JP2008051148A - スライド式ソレノイドバルブ - Google Patents

スライド式ソレノイドバルブ Download PDF

Info

Publication number
JP2008051148A
JP2008051148A JP2006225552A JP2006225552A JP2008051148A JP 2008051148 A JP2008051148 A JP 2008051148A JP 2006225552 A JP2006225552 A JP 2006225552A JP 2006225552 A JP2006225552 A JP 2006225552A JP 2008051148 A JP2008051148 A JP 2008051148A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow path
seal plate
slide
slide seal
solenoid valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006225552A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4712645B2 (ja
Inventor
Naoya Asai
直也 浅井
Hiroyuki Sugiura
博之 杉浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Takasago Elec Inc
Takasago Electric Inc
Original Assignee
Takasago Elec Inc
Takasago Electric Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Takasago Elec Inc, Takasago Electric Inc filed Critical Takasago Elec Inc
Priority to JP2006225552A priority Critical patent/JP4712645B2/ja
Publication of JP2008051148A publication Critical patent/JP2008051148A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4712645B2 publication Critical patent/JP4712645B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Sliding Valves (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Abstract

【課題】ポンピングボリュームがゼロになり、また、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ること。
【解決手段】スライド式ソレノイドバルブは、流路構成部材2と、流路構成部材3と、流路構成部材2と流路構成部材3との間に、流路構成部材2、3に対して摺動可能に配されるスライドシール板9であって、流路5、6、7と連通可能な流路開放孔部25と流路5、6、7を遮断可能な流路遮断壁部26、27とを有するスライドシール板9と、スライドシール板9を原点位置に保つ方向の力を常時発生するスプリング20と、通電時にスプリング20の力に打ち勝ってスライドシール板9を原点位置から摺動させるソレノイド14とを備え、スライドシール板9は、ソレノイド14への通電の有無に応じて、流路開放孔部25及び流路遮断壁部26、27により、流路5、6、7を切替える。
【選択図】図1

Description

本発明は、流路を開放及び遮断し、あるいは、流路を切替えるスライド式ソレノイドバルブに関する。
化学検査装置、環境分析装置、生命工学研究機器などの各種分析装置において、精度の向上、検査速度の向上、検体、試薬の極小化、装置の小型化などが最重要課題とされており、各種分析装置に使用される流体制御のためのソレノイドバルブに対して性能の向上が求められている。とりわけ、バルブの弁体の開閉による内部容積の変化量(ポンピングボリューム)が、検体、試薬の極小化に伴う微量な流体の制御に影響を与えており、ポンピングボリュームを極小又はゼロにすることが各種分析装置の精度向上に必要不可欠とされる。
従来、各種分析装置に使用されるソレノイドバルブは、優れた耐薬品性、小さな内部容積などを考慮して、弁の機構にダイアフラムを使用している。ダイアフラムは、流体と駆動源とを分離する隔壁を構成し、外部からスプリングなどの駆動力を受けて流路の孔を閉塞して流路を遮断するとともにソレノイドの駆動力を受けて流路の孔を開放して流路を開放する。
しかし、上記のようなダイアフラム式ソレノイドバルブは、動作時のダイアフラムの膜部の弾性変形に伴い内部容積が変化し、この内部容積の変化量(ポンピングボリューム)だけ流体が外部のポートへ押し出されるようになるため、精度などの点で問題がある。
このため、従来から、ダイアフラムの膜部の縮小化を図ることにより、ポンピングボリュームを減少させていたが、ポンピングボリュームをゼロにすることを達成することはできず、また、膜部の縮小に伴い膜部の伸縮率が増大するため、ダイアフラムの寿命が短くなるという問題があった。
また、ダイアフラム式ソレノイドバルブ以外で各種分析装置に使用されるバルブとして、スライド動作や回転動作により流路の方向を切替える多ポートバルブが知られている(例えば、特許文献1参照)。この多ポートバルブによると、ポンピングボリュームはゼロとなるが、摺動抵抗が大きいため、大きな駆動力が必要とされ、手動で駆動し、あるいはサーボモータ、ステッピングモータなどを駆動源とし、装置の大型化、高コスト化を招いていた。また、モータの制御回路として専用の電子回路を必要とする場合が多いため、さらに高コストになり、また、制御が容易ではないという問題があった。
特開2005−106286公報
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決し、ポンピングボリュームがゼロになり、また、小さな駆動力で足り、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ることができる各種分析装置に好適なスライド式ソレノイドバルブを提供することを目的とする。
本発明のスライド式ソレノイドバルブは、流路が形成された流路構成部材と、該流路構成部材の流路途中に該流路構成部材に対して摺動可能に配されるスライドシール板であって、前記流路と連通可能な流路開放孔部と前記流路を遮断可能な流路遮断壁部とを有するスライドシール板と、該スライドシール板を前進位置から原点位置まで復帰させる原点復帰手段と、前記スライドシール板を前記原点位置から前記前進位置まで摺動させるソレノイドとを備え、前記スライドシール板は、前記原点位置及び前記前進位置に応じて、前記流路開放孔部及び前記流路遮断壁部により、前記流路を開放及び遮断し、あるいは、前記流路を切替えることを特徴とする。
本発明のスライド式ソレノイドバルブによると、スライドシール板を使用したため、ポンピングボリュームをゼロにすることができる。さらに、スライドシール板を使用したため、デッドボリューム(液だまり、流路以外の余分な内部容積)をなくすことができる。また、スライドシール板は、少なくとも流路開放孔部と流路遮断壁部を備えればよいため、スライドシール板の面積を小さく抑えることによって流路構成部材に対するスライドシール板の摺動抵抗を減少させ、スライドシール板の駆動力を減少させることができる。このため、小型、低コストで制御が容易なソレノイドを駆動源として使用できるようになり、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ることができる。
ここで、原点復帰手段はソレノイドであってもよいが、スプリングを使用すると、装置の一層の小型化を図ることができる。
また、前記スライドシール板は、該スライドシール板よりも肉厚の薄い保持板の保持孔に保持されている。保持板の肉厚がスライドシール板よりも薄いため、保持板と流路構成部材とを非接触状態に保つことができ、保持板の摺動抵抗をゼロにすることができる。
また、前記保持板及び前記流路構成部材に、前記スライドシール板の原点位置、摺動後の位置及び摺動方向を規制する位置決め機構が設けられる。この位置決め機構により、流路を確実に開放及び遮断し、あるいは、流路を正確に切替えることができる。
また、前記スライドシール板は、耐薬品性、摺動抵抗の面から、フッ素樹脂、フッ素ゴム又はエチレンプロピレンゴムを材料とすることが好ましい。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブの要部側面断面図、図2は、同スライド式ソレノイドバルブの底面図、図3は、スライドシール板の動作を説明するための図1図示要部拡大図、図4は、スライドシール板が図3図示(A)の状態にあるときのスライド式ソレノイドバルブの側面断面図、図5は、スライドシール板が図3図示(B)の状態にあるときのスライド式ソレノイドバルブの側面断面図、図6は、第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブの側面断面図、図7は、スライドシール板の動作を説明するための図6図示要部拡大図をそれぞれ示す。
図1〜図5に示す第1実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブは、各種分析装置に使用される小型ソレノイドバルブであり、流路を切替える三方口弁である。
スライド式ソレノイドバルブは、流路が形成されたバルブボデー1を備える。バルブボデー1は、第1流路構成部材2と第2流路構成部材3と2枚の中板4、4とを備える。
第1流路構成部材2の内部には、分岐路を有する第1流路5が形成されている。第1流路5は、第1流路構成部材2の外側面2aに開口している。この開口部5aは、図示しない外部機器に接続される第1外側ポートを構成する。また、第1流路5は、第1流路構成部材2の内側面2b側で2つに分岐し、各分岐通路5A、5Bは第1流路構成部材2の内側面2bに開口している。これら2つの開口部5b、5cは、それぞれ、後述するスライドシール板9の流路開放孔部25に連通可能な第1内側ポート及び第2内側ポートを構成する。
第2流路構成部材3の内部には、互いに分離した第2流路6及び第3流路7が形成されている。第2流路6は、第2流路構成部材3の外側面3aに開口している。この開口部6aは、図示しない外部機器に接続される第2外側ポートを構成する。また、第2流路6は、第2流路構成部材3の内側面3bに開口している。この開口部6bは、上記第1内側ポート5bと対向しており、スライドシール板9の流路開放孔部25に連通可能な第3内側ポートを構成する。第3流路7は、第2流路構成部材3の他の外側面3cに開口している。この開口部7aは、図示しない外部機器に接続される第3外側ポートを構成する。また、第3流路7は、第2流路構成部材3の内側面3bに開口している。この開口部7bは、上記第2内側ポート5cと対向しており、スライドシール板9の流路開放孔部25に連通可能な第4内側ポートを構成する。
2枚の中板4、4は、図2に示すように、第1流路構成部材2の内側面2bと第2流路構成部材3の内側面3bとの間に、全体として1枚の平板が構成されるように固定される。2枚の中板4、4の間には、上下方向に貫通した空間8が形成されており、この空間8に、円板上のスライドシール板9と四角板状の保持板10が配される。
第1流路構成部材2と第2流路構成部材3と2枚の中板4、4は、4組のボルト11とナット12で一体に組み付けられ、バルブボデー1を構成している。
第1流路構成部材2及び第2流路構成部材3の上面には、ネジ13、13によってソレノイド14が固定されている。
ソレノイド14は、ヨークを構成する中空円筒状のケース15を備える。ケース15の上側開口部には、固定鉄心16が固定されている。ケース15の内周面には、ボビン17に巻線されたコイル18が収容されている。ボビン17の中空部には、固定鉄心16の下面と対向して可動鉄心19が上下方向へ移動可能に配されている。可動鉄心19の上面と固定鉄心16の下面との間には、可動鉄心19に対し常時下方への力を加える原点復帰手段としてのスプリング20が配されている。
可動鉄心19の下端部には、連結部材21がねじ結合されている。連結部材21は、第1、第2流路構成部材2、3と2枚の中板4、4とによって形成された有底円筒状凹部22に収容されている。
連結部材21には、保持板10がネジ23で固定されている。保持板10は、スライドシール板9を保持する円形状の保持孔24を有している。スライドシール板9は、保持孔24に接着、圧入などによって固定されている。保持板10の肉厚は、スライドシール板9の肉厚よりも小さく設定されており、保持板10の両面と第1、第2流路構成部材2、3の各内側面2b、3bとの間に隙間が形成されている。
スライドシール板9は、耐薬品性に優れ、かつ、第1、第2流路構成部材2、3に対して摺動抵抗が小さい材料からなるものであることが好ましい。このため、スライドシール板9は、四フッ化エチレン樹脂などフッ素樹脂、フッ素ゴム、又はEPDM(エチレンプロピレンゴム)が好適である。なお、フッ素ゴム、EPDMは、フッ素樹脂加工すると更に良好である。
スライドシール板9には、貫通孔25が形成されている。この貫通孔は、第1流路5の第1、第2内側ポート5b、5c及び第2、第3流路6、7の第3、第4内側ポート6b、7bと同一の開口断面形状を有し、流路開放孔部を構成している。
流路開放孔部25は、図3(A)に示すように、スライドシール板9が原点位置にあるときには、第1流路5の第1内側ポート5b及び第2流路6の第3内側ポート6bと連通状態にあり、第1流路5と第2流路6とを連通状態に保つ。このとき、スライドシール板9において、第1流路5の第2内側ポート5c及び第3流路7の第4内側ポート7bを閉塞している部位26は、第1流路5と第3流路7を遮断する第1の流路遮断壁部を構成している。
また、流路開放孔部25は、図3(B)に示すように、スライドシール板9が摺動後の位置(前進位置)にあるときには、第1流路5の第2内側ポート5c及び第3流路7の第4内側ポート7bと連通状態にあり、第1流路5と第3流路7とを連通状態に保つ。このとき、スライドシール板9において、第1流路5の第1内側ポート5b及び第2流路6の第3内側ポート6bを閉塞している部位27は、第2の流路遮断壁部を構成している。
保持板10には、図4及び図5に示すように、スライドシール板9の摺動方向(上下方向)に長い複数の位置決め孔28、28が形成されている。各位置決め孔28には、位置決めピン29が挿通されている。各位置決めピン29の両端部は、第1流路構成部材2の内側面2bと第2流路構成部材3の内側面3bにそれぞれ設けられた横穴に保持されている。スライドシール板9は、位置決め孔28の上端が位置決めピン29に当接することによって下方への移動が禁止され(図4図示の状態に対応する。)、また、位置決め孔28の下端が位置決めピン29に当接することによって上方への移動が禁止される(図5図示の状態に対応する。)。位置決め孔28及び位置決めピン29は、位置決め機構30を構成する。
次に、上記のように構成されるスライド式ソレノイドバルブの動作を説明する。
ソレノイド14のコイル18に対する通電を行わないときは、スプリング20がバネ力によって可動鉄心19を下方へ押圧し、連結部材21を介して保持板10の位置決め孔28の上端が位置決めピン29を押圧しており、スライドシール板9は、原点位置(後退位置、下端位置)にある。このため、図3(A)に示すように、スライドシール板9の流路開放孔部25は、第1流路5と第2流路6とを連通状態に保ち、また、スライドシール板9の第1の流路遮断壁部26は、第1流路5と第3流路7とを遮断状態に保っている。
ソレノイド14のコイル18に対し通電を開始すると、コイル18に磁界が発生し、可動鉄心19はスプリング20のバネ力よりも大きな磁気吸引力を固定鉄心16から受け、可動鉄心19は上方へ移動する。この可動鉄心19の移動に伴い、連結部材21及び保持板10を介してスライドシール板9が第1、第2流路構成部材2、3の内側面2b、3bに対して摺動しながら上方へ移動し、保持板10の位置決め孔28の下端が位置決めピン29に当接したとき、スライドシール板9は移動を停止し、スライドシール板9は前進位置(上端位置)に保たれる。このため、図3(B)に示すように、スライドシール板9の流路開放孔部25は、第1流路5と第3流路7とを連通状態に保ち、また、スライドシール板9の第2の流路遮断壁部27は、第1流路5と第2流路6とを遮断状態に保つ。
ソレノイド14のコイル18に対する通電を停止すると、コイル18に発生していた磁界が消失し、可動鉄心19に作用していた磁気吸引力が消失する。このため、スプリング20のバネ力により可動鉄心19は下方へ移動する。この可動鉄心19の移動に伴い、連結部材21及び保持板10を介してスライドシール板9が第1、第2流路構成部材2、3の内側面2b、3bに対して摺動しながら下方へ移動し、保持板10の位置決め孔28の上端が位置決めピン29に当接したとき、スライドシール板9は移動を停止し、スライドシール板9は原点位置(後退位置、下端位置)に戻る。このため、再び、第1流路5と第2流路6とが連通状態となり、また、第1流路5と第3流路7とが遮断状態になる。
以上説明したように、第1実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブは、第1流路5が形成された第1流路構成部材2と、第2流路6及び第3流路7が形成された第2流路構成部材3と、第1流路構成部材2と第2流路構成部材3との間に、第1、第2流路構成部材2、3に対して摺動可能に配されるスライドシール板9であって、第1、第2、第3流路5、6、7と連通可能な流路開放孔部25と第1、第2、第3流路5、6、7を遮断可能な第1、第2の流路遮断壁部26、27とを有するスライドシール板9と、スライドシール板9を前進位置から原点位置まで復帰させるスプリング(原点復帰手段)20と、スライドシール板9を原点位置から前進位置まで摺動させるソレノイド14とを備え、スライドシール板9は、原点位置及び前進位置に応じて、流路開放孔部25及び第1、第2の流路遮断壁部26、27により、第1、第2、第3流路5、6、7を切替える。
第1実施形態のスライド式ソレノイドバルブによると、スライドシール板9を使用したため、ポンピングボリュームをゼロにすることができる。さらに、スライドシール板を使用したため、デッドボリューム(液だまり、流路以外の余分な内部容積)をなくすことができる。また、スライドシール板9は、少なくとも流路開放孔部25と第1、第2の流路遮断壁部26、27を備えればよいため、スライドシール板9の面積を小さく抑えることによって第1、第2流路構成部材2、3に対するスライドシール板9の摺動抵抗を減少させ、スライドシール板9の駆動力を減少させることができる。このため、小型、低コストで制御が容易なソレノイド14を駆動源として使用できるようになり、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ることができる。
また、原点復帰手段はソレノイドであってもよいが、スプリング20を使用したため、装置の一層の小型化を図ることができる。
また、スライドシール板9は、スライドシール板9よりも肉厚の薄い保持板10の保持孔24に保持されている。保持板10の肉厚がスライドシール板9よりも薄いため、保持板10と第1、第2流路構成部材2、3とを非接触状態に保つことができ、保持板10の摺動抵抗をゼロにすることができる。
また、保持板10及び第1、第2流路構成部材2、3に、スライドシール板9の原点位置、摺動後の位置及び摺動方向を規制する位置決め機構30(位置決め孔28及び位置決めピン29)が設けられる。この位置決め機構30により、第1、第2、第3流路5、6、7を正確に切替えることができる。
図6、7に示す第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブは、各種分析装置に使用される小型ソレノイドバルブであり、流路を開放及び遮断する二方口弁である。
第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブは、主として、第1流路構成部材2の第1流路5が分岐路を有していない点、第2流路構成部材3が1つの流路つまり第2流路6のみを有し、第3流路7を有していない点、及び、第1、第2流路構成部材2、3が上記のように構成されることに伴いスライドシール板9の面積が小さい点を除いて、上述した第1実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブと同様に構成される。
次に、第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブの動作を説明する。
ソレノイド14のコイル18に対する通電を行わないときは、スプリング20がバネ力によって可動鉄心19を下方へ押圧し、連結部材21を介して保持板10の位置決め孔28(図4、5)の上端が位置決めピン29(図4、5)を押圧しており、スライドシール板9は、原点位置(後退位置、下端位置)にある。このため、図7(A)に示すように、スライドシール板9の流路開放孔部25は、第1流路5と第2流路6とを連通状態に保っている。
ソレノイド14のコイル18に対し通電を開始すると、コイル18に磁界が発生し、可動鉄心19はスプリング20のバネ力よりも大きな磁気吸引力を固定鉄心16から受け、可動鉄心19は上方へ移動する。この可動鉄心19の移動に伴い、連結部材21及び保持板10を介してスライドシール板9が第1、第2流路構成部材2、3の内側面2b、3bに対して摺動しながら上方へ移動し、保持板10の位置決め孔28(図4、5)の下端が位置決めピン29(図4、5)に当接したとき、スライドシール板9は移動を停止し、スライドシール板9は前進位置(上端位置)に保たれる。このため、図7(B)に示すように、スライドシール板9の第1の流路遮断壁部26は、第1流路5と第2流路6とを遮断状態に保つ。
ソレノイド14のコイル18に対する通電を停止すると、コイル18に発生していた磁界が消失し、可動鉄心19に作用していた磁気吸引力が消失する。このため、スプリング20のバネ力により可動鉄心19は下方へ移動する。この可動鉄心19の移動に伴い、連結部材21及び保持板10を介してスライドシール板9が第1、第2流路構成部材2、3の内側面2b、3bに対して摺動しながら下方へ移動し、保持板10の位置決め孔28(図4、5)の上端が位置決めピン29(図4、5)に当接したとき、スライドシール板9は移動を停止し、スライドシール板9は原点位置(後退位置、下端位置)に戻る。このため、再び、第1流路5と第2流路6とが連通状態になる。
以上説明したように、第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブは、第1流路5が形成された第1流路構成部材2と、第2流路流路6が形成された第2流路構成部材3と、第1流路構成部材2と第2流路構成部材3との間に、第1、第2流路構成部材2、3に対して摺動可能に配されるスライドシール板9であって、第1、第2流路5、6と連通可能な流路開放孔部25と第1、第2流路5、6を遮断可能な第1の流路遮断壁部26とを有するスライドシール板9と、スライドシール板9を前進位置から原点位置まで復帰させるスプリング(原点復帰手段)20と、スライドシール板9を原点位置から前進位置まで摺動させるソレノイド14とを備え、スライドシール板9は、原点位置及び前進位置に応じて、流路開放孔部25及び流路遮断壁部26により、第1、第2流路5、6を開放及び遮断する。
第2実施形態のスライド式ソレノイドバルブによると、第1実施形態のスライド式ソレノイドバルブと同様、ポンピングボリューム及びデッドボリュームをゼロにすることができ、また、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ることができる。
なお、本発明のスライド式ソレノイドバルブは、2方弁、3方弁だけに限定されるものではなく、他に、インジェクターユニット(水等からなるベースの一部を試料に部分置換するための6方弁)にも適用できる。
本発明の第1実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブの要部側面断面図である。 同スライド式ソレノイドバルブの底面図である。 スライドシール板の動作を説明するための図1図示要部拡大図である。 スライドシール板が図3図示(A)の状態にあるときのスライド式ソレノイドバルブの側面断面図である。 スライドシール板が図3図示(B)の状態にあるときのスライド式ソレノイドバルブの側面断面図である。 第2実施形態に係るスライド式ソレノイドバルブの側面断面図である。 スライドシール板の動作を説明するための図6図示要部拡大図である。
符号の説明
2 第1流路構成部材(流路構成部材)
3 第2流路構成部材(流路構成部材)
5 第1流路(流路)
6 第2流路(流路)
7 第3流路(流路)
9 スライドシール板
10 保持板
14 ソレノイド
20 スプリング(原点復帰手段)
24 保持孔
25 流路開放孔部
26 第1の流路遮断壁部(流路遮断壁部)
27 第2の流路遮断壁部(流路遮断壁部)
28 位置決め孔
29 位置決めピン
30 位置決め機構

Claims (5)

  1. 流路が形成された流路構成部材と、該流路構成部材の流路途中に該流路構成部材に対して摺動可能に配されるスライドシール板であって、前記流路と連通可能な流路開放孔部と前記流路を遮断可能な流路遮断壁部とを有するスライドシール板と、該スライドシール板を前進位置から原点位置まで復帰させる原点復帰手段と、前記スライドシール板を前記原点位置から前記前進位置まで摺動させるソレノイドとを備え、
    前記スライドシール板は、前記原点位置及び前記前進位置に応じて、前記流路開放孔部及び前記流路遮断壁部により、前記流路を開放及び遮断し、あるいは、前記流路を切替えることを特徴とするスライド式ソレノイドバルブ。
  2. 前記原点復帰手段はスプリングであることを特徴とする請求項1に記載のスライド式ソレノイドバルブ。
  3. 前記スライドシール板は、該スライドシール板よりも肉厚の薄い保持板の保持孔に保持されることを特徴とする請求項1又は2に記載のスライド式ソレノイドバルブ。
  4. 前記保持板及び前記流路構成部材に、前記スライドシール板の原点位置、摺動後の位置及び摺動方向を規制する位置決め機構が設けられることを特徴とする請求項3に記載のスライド式ソレノイドバルブ。
  5. 前記スライドシール板は、フッ素樹脂、フッ素ゴム又はエチレンプロピレンゴムからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のスライド式ソレノイドバルブ。
JP2006225552A 2006-08-22 2006-08-22 スライド式ソレノイドバルブ Active JP4712645B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006225552A JP4712645B2 (ja) 2006-08-22 2006-08-22 スライド式ソレノイドバルブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006225552A JP4712645B2 (ja) 2006-08-22 2006-08-22 スライド式ソレノイドバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008051148A true JP2008051148A (ja) 2008-03-06
JP4712645B2 JP4712645B2 (ja) 2011-06-29

Family

ID=39235407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006225552A Active JP4712645B2 (ja) 2006-08-22 2006-08-22 スライド式ソレノイドバルブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4712645B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8342205B2 (en) 2009-04-09 2013-01-01 Takasago Electric, Inc. Slide type valve
JP2013256976A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Saginomiya Seisakusho Inc 流量制御弁

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5150222U (ja) * 1974-10-12 1976-04-16
JPS56141467A (en) * 1980-03-19 1981-11-05 Gen Mining Union Corp Fluid control valve
JPS593369U (ja) * 1982-06-30 1984-01-10 横河電機株式会社 プロセスガスクロマトグラフ用のサンプリングバルブ
JPS61112176U (ja) * 1984-12-26 1986-07-16
JPS63112674U (ja) * 1987-01-14 1988-07-20
JPH0635755U (ja) * 1992-10-19 1994-05-13 太平洋工業株式会社 パイロット電磁弁
JP2000081154A (ja) * 1998-09-03 2000-03-21 Hitachi Ltd マイクロバルブ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5150222U (ja) * 1974-10-12 1976-04-16
JPS56141467A (en) * 1980-03-19 1981-11-05 Gen Mining Union Corp Fluid control valve
JPS593369U (ja) * 1982-06-30 1984-01-10 横河電機株式会社 プロセスガスクロマトグラフ用のサンプリングバルブ
JPS61112176U (ja) * 1984-12-26 1986-07-16
JPS63112674U (ja) * 1987-01-14 1988-07-20
JPH0635755U (ja) * 1992-10-19 1994-05-13 太平洋工業株式会社 パイロット電磁弁
JP2000081154A (ja) * 1998-09-03 2000-03-21 Hitachi Ltd マイクロバルブ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8342205B2 (en) 2009-04-09 2013-01-01 Takasago Electric, Inc. Slide type valve
JP2013256976A (ja) * 2012-06-11 2013-12-26 Saginomiya Seisakusho Inc 流量制御弁

Also Published As

Publication number Publication date
JP4712645B2 (ja) 2011-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6212463B2 (ja) 小型電磁弁
EP3153750B1 (en) Shape memory alloy actuated valve assembly
KR100497632B1 (ko) 수동조작장치가 부착된 전자밸브
US20170314699A1 (en) Device for regulating the flow of a fluid
US20160091099A1 (en) Diaphragm valve
KR20160089389A (ko) 밸브 장치
JP4712645B2 (ja) スライド式ソレノイドバルブ
US8757207B2 (en) Solenoid valve
CN108700206B (zh) 电磁式阀门装置和其应用
JP5394801B2 (ja) スライド式バルブ
JP5341433B2 (ja) 三方切換弁
JP5374029B2 (ja) スライド式ソレノイドバルブ
JP4091035B2 (ja) 方向切換弁
US20160312908A1 (en) Valve with a connecting element
JP4252512B2 (ja) 小型電磁弁
US11098824B2 (en) Fluidic valve device
JP7042820B2 (ja) 超低キャリーオーバーのソレノイド弁
CN219755419U (zh) 阀组件及电磁阀
JP2006153283A (ja) ソレノイド弁
JPH0926039A (ja) 制御弁
JPS6312293Y2 (ja)
JP2000230660A (ja) 流体圧力制御用電磁弁
CN117212505A (zh) 一种阀单元及梯度比例阀
JP2017015113A (ja) 弁装置及びそれに用いられるガスケット
KR101202184B1 (ko) 파일럿 밸브 및 그를 이용한 리버싱 밸브

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090812

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110126

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110323

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4712645

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250