JP2008034231A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 電子顕微鏡本体部と、該電子顕微鏡本体部が載置される架台筐体と、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを覆うカバー部とを備えた電子顕微鏡装置において、
   該カバー部は、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを囲むように配置された枠体と、該枠体に取り付けられたパネルとを備えて、該枠体は、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを前後から挾むようにして連結された２つの枠体部材で構成され、
   該カバー部の取り付け時に該架台筐体に対して該カバー部の該枠体の位置合わせを行なう位置合わせ手段を備え
   該位置合わせ手段は、該架台筐体と２つの該枠体部材のいずれか一方とで該枠体の位置合わせを行なう
   ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
2. 請求項１において、
   前記枠体は、前記電子顕微鏡本体部の後部と前記架台筐体の後部とを覆う一方の前記枠体部材としての後部枠体と、前記電子顕微鏡本体部の前部と前記架台筐体の前部とを覆う他方の前記枠体部材としての前部枠体とから構成され、
   前記位置合わせ手段は、前記架台筐体と該後部枠体とで前記枠体の位置合わせを行なう
   ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
3. 請求項２において、
   前記位置合わせ手段は、前記後部枠体に設けられた第１の位置合わせ手段と、前記架台筐体に設けられた第２の位置合わせ手段とから構成されたことを特徴とする電子顕微鏡装置。
4. 請求項３において、
   前記第１の位置合わせ手段は、前記後部枠体の内側に所定の間隔で配置された２つの位置決めジグで構成され、
   前記第２の位置合わせ手段は、前記架台筐体の側面で前記２つの位置決めジグと対向する位置に配置された位置決めブロックで構成され、
   前記位置決めブロックが前記２つの位置決めジグの間に配置されることで前記後部枠体の位置合わせを行なう
   ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
5. 請求項２〜４のいずれか１つにおいて、
   前記後部枠体は、４つの辺からなる四角状の上枠と、３つの辺からなるコ字状の下枠と、該上枠と該下枠とを連結する複数のポールとから構成され、該上枠と該下枠と該ポールとに分解可能であることを特徴とする電子顕微鏡装置。
6. 請求項５において、
   前記位置決めジグは、前記後部枠体の下枠に設けられ、
   前記位置決めブロックは、前記架台筐体の側面下側に設けられている
   ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
7. 請求項１または２において、
   前記位置合わせ手段は、前記架台筐体の上面に設けられた受け部材と、該受け部材に着脱可能に取り付けられた位置出しステーとから構成されたことを特徴とする電子顕微鏡装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１つにおいて、
   前記カバー部は、高さ調整を可能とする高さ調整部材を備えていることを特徴とする電子顕微鏡装置。