JP2008016113A - 半導体集積回路試験装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の被試験対象デバイスに対し、並列にコマンド信号を印加して試験を行う半導体集積回路試験装置であって、各被試験対象デバイスから出力される信号に基づいて、各被試験対象デバイスの状態を判定するデバイス状態判定手段と、当該デバイス状態判定手段による判定結果に基づいて、各被試験対象デバイス毎に、所定時間経過後、所定の状態が発生した回数を計数する計数手段と、前記回数が設定値と一致した被試験対象デバイスを試験対象外に決定し、試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスの状態に基づいて前記コマンド信号を印加するタイミングを制御するコマンド制御手段とを具備する。
【選択図】図1
Description
まず、コマンド発生部30は、ドライバ40を介して、被試験メモリM1〜Mnにコマンド信号(試験パターン、アドレス信号、ライトイネーブル信号)を出力する。被試験メモリM1〜Mnは、上記コマンド信号に基づき、アドレス信号が示す記憶先アドレス(第1ブロックの先頭アドレス)に試験パターンの書き込み処理を行い、正常に書き込み処理が終了した場合、READY状態(「Match」)を示すREADY/BUSY信号を、各々に対応するコンパレータC1〜Cnに出力する。また、被試験メモリM1〜Mnは、正常に書き込み処理が終了しない場合、BUSY状態(「Unmatch」)を示すREADY/BUSY信号を、各々に対応するコンパレータC1〜Cnに出力する。
カウンタ制御部L1は、上記カウント信号に基づき、カウント値が「0」になっていないと判断すると、「Match」を示す状態判定信号(Hi信号)をコマンド発生指示部20に出力する。なお、ここでコマンド発生指示部20は、入力される全ての状態判定信号が「Match」を示す場合、次のアドレス(2番地目)にコマンドを発生するように指示するためのコマンド発生指示信号を出力する。
従って、本実施形態によれば、あるブロック内の任意のアドレスに生じる「Unmatch」状態、または、他の被試験メモリにおいて生じる「Unmatch」状態に引きづられることなく、次のアドレスへのコマンド発生をコマンド発生部30’に指示することができる。つまり、コマンド発生指示部20における待機時間を短縮でき、その結果、トータルの試験時間の短縮を図ることが可能である。
(1)UnmatchカウンタK1〜Knのカウント方式はカウントダウン方式に限らず、カウントアップ方式を採用しても良い。
(2)UnmatchカウンタK1〜Knのビットサイズは任意に設定しても良い。
(3)カウンタのクロックは、発振器やテストレート同期等を使用して、別の単位でカウントしても良い。
(4)試験対象へ復帰するタイミングはブロック単位に限らず、任意のアドレスから復帰するようにしても良い。
(5)カウンタクロックのアサートは、各被試験メモリの「Unmatch」状態(BUSY状態)としたが、これに限らず、「Match」状態(READY状態)、または他の状態でも良い。
(6)カウンタ設定値の設定方法、及びカウント数のクリア方法は、上記実施形態に限定されない。
(7)コマンド発生部30’が、アドレスインクリメント信号、カウンタ設定信号、ブロックインクリメント信号を出力する構成を示したが、これに限らず、他の制御部により各信号を出力する構成を採用しても良い。また、他の制御部がコマンド制御手段でも良い。
Claims (6)
- 複数の被試験対象デバイスに対し、並列にコマンド信号を印加して試験を行う半導体集積回路試験装置であって、
各被試験対象デバイスから出力される信号に基づいて、各被試験対象デバイスの状態を判定するデバイス状態判定手段と、
当該デバイス状態判定手段による判定結果に基づいて、各被試験対象デバイス毎に、所定の時間経過後、所定の状態が発生した回数を計数する計数手段と、
前記回数が設定値と一致した被試験対象デバイスを試験対象外に決定し、試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスの状態に基づいて前記コマンド信号を印加するタイミングを制御するコマンド制御手段と
を具備することを特徴とする半導体集積回路試験装置。 - 前記デバイス状態判定手段は、アドレス毎に順次印加された前記コマンド信号に応じて各被試験対象デバイスから出力される信号に基づいて各被試験対象デバイスの状態を判定し、
前記計数手段は、前記デバイス状態判定手段からアドレス毎に得られる判定結果に基づいて、各被試験対象デバイス毎に、所定の時間経過後、所定の状態が発生した回数を計数し、
前記コマンド制御手段は、前記回数が設定値と一致した被試験対象デバイスを、次のアドレスから所定のアドレスまでの試験期間だけ試験対象外に決定し、試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスの状態に基づいて、次のアドレスに前記コマンド信号を印加するタイミングを制御する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路試験装置。 - 複数のアドレスをブロック単位で取り扱う機能を有する被試験対象デバイスを試験する場合において、
前記デバイス状態判定手段は、アドレス毎に順次印加された前記コマンド信号に応じて各被試験対象デバイスから出力される信号に基づいて各被試験対象デバイスの状態を判定し、
前記計数手段は、前記デバイス状態判定手段からアドレス毎に得られる判定結果に基づいて、各被試験対象デバイス毎に、所定の時間経過後、所定の状態が発生した回数をブロック単位で計数し、
前記コマンド制御手段は、前記回数が設定値と一致した被試験対象デバイスを、現在試験中のブロックが終了するまでの試験期間だけ試験対象外に決定し、試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスの状態に基づいて、次のアドレスに前記コマンド信号を印加するタイミングを制御する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路試験装置。 - 前記コマンド制御手段は、被試験対象デバイスが試験対象外に決定される前記試験期間が終了した場合、前記回数の計数結果をリセットするように前記計数手段を制御し、試験対象外の被試験対象デバイスを試験対象に復帰させることを特徴とする請求項2または3記載の半導体集積回路試験装置。
- 前記デバイス状態判定手段は、前記被試験対象デバイスの状態として、コマンド受付可能状態かコマンド受付不能状態かを判定し、
前記計数手段は、各被試験対象デバイス毎に、所定の時間経過後、コマンド受付不能状態が発生した回数を計数し、
前記コマンド制御手段は、試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスがコマンド受付可能状態と判定された時を、前記コマンド信号を印加するタイミングを制御する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体集積回路試験装置。 - 複数の被試験対象デバイスに対し、並列にコマンド信号を印加して試験を行う半導体集積回路試験方法であって、
各被試験対象デバイスから出力される信号に基づいて、各被試験対象デバイスの状態を判定し、
各被試験対象デバイス毎に、所定の時間経過後、所定の状態が発生した回数を計数し、
前記回数が設定値と一致した被試験対象デバイスを試験対象外に決定し、
試験対象外に決定された被試験対象デバイスを除く他の被試験対象デバイスの状態に基づいて前記コマンド信号を印加するタイミングを制御する
ことを特徴とする半導体集積回路試験方法。
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