JP2008047498A - 電子エミッタ材料および電子放出応用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素発泡体の表面にダイヤモンド粉末を吸着させた後、化学気相蒸着(CVD)処理により前記炭素発泡体上にダイヤモンドを成長させた電子エミッタ材料。また、前記ダイヤモンド粉末が、ナノダイヤ粉末である電子エミッタ材料。そして、前記電子エミッタ材料の前面に、電子引き出し用グリッド電極を設置した電子放出応用装置。
【選択図】図3
Description
図面代用電子顕微鏡写真、図3は図2に示す電子エミッタ材料表面を拡大した図面代用電子顕微鏡写真である。
ダイヤモンドをコーティングした炭素発泡体からなる電子エミッタ材料を用いた本発明の実施の形態に係る電子放出応用装置は、前記電子エミッタ材料の前面に電子引出し用グリッド電極を設置して、電子放出させるよう構成したものである。必要であれば、公知の電子ビーム収束用のレンズ機構を用いることが出来る。電子引出し用グリッド電極は、必要な放出電子密度分布に応じて、平面状、凹状、凸状の何れか乃至はこれらを組合せた形状とする。
表面が約4mm角、厚さが約3mmの長方体形状を有し、porosity(多孔度)96.5%、ポアサイズ500μm程度、密度0.05g/cm3である図1に示した炭素発泡体を、平均粒径5nm程度のナノダイヤモンド粉末1gを5mlの水に懸濁した水溶液に一昼夜浸した。この試料を取り出し、乾燥後マイクロ波CVD装置の基板支持台に置き、以下のCVD条件で1時間、ダイヤモンドの合成を行なった。この結果、図2および図3に示したように、炭素発泡体の外部、内部ともに、ほぼ均一にダイヤモンドでコーティングされた電子エミッタ材料が得られた。ダイヤモンドの粒子径は炭素発泡体の場所により異なっていたが、概ね0.5〜3μmであった。
原料ガス:メタン0.5体積%,水素99.5体積%
ガス圧 :5332Pa
ガス流量:100cc/分
基材温度:800℃
マイクロ波入力:約400W
実施例1で作製したダイヤモンドがコーティングされた炭素発泡体(電子エミッタ材料)を、カーボンテープでアルミ支持台に固定し、真空容器中に設置して、負電圧を印加出来るよう構成した。前記電子エミッタ材料より約2mm離れた位置に、金属メッシュを配置し、アース電位とした。また、前記電子エミッタ材料より約50cm離れた位置には、電子進行方向から45度傾けて蛍光板を置き、放出された電子が衝突した場合に発光するようにした。
実施例1と同様の方法で炭素発泡体にダイヤモンドを合成する際に、原料ガス中に、水素で500ppmに希釈したジボラン(B2H6)を1cc/分、水素で500ppmに希釈したフォスフィン(PH3)を1cc/分および水素で500ppmに希釈した硫化水素(H2S)を1cc/分夫々導入して、ホウ素(B)ドープ、燐(P)ドープおよび硫黄(S)ドープダイヤモンドを合成した。これらの試料について実施例2と同様な実験を行い、電子放出を確認した。
電子引出し用グリッド電極の形状を、図6(a)に示すような凹形グリッド電極3a、図6(b)に示すような凸形グリッド電極3bに変えて、実施例2と同様の電子放出実験を行なった。同一の電圧を印加した場合、前記グリッド電極が凹形グリッド電極3aの場合の方が、凸形グリッド電極3bの場合より、蛍光板の発光輝度が強かった。これは、グリッド電極が凹形の場合には、図6(a)に示すように、電界分布の影響により放出された電子ビーム5が収束する傾向を示すのに対し、グリッド電極が凸形の場合には、図6(b)に示すように、電子ビーム5が発散する傾向を示すことによると考えられる。
真空容器内において、電子源より放出された電子をターゲットに照射させる図7に示す装置を用いて、電子ビーム衝突によるX線発生の確認を行なった。直流電源6によってグリッド電極3に15kVの負電位を印加し、本発明に係る電子エミッタ材料1から電子ビーム5を放出させ、ターゲット金属(Cu)7に照射した。この結果、ターゲット金属7よりX線8が放出されていることを、ガイガーカウンタおよび放射線バッジで確認した。
本発明に係る電子エミッタ材料の前面に、電子引出し用グリッド電極と蛍光板を設置し、電子引出し用グリッドに約3.5kV以上の電圧を印加すると、蛍光板が緑色に発光した。蛍光板の材質を変えれば、自由に色を変えることも可能であり、また複数の領域に異なる蛍光材を塗布すれば、ディスプレーとしても使用可能である。また電圧を変えれば、輝度の制御も出来ることを確認した。
図8に模式的に示したように、本発明に係る電子エミッタ材料1を真空容器10内に真空封止し、電子エミッタ材料1前面に薄膜からなる電子透過窓10aを設けた。真空容器10をアース11した上、前記電子エミッタ材料1に負電位を印加した。電子引出し用グリッド電極3に5kVを印加すると、隔壁から大気中に電子5が放出されることを確認した。
炭素発泡体をダイヤモンド粉末の懸濁水に浸さないこと以外は、前記実施例1と全く同様なCVD処理を行い、前記炭素発泡体上にダイヤモンドを成長させようとしたが、炭素発泡体上に直接ダイヤモンドを合成することは出来なかった。前記処理を行なった炭素発泡体を用いて、前記実施例2と全く同様な方法により電子放出を確認したが、電子放出性能は低レベルなものであった。
1:電子エミッタ材料, 1a,1b:電子放出限界
2:支持台
3:電子引き出し用グリッド電極,3a:凹状グリッド電極,3b:凸状グリッド電極
4:負電位, 5:電子ビーム, 6:直流電源
7:ターゲット, 8:X線,
10:真空容器, 10a:電子透過窓
11:アース
Claims (10)
- 炭素発泡体の表面にダイヤモンド粉末を吸着させた後、化学気相蒸着(CVD)処理により前記炭素発泡体上にダイヤモンドを成長させたことを特徴とする電子エミッタ材料。
- 前記ダイヤモンド粉末が、ナノダイヤ粉末であることを特徴とする請求項1に記載の電子エミッタ材料。
- 前記ダイヤモンドが、連続的なダイヤモンド膜、不連続的なダイヤモンド膜乃至はダイヤモンド粒子として前記炭素発泡体上に固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電子エミッタ材料。
- 前記ダイヤモンドの膜厚乃至は粒子径が0.1〜5μmであることを特徴とする請求項3に記載の電子エミッタ材料。
- 前記ダイヤモンドが、アンドープ、ホウ素(B)ドープ、燐(P)ドープ乃至は硫黄(S)ドープされていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一つの項に記載の電子エミッタ材料。
- 前記請求項1乃至5の何れか一つの項に記載の電子エミッタ材料の前面に、電子引き出し用グリッド電極を設置したことを特徴とする電子放出応用装置。
- 前記電子引き出し用グリッド電極が、平面状、凹状および凸状の何れか乃至はこれらを組み合わせた形状を有することを特徴とする請求項6に記載の電子放出応用装置。
- 前記電子エミッタ材料から放出された電子を金属に衝突させ、X線を発生させるX線源となしたことを特徴とする請求項6または7に記載の電子放出応用装置。
- 前記電子エミッタ材料から放出された電子を蛍光体に衝突させ、光を発生させる光源となしたことを特徴とする請求項6または7に記載の電子放出応用装置。
- 前記電子エミッタ材料から放出された電子を、隔壁を透過して外部の材料表面に照射し、表面改質を行なう電子照射装置となしたことを特徴とする請求項6または7に記載の電子放出応用装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006224422A JP4783239B2 (ja) | 2006-08-21 | 2006-08-21 | 電子エミッタ材料および電子放出応用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006224422A JP4783239B2 (ja) | 2006-08-21 | 2006-08-21 | 電子エミッタ材料および電子放出応用装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008047498A true JP2008047498A (ja) | 2008-02-28 |
JP4783239B2 JP4783239B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=39181016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006224422A Expired - Fee Related JP4783239B2 (ja) | 2006-08-21 | 2006-08-21 | 電子エミッタ材料および電子放出応用装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4783239B2 (ja) |
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US9186136B2 (en) | 2009-12-09 | 2015-11-17 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
US9358011B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-06-07 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with connector plate |
US9358015B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-06-07 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with wedge plate |
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US9393024B2 (en) | 2010-02-25 | 2016-07-19 | Covidien Lp | Articulating endoscopic surgical clip applier |
US9398917B2 (en) | 2007-03-26 | 2016-07-26 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
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US9414844B2 (en) | 2008-08-25 | 2016-08-16 | Covidien Lp | Surgical clip appliers |
US9439654B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-09-13 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
US9480477B2 (en) | 2006-10-17 | 2016-11-01 | Covidien Lp | Apparatus for applying surgical clips |
US9498227B2 (en) | 2007-04-11 | 2016-11-22 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
US9526501B2 (en) | 2009-12-15 | 2016-12-27 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
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US9763668B2 (en) | 2004-10-08 | 2017-09-19 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
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US10231735B2 (en) | 2008-08-29 | 2019-03-19 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
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US10682135B2 (en) | 2008-08-29 | 2020-06-16 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
US9439654B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-09-13 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier |
US9358015B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-06-07 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with wedge plate |
US9545254B2 (en) | 2008-08-29 | 2017-01-17 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with connector plate |
US10231738B2 (en) | 2008-08-29 | 2019-03-19 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with wedge plate |
US9358011B2 (en) | 2008-08-29 | 2016-06-07 | Covidien Lp | Endoscopic surgical clip applier with connector plate |
US9186136B2 (en) | 2009-12-09 | 2015-11-17 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
US10470765B2 (en) | 2009-12-15 | 2019-11-12 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
US9526501B2 (en) | 2009-12-15 | 2016-12-27 | Covidien Lp | Surgical clip applier |
US9393024B2 (en) | 2010-02-25 | 2016-07-19 | Covidien Lp | Articulating endoscopic surgical clip applier |
US10271854B2 (en) | 2010-02-25 | 2019-04-30 | Covidien Lp | Articulating endoscopic surgical clip applier |
US11213299B2 (en) | 2010-02-25 | 2022-01-04 | Covidien Lp | Articulating endoscopic surgical clip applier |
US9737310B2 (en) | 2010-07-28 | 2017-08-22 | Covidien Lp | Articulating clip applier |
US11517322B2 (en) | 2010-07-28 | 2022-12-06 | Covidien Lp | Articulating clip applier |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110407 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110623 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110708 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |