JP2008046034A - プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁材からなるソケット28に複数本が互いに平行に直線状に所定のピッチで配設されるプローブ20において、チューブ22の軸方向と直交する断面外形を、ピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、軸方向と直交する断面積が大きくなるようにする。断面積が大きくなった分だけ導体抵抗が小さくなり、チューブ22における発熱が低減されるとともに電圧降下も小さなものとなる。そこで、ソケット28に配設するピッチを変えることなしにより大きな値の電流を流すことができる。
【選択図】 図1
Description
2つ同じピッチからなる格子状に配設されるているので、チューブ32の平面外形が正方形とされているが、これに限られず、2つ異なるピッチからなる格子状に配設されていれば、チューブ32の平面外形が長方形等の矩形とされても良い。
12、22、32、42、52 チューブ
14 プランジャー
16 スプリングコイル
18、28、38、48、58 ソケット
44、54 ピッチ方向の両側
56 内側となる部分
Claims (6)
- 導電性金属からなるチュ−ブの少なくとも一端側に、導電性金属からなるプランジャーをその先端部を外方に突出させるとともに抜け出さないようにして軸方向に突出収納自在に配設し、前記チュ−ブ内に前記プランジャーを外方に弾性付勢するスプリングコイルを縮設したプローブであって、絶縁材からなるソケットに複数本が平行に配設されるプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記複数本が直線状に配設されるピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、前記軸方向と直交する断面積が大きくなるように構成したことを特徴とするプローブ。
- 請求項1記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て格子状に複数本が配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記格子状に直交する2つのピッチ方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形に構成したことを特徴とするプローブ。
- 請求項1記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て複数本が一列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
- 請求項1記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て複数本が二列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法で前記二列の直線状の外側の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
- 請求項3記載のプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、断面円形を前記ピッチ方向の両側を平行に削った小判型として、前記ピッチ方向の寸法を短くするとともに、これよりも前記ピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
- 請求項4記載のプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、断面円形を前記ピッチ方向の両側を平行に削るとともに前記二列の直線状の内側を削った形状として、前記ピッチ方向の寸法を短するとともに、これよりも前記ピッチ方向と直交して前記二列の直線状の外側の方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223124A JP4832213B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | プローブ |
US11/889,912 US7772864B2 (en) | 2006-08-18 | 2007-08-17 | Contact probe with reduced voltage drop and heat generation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006223124A JP4832213B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008046034A true JP2008046034A (ja) | 2008-02-28 |
JP4832213B2 JP4832213B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=39112779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006223124A Active JP4832213B2 (ja) | 2006-08-18 | 2006-08-18 | プローブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7772864B2 (ja) |
JP (1) | JP4832213B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013224891A (ja) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Denso Corp | 検査装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010060527A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Yokowo Co Ltd | グランド用コンタクトプローブを有する検査ユニット |
EP2646839B1 (en) * | 2010-12-03 | 2017-08-16 | Ardent Concepts, Inc. | Compliant electrical contact and assembly |
KR102016427B1 (ko) | 2013-09-10 | 2019-09-02 | 삼성전자주식회사 | 포고 핀 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
JP6553472B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-07-31 | 株式会社ヨコオ | コンタクタ |
CN113287023A (zh) * | 2019-01-10 | 2021-08-20 | 日本电产理德股份有限公司 | 接触端子、检查治具以及检查装置 |
CN115144620A (zh) * | 2021-03-31 | 2022-10-04 | 恩普乐斯股份有限公司 | 接触探针及用于电气部件测试的插座 |
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JP2006098254A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Yokowo Co Ltd | プローブ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP0256541A3 (de) * | 1986-08-19 | 1990-03-14 | Feinmetall Gesellschaft mit beschrÀ¤nkter Haftung | Kontaktiervorrichtung |
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JP2006223124A (ja) | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Toray Ind Inc | 酵素またはタンパク質を包埋させたマイクロカプセルの製造方法およびその利用方法 |
-
2006
- 2006-08-18 JP JP2006223124A patent/JP4832213B2/ja active Active
-
2007
- 2007-08-17 US US11/889,912 patent/US7772864B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7772864B2 (en) | 2010-08-10 |
JP4832213B2 (ja) | 2011-12-07 |
US20080048702A1 (en) | 2008-02-28 |
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