JP2003065815A

JP2003065815A - 容量式電磁流量計

Info

Publication number: JP2003065815A
Application number: JP2001255913A
Authority: JP
Inventors: Ikumitsu Ishikawa; 郁光石川
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2001-08-27
Filing date: 2001-08-27
Publication date: 2003-03-05

Abstract

(57)【要約】【課題】検出電極の電極容量を大きくして電磁結合ノ
イズ等を減少させた容量式電磁流量計を提供する。【解決手段】測定管内に磁場を形成し、前記測定管を
流れる測定流体に接液する一対の検出電極と、前記測定
流体との間に形成される電極容量から前記測定流体の流
量を測定する容量式電磁流量計において、前記一対の検
出電極は、少なくとも前記測定流体との間に絶縁性部材
で封止した状態にしたことを特徴とする容量式電磁流量
計。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、容量式電磁流量計
に関し、特に、測定管に配置する一対の検出電極を改良
した容量式電磁流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術における容量式電磁流量計は、
図５に示すように、セラミックスパイプ等からなる絶縁
性の導管である測定管１１と、その測定管１１の外周で
あって対向する位置に設けた一対の検出電極１２Ａ，１
２Ｂと、この一対の検出電極１２Ａ，１２Ｂと直交する
方向に設けた励磁コイル１３Ａ，１３Ｂと、励磁コイル
１３Ａ，１３Ｂに励磁電流を印加して磁場Ｂｏを形成さ
せる励磁回路１４と、測定流体Ｗと一対の検出電極１２
Ａ，１２Ｂとの間に発生する静電容量の信号を受け、信
号処理して測定流体Ｗの流量信号を生成する変換部１５
とからなる。

【０００３】変換部１５は、一対の検出電極１２Ａ，１
２Ｂに接続する第１，第２の端子ＴＡ，ＴＢと、これら
の第１，第２の端子ＴＡ，ＴＢに接続する第１，第２の
前置増幅器１６Ａ，１６Ｂと、第１，第２の前置増幅器
１６Ａ，１６Ｂの出力端子に接続されている差動増幅器
１７と、差動増幅器１７の出力端子に接続されている信
号処理回路１８と、この信号処理回路１８で生成された
流量信号を出力する出力端子１９とから構成されてい
る。

【０００４】このような構成において、測定流体Ｗが測
定管１１に流れると、測定流体Ｗは磁場Ｂｏを遮る方向
に流れるため、この測定管１１の内部には測定流体Ｗの
流量に対応する起電力Ｖｄが発生する。この起電力Ｖｄ
に基づいて測定流体Ｗと一対の検出電極１２Ａ，１２Ｂ
のそれぞれとの間に静電容量Ｃａ，Ｃｂが発生し、その
静電容量Ｃａ，Ｃｂは第１，第２の前置増幅器１６Ａ，
１６Ｂの入力端子ＴＡ，ＴＢに出力される。

【０００５】第１，第２の前置増幅器１６Ａ，１６Ｂ
は、入力側が高インピーダンスであるが、これを低イン
ピーダンスに変換して差動増幅器１７に出力する。差動
増幅器１７では、第１，第２の前置増幅器１６Ａ，１６
Ｂからの信号を受け、コモンモード信号等を除去して信
号処理回路１８に出力する。

【０００６】ここで、第１，第２の前置増幅器１６Ａ，
１６Ｂは、入力側を高インピーダンスにし、出力側を低
インピーダンスにする回路構成になっており、それは図
６に示すような回路構成になっている。第１，第２の前
置増幅器１６Ａ，１６Ｂとも同一の回路構成であるの
で、その構成は第１の前置増幅器１６Ａをベースにし
て、以下説明する。

【０００７】Ｖｄは一方の検出電極１２Ａで検出される
起電力、Ｃｄは測定流体Ｗと一方の検出電極１２Ａとで
形成される静電容量である。電界効果トランジスタＱの
ゲートＧは、一端が一方の検出電極１２Ａに接続され、
更に抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６とが直列に接続された直列回路
を介して共通電位点ＣＯＭに接続されている。

【０００８】電界効果トランジスタＱのソースＳは、抵
抗Ｒ７を介して電源ＶＳＳに接続されているとともに、
演算増幅器Ｍの非反転入力端（＋）に接続されている。
また、そのドレインＤは抵抗Ｒ８を介して電源ＶＤＤに
接続されている。このような接続形態を有する電界効果
トランジスタＱはソースフォロワとして機能する。

【０００９】演算増幅器Ｍの出力端子Ｔｃは、コンデン
サＣ３を介して電界効果トランジスタＱのドレインＤに
接続され、さらにこの出力端子Ｔｃは演算増幅器Ｍの反
転入力端（−）に接続されるとともに、コンデンサＣ４
を介して抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６との接続点に接続されてい
る。これらの抵抗Ｒ５，Ｒ６及びコンデンサＣ４でブー
ストストラップ回路を構成する。

【００１０】また、抵抗Ｒ５と電界効果トランジスタＱ
は高インピーダンス回路を構成しているので、これらの
周囲はシールド板ＳＰで覆われ、このシールド板ＳＰは
出力端子Ｔｃに接続され、互いに同電位に保持されてい
る。

【００１１】このような構成において、電界効果トラン
ジスタＱはソースフォロワとして機能しているため、電
界効果トランジスタＱの順方向アドミッタンスｇｎとす
れば、その増幅度は、ｇｎ／（（１／Ｒ７）＋ｇｎ）と
なり、抵抗Ｒ７を大きくとることにより、ほぼ１とな
る。このため、電界効果トランジスタＱと演算増幅器Ｍ
とを結合した合成の増幅度はほぼ１となるので、演算増
幅器Ｍの出力端子Ｔｃと電界効果トランジスタＱのゲー
トＧとは同電位となる。

【００１２】ここでコンデンサＣ３は、演算増幅器Ｍの
出力端子Ｔｃと電界効果トランジスタＱのドレインＤと
の間に接続されているので、これらの間は交流的に同一
電位に保持されている。従って、電界効果トランジスタ
ＱのゲートＧとドレインＤの電位はほぼ同一になってい
るので、この間には容量Ｃは形成されない、また、電界
効果トランジスタＱはソースフォロワとして機能してい
るので、そのゲートＧとソースＳとの間は交流的にほぼ
同電位になっており、これらの間にも電極容量Ｃは形成
されない。このため、これらを総合すると電界効果トラ
ンジスタＱの入力容量は除去されることになる。

【００１３】また、ゲートＧと共通電位点ＣＯＭとの間
に接続されている抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６との接続点にはコ
ンデンサＣ４を介して演算増幅器Ｍの出力端の電圧が印
加されているので、抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６の接続点は実質
的にゲートＧの電位になっており、抵抗Ｒ５には電流が
流れない。従って、一方の検出電極１２Ａ側から電界効
果トランジスタＱ側をみたインピーダンスは無限大とな
るのである。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術で説明した容量式電磁流量計においては、測定管とな
るセラミックスパイプの外側に一対の検出電極を形成し
ている。このため、パイプの強度を得るために、肉厚が
厚くなってしまい、大きな電極容量（静電容量）を得る
ために、検出電極の面積を大きくする必要があった。ま
た、それでも電極容量は数十ｐＦ程度しか得ることがで
きないため、信号源インピーダンスが大きくなり、電磁
結合ノイズ及び静電結合ノイズの影響を受け易いという
問題があった。また、セラミックスパイプを使用するこ
とで、非常にコストが高くなるという問題もある。

【００１５】更に詳しく検討するに、従来の一対の検出
電極１２Ａ，１２Ｂと測定流体との間で得られる電極容
量が数十ｐＦ程度であることの問題点について検討す
る。

【００１６】先ず、容量式電磁流量計の場合、電極容量
が数十ｐＦ（１０ｐＦ）で、励磁周波数が数十〜数百Ｈ
ｚ程度なので、この電極部分だけのインピーダンスだけ
でも、数十から数百ＭΩと非常に高いインピーダンスを
持つことになる。このため、信号源インピーダンスは高
くなり、図６に示すブーストストラップ回路を備えた入
力アンプが必要になる。

【００１７】ここで、図６に示すブーストストラップ回
路を備えた入力アンプにおいて、高インピーダンスを確
保するために、抵抗Ｒ５の値は、数ＧΩオーダーにな
る。問題となってくるのは、抵抗Ｒ５に電流を流さなく
するために数ＧΩオーダーにすることにより発生する、
抵抗Ｒ５からの熱雑音による電圧Ｖｎである。この熱雑
音による電圧Ｖｎは次の式１により求めることができ
る。

【００１８】

【数１】

【００１９】この式１に、例えば、抵抗Ｒ５＝３０００ＧΩ 温度Ｔ＝２７℃（３００Ｋ）としたとき、熱雑音による電圧Ｖｎ＝６．８μＶ／√Ｈ
ｚとなる。

【００２０】一般的に、容量式電磁流量計の測定流体に
発生する１ｍ／ｓあたりの信号起電力による電圧Ｖｄは
２００μＶ程度なので、この抵抗Ｒ５の熱雑音だけで
３．４％の出力揺動を生じてしまう。

【００２１】しかしながら、この抵抗Ｒ５による熱雑音
による電圧Ｖｎは、図７に示す等価回路及び図８に示す
ローパスフィルタの信号のグラフを参考にして説明する
と、一対の検出電極と測定流体との間に発生する電極容
量（静電容量）Ｃｄと抵抗Ｒ５とで一種のローパスフィ
ルタＬＰＦの機能を有し、電極容量Ｃｄと抵抗Ｒ５で作
成する時定数よりも高い周波数の成分のノイズは減衰す
ることになる。

【００２２】このローパスフィルタＬＰＦのカットオフ
周波数に基づく、従来の構成による電極容量Ｃｄと、ロ
ーパスフィルタが大きくなった場合についての電極容量
Ｃｄとを比較すると、次の表１のようになる。

【００２３】

【表１】

【００２４】この表１の示すことは、一対の検出電極１
２Ａ、１２Ｂの電極容量Ｃｄが大きい方がローパスフィ
ルタＬＰＦのカットオフ周波数は小さくなり、上記図８
に示すローパスフィルタＬＰＦの特性のように熱雑音に
よる電圧Ｖｎの減衰量は大きくなる。故に、一対の検出
電極が形成する電極容量は大きいほうが望ましいのであ
る。

【００２５】例えば、励磁周波数を１００Ｈｚとしたと
きの図６に示す回路における電極容量による熱雑音によ
る電圧Ｖｎを比較すると、下記の式２より、表２に示す
ようになる。

【００２６】

【数２】

【００２７】

【表２】

【００２８】この表２が意味することは、抵抗Ｒ５によ
る熱雑音による電圧Ｖｎの影響は、電極容量が大きいほ
ど小さくなることを示している。従って、一対の検出電
極で形成される電極容量を従来の電極容量よりも大きく
とることで入力アンプの高抵抗による熱雑音の影響を小
さくすることができるのである。

【００２９】従って、測定管をセラミックスパイプにし
てその外周に検出電極を配置した構造の容量式電磁流量
計では、容量電極を大きくすることには限界があり、ま
た、従来の樹脂ライニングで形成した電磁流量計をベー
スとした場合でも、一対の検出電極で形成される容量電
極を大きくすることができるように電極の構造に解決し
なければならない課題を有する。

【００３０】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成する本発
明の容量式電磁流量計は、次の通りである。（１）測定管内に磁場を形成し、前記測定管を流れる測
定流体に接液する一対の検出電極と、前記測定流体との
間に形成される電極容量から前記測定流体の流量を測定
する容量式電磁流量計において、前記一対の検出電極
は、少なくとも前記測定流体との間に絶縁性部材で封止
した状態にしたことを特徴とする容量式電磁流量計。（２）前記絶縁性部材はセラミックスであるとともに、
前記絶縁性部材の封止は、セラミックスコーティングま
たはセラミックス溶射によるセラミックスコートである
ことを特徴とする（１）記載の容量式電磁流量計。（３）前記絶縁性部材で封止した前記一対の検出電極の
外側に、導電性のドライブシールドケースを備えたこと
を特徴とする（１）記載の容量式電磁流量計。（４）前記一対の検出電極に所定電圧を印加し、前記測
定流体を媒体にして流れる電流を検出することにより、
前記絶縁性部材による封止の状態を検出する磨耗検出手
段を備えたことを特徴とする（３）記載の容量式電磁流
量計。（５）測定管内に磁場を形成し、前記測定管を流れる測
定流体に接液する一対の検出電極と、前記測定流体との
間に形成される電極容量から前記測定流体の流量を測定
する容量式電磁流量計において、前記測定管をセラミッ
クスパイプとし、前記一対の検出電極をその先端部部が
前記測定流体に臨むように配置し、前記一対の検出電極
を含む前記測定管の内面にセラミック溶射によるセラミ
ックスコートを形成したことを特徴とする容量式電磁流
量計。（６）前記一対の検出電極は、その周囲に絶縁部材を備
え、更にその周囲に導電性チューブを備えた構造とする
ことを特徴とする（５）記載の容量式電磁流量計。

【００３１】このように、測定管は樹脂ライニングのも
のを使用するようにすると、セラミックスで形成するよ
りも低価格で作成するとともに、一対の検出電極は絶縁
性部材（セラミックス）で封止して容量電極として容量
値を大きくしたことにより、信号源インピーダンスが小
さくなり、電磁結合ノイズ及び静電結合ノイズの影響が
受けにくい容量式電磁流量計を実現できる。

【００３２】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る容量式電磁流
量計の実施形態について図面を参照して説明する。尚、
従来技術で説明した図６に示す入力アンプと同じものを
使用するため、その説明は省略し、その他同じものには
同一符号を付与して説明する。

【００３３】本願発明に係る第１の実施形態の容量式電
磁流量計は、図１に示すように、樹脂ライニングからな
る測定管に配置した一対の検出電極に改良を加えたもの
である。尚、一対の検出電極は、両者ともに同一構成で
あるので一方の検出電極を参照して説明する。

【００３４】その検出電極の構成を説明する。検出電極
は、樹脂等のライニング１０１ａを備える測定管１０１
内に形成される磁場により発生する、測定流体Ｗの流量
に対応した電圧を検出する。具体的には、測定流体Ｗに
接液した状態で形成される一方の検出電極１０２と、測
定流体Ｗとの間に形成される静電容量（電極容量）を検
出して測定流体Ｗの流量を測定する構成であり、測定管
１０１に設けた電極固定部１０３と、この電極固定部１
０３に螺合して係合係止される電極キャップ１０４とか
らなる。尚、電極キャップ１０４と電極固定部１０３と
の係合係止は、螺合構造に限定されることなく、例え
ば、圧入により係止等の構造でもよく、これらに限定さ
れない。

【００３５】電極キャップ１０４は、電極固定部１０３
に螺合する内部が空洞のキャップを形成し、そのキャッ
プ内部の中心位置に検出電極１０２を配置し、キャップ
の内周面に接合するようにドライブシールドケース１０
５を備え、検出電極１０２とドライブシールドケース１
０５との間にセラミックスで充填して封止したセラミッ
クスコート１０６を設けた構造となっている。

【００３６】このセラミックスで充填したセラミックス
コート１０６は、検出電極１０２を絶縁性部材で封止し
た状態とし、この検出電極１０２は、この絶縁性部在で
あるセラミックスを介して測定流体Ｗと接液するため、
その分電極容量面積を広くすることができる構成とな
る。この検出電極１０２のセラミックスでの封止は、セ
ラミックスコーティング若しくはセラミックス溶射で行
う。

【００３７】このようにして構成された検出電極１０２
は、同軸ケーブル（信号線）１０７の中心軸１０８に接
続し、ドライブシールドケース１０５は同軸ケーブル１
０７の外被１０９に接続する。このようにすると、同軸
ケーブル１０７が長くなっても、外被１０９はドライブ
シールドケース１０５に接続されているため、同電位に
保持することができ、中心軸１０８に接続されている検
出電極１０２の信号へのノイズ等を遮断することができ
る。

【００３８】このように、検出電極１０２をセラミック
スで封止した状態にした場合の電極容量Ｃは、検出電極
１０２の直径Ｒ、セラミックスコート１０６の比誘電率
εｒ（＝約１０）、セラミックスコーティング厚＝ｄと
すると、その電極容量Ｃは次の式３により求めることが
できる。

【００３９】

【数３】

【００４０】ここで上記式に基づいて電極容量Ｃの値を
計算すると、下記に示す表３のようになる。

【００４１】

【表３】

【００４２】この表３の意味するところは、検出電極１
０２の直径Ｒを同じ（実施例の場合５ｍｍ）にして、セ
ラミックスコート厚が薄くなる（実施例において、５０
μｍ、２０μｍ、１０μｍ）に従い、電極容量Ｃの値は
１３８ｐＦ、３４５ｐＦ、６９０ｐＦのように増加す
る。そして、この電極容量Ｃの値は従来のように数十ｐ
Ｆに対して数百ｐＦ台の容量値を得ることができるた
め、その信号源インピーダンスが小さくなり、電磁結合
ノイズ、静電結合ノイズの影響を受けにくくすることが
できる。

【００４３】次に、セラミックス等の絶縁性部材で封止
した状態の検出電極１０２は、測定流体Ｗに常時接する
状態に配置されているため、その測定流体Ｗと接する部
位が磨耗する。

【００４４】この磨耗を早期に検出する手法として、一
対の検出電極に所定電圧を印加し、測定流体を媒体とし
て流れる電流を検出することにより、検出電極の絶縁性
部材による封止状態の磨耗状態を検出する磨耗検出手段
を備えた構成にする。

【００４５】図２は、磨耗検出部を備えた容量式電磁流
量計を示したものであり、樹脂等のライニングを有する
測定管１０１内において、測定流体Ｗに接液した状態で
形成される一方の検出電極１０２と、同じく接液状態で
配置したアース電極１１１と、この検出電極１０２に所
定の電圧を印加するとともに、アース電極１１１からの
信号に基づいてセラミックスで封止した検出電極１０２
の磨耗状態を検出する磨耗検出部１１２とからなる。
尚、検出電極１０２の構造は図１に示す構造と同じであ
るため、同一符号を付与してその説明は省略する。

【００４６】このような構成において、検出電極１０２
に所定の電圧を印加すると、その印加された電流は測定
流体Ｗを通過してアース電極１１１に伝達される。従っ
て、このアース電極１１１で受けた電流値を検出すれ
ば、現在の検出電極１０２を封止した絶縁性部材（セラ
ミックス部材での封止）、即ち、セラミックスコート１
０６の封止状態を検出することができるため、絶縁性部
材（セラミックスコート１０６）が磨耗して電極が露出
する前に検出電極１０２の交換等を行うことができる。

【００４７】次に、第２の実施形態の容量式電磁流量計
について図３を参照して説明する。この容量式電磁流量
計は、測定管１１５を絶縁性部材であるセラミックスで
形成したセラミックスパイプであり、また、図１に示し
た第１の実施形態の電磁流量計と同様に、検出電極を改
良して、検出容量を数十ｐＦから数百ｐＦにする構成に
なっている。その構造は、図３に示すように、測定管１
１５の対向する位置に、アルミナ、サーメットまたは白
金棒からなる一対の検出電極１１７ａ，１１７ｂを備え
た構造であり、その一対の検出電極１１７ａ，１１７ｂ
の先端部分を測定管１１５内の測定流体Ｗに臨むように
配置する。そして、その臨むように配置した検出電極１
１７ａ，１１７ｂの内周面に所定厚さのセラミックスを
溶射して形成したセラミックスコート１１６を設けた構
造を特徴とする。このセラミックスコート１１６を形成
するためにセラミックスを溶射した厚みによって電極容
量Ｃが増減する。

【００４８】例えば、検出電極１１７ａ，１１７ｂがア
ルミナである場合に、上記の式３に適合して、比誘電率
εｒ＝１０、検出電極の径ｒ＝５ｍｍ、とすると、電極
容量Ｃ＝１００ｐＦとするためには、セラミックスコー
ト１１６の厚みｄ＝７０μｍにする必要がある。ここ
で、セラミックスコート１１６を生成するためのセラミ
ックスの溶射は、その厚みを１０μｍ程度より可能であ
るため、更に大きな電極容量を得ることができる。

【００４９】次に、第３の実施形態の容量式電磁流量計
について図４を参照して説明する。この容量式電磁流量
計は、図３に示した第２の実施形態の電磁流量計と同様
に、セラミックスパイプである測定管１１５を備えると
ともに、検出電極を改良し、電極容量を数十ｐＦから数
百ｐＦにする構成になっている。その構造は、図４に示
すように、測定管１１５内の対向する位置に、アルミ
ナ、サーメットまたは白金棒からなる一対の検出電極１
１８ａ，１１８ｂと、この一対の検出電極１１８ａ，１
１８ｂの周囲にセラミックス等の絶縁部材１１９を備
え、その周囲に導電性チューブ１２０を備えた構造とな
っている。

【００５０】導電性チューブ１２０は、検出電極１１８
ａ，１１８ｂをシールドするドライブシールドであり、
これにより検出電極１１８ａ，１１８ｂに与える雑音を
遮蔽することができる。

【００５１】そして、検出電極１１８ａ，１１８ｂの先
端部分を測定管１１５内の測定流体Ｗに臨むように配置
する。そして、その臨むように配置した検出電極１１８
ａ，１１８ｂの内周面に所定厚さのセラミックスを溶射
して形成したセラミックスコート１１６を設けた構造と
なっている。このセラミックスコート１１６を形成する
ために、セラミックスを溶射した厚みによって電極容量
Ｃが増減することは上記第２の実施形態と同様であるの
で、その説明は省略する。

【００５２】このように、検出電極１１８ａ，１１８ｂ
の周囲に導電性チューブ１２０を設ける構造にすると、
検出電極１１８ａ，１１８ｂをシールドすることが可能
で外部からの雑音を遮蔽することができるのである。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の容量式電
磁流量計は、検出電極を絶縁性部材で封止した状態にし
て測定流体に臨ませたことにより、測定流体と検出電極
との間で発生する電極容量を大きくできるため、そのぶ
ん信号源インピーダンスを小さくすることができ、電磁
結合ノイズ及び静電結合ノイズの影響が受けにくい電磁
流量計を実現できる。

【００５４】また、従来からの樹脂ライニングの測定管
を使用した電磁流量計をベースに検出電極を形成するこ
とで、測定管をセラミックスパイプにした電磁流量計に
比べて、製造コストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施形態の容量式電磁流量
計を略示的に示したブロック図である。

【図２】同磨耗検出部を備えた第１の実施形態の容量式
電磁流量計を略示的に示したブロック図である。

【図３】本発明に係る第２の実施形態の容量式電磁流量
計を略示的に示したブロック図である。

【図４】本発明に係る第３の実施形態の容量式電磁流量
計を略示的に示したブロック図である。

【図５】従来技術におけるセラミックスパイプを使用し
た容量式電磁流量計を示した略示的なブロック図であ
る。

【図６】入力アンプのブーストストラップ回路構成を示
したものである。

【図７】図６における入力アンプの等価回路を示した説
明図である。

【図８】図７における等価回路におけるローパスフィル
タにおける減衰を示したグラフである。

【符号の説明】

１０１測定管１０１ａライニング１０２検出電極１０３電極固定部１０４電極キャップ１０５ドライブシールドケース１０６セラミックスコート１０７同軸ケーブル１０８中心軸１０９外被１１１アース電極１１２磨耗検出部１１５測定管１１６セラミックスコート１１７ａ検出電極１１７ｂ検出電極１１８ａ検出電極１１８ｂ検出電極１１９絶縁部材１２０導電性チューブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定管内に磁場を形成し、前記測定管を
流れる測定流体に接液する一対の検出電極と、前記測定
流体との間に形成される電極容量から前記測定流体の流
量を測定する容量式電磁流量計において、前記一対の検
出電極は、少なくとも前記測定流体との間に絶縁性部材
で封止した状態にしたことを特徴とする容量式電磁流量
計。
【請求項２】前記絶縁性部材はセラミックスであると
ともに、前記絶縁性部材の封止は、セラミックスコーテ
ィングまたはセラミックス溶射によるセラミックスコー
トであることを特徴とする請求項１記載の容量式電磁流
量計。
【請求項３】前記絶縁性部材で封止した前記一対の検
出電極の外側に、導電性のドライブシールドケースを備
えたことを特徴とする請求項１記載の容量式電磁流量
計。
【請求項４】前記一対の検出電極に所定電圧を印加
し、前記測定流体を媒体にして流れる電流を検出するこ
とにより、前記絶縁性部材による封止の状態を検出する
磨耗検出手段を備えたことを特徴とする請求項３記載の
容量式電磁流量計。
【請求項５】測定管内に磁場を形成し、前記測定管を
流れる測定流体に接液する一対の検出電極と、前記測定
流体との間に形成される電極容量から前記測定流体の流
量を測定する容量式電磁流量計において、前記測定管を
セラミックスパイプとし、前記一対の検出電極をその先
端部部が前記測定流体に臨むように配置し、前記一対の
検出電極を含む前記測定管の内面にセラミック溶射によ
るセラミックスコートを形成したことを特徴とする容量
式電磁流量計。
【請求項６】前記一対の検出電極は、その周囲に絶縁
部材を備え、更にその周囲に導電性チューブを備えた構
造とすることを特徴とする請求項５記載の容量式電磁流
量計。