JP2008032705A - 放射線固体検出器 - Google Patents

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Abstract

【課題】放射線固体検出器の画素密度を向上させる。
【解決手段】放射線固体検出器10において、記録されている画像情報を画像信号として検出するための多数の信号用線状配線15aと、信号用線状配線と略直交する対向辺10b側に配設された、信号用線状配線15aと接続して信号用線状配線15aから信号を検出する信号検出手段とを備える。対向辺10bに略直行する方向に延びる信号用線状配線15aの信号検出手段との接続部15bを、対向辺10bからの距離が異なるように配設する。
【選択図】図3

Description

本発明は、画像情報を担持する放射線の照射を受けて画像情報を記録し、記録した画像情報を表す画像信号を出力する放射線固体検出器に関するものである。
今日、医療診断等を目的とする放射線撮影において、放射線を検出して得た電荷を固体検出素子の蓄電部に一旦蓄積し、蓄積した電荷を放射線画像情報を表す画像信号に変換して出力する放射線固体検出器が各種提案、実用化されている。例えば、放射線を電荷に変換する電荷生成プロセスの面からは、光変換方式の放射線固体検出器と直接変換方式の放射線固体検出器の2つの方式が提案され、また蓄積された電荷を外部に読み出す電荷読出プロセスの面からは、TFT(薄膜トランジスタ)読出方式と光読出方式の2つの方式が提案されている。
ここで、光変換方式の放射線固体検出器とは、例えば、絶縁基板上に多数の光電変換素子(固体検出素子)を行列状に形成した固体検出部(画像読取部)と、この固体検出部上に形成された蛍光体とからなるものであり、放射線が照射されることにより蛍光体から発せられた蛍光を光電変換素子で検出して得た信号電荷を光電変換素子の蓄電部(光変換方式の場合,通常は光電変換部自体が蓄電部を兼ねる)に一旦蓄積し、蓄積電荷を画像信号(電気信号)に変換して出力するものである(例えば特許文献1等)。
また、直接変換方式の放射線固体検出器とは、例えば、絶縁基板上に行列状に形成された多数の電荷収集電極と、この電荷収集電極上に形成された放射線が照射されると放射線情報を担持する電荷を発生する放射線導電体とを積層してなる固体検出部を有するものであり、放射線が照射されることにより放射線導電体内で発生した信号電荷を電荷収集電極で集めて蓄電部に一旦蓄積し、蓄積電荷を電気信号に変換して出力するものである(例えば特許文献2等)。
TFT読出方式とは、固体検出素子の蓄電部に蓄積された信号電荷を、該蓄電部と接続されたTFTを走査駆動して読み出す方式であり、光読出方式とは、固体検出素子に読取光(読取用の電磁波)を照射して読み出す方式である。
さらに、本願出願人は、特許文献3および特許文献4等において改良型直接変換方式の放射線固体検出器を提案している。改良型直接変換方式の放射線固体検出器とは、直接変換方式、かつ光読出方式のものであり、記録用の放射線に対して透過性を有する第1の導電体層、第1の導電体層を透過した記録用の放射線の照射を受けることにより光導電性(正確には放射線導電性)を呈する記録用光導電層、第1の導電体層に帯電される電荷と同極性の電荷に対しては略絶縁体として作用し、かつ、電荷と逆極性の電荷に対しては略導電体として作用する電荷輸送層、読取用の電磁波の照射を受けることにより光導電性(正確には電磁波導電性)を呈する読取用光導電層、および読取用の電磁波に対して透過性を有する第2の導電体層を、この順に積層してなるものであり、記録用光導電層と電荷輸送層との界面(蓄電部)に、画像情報を担持する信号電荷(潜像電荷)を蓄積するものである。第1の導電体層および第2の導電体層は電極として機能するものである。
上記各種方式の放射線固体検出器から出力された画像信号は、外部に出力され、後段の信号処理装置により種々の信号処理が施された後にCRT等の出力手段により可視情報等として出力される。このように、放射線固体検出器を用いることにより、被写体の放射線画像を表す画像信号を取得し、直ちに可視画像等として出力することができる。
特開平02−164067号公報 特開平01−216290号公報 特開2000−105297号公報 特開2000−162726号公報
ところで、上記の放射線固体検出器においては、放射線固体検出器と信号を検出するための回路を配設した基板とは、TAB( Tape Automated Bonding )フィルムを介して接続されている。通常、図12に示すように線状配線であるエレメント200においては、TABとの接続部201は直線状に配設されているため、エレメント200のピッチと接続部201のピッチとは同一となっている。ここで、エレメント200のピッチを狭くすることにより、放射線固体検出器の画素密度を向上させることができる。しかしながら、接続部201はその構成上エレメント200よりも幅を広くする必要があるため、エレメント200のピッチを接続部201のピッチよりも狭くすることができず、その結果、画素密度の向上には限界があった。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、放射線固体検出器の画素密度を向上させることを目的とする。
本発明による放射線固体検出器は、画像情報を担持する放射線の照射を受けて前記画像情報を記録し、記録した前記画像情報を表す画像信号を出力する放射線固体検出器であって、
前記記録されている画像情報を画像信号として検出するための多数の信号用線状配線と、
該信号用線状配線と略直交する直交辺側に配設された、該信号用線状配線と接続して該信号用線状配線から信号を検出する信号検出手段とを備え、
隣接する前記信号用線状配線における前記信号検出手段との接続部の前記直交辺からの距離が、互いに異なることを特徴とするものである。
「隣接する信号用線状配線における信号検出手段との接続部の直交辺からの距離が互いに異なる」とは、具体的には、信号用線状配線と信号検出手段との接続部を、直交辺からの距離が交互に異なる位置となるように配設する、隣接する信号用線状配線の接続部の位置を多列に配設する等の手法が挙げられる。
ここで、多数の信号用線状配線と信号検出手段との接続部の直交辺からの距離が交互に異なる場合、前記直交辺に近い位置にある接続部が、前記直交辺から遠い位置にある接続部に接続する前記信号用線状配線の延長線上にあり、前記直交辺に近い位置にある接続部に接続する前記信号用線状配線が該直交辺に近い位置にある接続部に接続するよう屈曲してなるものとしてもよい。
なお、本発明による放射線固体検出器においては、前記信号検出手段を、信号検出用の集積回路を備え、該集積回路における接続端子の列が前記直交辺に対して傾斜して配設されてなり、該接続端子が前記信号用線状配線に接続されるものとしてもよい。
また、本発明による放射線固体検出器においては、前記記録された画像情報を前記画像信号として出力するための、前記信号用線状配線と略直交する方向に延びる多数の走査用線状配線と、
該走査用線状配線と接続して前記画像信号を出力するための信号を送信する走査制御手段とを備えるものとしてもよい。
この場合、隣接する前記走査用線状配線における前記走査制御手段との接続部の該走査用線状配線と略直交する他の直交辺からの距離が、互いに異なるものとしてもよい。
「隣接する走査用線状配線における走査制御手段との接続部における該走査用線状配線と略直交する他の直交辺からの距離が互いに異なる」とは、具体的には、隣接する走査用線状配線と走査制御手段との接続部を、他の直交辺からの距離が交互に異なる位置となるように配設する、隣接する走査用線状配線の位置を多列に配設する等の手法が挙げられる。
ここで、多数の走査用線状配線と走査制御手段との接続部の他の直交辺からの距離が交互に異なる場合、前記他の直交辺に近い位置にある接続部が、前記他の直交辺から遠い位置にある接続部に接続する前記走査用線状配線の延長線上にあり、前記他の直交辺に近い位置にある接続部に接続する前記走査用線状配線が該直交辺に近い位置にある接続部に接続するよう屈曲してなるものとしてもよい。
なお、本発明による放射線固体検出器において、「略直交」とは、完全に直交する場合のみならず、90度を基準とした数度以内のずれを持って交わる状態をも含むものである。また、「略平行」とは、完全に平行な場合のみならず、数度以内のずれを持って並んでいる状態をも含むものである。
また、本発明による放射線固体検出器において、「信号用線状配線」および「走査用線状配線」は、電極がそのまま接続部まで延長されている線状の電極をも含むものである。
本発明の放射線固体検出器によれば、隣接する信号用線状配線における信号検出手段との接続部の、信号用線状配線と略直交する直交辺からの距離が互いに異なるものとなるようにしたものである。このため、接続部を直線状に一列に配設する場合と比較して、信号用線状配線の間隔を小さくすることができる。したがって、放射線固体検出器の画素密度を向上させることができる。
とくに、隣接する走査用線状配線における走査制御手段との接続部の走査用線状配線と略直交する他の直交辺からの距離が、互いに異なるものとなるようにすることにより、接続部を一列に配設する場合と比較して、走査用線状配線の間隔を小さくすることができる。したがって、放射線固体検出器の画素密度を向上させることができる。
また、信号検出用の集積回路を、信号用線状配線と略直交する直交辺に対して傾斜させて配設し、集積回路の接続端子を信号用線状配線に接続することにより、集積回路の接続端子をより多くすることができるため、信号用線状配線の増加に対応することが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施形態による放射線固体検出器の概略図である。図1に示すように第1の実施形態による放射線固体検出器10は、例えば乳房の撮影に用いられる直接変換方式かつ光読出方式の放射線固体検出器であって、画像情報を担持する記録光が照射されることによりこの画像情報を静電潜像として記録し、読取光で走査されることにより静電潜像に応じた電流を発生するものである。
図1に示すように、第1の実施形態による放射線固体検出器10はガラス基板16上に形成されており、被検体8を透過した放射線(以下記録光という)に対して透過性を有する第1導電層11、記録光の照射を受けることにより電荷を発生して導電性を呈する記録用光導電層12、第1導電層11に帯電される潜像極性電荷に対しては略絶縁体として作用し、かつ、潜像極性電荷と逆極性の輸送極性電荷に対しては略導電体として作用する電荷輸送層13、読取光の照射を受けることにより電荷を発生して導電性を呈する読取用光導電層14、読取光に対して透過性を有する第2導電層15をこの順に積層してなるものである。記録用光導電層12と電荷輸送層13との界面に蓄電部17が形成される。
第1導電層11および第2導電層15はそれぞれ電極をなすものであり、第1導電層11の電極は2次元状に平坦な平板電極とされ、第2導電層15の電極は図中斜線で示すように、記録されている画像情報を画像信号として検出するための多数のエレメント15a(信号用線状配線)が画素ピッチでストライプ状に配されたストライプ電極とされている(例えば特許公報3記載の静電記録体を参照)。なお、ここではエレメント15aは、電極がそのまま接続部まで延長されている線状の電極となっている。また、エレメント15aの配列方向が主走査方向、エレメント15aの長手方向が副走査方向に対応する。
この放射線固体検出器10のサイズは例えば長辺24cm×短辺18cmで、長辺方向が主走査方向、短辺方向が副走査方向となるように撮影を行うための撮影台内(不図示)に収容される。なお、長辺30cm×短辺24cmのものも使用可能である。
読取用露光光源部20としては、LEDチップが一列に複数並べられて構成されたライン光源と、光源から出力された光を放射線固体検出器10上で線状に照射させる光学系とからなるものを用いる。なお、光源部20を放射線固体検出器10と必要な距離を保ったままリニアモータからなる移動手段により、放射線固体検出器10のエレメント15aの長手方向、すなわち副走査方向に走査することにより放射線固体検出器10の全面の露光を行う。
図2は放射線固体検出器とプリント基板との接続態様の詳細を示す図である。図示するように、被検体に対向する被検体側辺10aと対向する対向辺10bにおいて、放射線固体検出器10の各エレメント15aがTAB( Tape Automated Bonding )フィルム32上に形成されたプリントパターン(不図示)を介してチャージアンプIC33と接続され、さらにチャージアンプIC33がTABフィルム32上に形成されたプリントパターン(不図示)を介してプリント基板31と接続されている。なお、エレメント15aは被検体側辺10aおよび対向辺10bと略直交して延在している。また、対向辺10bが本願発明の直交辺に対応する。また、本実施形態では全てのエレメント15aを1つのチャージアンプIC33に接続するのではなく、全体として数個〜数10個のチャージアンプIC33を設け、順次隣接する数本〜百本程度のエレメント15a毎に各チャージアンプIC33に接続するようにしている。
なお、チャージアンプIC33をTABフィルム32上に形成せずに、ガラス基板16上に形成する、いわゆるCOG( Chip On Glass )と呼ばれる態様としてもよい。また、プリント基板31にチャージアンプIC33を形成してもよい。
図3はTABフィルム32上におけるエレメント15aの接続部15bの配置の例を示す図である。図3に示すようにエレメント15aの接続部15bは、隣接するエレメント15aの接続部15bの対向辺10bからの距離が互いに異なるように配設されている。すなわち、接続部15bの対向辺10bからの距離が、エレメント15a毎に交互に異なるように接続部15gが配設されている。なお、図4に示すように、隣接するエレメント15aのうち、接続部15bが対向辺10bに近くなる方のエレメント15aを屈曲させて、対向辺10bに直交する線上に2つの接続部15bが並ぶようにしてもよい。
図5はTABフィルム32におけるチャージアンプIC33の配置の態様を示す図である。図5に示すようにチャージアンプIC33は、TABフィルム32上において、接続端子を有する辺が放射線固体検出器10の対向辺10bに対して傾斜して配設され、チャージアンプIC33の接続端子が接続部15bと接続している。これにより、チャージアンプIC33の長手方向を対向辺10bと平行に配設する場合と比較して、チャージアンプIC33の接続端子数を増加させることができる。
なお、チャージアンプIC33がガラス基板16またはプリント基板31上に形成される場合であっても、図5と同様に、チャージアンプIC33を放射線固体検出器10の対向辺10bに対して傾斜して配設してもよい。
図6はチャージアンプIC33、プリント基板31および高電圧電源部45の詳細、並びにこれらと放射線固体検出器10との接続態様を示すブロック図である。
高電圧電源部45は、高電圧電源40とバイアス切換手段42とが一体化された回路であり、高電圧電源40は、一旦、静電記録部10へのバイアス印加/短絡等切換えのためバイアス切換手段42を介して静電記録部10に接続されている。なお、この回路は、切換時に流れる電流の尖頭値を制限して装置の電流が集中する箇所の破壊を防ぐために、充放電過大電流を防止するように設計されている。
TABフィルム32上に設けられたチャージアンプIC33は、放射線固体検出器10の各エレメント15a毎に接続された多数のチャージアンプ33aおよびサンプルホールド(S/H)33b、各サンプルホールド33bからの信号をマルチプレクスするマルチプレクサ33cを備えている。放射線固体検出器10から流れ出す電流は各チャージアンプ33aにより電圧に変換され、電圧がサンプルホールド33bにより所定のタイミングでサンプルホールドされ、サンプルホールドされた各エレメント15aに対応する電圧がエレメント15aの配列順に切り替わるようにマルチプレクサ33cから順次出力される(主走査の一部に相当する)。マルチプレクサ33cから順次出力された信号はプリント基板31上に設けられたマルチプレクサ31cに入力され、さらに各エレメント15aに対応する電圧がエレメント15aの配列順に切り替わるようにマルチプレクサ31cから順次出力され主走査が完了する。マルチプレクサ31cから順次出力された信号はA/D変換部31aによりデジタル信号に変換され、デジタル信号がメモリ31bに格納される。
このように、第1の実施形態においては、図3または図4に示すように、互いに隣接するエレメント15aのTABフィルム32との接続部15bの位置を、放射線固体検出器10における対向辺10bからの距離が互いに異なるように配設したものである。このため、接続部15bを一列に配設する場合と比較して、エレメント15aの間隔を小さくすることができる。したがって、放射線固体検出器10の画素密度を向上させることができる。
次いで、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は上記第1の実施の形態と比較して、放射線固体検出器の方式を変更したものである。図7は第2の実施形態による放射線固体検出器の概略図、図8は放射線固体検出器とプリント基板との接続態様の詳細を示す図である。
第2の実施形態による放射線固体検出器110は、光変換方式かつTFT読出方式の放射線放射線固体検出器であり、静電潜像を読み取る際に読取光で走査する必要がなく、電気的に読み取ることができるものである。
この放射線固体検出器110は、ガラス基板111上に画像情報を担持する放射線を検出する固体検出部120が形成されたものである。
固体検出部120は、光電変換部121aと蓄電部121bとからなる固体検出素子としての光電変換素子121および蓄電部121bに蓄電した信号電荷を転送するTFTからなる転送部122が行列状に形成されたものである。なお、固体検出部120においては、配線VBに不図示の電源部からバイアス電圧が印加される。
この放射線固体検出器110のサイズは長辺24cm×短辺18cmで、長辺方向が主走査方向、短辺方向が副走査方向となるように撮影台内(不図示)に収容されている。なお、長辺30cm×短辺24cmのものも使用可能である。
図8に示すように、被検体に対向する被写体側辺110aと対向する対向辺110bにおいて、放射線固体検出器110に記録されている画像情報を画像信号として検出するための多数のエレメント(信号用線状配線)127aが、順次隣接する数本〜百本程度のエレメント127a毎にTABフィルム132上に形成されたプリントパターン(不図示)を介してプリント基板131と接続されている。なお、エレメント127aは被検体側辺110aおよび対向辺110bと略直交して延在している。また、対向辺110bが本願発明の直交辺に対応する。
また、エレメント127aの接続部127bは、上記第1の実施形態と同様に、図3に示すように隣接するエレメント127aの接続部127bの対向辺110bからの距離が互いに異なるように配設されている。なお、図4に示すように隣接するエレメント127aのうち、接続部127bが対向辺110bに近くなる方のエレメント127aを屈曲させるようにしてもよい。
また、対向辺110bと直交する直交辺110cにおいて、放射線固体検出器110のエレメント(走査用線状配線)128aが、順次隣接する数本〜百本程度のエレメント128a毎にTABフィルム135上に形成されたプリントパターン(不図示)を介してプリント基板134と接続されている。なお、エレメント128aは被検体側辺110aおよび対向辺110bと略平行に(すなわち直交辺110c,110dと略直交して)延在している。また、直交辺110cが本願発明の他の直交辺に対応する。
また、エレメント128aの接続部128bは、図9に示すように隣接するエレメント128aの接続部128bの直交辺110cからの距離が互いに異なるように配設されている。なお、上記図4と同様に隣接するエレメント128aのうち、接続部128bが辺110cに近くなる方のエレメント128aを屈曲させるようにしてもよい。
プリント基板131上には、固体検出部120から列毎にエレメント127aを介して転送された信号電荷を外部に読み出すチャージアンプ141、コンデンサ143、この両者に接続されたSW(スイッチ)144、バッファアンプ142、バッファアンプ142に接続されたSW145、主走査パルス発生器を含むシフトレジスタ149、A/D変換部(不図示)、およびメモリ(不図示)が設けられている。チャージアンプ141やコンデンサ143等は、光電変換素子121の縦列分だけ設けられている。SW144、145は主走査手段としてのシフトレジスタ149と接続されている。
また、プリント基板134上には、行毎に各TFTのゲートとエレメント128aを介して共通に接続された副走査パルス発生器148が設けられている。
この固体検出部120の放射線検出面側には不図示の蛍光体が設けられており、被検体(例えば乳房)を透過した放射線を蛍光体に照射すると、放射線の線量に応じた光が蛍光体から発せられ、放射線の線量に応じた電荷が光電変換部121aで発生し蓄電部121bに蓄電される。次に図中最上部のエレメント128aから各ライン毎に順次オン状態にして各エレメント128aに接続された転送部122をオンさせると、蓄電部121bに蓄電された電荷がライン毎(1ライン分同時に)にチャージアンプ141を通して電圧信号に変換され、コンデンサ143に転送される。コンデンサ143はバッファアンプ142を介してSW145により読み出される。そしてシフトレジスタ149がSW145を切り替えることにより並列信号の直列変換が行われてA/D変換部へ出力され、A/D変換部でA/D変換され、デジタルの画像信号としてメモリに格納される。この際、1ライン毎に、シフトレジスタ149によりSW145を順次切り換えながら、その1ライン分の画像信号をA/D変換部に出力することによって、固体検出部120内に蓄積された信号電荷のライン読出しを行う。
上記のように構成された第2の実施形態においても、第1の実施形態と同等の効果を得ることができる。
なお、上記第2の実施形態においては、TABフィルム132にはプリントパターンのみを形成しているが、第1の実施形態と同様にTABフィルム32にチャージアンプIC33を配設してもよい。この場合、上記第1の実施形態と同様にチャージアンプIC33を放射線固体検出器110の対向辺110bに対して傾斜させるようにすることが好ましい。この場合、プリント基板131上には、チャージアンプ141、バッファアンプ142、コンデンサ143、SW144,145、およびシフトレジスタ149は不要となる。なお、チャージアンプ141、バッファアンプ142、コンデンサ143、SW144,145、およびシフトレジスタ149に代えて、プリント基板131上にチャージアンプIC33を配設してもよい。
また、上記第2の実施形態においては、図10に示すように放射線固体検出器110′を2つの放射線固体検出器110A,110Bに分割して構成してもよい。なお、図10に示す放射線固体検出器110′においては、図8に示す放射線固体検出器とは異なり、エレメント127aが直交辺110c、110dと略直交し、エレメント128aが対向辺110bと略直交して延在するように配設されている。さらに、これに対応して、対向辺110bと略直交する直交辺110c,110dにおいてTABフィルム132を介してプリント基板131が接続され、対向辺110bにおいてTABフィルム135を介してプリント基板134が接続されている。
さらに、図11に示すように分割しない1つの放射線固体検出器110″に対してTABフィルム132を両側から交互に接続することもできる。この場合、接続部の密度を同じにするならば、図8および図10に示す放射線固体検出器110,110′と比較して2倍の信号線の接続が可能になる。ここで、図1に示したような光読取方式の放射線固体検出器の場合、主に信号用線状配線の密度によって得られる画像の精細度が決まる(線状の走査光の幅は信号線の間隔より十分狭くできるため)ので、本発明による接続部の態様は放射線固体検出器により得られる画像の高精細化に有利である。
一方、走査用線状配線についても、乳房撮影用の放射線固体検出器のように、被検体に対向する被写体側辺ぎりぎりまで撮像領域にするために接続部を配置できないという制約がなければ、被検体側辺およびこれに対向する辺の両側からのプリント基板の接続が可能になるため、2倍の走査用線状配線を接続できることとなる。このように、接続密度を向上させる本発明の接続形態を両側接続と併用することにより、大面積の放射線固体検出器において、従来ない高精細の画像形成が可能になる。
本発明の第1の実施形態による放射線固体検出器の概略図 放射線固体検出器とプリント基板との接続態様の詳細を示す図 TABフィルム上におけるエレメントの接続部の配置の例を示す図 TABフィルム上におけるエレメントの接続部の配置の他の例を示す図 TABフィルムにおけるチャージアンプICの配置の態様を示す図 チャージアンプIC、プリント基板および高電圧電源部の詳細、並びにこれらと放射線固体検出器との接続態様を示すブロック図 第2の実施形態による放射線固体検出器の概略図(その1) 放射線固体検出器とプリント基板との接続態様の詳細を示す図 TABフィルム上におけるエレメントの接続部の配置の例を示す図 第2の実施形態による放射線固体検出器の概略図(その2) 第2の実施形態による放射線固体検出器の概略図(その3) 従来のTABフィルム上におけるエレメントの接続部の配置の例を示す図
符号の説明
10,110,110A,110B 放射線固体検出器
15a,127a エレメント(信号用線状配線)
15b,127b,128b 接続部
31,131,134 プリント基板
32,132,135 TABフィルム
33 チャージアンプIC
128a エレメント(走査用線状配線)

Claims (8)

  1. 画像情報を担持する放射線の照射を受けて前記画像情報を記録し、記録した前記画像情報を表す画像信号を出力する放射線固体検出器であって、
    前記記録されている画像情報を画像信号として検出するための多数の信号用線状配線と、
    該信号用線状配線と略直交する直交辺側に配設された、該信号用線状配線と接続して該信号用線状配線から信号を検出する信号検出手段とを備え、
    隣接する前記信号用線状配線における前記信号検出手段との接続部の前記直交辺からの距離が、互いに異なることを特徴とする放射線固体検出器。
  2. 前記多数の信号用線状配線と前記信号検出手段との接続部の前記直交辺からの距離が、交互に異なることを特徴とする請求項1記載の放射線固体検出器。
  3. 前記直交辺に近い位置にある接続部が、前記直交辺から遠い位置にある接続部に接続する前記信号用線状配線の延長線上にあり、前記直交辺に近い位置にある接続部に接続する前記信号用線状配線が該直交辺に近い位置にある接続部に接続するよう屈曲してなることを特徴とする請求項2記載の放射線固体検出器。
  4. 前記信号検出手段が、信号検出用の集積回路を備えてなり、該集積回路における接続端子の列が前記直交辺に対して傾斜して配設され、該接続端子が前記信号用線状配線に接続されてなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の放射線固体検出器。
  5. 前記記録された画像情報を前記画像信号として出力するための、前記信号用線状配線と略直交する方向に延びる多数の走査用線状配線と、
    該走査用線状配線と接続して前記画像信号を出力するための信号を送信する走査制御手段とを備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の放射線固体検出器。
  6. 隣接する前記走査用線状配線における前記走査制御手段との接続部の該走査用線状配線と略直交する他の直交辺からの距離が、互いに異なることを特徴とする請求項5記載の放射線固体検出器。
  7. 前記多数の走査用線状配線と前記走査制御手段との接続部の前記他の直交辺からの距離が、交互に異なることを特徴とする請求項6記載の放射線固体検出器。
  8. 前記他の直交辺に近い位置にある接続部が、前記他の直交辺から遠い位置にある接続部に接続する前記走査用線状配線の延長線上にあり、前記他の直交辺に近い位置にある接続部に接続する前記走査用線状配線が該直交辺に近い位置にある接続部に接続するよう屈曲してなることを特徴とする請求項7記載の放射線固体検出器。
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