3msとした。また、レーザ照射強度は、実施例1〜3の順に、それぞれ、9.6、11.6、13.5J/cm2とした。このようにして、潤滑膜を有するサンプル基板を得た。
潤滑剤層の一部にフォトレジストを形成する代わりに、直径100μmの円形状の開口を複数有するマスクを介してレーザを照射したこと以外は実施例2と同様にしてサンプル基板を得た。
レーザを照射しない以外は実施例1と同様にしてサンプル基板を得た。
圧子先端が直径8μmのダイヤモンドチップを用い、3.98mNの荷重で、各サンプル基板の潤滑膜(厚み約1.1nm)のスクラッチ試験を行った。そして、スクラッチ傷の深さD及び幅Wを走査型エリプソメータで測定した。結果を図19に示す。
Claims (29)
- 炭素原子に結合したOH基を有する潤滑剤が塗布された基板の表面の一部のみに対して、前記OH基のOH結合の振動を励起する赤外レーザ光を照射し、前記基材の表面の一部のみに潤滑膜を形成させるレーザ光照射工程を備える潤滑膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程では、波長0.9〜8μmの赤外レーザ光を照射する、又は、赤外レーザ光による多光子吸収により波長0.9〜8μmの赤外レーザ光に対応するエネルギーを吸収させる、請求項1に記載の潤滑膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程では、波長0.9〜1.1μm又は波長2.7〜3.0μmの赤外レーザ光を照射する、若しくは、赤外レーザ光による多光子吸収により波長0.9〜1.1μm又は波長2.7〜3.0μmの赤外光に対応するエネルギーを吸収させる、請求項1に記載の潤滑膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程では多光子吸収を行わせ、前記基材の表面、又は、前記潤滑剤のうち前記基材側の部分に前記赤外レーザ光の焦点が形成されるように前記赤外レーザ光を照射する、請求項1〜3のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記赤外レーザ光として、ホモジナイザを透過させた赤外レーザ光を用いる、請求項1〜3のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記基材の表面に塗布された前記潤滑剤の層は2nm以下の厚みとされている、請求項1〜5のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記赤外レーザ光の照射強度は、60J/cm2以下である、請求項1〜6のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記赤外レーザ光として赤外パルスレーザ光を照射し、前記赤外パルスレーザ光の強度を60J/cm2以下、パルス幅を0.1〜1ms、パルス数を1〜10、パルスの周波数を10〜50Hzとする、請求項1〜6のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程において、前記基材の表面温度を200℃以下に維持する、請求項1〜8のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記潤滑剤はフッ化有機化合物である、請求項1〜9のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記基材の表面は、炭素材料により形成されている、請求項1〜10のいずれか記載の潤滑膜形成方法。
- 前記潤滑膜は複数のドットパターンである、請求項1〜11のいずれかに記載の潤滑膜形成方法。
- 前記ドット径は0.9〜100μmである、請求項12に記載の潤滑膜形成方法。
- 前記レーザ光照射工程の後に、前記基材の表面に固定されていない潤滑剤を除去するクリーニング工程をさらに備える、請求項1〜13に記載の潤滑膜形成方法。
- 前記クリーニング工程の後に、前記基材の表面に潤滑剤を塗布する潤滑剤再塗布工程をさらに備える、請求項14に記載の潤滑膜形成方法。
- 摺動面の一部のみに潤滑膜が形成され、
前記潤滑膜を構成する分子はC−O結合を有し、
前記C−O結合のO原子は前記摺動面の原子と共有結合により結合している摺動体。 - 前記潤滑膜を構成する分子は、複数のフッ素原子を含む有機基を有する、請求項16に記載の摺動体。
- 前記摺動面は、炭素材料により形成されている、請求項16又は17に記載の摺動体。
- 前記潤滑膜は複数のドットパターンである、請求項16〜18のいずれかに記載の摺動体。
- 前記ドット径は0.9〜100μmである、請求項19に記載の摺動体。
- 前記摺動面における前記ドットパターンが存在していない部分と前記ドットパターンの表面とに、潤滑剤分子が物理吸着してなる潤滑剤層を有する、請求項19又は20に記載の摺動体。
- 前記潤滑剤層の表面において、ドットパターンが存在していない部分よりもドットパターンが存在している部分の方が突出している、請求項21に記載の摺動体。
- 請求項16〜22に記載の摺動体を備え、前記摺動体内に磁気記録層を有する磁気記録媒体。
- 前記摺動体は円板状であり、前記潤滑膜は円板状の前記摺動面のうちの、半径方向内側部、半径方向中央部、及び、半径方向外側部の少なくともいずれかの環状領域に形成されている、請求項23に記載の磁気記録媒体。
- 請求項16〜22に記載の摺動体を備え、前記摺動面に配置された磁気記録素子及び/又は磁気読取素子を有する磁気ヘッドスライダ。
- 前記摺動面には底部と、前記底部より突出した第1凸部とがあり、前記底部と前記第1凸部とのうちいずれかの表面に前記潤滑膜を備える、請求項25に記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記摺動面には底部と、前記底部より突出した第1凸部と、前記第1凸部の周囲に設けられ、かつ前記第1凸部よりも低く前記底部よりも高い第2凸部とがあり、前記第1凸部と、前記底部と、前記第2凸部とのうち少なくともいずれかの表面に前記潤滑膜を備える、請求項25に記載の磁気ヘッドスライダ。
- 前記磁気記録素子及び/又は磁気読取素子を含むセンサー部の表面に前記潤滑膜を備える、請求項25に記載の磁気ヘッドスライダ。
- 請求項23又は24に記載の磁気記録媒体と、
請求項25〜28のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダとを備えるハードディスクドライブ。
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2012053024A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Nssl Ltd | 人工汗の組成、並びに、人工汗を供給する方法及び人工汗機能を有するセンサおよびセンサ部品 |
WO2012108014A1 (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-16 | 株式会社ユーテック | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及びdlc膜 |
JP2017179509A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社神戸製鋼所 | 化成処理金属板 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0426918A (ja) * | 1990-05-19 | 1992-01-30 | Hitachi Ltd | 記録媒体 |
JPH04168622A (ja) * | 1990-11-01 | 1992-06-16 | Fujitsu Ltd | 潤滑表面とその形成方法および磁気記録媒体 |
JP2001126429A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-05-11 | Read Rite Corp | エアベアリング面及びエアベアリングの吸引と浮上姿勢の特性を制御する方法 |
JP2006070173A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Fujitsu Ltd | 潤滑剤、磁気記録媒体およびヘッドスライダ |
JP2007314637A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Tdk Corp | 潤滑膜形成方法、及び、これを用いた磁気記録媒体若しくは磁気ヘッドスライダの製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0426918A (ja) * | 1990-05-19 | 1992-01-30 | Hitachi Ltd | 記録媒体 |
JPH04168622A (ja) * | 1990-11-01 | 1992-06-16 | Fujitsu Ltd | 潤滑表面とその形成方法および磁気記録媒体 |
JP2001126429A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-05-11 | Read Rite Corp | エアベアリング面及びエアベアリングの吸引と浮上姿勢の特性を制御する方法 |
JP2006070173A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Fujitsu Ltd | 潤滑剤、磁気記録媒体およびヘッドスライダ |
JP2007314637A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Tdk Corp | 潤滑膜形成方法、及び、これを用いた磁気記録媒体若しくは磁気ヘッドスライダの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012053024A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Nssl Ltd | 人工汗の組成、並びに、人工汗を供給する方法及び人工汗機能を有するセンサおよびセンサ部品 |
WO2012108014A1 (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-16 | 株式会社ユーテック | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及びdlc膜 |
JP5838416B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2016-01-06 | 株式会社ユーテック | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2017179509A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社神戸製鋼所 | 化成処理金属板 |
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