JP2008026005A - 容量式電磁流量計 - Google Patents

容量式電磁流量計 Download PDF

Info

Publication number
JP2008026005A
JP2008026005A JP2006195333A JP2006195333A JP2008026005A JP 2008026005 A JP2008026005 A JP 2008026005A JP 2006195333 A JP2006195333 A JP 2006195333A JP 2006195333 A JP2006195333 A JP 2006195333A JP 2008026005 A JP2008026005 A JP 2008026005A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal electrode
electrode
guard
measuring tube
flow meter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006195333A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4913490B2 (ja
Inventor
Koji Izumi
浩司 泉
Toshimitsu Takahashi
俊光 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2006195333A priority Critical patent/JP4913490B2/ja
Priority to AU2007274520A priority patent/AU2007274520B2/en
Priority to US12/373,768 priority patent/US7874218B2/en
Priority to PCT/JP2007/063105 priority patent/WO2008010399A1/ja
Publication of JP2008026005A publication Critical patent/JP2008026005A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4913490B2 publication Critical patent/JP4913490B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/56Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
    • G01F1/58Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
    • G01F1/584Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/56Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
    • G01F1/58Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
    • G01F1/586Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of coils, magnetic circuits, accessories therefor

Abstract

【課題】流体の付着が起こり難く、かつ流体の流れに起因する振動の影響を受けず、コンパクトで製造し易いものとする。
【解決手段】非磁性パイプ6の内側に絶縁性の樹脂ライニング7を施した測定管5を用いる。非磁性パイプ6の周面に樹脂ライニング7に達する貫通孔14を設け、この貫通孔14内に信号電極8およびガード電極9を設ける。また、貫通孔14に、信号電極8およびガード電極9の周囲を覆うように、絶縁性の振動吸収部材15を充填する。振動吸収部材15は、ゲル状の物質(例えば、シリコン樹脂)とするが、油などの液体とし、信号電極8およびガード電極9を貫通孔14内に液封するようにしてもよい。
【選択図】 図1

Description

この発明は、測定管内を流れる流体と静電容量結合する信号電極を備えた容量式電磁流量計に関するものである。
従来より、この種の容量式電磁流量計は、測定管内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルと、測定管に設けられこの測定管内を流れる流体と静電容量結合する信号電極と、この信号電極をシールドするガード電極とを有し、励磁コイルが作る磁界により測定管内を流れる流体に発生する起電力を信号電極より取り出すようにしている。なお、信号電極およびガード電極は対として、励磁コイルが作る磁界と直交する方向に設けられる。
〔従来例1〕
図5(a)に容量式電磁流量計の従来例1の要部を示す(例えば、特許文献1参照)。同図において、1はセラミックスよりなる測定管であり、2は信号電極、3は信号電極2をシールドするガード電極である。測定管1の外側には、バッファセラミックス部4が設けられ、このバッファセラミックス部4内に信号電極2およびガード電極3が設けられている。図5(b)に図5(a)におけるI−I線断面図を示す。
なお、図5には示されていないが、測定管1内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルが設けられており、この励磁コイルが作る磁界と直交する方向に、対向して2組の信号電極2およびガード電極3が設けられている。また、バッファセラミックス部4は、信号電極2およびガード電極3の熱膨張係数と測定管(セラミックス)1の熱膨張係数との中間の熱膨張係数を有している。
〔従来例2〕
図6(a)に容量式電磁流量計の従来例2の要部を示す(例えば、特許文献2参照)。同図において、5は非磁性パイプ(例えば、ステンレス製のパイプ)6の内側にPFA(フッ素樹脂)などの絶縁性の樹脂ライニング7が施された測定管、8は信号電極、9は信号電極8をシールドするガード電極である。信号電極8およびガード電極9は、樹脂ライニング7内に設けられている。図6(b)に図6(a)におけるII−II線断面図を示す。
この容量式電磁流量計においても、図5に示した容量式電磁流量計と同様、測定管5内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルが設けられており、この励磁コイルが作る磁界と直交する方向に、対向して2組の信号電極8およびガード電極9が設けられている。
〔従来例3〕
図7(a)に容量式電磁流量計の従来例3の要部を示す(例えば、特許文献3参照)。同図において、10はセラミックスよりなる測定管であり、11は測定管10に設けられた信号電極、12は信号電極11を覆うようにして設けられたガードケース(ガード電極)である。ガードケース12内にはゲル状樹脂(例えば、シリコン樹脂)13が充填されている。図7(b)に図7(a)におけるIII −III 線断面図を示す。
この容量式電磁流量計においても、図5に示した容量式電磁流量計と同様、測定管10内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルが設けられており、この励磁コイルが作る磁界と直交する方向に、対向して2組の信号電極11およびガードケース12が設けられている。
特開平7−110249号公報 米国特許第4631969号 特開2002−71408号公報
しかしながら、上述した容量式電磁流量計によると、従来例1(図5)では、セラミックスよりなる測定管1内を流体が流れ、セラミックスは、PFAなどの樹脂成形に比較し、表面粗さが粗いため、接液する流体が付着性流体である場合、セラミックス表面からの流体の付着が起こり易いという問題がある。流体付着が起こると、流量計としての出力が低下する、また長期には起電力を検出することができなくなり、出力しなくなる、というような問題が生じる。
これに対し、従来例2(図6)では、非磁性パイプ6の内側に樹脂ライニング7を施し、この樹脂ラインニング7内に信号電極8およびガード電極9を設けている。この場合、樹脂ライニングは表面粗さが細かいので、セラミックスの場合のような流体付着の問題は起こり難くなるが、樹脂ラインニングと電極の接合が不十分であることがあるため、振動による樹脂ライニングと電極の摩耗が静電気を生じ、結果として流量計の出力のふらつきを生じる、というような問題が発生する。
従来例3(図7)では、信号電極11をゲル状樹脂13で覆うことにより、測定管10を流れる流体によってガードケース12が振動しても、この振動が信号電極11の面に伝わり難いようにして、流量計の出力の安定化を図るようにしている。しかしながら、信号電極11,ゲル状樹脂13およびそれを覆うガードケース12が測定管10の外周部に大きく張り出すことになり、電磁流量計の大型化を招く、製造し難い、というような問題が生じる。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、流体の付着が起こり難く、かつ流体の流れに起因する振動の影響を受けず、コンパクトで製造し易い容量式電磁流量計を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、非磁性パイプの内側に絶縁性の樹脂ライニングが施された測定管と、この測定管内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルと、測定管に設けられこの測定管内を流れる流体と静電容量結合する信号電極と、この信号電極をシールドするガード電極とを備え、励磁コイルが作る磁界により測定管内を流れる流体に発生する起電力を信号電極より取り出す容量式電磁流量計において、励磁コイルが作る磁界と直交する方向の非磁性パイプの周面に樹脂ライニングに達する貫通孔を設け、この非磁性パイプの貫通孔内に信号電極およびガード電極を設け、この信号電極およびガード電極の周囲を覆うように非磁性パイプの貫通孔に絶縁性の振動吸収部材を充填したものである。
この発明において、測定管内を流れる流体は、非磁性パイプの内側に施された樹脂ライニングに接液する。また、信号電極およびガード電極は、非磁性パイプの周面に設けられた貫通孔、すなわち樹脂ライニングを底面とする非磁性パイプの厚み方向の空間に、絶縁性の振動吸収部材を充填した状態で設けられる。
なお、本発明において、絶縁性の振動吸収部材としては、ゲル状の物質(例えば、シリコン樹脂)を想定しているが、油などの液体としてもよい。また、信号電極とガード電極とを絶縁性のスペーサを介して一体とし、製造する際の作業性をよくするようにしてもよい。
本発明によれば、非磁性パイプの内側に樹脂ライニングを施した測定管を用いているので、測定管内を流れる流体が樹脂ライニングに接液し、流体の付着が起こり難くなる。また、本発明によれば、非磁性パイプの周面に樹脂ライニングに達する貫通孔を設け、この非磁性パイプの貫通孔内に信号電極およびガード電極を設け、この信号電極およびガード電極の周囲を覆うように絶縁性の振動吸収部材を充填するようにしているので、流体の流れに起因する振動を吸収するための構造が測定管の外側に大きく張り出すというようなことがなく、コンパクト化を図り、製造し易くすることが可能となる。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
〔実施の形態1〕
図1(a)はこの発明に係る容量式電磁流量計の一実施の形態(実施の形態1)の要部を示す図である。図1(b)は図1(a)におけるIV−IV線断面図である。図1において、図6と同一符号は図6を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
この実施の形態1では、図6に示した従来例2と同様に、非磁性パイプ6の内側にPFAなどの樹脂ライニング7が施された測定管5を使用しているが、信号電極8およびガード電極9の取り付け位置および取り付け構造が従来例2と異なっている。
従来例2では、信号電極8およびガード電極9を樹脂ライニング7内に設けていたが、この実施の形態1では、非磁性パイプ6の周面に樹脂ライニング7に達する貫通孔14を設け、この貫通孔14内に信号電極8およびガード電極9を設けている。また、貫通孔14に、信号電極8およびガード電極9の周囲を覆うように、絶縁性の振動吸収部材15を充填している。
この実施の形態1において、振動吸収部材15は、電極材質(例えば、ステンレス)との密着性がよいゲル状の物質としている。例えば、ゲル状の物質として、シリコン樹脂を使用している。シリコン樹脂は、流動性の低架橋密度の樹脂であり、振動を吸収する効果がある。
なお、測定管5内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルが設けられている点、この励磁コイルが作る磁界と直交する方向に信号電極8およびガード電極9が設けられている点は、従来例2と同じである。
この容量式電磁流量計において、測定管5内を流れる流体は、非磁性パイプ6の内側に施された樹脂ライニング7に接液する。樹脂ライニング7は表面粗さが細かいので、従来例2でも説明したように、セラミックスの場合のような流体付着の問題は起こり難くなる。
また、この容量式電磁流量計において、信号電極8およびガード電極9はその周囲が振動吸収部材15で覆われている。これにより、測定管5を流れる流体によって測定管5に振動が発生したとしても、この振動が振動吸収部材15に吸収されるものとなり、信号電極8およびガード電極9の電極表面での摩耗による静電気の発生が抑えられ、流量計の出力の安定化が図られる。
また、この容量式電磁流量計において、信号電極8およびガード電極9は、非磁性パイプ5の周面に設けられた貫通孔14、すなわち樹脂ライニング7を底面とする非磁性パイプ5の厚み方向の空間に、振動吸収部材15を充填した状態で設けられている。したがって、流体の流れに起因する振動を吸収するための構造が測定管5の外側に大きく張り出すというようなことがなく、コンパクト化が図られ、製造し易くなる。
〔実施の形態2〕
上述した実施の形態1では、振動吸収部材15をゲル状の物質としたが、振動吸収部材15はゲル状の物質に限られるものではない。実施の形態2では、図2に図1に対応する図を示すように、振動吸収部材15を油などの液体としている。図2に示した例では、貫通孔14に信号電極8およびガード電極9を設け、この信号電極8およびガード電極9が設けられた貫通孔14内に振動吸収部材15として油を充填し、この油を充填した貫通孔14を蓋16で密閉(液封)している。
〔実施の形態3〕
上述した実施の形態1,2では、信号電極8およびガード電極9を別体として設けているが、信号電極8およびガード電極9を一体として設けるようにしてもよい。
例えば、図3(a)に示すように、信号電極8の中央部にリードピン8−1を設け、ガード電極9の中央部にガイド部9−1を設け、信号電極8とガード電極9との間に第1の絶縁性スペーサ17を設けて、信号電極8のリードピン8−1にガード電極9のガイド部9−1を嵌め込むことにより、信号電極8とガード電極9とを結合する(図3(b))。そして、リードピン8−1とガイド部9−1との隙間に第2の絶縁性スペーサ18を圧入し、リードピン8−1の先端にナット19を締め付ける(図3(c))。
このようにして、絶縁性スペーサ17,18を介して一体とした信号電極8およびガード電極9を作り、これを図4に示すように、非磁性パイプ6の周面に設けられた貫通孔14内に配置し、貫通孔14内に振動吸収部材15を充填する。この場合、リードピン8−1を絶縁性の振動吸収部材15の外に露出させ、この露出したリードピン8−1から測定管5内を流れる流体に発生する起電力を取り出す。
なお、上述した実施の形態1,2,3の派生効果として、信号電極8およびガード電極9を測定管5の外部より組み付けるため、口径が小さい場合も製作が可能であるという効果が得られる。例えば、図6に示した従来例2では、信号電極8およびガード電極9を内部から組み付け、樹脂ライニング7に埋め込み成形するので、口径が小さいと信号電極8およびガード電極9を内部から装着することが不可能となる。これに対し、実施の形態1,2,3では、測定管5の口径が小さくでも、信号電極8およびガード電極9を測定管5の外側から組み付けることが可能である。また、振動吸収部材15として、比較的ステンレスとの密着性のよいFTFE樹脂(熱可塑性フッ素樹脂)などを用いてもよい。
本発明に係る容量式電磁流量計の実施の形態1の要部を示す図である。 本発明に係る容量式電磁流量計の実施の形態2の要部を示す図である。 本発明に係る容量式電磁流量計の実施の形態3において使用する絶縁性スペーサを介して一体化した信号電極およびガード電極の組立方法を説明する図である。 本発明に係る容量式電磁流量計の実施の形態3の要部を示す図である。 容量式電磁流量計の従来例1の要部を示す図である。 容量式電磁流量計の従来例2の要部を示す図である。 容量式電磁流量計の従来例3の要部を示す図である。
符号の説明
5…測定管、6…非磁性パイプ、7…樹脂ライニング、8…信号電極、8−1…リードピン、9…ガード電極、9−1…ガイド部、14…貫通孔、15…振動吸収部材、16…蓋、17…第1の絶縁性スペーサ、18…第2の絶縁性スペーサ。

Claims (2)

  1. 非磁性パイプの内側に絶縁性の樹脂ライニングが施された測定管と、この測定管内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルと、前記測定管に設けられこの測定管内を流れる流体と静電容量結合する信号電極と、この信号電極をシールドするガード電極とを備え、前記励磁コイルが作る磁界により前記測定管内を流れる流体に発生する起電力を前記信号電極より取り出す容量式電磁流量計において、
    前記非磁性パイプは、前記励磁コイルが作る磁界と直交する方向の周面に前記樹脂ライニングに達する貫通孔を備え、
    前記信号電極および前記ガード電極は、前記非磁性パイプの貫通孔内に設けられ、
    前記非磁性パイプの貫通孔には、前記信号電極および前記ガード電極の周囲を覆うように、絶縁性の振動吸収部材が充填されている
    ことを特徴とする容量式電磁流量計。
  2. 請求項1に記載された容量式電磁流量計において、
    前記信号電極と前記ガード電極とは、絶縁性のスペーサを介して一体とされている
    ことを特徴とする容量式電磁流量計。
JP2006195333A 2006-07-18 2006-07-18 容量式電磁流量計 Active JP4913490B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006195333A JP4913490B2 (ja) 2006-07-18 2006-07-18 容量式電磁流量計
AU2007274520A AU2007274520B2 (en) 2006-07-18 2007-06-29 Capacitive electromagnetic flowmeter
US12/373,768 US7874218B2 (en) 2006-07-18 2007-06-29 Capacitive electromagnetic flowmeter
PCT/JP2007/063105 WO2008010399A1 (fr) 2006-07-18 2007-06-29 Débitmètre électromagnétique capacitif

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006195333A JP4913490B2 (ja) 2006-07-18 2006-07-18 容量式電磁流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008026005A true JP2008026005A (ja) 2008-02-07
JP4913490B2 JP4913490B2 (ja) 2012-04-11

Family

ID=38956734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006195333A Active JP4913490B2 (ja) 2006-07-18 2006-07-18 容量式電磁流量計

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7874218B2 (ja)
JP (1) JP4913490B2 (ja)
AU (1) AU2007274520B2 (ja)
WO (1) WO2008010399A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014085254A (ja) * 2012-10-24 2014-05-12 Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd 超音波流量計及びこれを備える流体制御装置
JP2020186933A (ja) * 2019-05-10 2020-11-19 アズビル株式会社 容量式電磁流量計

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008111758A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Yamatake Corp 容量式電磁流量計
US8677819B2 (en) * 2011-04-18 2014-03-25 Parker-Hannifin Corporation In-line fuel properties measurement unit
KR101844211B1 (ko) 2011-12-28 2018-05-15 삼성전자주식회사 가전기기의 네트워크 시스템 및 그 네트워크 설정 방법
US9170140B2 (en) * 2012-05-04 2015-10-27 Cameron International Corporation Ultrasonic flowmeter with internal surface coating and method
DE102012221616B4 (de) 2012-11-27 2015-03-12 Siemens Aktiengesellschaft Magnetisch induktiver Durchflussmesser
US9865501B2 (en) 2013-03-06 2018-01-09 Lam Research Corporation Method and apparatus for remote plasma treatment for reducing metal oxides on a metal seed layer
US9070750B2 (en) 2013-03-06 2015-06-30 Novellus Systems, Inc. Methods for reducing metal oxide surfaces to modified metal surfaces using a gaseous reducing environment
FR3005763B1 (fr) 2013-05-17 2016-10-14 Fogale Nanotech Dispositif et procede d'interface de commande capacitive adapte a la mise en œuvre d'electrodes de mesures fortement resistives
JP6259813B2 (ja) * 2013-07-11 2018-01-10 株式会社村田製作所 樹脂多層基板、および樹脂多層基板の製造方法
US9469912B2 (en) 2014-04-21 2016-10-18 Lam Research Corporation Pretreatment method for photoresist wafer processing
US9472377B2 (en) 2014-10-17 2016-10-18 Lam Research Corporation Method and apparatus for characterizing metal oxide reduction
FR3028061B1 (fr) * 2014-10-29 2016-12-30 Fogale Nanotech Dispositif capteur capacitif comprenant des electrodes ajourees
FR3032287B1 (fr) 2015-02-04 2018-03-09 Quickstep Technologies Llc Dispositif de detection capacitif multicouches, et appareil comprenant le dispositif
US10443146B2 (en) 2017-03-30 2019-10-15 Lam Research Corporation Monitoring surface oxide on seed layers during electroplating

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166266A (ja) * 1994-12-12 1996-06-25 Yokogawa Electric Corp 容量形セラミックス電磁流量計
JPH08219834A (ja) * 1995-02-14 1996-08-30 Kimmon Mfg Co Ltd 電磁流量計
JPH08271304A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Hitachi Ltd 静電容量式電磁流量計
JP2003065815A (ja) * 2001-08-27 2003-03-05 Yokogawa Electric Corp 容量式電磁流量計
JP2004138457A (ja) * 2002-10-17 2004-05-13 Yokogawa Electric Corp 電磁流量計

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07110249A (ja) 1993-10-08 1995-04-25 Yokogawa Electric Corp 容量形電磁流量計
GB9419886D0 (en) * 1994-10-03 1994-11-16 Boc Group Plc 0 161194 GB 9419886A 031094 GB 9419886A 031094Device for monitoring deposits in a pipe or vessel
US5773723A (en) * 1995-09-29 1998-06-30 Lewis; Peter B. Flow tube liner
US5866823A (en) * 1997-05-13 1999-02-02 Hersey Measurement Company Commutating electrode magnetic flowmeter
US6973840B2 (en) * 1999-10-06 2005-12-13 Cushing Vincent J Comprehensive electromagnetic flowmeter
JP2002071408A (ja) 2000-08-31 2002-03-08 Yokogawa Electric Corp 容量形電磁流量計

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166266A (ja) * 1994-12-12 1996-06-25 Yokogawa Electric Corp 容量形セラミックス電磁流量計
JPH08219834A (ja) * 1995-02-14 1996-08-30 Kimmon Mfg Co Ltd 電磁流量計
JPH08271304A (ja) * 1995-03-30 1996-10-18 Hitachi Ltd 静電容量式電磁流量計
JP2003065815A (ja) * 2001-08-27 2003-03-05 Yokogawa Electric Corp 容量式電磁流量計
JP2004138457A (ja) * 2002-10-17 2004-05-13 Yokogawa Electric Corp 電磁流量計

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014085254A (ja) * 2012-10-24 2014-05-12 Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd 超音波流量計及びこれを備える流体制御装置
JP2020186933A (ja) * 2019-05-10 2020-11-19 アズビル株式会社 容量式電磁流量計
JP7294875B2 (ja) 2019-05-10 2023-06-20 アズビル株式会社 容量式電磁流量計

Also Published As

Publication number Publication date
AU2007274520B2 (en) 2011-01-20
AU2007274520A1 (en) 2008-01-24
WO2008010399A1 (fr) 2008-01-24
US20100011877A1 (en) 2010-01-21
US7874218B2 (en) 2011-01-25
JP4913490B2 (ja) 2012-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4913490B2 (ja) 容量式電磁流量計
KR101153658B1 (ko) 측정 장치
JP4830391B2 (ja) センサ装置の製造方法及びセンサ装置
JP2009168805A (ja) 流量計、流量計のためのシステムチップ及びその製造方法
RU2411454C2 (ru) Магнитно-индуктивный измерительный преобразователь
JP2006078417A (ja) 圧力センサ
JP2009103602A (ja) 圧力センサ
JP2008070356A (ja) サーボ型加速度計
JP4216648B2 (ja) 電磁流量計の電極構造
JP5399637B2 (ja) 電磁流量計
JP2008203117A (ja) 物理量測定モジュールおよび物理量測定器
JP2013064664A (ja) 圧力センサ
JP2011185869A (ja) フローセンサ
JP4842766B2 (ja) 容量式電磁流量計
JP2008170234A (ja) 渦電流センサのプローブ
JP3641919B2 (ja) 電磁流量計の検出部構造
JPS6166122A (ja) 電磁流量計の電極構造
JPH0225446B2 (ja)
JPH0229169B2 (ja) Denjiryuryokei
JP5648513B2 (ja) シール構造
JP3179325B2 (ja) 電磁流量計
JP2002071408A (ja) 容量形電磁流量計
JP2009243922A (ja) 電磁流量計
JPH10221133A (ja) 電磁流量計の電極構造
JP4671260B2 (ja) 電磁流量計

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090326

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120117

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120119

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4913490

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127

Year of fee payment: 3