JP2008016502A - Rf集積回路及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体上にボンディングパッド層と積層インダクタとを備え、該積層インダクタが、最下層インダクタ層上に上層インダクタ層を積層させた構成を有し、前記最下層インダクタ層が、前記ボンディングパッド層と同一の材料からなることを特徴とするRF集積回路により上記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
上記公報に記載された方法を概略工程断面図である図5(a)〜(i)を参照して簡単に説明する。
次に、図5(c)に示すように、基体500の全面に、TaN層509、TiN層510、Al層(又はAl合金層)511及びTiN層512をこの順で堆積させる。
次に、図5(e)に示すように、全面に銅めっき用の銅シード膜514を堆積する。
次に、図5−1(g)に示すように、開口部を、電解めっき法により、銅で埋め込むことで上層インダクタ層516を形成する。
上記方法では、工程数を減らす目的から、ボンディングパッド層形成時のRIE法によるドライエッチングの際に、TaN層509をエッチングストッパー膜として使用している。この使用により、使用しない場合より、マスク枚数を低減できるので、工程数が低減できるとされている。
かくして本発明によれば、基体上にボンディングパッド層と積層インダクタとを備え、該積層インダクタが、最下層インダクタ層上に上層インダクタ層を積層させた構成を有し、前記最下層インダクタ層が、前記ボンディングパッド層と同一の材料からなることを特徴とするRF集積回路が提供される。
また、本発明によれば、同一材料からなる単一層をパターニングすることで、下層インダクタ層とボンディングパッド層と同時に形成する工程を含むので、工程数の低減と共に、バービア底部での抵抗値異常や断線を抑制できる。
絶縁膜の下部には、種々の部材を備えていてもよい。部材としては、例えば、トランジスタ、キャパシタ、抵抗等の素子、配線等が挙げられる。
ボンディングパッド層の形状は、特に限定されない。例えば、四角形を含む多角形、楕円形を含む円形、不定形等の種々の平面形状が挙げられる。
ボンディングパッド層の厚さは、0.5〜10μmであることが好ましい。 10μmより厚い場合は、エッチングが困難なので好ましくない。より好ましい厚さは、1〜2μmである。
特に本発明では、最下層インダクタ層が、ボンディングパッド層と同一の材料からなっている。
最下層インダクタ層の厚さは、0.5〜10μmであることが好ましい。より好ましい厚さは、1〜2μmである。
上層インダクタ層の厚さは、0.5〜10μmであることが好ましい。低抵抗のインダクタを形成するためには上層インダクタ層を厚く堆積することが好ましいが、10μmより厚い場合は、上層インダクタ形状を形成するレジスト膜や有機系塗布膜の堆積、及び上層インダクタを覆う保護絶縁膜の堆積が困難なので好ましくない。より好ましい厚さは、3〜8μmである。なお、2層以上の積層体からなる場合、上記厚さは合計値である。
更に、下層インダクタ層とボンディングパッド層とが第1絶縁膜で覆われ、下層インダクタ層と上層インダクタ層とが第1絶縁膜に形成されたバービアを介して接続されていてもよい。
バービアの断面形状は、両インダクタ層が導通できさえすれば特に限定されない。例えば、バービアは、両インダクタ層の電気的接続を良好にするために、バービアの幅はインダクタ層の幅を超えない程度の広い幅であることが好ましい。
次に、下層インダクタ層上に上層インダクタ層を積層するが、積層方法は、特に限定されず、スパッタ法、CVD法、電解めっき法等の既知の方法を使用できる。この内、電解めっき法が好ましい。
更に、上層インダクタ層が銅(銅合金を含む)からなる場合、以下の方法により上層インダクタ層を形成してもよい。
(2)バービア内壁を含む基体表面をバリア膜と銅シード膜の順で覆う工程と、銅シード膜上に有機塗布膜を堆積する工程と、有機塗布膜上に上層インダクタ層形成領域が開口したエッチングマスクを形成する工程と、エッチングマスクを用いて有機塗布膜をエッチングして開口部を形成する工程と、開口部を電解めっき法により銅又は銅合金で埋め込む工程と、レジスト膜、エッチングマスク及び有機塗布膜除去後に上層インダクタ層をマスクとして銅シード膜及びバリア膜を除去する工程と、第1絶縁膜上に上層インダクタ層の側壁及び上部を覆う第2絶縁膜を形成する工程とからなる方法
方法(1)及び(2)中、銅シード膜及びバリア膜の除去方法としては、特に限定されないが、例えば、ウエットエッチング法が挙げられる。
(実施の形態1)
図2(a)〜(k)は、実施の形態1のRF集積回路用の概略工程断面図である。
まず、図2(a)に示すように、Si製の基体200の表面層の、側壁及び底部をバリア膜201で覆われた銅からなる埋め込み配線層202の上に、厚さ10〜50nmの窒化シリコン膜203と厚さ100〜500nmの酸化シリコン膜204をプラズマCVD法により形成する。
次に、図2(c)に示すように、厚さ10〜50nmの窒化タンタル膜206を反応性スパッタリング法で形成した後、1〜2μmのAl膜又はAl合金膜207をスパッタリング法で堆積させる。
次に、図2(e)に示すように、ボンディングパッド層208と下層インダクタ層209上に、既知のスピンコート法により2〜3μmの第1絶縁膜210を形成する。第1絶縁膜210は、例えばポリイミド膜を単層で使用してもよく、窒化シリコン膜及び/又は酸化シリコン膜を堆積し、その上に堆積させてもよい。
次に、図2(g)に示すように、バービア211が開口された基体上に、50〜200nmの窒化チタニウム層(上層インダクタ層用のバリア膜)212を反応性スパッタリング法で形成した後、100〜200nmの銅又は銅合金膜(シード膜)213をスパッタリング法で堆積させる。
次に、図2−1(i)に示すように、既知の電解めっき法で、レジストパターン214の開口部を銅で選択的に埋め込むことで、上層インダクタ層215を形成する。
この実施の形態によれば、バービア底部の最下層インダクタ層の上面がレジストパターン214除去時に酸化されることがない。そのため、酸化により引き起こされる最下層インダクタ層と上層インダクタ層間の抵抗値異常や断線の発生を抑制できる。
図3(a)〜(g)は、実施の形態2のRF集積回路用の概略工程断面図である。
TiN層302、Al層303及びTiN層304の積層体を基体300上にこの順で堆積させた後、この積層体を既知の方法でパターニングすることで、ビア層301上にボンディングパッド層305と、下層インダクタ層306とを形成する。次いで、保護膜として、厚さ10〜50nmの窒化シリコン膜307と厚さ100〜500nmの酸化シリコン膜308をプラズマCVD法により基体300の全面に堆積する。更に、既知のスピンコート法により、1000〜2000nmの第1絶縁膜309を形成することで図3(a)の構成を得る。第1絶縁膜309は、例えば塗布法で形成されたポリイミド膜からなる。この実施の形態では、実施の形態1と異なり、ボンディングパッド層305と下層インダクタ層306の下面は、同一の高さに位置する。
図中、311はバリア膜、312は銅又は銅合金膜、313はレジストパターン、314は上層インダクタ層、315は第2絶縁膜である。
図2−1(h)以降の実施の形態1の上層インダクタ層の形成方法に代えて、以下に説明する図4(a)〜(c)の形成方法を使用してもよい。
3000nm以上の有機塗布膜414を既知のスピンコート法により形成した後、100〜500nmのエッチングマスク415を既知のスピンコート法により形成する。次いで、既知のフォトリソグラフィ法により上層インダクタ層の形成位置に開口部を有するレジストパターン416を形成することで図4(a)に示す構成を得る。ここで、有機塗布膜414には有機BARCを使用し、エッチングマスク415には有機塗布膜414とエッチング選択比が異なるフォトレジストを使用している。
101 インダクタ
200、300、400、500 基体
201、311、401、501 バリア膜
202、402、502 埋め込み配線層
203、403、307 窒化シリコン膜
204、404、308 酸化シリコン膜
205 接続孔
206、406 窒化タンタル膜
207、407 Al膜又はAl合金膜
208、305、408、513 ボンディングパッド層
209、306、409、504 下層インダクタ層
210、309、410 第1絶縁膜
211、310、508 バービア
212、311、401、412 バリア膜
213、312、413 銅又は銅合金膜
214、313、416、515 レジストパターン
215、314、417、516 上層インダクタ層
216、315 第2絶縁膜
217、316、518 パッド開口部
218、317、418、519 ボンディングパッド部
219、318、419、520 積層インダクタ
302、304、510、512 TiN層
303 Al層
301 ビア層
414 有機塗布膜
415 エッチングマスク
503 パッド下層配線
505 第1保護膜
506 第2保護膜
507 ボンディングパッド層接続部
509 TaN層
511 Al層(又はAl合金層)
514 銅シード膜
517 保護膜
W 線幅
S 線間隔
d 直径
L スパイラル回数
Claims (11)
- 基体上にボンディングパッド層と積層インダクタとを備え、該積層インダクタが、最下層インダクタ層上に上層インダクタ層を積層させた構成を有し、前記最下層インダクタ層が、前記ボンディングパッド層と同一の材料からなることを特徴とするRF集積回路。
- 前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とがAl又はその合金からなる層であり、前記上層インダクタ層が銅又はその合金からなる層である請求項1に記載のRF集積回路。
- 前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とが、同一の材料からなる単一層をパターニングすることにより同時に得られた層である請求項1に記載のRF集積回路。
- 前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とが第1絶縁膜で覆われ、前記最下層インダクタ層と上層インダクタ層とが前記第1絶縁膜に形成されたバービアを介して接続されている請求項1に記載のRF集積回路。
- 前記最下層インダクタ層と上層インダクタ層との間に配置されたパッシベーション膜と、前記上層インダクタ層の側壁を覆い前記第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜とを更に備える請求項4に記載のRF集積回路。
- 基体上にボンディングパッド層と最下層インダクタ層の形成用の同一材料からなる単一層を形成する工程と、該単一層をパターニングすることで、最下層インダクタ層とボンディングパッド層とを同時に形成する工程と、前記最下層インダクタ層上に上層インダクタ層を積層する工程とを含むことを特徴とするRF集積回路の製造方法。
- 前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とがAl又はその合金からなる層であり、前記上層インダクタ層が銅又はその合金からなる層である請求項6に記載のRF集積回路の製造方法。
- 前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とが第1絶縁膜で覆われ、前記最下層インダクタ層と上層インダクタ層とが前記第1絶縁膜に形成されたバービアを介して接続されており、
前記上層インダクタ層を積層する工程が、前記最下層インダクタ層とボンディングパッド層とを前記第1絶縁膜で覆う工程と、該第1絶縁膜の前記最下層インダクタ層上に前記バービアを形成する工程と、該バービアを介して前記最下層インダクタ層と接続する前記上層インダクタ層を形成する工程とからなる請求項6に記載のRF集積回路の製造方法。 - 前記最下層インダクタ層と上層インダクタ層との間に配置されたパッシベーション膜と、前記上層インダクタ層の側壁を覆い前記第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜とを更に備え、前記上層インダクタ層が銅又は銅合金からなり、
前記上層インダクタ層を形成する工程が、前記バービアをパッシベーション膜と銅シード膜の順で覆う工程と、該銅シード膜上に上層インダクタ層の形状の開口部を有するレジスト膜を形成する工程と、前記開口部を銅電解めっき法により銅又は銅合金で埋め込むことにより上層インダクタ層を形成する工程と、前記レジスト膜除去後に上層インダクタ層をマスクとしてパッシベーション膜及び銅シード膜を除去する工程と、前記第1絶縁膜上に前記上層インダクタ層の側壁を覆う第2絶縁膜を形成する工程とからなる請求項8に記載のRF集積回路の製造方法。 - 前記最下層インダクタ層と上層インダクタ層との間に配置されたパッシベーション膜と、前記上層インダクタ層の側壁を覆い前記第1絶縁膜上に形成された第2絶縁膜とを更に備え、前記上層インダクタ層が銅からなり、
前記上層インダクタ層を形成する工程が、前記バービアをパッシベーション膜と銅シード膜の順で覆う工程と、該銅シード膜上に前記第2絶縁膜を形成する工程と、該第2絶縁膜上に上層インダクタ層形成領域が開口したエッチングマスクを形成する工程と、該エッチングマスクを用いて前記第2絶縁膜をエッチングして開口部を形成する工程と、該開口部を電解めっき法により銅又は銅合金で埋め込むことにより上層インダクタ層を形成する工程とからなる請求項8に記載のRF集積回路の製造方法。 - 前記第2絶縁膜のエッチングが、O2ガス、N2ガス、Arガス、F含有ガス、又はこれらガスの混合物に由来するプラズマを利用したドライエッチングである請求項10に記載のRF集積回路の製造方法。
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