JPH08184529A

JPH08184529A - 光半導体の発光検査装置

Info

Publication number: JPH08184529A
Application number: JP1552995A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Oyabu; 淳大藪; Susumu Sakurai; 享櫻井
Original assignee: Rohm Co Ltd
Current assignee: Rohm Co Ltd
Priority date: 1995-01-04
Filing date: 1995-01-04
Publication date: 1996-07-16

Abstract

(57)【要約】【目的】完全に遮光し、チップの搬送路を確保できる
発光検査装置を提供する。装置を自動化工程に組み込む
ことを可能とする。遮光カバーを安価に、コンパクト化
する。【構成】スライダ１５が上死点位置のとき、ステージ
１４にＬＥＤアレイ１０を搭載し、プローブカード２６
と上側カバー２９とを取付ステー１７のセンサカバー２
０に装着する。スライダを下降させ、下死点位置で発光
測定を行う。すなわち、この位置でプローブカードから
アレイに電流を供給し、発光検査を行う。このとき、上
側カバーは下側カバー３１に嵌合し、アレイとフォトダ
イオード１２との間の光路を含む空間４０に外部光が侵
入することを完全に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は光半導体の発光検査装
置、特に光応用デバイス（ＬＥＤ、ＰＨ（プリントヘッ
ド）、ＬＤ、センサ、光結合素子等）の発光の検査を行
う発光検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の発光検査装置、例えばＬＥＤア
レイの発光検査装置としては、従来より、図１０に示す
ようなものが知られている。すなわち、発光検査装置
は、ＬＥＤアレイを位置決めするための位置決めユニッ
ト１０１と、このＬＥＤアレイの発光を測定する測定ユ
ニット１０２と、を有している。位置決めユニット１０
１のステージ１０３上にはＬＥＤアレイのベアチップ１
０４が位置決めされて搭載されている。測定ユニット１
０２は、ステージ１０３の上方でこれに対して上下動自
在に設けられている。測定ユニット１０２は、測定セン
サ１０５と、プローブカードとを有し、その上死点位置
でプローブカードの交換を行い、下死点位置でプローブ
カードでベアチップ１０４に通電して発光検査を行う。

【０００３】この発光検査では、外乱光を遮断して行う
必要がある。そして、従来装置では、上記両ユニットを
含むベースマシン全体を板金製等の１つのカバー１１０
で包囲して遮光していた。このカバー１１０は箱形であ
って、ヒンジを支点としてその全部が一体となって手動
操作によって開閉する構造であった。さらに、この装置
を自動機に適用するため、カバー１１０の一部にはＬＥ
Ｄアレイの送路用の開口１１１が形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなカバーを用いると、カバーが大きくなり、製造コス
トが高くなるという欠点があった。また、カバーが大型
であって、その開閉に大きな労力を要するという欠点が
あった。また、カバーをそのままコンパクトにしようと
すると、各ユニットの外形、寸法にカバー形状を合わせ
る必要がある。よって、カバー形状が複雑になり、ま
た、遮光が不完全になり易いという欠点がある。また、
その製作コストも高くなる。さらに、自動機の場合、カ
バーに測定物の送路用の開口を設けているため、遮光が
不完全になっているという欠点があった。

【０００５】

【発明の目的】この発明は、発光検査装置での遮光を完
全にし、かつ、ベアチップ（光半導体素子）の搬送路を
確保することができる発光検査装置を提供することを、
その目的にしている。この発明の目的は、発光検査装置
を自動化工程に組み込むことを可能とすることである。
この発明の目的は、遮光カバーを安価に得ることであ
る。この発明の目的は、遮光カバーをコンパクト化する
ことである。この発明の目的は、遮光カバーの形状を単
純化することである。この発明の目的は、発光検査装置
の遮光カバーについて開閉のための駆動系を別に付加せ
ずに、上記目的を達成することである。また、この発明
は、測定時の遮光と、発光素子のベアチップの投入、排
出とを高信頼性にて低コストで実現することを、その目
的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、発光素子を搭載した載置台と、載置台に対して接近
離隔動自在に設けられた測定部材と、測定部材に支持さ
れ、測定部材が載置台に接近したとき発光素子に対向す
る測定センサと、測定部材に支持され、測定部材が載置
台に接近したとき発光素子に対して電流を供給するプロ
ーブカードと、を有し、プローブカードから発光素子に
電流を供給して発光検査を行う光半導体の発光検査装置
において、上記発光検査時、発光素子と測定センサとの
間の光路を含む空間に外部光が侵入することを防止する
遮光カバーの少なくとも一部を、上記測定部材に取り付
けた光半導体の発光検査装置である。

【０００７】請求項２に記載の発明は、上記遮光カバー
は上側カバーと下側カバーとに分割され、上側カバーは
上記測定部材に着脱自在に取り付けられるとともに、下
側カバーは上記測定部材に取り付けられた請求項１に記
載の光半導体の発光検査装置である。

【０００８】請求項３に記載の発明は、上記プローブカ
ードは、上記上側カバーとともに上記測定部材に着脱自
在に取り付けられた請求項２に記載の光半導体の発光検
査装置である。

【０００９】

【作用】この発明に係る光半導体の発光検査装置では、
測定部材を載置台に対して接近させ、測定センサを発光
素子に対向させる。このとき、プローブカードから発光
素子に対して電流を供給して発光検査を行う。この発光
検査時、発光素子と測定センサとの間の光路を含む空間
は遮光カバーによって遮光され、外部光の侵入は防止さ
れている。この結果、確実に発光検査を行うことができ
る。また、この遮光カバーは測定部材を動かすと連動し
て上記空間を開閉する。

【００１０】例えば、上側カバーと下側カバーとをそれ
ぞれ測定部材、載置台に取り付けたため、遮光カバーは
装置全体を覆うことがなく、その形状を単純化、小型化
することができ、コストダウンとなる。同時に、搬入、
排出用の送路開口などを遮光カバーに形成する必要がな
く、その遮光も万全となる。また、プローブカードの交
換は、測定部材を例えば上昇させたときに行うこととす
る。このように遮光カバーの開閉は、測定部材の動作に
連動するため、装置の自動化に好適なものとなる。

【００１１】

【実施例】以下、この発明に係る発光検査装置の一実施
例を図面を参照して説明する。図１〜図９は一実施例に
係るＬＥＤアレイの発光検査装置を説明するためのもの
である。

【００１２】これらの図に示すように、この発光検査装
置は、ＬＥＤアレイ１０を位置決めする位置決めユニッ
ト１１と、測定センサであるフォトダイオード１２を保
持する測定ユニット１３とを有している。位置決めユニ
ット１１は、所定高さに位置するステージ１４を有して
おり、このステージ１４上にＬＥＤアレイ１０が位置決
めされて搭載される。なお、このＬＥＤアレイ１０は樹
脂封止をしていない状態、すなわちベアチップである。

【００１３】測定ユニット１３は、位置決めユニット１
１の近傍に上下動自在に支持、立設されたスライダ支持
体１５Ａと、スライダ支持体１５Ａより水平に突出した
板状のスライダ１５と、スライダ支持体１５Ａにキャッ
プスクリュ等により固定され、スライダ１５の下方であ
ってステージ１４の上方に配設された板状の取付ステー
１７と、を有している。取付ステー１７の下面には、図
７に示すように、シャフト１８と上下調整用のねじ１９
とによって円筒形状のセンサカバー２０が取り付けられ
ている。このセンサカバー２０の天板の下面中央部にフ
ォトダイオード１２が固着されている。センサカバー２
０は、上下調整用のねじ１９によって取付ステー１７に
対する高さ位置を調整可能に構成されている。なお、シ
ャフト１８にはスペーサ２１が嵌装されている。また、
シャフト１８を巻回してスプリング２２が縮設されてい
る。

【００１４】センサカバー２０の底壁の中央部には円形
の孔２３が形成されており、フォトダイオード１２はこ
の孔２３を通ってきた光をセンシングする。また、円筒
形のセンサカバー２０の側壁には円筒形状の防塵ゴム２
４が固着されてこの側壁を覆っている。防塵ゴム２４の
下端はセンサカバー２０の側壁よりわずかに下方に突出
して設けられている。防塵ゴム２４もセンサカバー２０
と一体となって上下動する構成である。

【００１５】このセンサカバー２０の下面には、カード
ホルダ２５が取り付けられている。図４に示すように、
カードホルダ２５にはプローブカード２６が水平面の前
後方向に対して着脱自在となるように取り付けられてい
る。プローブカード２６は１枚のガラスエポキシ基板で
形成され、その中央部には円形の孔２７が設けられてい
る。図３（Ａ）に示すように、プローブカード２６では
この孔２７より下方に向かって複数の短針２８が突出し
て配設され、これらの短針２８によって検査対象である
上記ベアチップ１０に電流を供給可能に構成されてい
る。

【００１６】カードホルダ２５には、プローブカード２
６の他にも、図４に示すように、さらに、遮光用の上側
カバー２９が着脱自在に取り付けられている。上側カバ
ー２９は、プローブカード２６の孔部分以外の下面をマ
スクし、プローブカード２６を通過しようとする下方か
らの光を遮光する構成である。上側カバー２９は、図３
の（Ｂ）に示すように、矩形の箱形であって、その中央
部分に矩形に形成された孔３０を有している。この上側
カバー２９の側壁は所定の高さだけ下方に向かって突出
している。

【００１７】一方、上側カバー２９の下方には、図５，
６，８に示すように、下側カバー３１が配設されてい
る。下側カバー３１は、上側カバー２９と略同形に形成
されており、上記位置決めユニット１１のステージ１４
にキャップスクリュ等で固定されている。下側カバー３
１は、図５，６に示すように、その中央部分に上記ステ
ージ１４が挿入される程度の孔３２が形成され、かつ、
その側壁には上側に開口した溝３３が形成されている。
図８に示すように、上側カバー２９が下死点に位置して
いるとき、下側カバー３０の溝３３に上側カバー２９の
側壁がはまり込みこれらの間には空間４０が形成され、
かつ、これらのカバー２９，３１によって空間４０への
外乱光の侵入を遮光する構成である。さらに、下側カバ
ー３１とステージ１４等の位置決めユニット１１との隙
間は遮光ゴム３５にてシールされている。

【００１８】次に、この発光検査装置を用いての発光検
査について説明する。まず、スライダ１５を上死点位置
に上昇させる。この結果、上側カバー２９と下側カバー
３１とは離間して測定用の空間４０は開いた状態になっ
ている。ここで、ＬＥＤアレイ１０をステージ１４上に
位置決めしてロードする。また、ＬＥＤアレイ１０に対
応したプローブカード２６を上に、上側カバー２９を下
にしてこれらを重ね合わせてカードホルダ２５に装着す
る。カードホルダ２５のクランプ機能によりプローブカ
ード２６と上側カバー２９とをスライダ１５（取付ステ
ー１７）に固定する。

【００１９】次に、スライダ１５を下死点に移動する。
この結果、上側カバー２９の側壁が溝３３にはまり込
み、上側カバー２９は下側カバー３１と一体となって光
路空間４０を密閉する。この空間４０への外乱光を遮光
する。また、このとき、防塵ゴム２４の下端面がプロー
ブカード２６上面に押しつけられ、防塵ゴム２４の下面
がプローブカード２６の上面になじむことでも同時に外
乱光を遮光する。

【００２０】そして、この空間の遮蔽と同時に、プロー
ブカード２６のプローブ２８はステージ１４上で位置決
めされたＬＥＤアレイ１０のパッドに接触し、これに任
意に設定された電流を供給する。このとき、ベアチップ
１０のステージ１４側がアースされているので、ＬＥＤ
アレイ１０は発光する。この発光をフォトダイオード１
２で測定することにより、ＬＥＤアレイ１０が正常であ
るのか、不良であるのかがテストされることとなる。な
お、プローブカード２６を透過する外乱光は、上側カバ
ー２９により遮光されている。

【００２１】以上により、この発光検査装置にあって
は、測定時、ＬＥＤアレイ１０とフォトダイオード１２
との間の空間４０は、完全に暗箱状態となり、正常な測
定ができる。

【００２２】また、プローブカード２６およびＬＥＤア
レイ１０の交換は、ステージ１５を上昇させて上死点位
置で行う。このプローブカード２６の交換は、ねじ１９
でセンサカバー２０および防塵ゴム２４を上げて行い、
測定時はスペーサ１９で規制される位置までこれを下げ
る。

【００２３】

【発明の効果】この発明によれば、発光検査装置を自動
化工程に組み込むことができ、したがって、発光検査工
程のタクトタイムを短縮することができる。また、測定
センサ、発光素子および光路を完全に遮光することがで
き、確実に測定、検査を行うことができる。また、遮光
カバーを低コストで製造することができる。また、遮光
状態を安定して維持することができる。また、この装置
ではワーク（例えばＬＥＤアレイ）の搬送、位置決め状
態が見やすい。また、遮光カバーを手動により取りはず
すという手間がかからない。そして、この場合、カバー
の開閉のための駆動系を付加する必要もない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係る発光検査装置（カバ
ー開放時）を示す斜視図である。

【図２】この発明の一実施例に係る発光検査装置（カバ
ー閉止時）を示す斜視図である。

【図３】この発明の一実施例に係るプローブカード
（Ａ）および上側カバー（Ｂ）を示す斜視図である。

【図４】この発明の一実施例に係るカードホルダへのプ
ローブカードの装着状態を示す斜視図である。

【図５】この発明の一実施例に係る下側カバーを示す斜
視図である。

【図６】この発明の一実施例に係る下側カバーとステー
ジとの状態を示す斜視図である。

【図７】この発明の一実施例に係るセンサカバー部分を
示す断面図である。

【図８】この発明の一実施例に係る上側カバーと下側カ
バーとの嵌合状態を示す断面図である。

【図９】この発明の一実施例に係る発光検査装置の主要
部分を示す斜視図である。

【図１０】従来の発光検査装置のカバーの一部を破断し
て示す斜視図である。

【符号の簡単な説明】

１０ＬＥＤアレイ（発光素子）１２フォトダイオード（測定センサ）１４ステージ（載置台）１５スライダ（測定部材）２６プローブカード２９上側カバー（遮光カバー）３１下側カバー（遮光カバー）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】発光素子を搭載した載置台と、載置台に対して接近離隔動自在に設けられた測定部材
と、測定部材に支持され、測定部材が載置台に接近したとき
発光素子に対向する測定センサと、測定部材に支持され、測定部材が載置台に接近したとき
発光素子に対して電流を供給するプローブカードと、を
有し、プローブカードから発光素子に電流を供給して発
光検査を行う光半導体の発光検査装置において、上記発光検査時、発光素子と測定センサとの間の光路を
含む空間に外部光が侵入することを防止する遮光カバー
の少なくとも一部を、上記測定部材に取り付けたことを
特徴とする光半導体の発光検査装置。
【請求項２】上記遮光カバーは上側カバーと下側カバ
ーとに分割され、上側カバーは上記測定部材に着脱自在
に取り付けられるとともに、下側カバーは上記測定部材
に取り付けられた請求項１に記載の光半導体の発光検査
装置。
【請求項３】上記プローブカードは、上記上側カバー
とともに上記測定部材に着脱自在に取り付けられた請求
項２に記載の光半導体の発光検査装置。