JP2008049430A - ウエハーの研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリッシングヘッド部10にウエハーを固定し、研磨布が装着された回転定盤20にポリッシングヘッド部を押し付けてウエハーを研磨するウエハーの研磨方法であって、上記ポリッシングヘッド部の中心部Aにおける回転定盤の矢印Bで示す回転方向と略45度の角度をなす矢印Cで示す方向へ上記回転定盤を往復運動(揺動)させることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
ポリッシングヘッド部にウエハーを固定し、研磨布が装着された回転定盤にポリッシングヘッド部を押し付けてウエハーを研磨するウエハーの研磨方法を前提とし、
上記ポリッシングヘッド部の中心部における回転定盤の回転方向と略45度の角度をなす方向へ上記回転定盤を往復運動させることを特徴とし、
また、請求項2に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係るウエハーの研磨方法を前提とし、
回転定盤に対し相互に対称性を有する4個のポリッシングヘッド部を上記回転定盤に押し付けることを特徴とするものである。
請求項1または2に記載の発明に係るウエハーの研磨方法を前提とし、
上記ポリッシングヘッド部に複数枚のウエハーが固定されていることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1、2または3に記載の発明に係るウエハーの研磨方法を前提とし、
上記回転定盤の往復運動距離が±1mm以上であることを特徴とし、
請求項5に係る発明は、
請求項1、2、3または4に記載の発明に係るウエハーの研磨方法を前提とし、
上記回転定盤の往復運動速度がウエハーの研磨速度以上であることを特徴とするものである。
ポリッシングヘッド部の中心部における回転定盤の回転方向と略45度の角度をなす方向へ回転定盤を往復運動させるため同心円状の凹凸を発生させることなくウエハーを研磨することが可能となり、しかも、上記回転定盤に最大4組のポリッシングヘッド部を組み込むことができるため多数のウエハーを同時に研磨することが可能となる。
[比較例1]
上記回転定盤を往復運動(揺動)させない点を除き、実施例1、2、3と同一の条件で24枚のサファイア基板について1時間の片面鏡面研磨を行った後、各セラミック製円形ブロックからサファイア基板を剥離しかつ洗浄を行ってから光学的表面検査装置(Candela社製 OSA-C1)にて検査を行ったところ、処理されたサファイア基板24枚中6枚に同心円状の凹凸が確認された。
20 回転定盤
A ポリッシュヘッド部の中心部
B 回転定盤の回転方向を示す矢印
C 回転定盤の往復運動(揺動)方向を示す矢印
Claims (5)
- ポリッシングヘッド部にウエハーを固定し、研磨布が装着された回転定盤にポリッシングヘッド部を押し付けてウエハーを研磨するウエハーの研磨方法において、
上記ポリッシングヘッド部の中心部における回転定盤の回転方向と略45度の角度をなす方向へ上記回転定盤を往復運動させることを特徴とするウエハーの研磨方法。 - 回転定盤に対し相互に対称性を有する4個のポリッシングヘッド部を上記回転定盤に押し付けることを特徴とする請求項1に記載のウエハーの研磨方法。
- 上記ポリッシングヘッド部に複数枚のウエハーが固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のウエハーの研磨方法。
- 上記回転定盤の往復運動距離が±1mm以上であることを特徴とする請求項1、2または3に記載のウエハーの研磨方法。
- 上記回転定盤の往復運動速度がウエハーの研磨速度以上であることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載のウエハーの研磨方法。
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