JP2008017617A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
   各前記支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられており、
   前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
   前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられたスクリュ軸と、前記一対の支持部の一方の支持部に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、他方の支持部に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
   前記一対の支持部のうちの一方の支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられ、他方の支持部は、前記支持基板に対して固定的に設けられており、
   前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
   前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられ、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に回転可能に支持されたスクリュ軸と、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部を、前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
3. 板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
   前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材は、それぞれ、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸に直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
   前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
   前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
   前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するように、また各前記支持部に対応するように設けられた一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第１の支持部材に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、前記第２の支持部材に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第１の支持部材および前記第２の支持部材を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
4. 板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
   前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材は、前記支持基板に対して固定的に設けられ、前記第２の支持部材は、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
   前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
   前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
   前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するとともに各前記支持部に対応するように設けられ、前記第１の支持部材に回転可能に支持された一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第２の支持部材に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第２の支持部材を、前記第１の支持部材に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
5. 前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。