JP2008010734A - ウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、及びツルーイング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ウェーハのダメージを無くし、高い面幅精度の面取り加工を可能にするウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、及びツルーイング方法を提供すること。
【解決手段】
ウェーハW、またはツルアーTを保持して回転するウェーハテーブル34と、ウェーハテーブル34と対向し、ウェーハテーブル34に保持されたウェーハW、またはツルアーTを、ウェーハテーブル34に保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブル3とによりウェーハW、またはツルアーTを両面から保持して面取り加工、またはツルーイングを行う。
【選択図】図1
ウェーハのダメージを無くし、高い面幅精度の面取り加工を可能にするウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、及びツルーイング方法を提供すること。
【解決手段】
ウェーハW、またはツルアーTを保持して回転するウェーハテーブル34と、ウェーハテーブル34と対向し、ウェーハテーブル34に保持されたウェーハW、またはツルアーTを、ウェーハテーブル34に保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブル3とによりウェーハW、またはツルアーTを両面から保持して面取り加工、またはツルーイングを行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハの外周部に面取り加工を行なうウェーハ面取り装置とウェーハ面取り方法、及びウェーハの面取り加工を行う砥石のツルーイング方法に関するものである。
半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。面取り加工に使用される面取り装置は、ウェーハ外周部を研削する外周部用砥石や、方位の基準位置となるV字状のノッチ部を研削するノッチ部用砥石等の各種砥石が複数取り付けられ、これらの砥石をスピンドルにより高速に回転させて加工を行なう。加工の際には、ウェーハを回転するウェーハテーブル上に吸着載置し、Xガイド、Yガイド、及びZガイドの各ガイド軸によりウェーハと砥石とを相対的に移動させ、砥石に形成された面取り用の溝へウェーハ外周部を当てることにより面取り加工を行う。
図7に面取り装置の従来例を示す。面取り装置10は、ウェーハ送りユニット20、砥石回転ユニット50、図示しないウェーハ供給/収納部、ウェーハ洗浄/乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
ウェーハ送りユニット20は、本体ベース11上に載置されたX軸ベース21、2本のX軸ガイドレール22、22、4個のX軸リニアガイド23、23、…、ボールスクリュー及びサーボモータから成るX軸駆動手段25によって図のX方向に移動されるXテーブル24を有している。
Xテーブル24には、2本のY軸ガイドレール26、26、4個のY軸リニアガイド27、27、…、図示しないボールスクリュー及びサーボモータから成るY軸駆動手段によって図のY方向に移動されるYテーブル28が組込まれている。
Yテーブル28には、2本のZ軸ガイドレール29、29と図示しない4個のZ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びサーボモータから成るZ軸駆動手段30によって図のZ方向に移動されるZテーブル31が組込まれている。
Zテーブル31には、θ軸モータ32、θスピンドル33が組込まれ、θスピンドル33にはウェーハWを吸着載置するウェーハテーブル34が取り付けられており、ウェーハテーブル34はウェーハテーブル回転軸心CWを中心として図のθ方向に回転される。ウェーハテーブル34の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハW、または面取り加工を行う砥石をツルーイングするツルーイング砥石T(以下、ツルアーと称する)が載置されて吸着固定される。
このウェーハ送りユニット20によって、ウェーハW及びツルアーは図のθ方向に回転されるとともに、X、Y、及びZ方向に移動される。
砥石回転ユニット50は、複数の外周粗研削用溝が形成された外周加工砥石52が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心CHを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル51、外周加工砥石52の上方に取付けられた外周精研スピンドル54及び外周精研モータ56、ノッチ粗研スピンドル60及びノッチ粗研モータ62、ノッチ精研スピンドル57及びノッチ精研モータ59を有している。
外周精研スピンドル54にはウェーハWの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石55が取付けられている。ノッチ粗研スピンドル60にはノッチ粗研削砥石61が、またノッチ精研スピンドル57には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石58が取付けられている。
外周精研削砥石55とノッチ精研削砥石58とは、ウェーハテーブル34上面に載置されたツルアーT、またはウェーハテーブル下部に取り付けられたツルアーTによりツルーイングされ外周精研削用溝が形成される。
このような面取り装置としては例えば、特許文献1に記載されるウェーハ面取り装置が提案されている。
特開2005−153085号公報
先に説明した通り、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされて製造される。このように製造された面取り加工前のウェーハには、加工に伴う残留応力等により反りが生じている場合がある。このようなウェーハを従来のような面取り装置で加工する際には、ウェーハテーブルでの吸着力だけでは十分に反りを除去することが出来ず、ウェーハが反ったままの状態で面取り加工を行っていた。
ウェーハが反ったままで面取り加工が行われた場合、ウェーハ加工時にウェーハと砥石とが接触する際に発生する負荷応力によりウェーハが変形し、チッピング、ウェーハ全体のダメージ、面幅精度の悪化等の問題が生じていた。
また、ツルーイングにおいては、ツルーイング砥石がグリーンカーバイト砥粒(GC砥粒)、またはホワイトアルミナ砥粒(WA砥粒)を焼結することにより形成されるため、反りやうねりが生じている。ツルーイング砥石の反りやうねりは、形成される溝の精度、ツルーイング時間等に影響を与え、ツルーイング効率の著しい低下の原因となる。
本発明は、このような問題に対して成されたものであり、面取り加工を行う際のウェーハの反りを無くすことにより、ウェーハのダメージを無くし、高い面幅精度の面取り加工を可能にするウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供することを目的としている。
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、前記ウェーハテーブルと対向し、前記ウェーハテーブルに保持された前記ウェーハを、該ウェーハテーブルに保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブルと、前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴としている。
また、前記固定テーブルは、前記ウェーハの外周部近傍のみを保持する、または前記ウェーハの全面を保持することも特徴としている。
本発明によれば、面取り装置にはウェーハの一方の面を吸着保持するウェーハテーブルと、ウェーハの他方の面の外周部近傍のみ、または全面を保持してウェーハを押圧する固定テーブルとが備わり、ウェーハを両面で保持する。両面で保持され回転するウェーハは、高速に回転する外周用、及びノッチ用の各砥石により面取り加工されていく。
これにより、ウェーハテーブルの吸着保持力のみでは修正出来ないウェーハの反りやうねりが修正され、ウェーハ外周部を各砥石に形成された面取り加工用の溝形状へ無理な負荷をかけることなく接触させることが出来るのでウェーハへのダメージが発生しない。また、ウェーハを固定する力が強くなるため、加工中のウェーハ外周部の揺れなどがなくなり、高い面幅精度の面取り加工を可能にする。
また、本発明はウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、前記ウェーハテーブルと対向し、前記ウェーハテーブルに保持された前記ウェーハを、該ウェーハテーブルに保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブルとを備えたウェーハ面取り装置において、前記ウェーハの面取り加工を行う砥石のツルーイングを行うツルーイング砥石を、前記ウェーハテーブルと前記固定テーブルとにより両面から保持して回転させ、前記ウェーハの面取り加工を行う砥石のツルーイングを行うことも特徴としている。
本発明によれば、ウェーハの面取り加工を行う砥石に対し、所望のウェーハの面取り形状に対応した溝を形成するツルーイング砥石がウェーハテーブル上に吸着載置される。ウェーハテーブルに吸着載置されたツルーイング砥石は、ウェーハテーブルに吸着載置されている面とは反対側の面より固定テーブルで押圧されて回転し、面取り加工を行う砥石のツルーイングを行う。
これにより、ツルーイング砥石に生じている反りやうねりが修正され、無理な負荷やツルーイング砥石の外周部の揺れなどがなくなり、ツルーイング効率を向上させる。
以上説明したように、本発明のウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、及びツルーイング方法によれば、ウェーハ、またはツルーイング砥石を両面から保持した状態で面取り加工、またはツルーイングを行うことが可能となり、加工を行う際のウェーハの反りを無くし、ウェーハにダメージを発生させず、高い面幅精度の面取り加工を可能にするとともに、ツルーイングの際にはツルーイング砥石の反りを無くしツルーイング効率を向上させる。
以下、添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法の好ましい実施の形態について詳説する。
まず初めに、本発明に係わる面取り装置の構成について説明する。図1は、面取り装置の全体正面図である。
面取り装置1は、ウェーハ固定部2、移動手段としてのウェーハ送りユニット20、砥石回転ユニット50、図示しないウェーハ供給/収納部、ウェーハ洗浄/乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
ウェーハ送りユニット20は、本体ベース11上に載置されたX軸ベース21、2本のX軸ガイドレール22、22、4個のX軸リニアガイド23、23、…、ボールスクリュー及びサーボモータから成るX軸駆動手段25によって図のX方向に移動されるXテーブル24を有している。
Xテーブル24には、2本のY軸ガイドレール26、26、4個のY軸リニアガイド27、27、…、図示しないボールスクリュー及びサーボモータから成るY軸駆動手段によって図のY方向に移動されるYテーブル28が組込まれている。
Yテーブル28には、2本のZ軸ガイドレール29、29と図示しない4個のZ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びサーボモータから成るZ軸駆動手段30によって図のZ方向に移動されるZテーブル31が組込まれている。
Zテーブル31には、θ軸モータ32、θスピンドル33が組込まれ、θスピンドル33にはウェーハWを吸着載置するウェーハテーブル(載置台)34が取り付けられており、ウェーハテーブル34は回転軸心CWを中心として図のθ方向に回転される。
ウェーハテーブル34の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハW、または面取り加工を行う砥石をツルーイングするツルーイング砥石T(以下、ツルアーと称する)が載置されて吸着固定される。
このウェーハ送りユニット20によって、ウェーハW及びツルアーTは図のθ方向に回転されるとともに、X、Y、及びZ方向に移動される。
ウェーハテーブル34の上部には、ウェーハ送りユニットとともに移動するウェーハ固定部2が備えられ、ウェーハ固定部2には、ウェーハテーブル34と対向してウェーハテーブル34と同程度の外径サイズの固定テーブル3が設けられている。
固定テーブル3は、図2(a)、(b)に示すように、上下軸4により、回転軸5に接続され、Z方向へ移動するとともに、回転軸心CWを中心としてθ方向に回転する。
これにより、図3(a)、(b)に示すように、ウェーハテーブル34に吸着載置されたウェーハW、またはツルアーTを、ウェーハテーブル34に吸着されている面とは逆の面よりウェーハテーブル34へ向かって押圧する。
固定テーブル3とウェーハW、またがツルアーTとが接触する接触面Sは、図4(a)、(b)、(c)に示すように、金属等の同一の素材により形成されたテーブル本体3Aの片面全面、テーブル本体3Bに形成された孔のあるセラミック素材のポーラス面3C、またはテーブル本体3Dの外周部にリング状に形成された突出部のいずれかの形状を成す。これにより、ウェーハW表面に既に半導体装置が形成されているなど、ウェーハW表面を全面に亘って押圧出来ない場合にウェーハW外周部近傍のみを押圧することが可能であり、より確実に押圧したい場合はウェーハW全面に亘って押圧することが可能となる。
砥石回転ユニット50は、複数の外周粗研削用溝が形成された外周加工砥石52が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心CHを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル51、外周加工砥石52の上方に取付けられた外周精研スピンドル54及び外周精研モータ56、ノッチ粗研スピンドル60及びノッチ粗研モータ62、ノッチ精研スピンドル57及びノッチ精研モータ59を有している。
外周精研スピンドル54は、回転軸がウェーハWの接線方向(図1に示すX軸方向)に向かって傾斜、または接線方向に向かって垂直方向に位置している。外周精研スピンドル54にはウェーハWの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石55が取付けられている。
ノッチ粗研スピンドル60にはノッチ粗研削砥石61が、またノッチ精研スピンドル57には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石58が取付けられている。
外周加工砥石52は、ダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度#800である。外周精研削砥石55は、直径50mmのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度#3000が用いられている。また、ノッチ粗研削砥石61は直径1.8mm〜2.4mmの小径で、ダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石、粒度#800が用いられ、ノッチ精研削砥石58は、直径1.8mm〜2.4mmの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度#4000が用いられている。
外周砥石スピンドル51は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度8,000rpmで回転される。また、外周精研スピンドル54はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度36,000rpmで回転される。
ノッチ粗研スピンドル60は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度80,000rpmで回転され、ノッチ精研スピンドル57はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度150,000rpmで回転される。
面取り装置1のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省力する。
次に、本発明に係るツルーイング方法について説明する。図6は外周精研削砥石55、およびノッチ精研削砥石58のツルーイング時の状態を示した側面図である。
図1に示すように、面取り装置1は、ウェーハ固定部2、ウェーハ送りユニット20、砥石回転ユニット50、図示しないウェーハ供給/収納部、ウェーハ洗浄/乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
面取り装置1では、最初に外周精研削砥石55やノッチ精研削砥石58に対して、ウェーハWの加工を行なう為の溝を形成するツルーイングが行なわれる。ツルーイングではまず、ウェーハテーブル34へ外周部に所望の面取り形状が形成されたツルアーTを吸着載置する。吸着載置されたツルアーTは、ウェーハ送りユニット20により外周精研削砥石55、ノッチ精研削砥石58のいずれかの砥石の加工用溝形成位置へ合わせられる。
このとき、図5(a)に示すように、ツルアーTに反りRがある場合、ツルアーTの外周部はウェーハテーブル34に密着せず、加工用溝形成位置に正しく接触させることが出来ない。本発明の面取り装置1では、図5(b)に示すように、ウェーハテーブル34と対向して設けられた固定テーブル3により、ツルアーTをウェーハテーブル34に吸着保持された面とは逆の面より押圧する。これにより、ツルアーTの反りが無くなり、ツルアーTは両面より確実に吸着保持されて回転する。
両面より吸着保持されて回転するツルアーTは、回転する外周精研削砥石55、またはノッチ精研削砥石58の加工用溝L形成位置に接近し、外周精研削砥石55、またはノッチ精研削砥石58へ加工用溝Lを形成する。
次に、本発明に係るウェーハ面取り方法ついて説明する。図6はウェーハの面取り加工時の状態を示した側面図である。
面取り装置1では、先に述べた通り、ツルアーTにより外周精研削砥石55、およびノッチ精研削砥石58に対して、加工用溝Lを形成するツルーイングが行なわれる。ツルーイングが終了すると、ウェーハテーブル34へウェーハWを載置して面取り加工が開始される。
面取り加工では、ウェーハ送りユニット20によりウェーハWの高さが外周加工砥石52、外周精研削砥石55、ノッチ精研削砥石58、及びノッチ粗研削砥石61のいずれかの砥石に形成された加工用の溝形状に合わせられる。
このとき、図6(a)に示すように、ウェーハWに反りSがある場合、ウェーハWの外周部はウェーハテーブル34に密着せず、加工用溝Lに正しく接触させることが出来ない。本発明の面取り装置1では、図6(b)に示すように、固定テーブル3により、ウェーハWをウェーハテーブル34に吸着保持された面とは逆の面より押圧する。これにより、ウェーハWの反りが無くなり、ウェーハWは両面より確実に吸着保持される。
また、ウェーハテーブル34と固定テーブルとより突出したウェーハWの外周部の長さlは10mm程度であって、面取り加工時のウェーハW外周部の揺れやうねりを抑えることが可能となる。
このように両面を保持されたウェーハWは、この状態のまま回転し、外周部、ノッチ部、オリフラ部等が各砥石により加工されていく。
以上、説明したように、本発明に係わるウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、およびツルーイング方法によれば、ウェーハまたはツルーイング砥石を両面から保持した状態で面取り加工、およびツルーイングを行うことが可能となり、加工を行う際のウェーハ、およびツルーイング砥石の反りを無くし、加工中のウェーハ、およびツルーイング砥石の揺れやうねりを解消できる。これにより、ウェーハにチッピングやダメージを発生させず、高い面幅精度の面取り加工が可能となるとともに、ツルーイング効率を向上させる。
なお、本実施の形態では、ウェーハが水平に置かれた面取り装置により面取り加工が行われているが、本発明はそれに限らず、ウェーハを両面から保持するのであれば、ウェーハが垂直方向や傾斜された状態で載置されている面取り装置であっても好適に利用可能である。
また、各砥石の材質、寸法、粒度、及び回転数などを特定した形で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々の材質、寸法、粒度、及び回転数等で加工を行う面取り装置に適応させることが可能である。
1、10…面取り装置,2…ウェーハ固定部,3…固定テーブル,4…上下軸,5…回転軸,24…Xテーブル,28…Yテーブル,33…θスピンドル,34…ウェーハテーブル,41…ツルアー,52…外周加工砥石,54…外周精研スピンドル,55…外周精研削砥石,58…ノッチ精研削砥石,61…ノッチ粗研削砥石,T…ツルアー(ツルーイング砥石),W…ウェーハ
Claims (5)
- ウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、
前記ウェーハテーブルと対向し、前記ウェーハテーブルに保持された前記ウェーハを、該ウェーハテーブルに保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブルと、
前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、
前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするウェーハ面取り装置。 - 前記固定テーブルは、前記ウェーハの外周部近傍のみを保持することを特徴とする請求項1に記載のウェーハ面取り装置。
- 前記固定テーブルは、前記ウェーハの全面を保持することを特徴とする請求項1、または請求項2に記載のウェーハ面取り装置。
- ウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、前記ウェーハテーブルと対向し、前記ウェーハテーブルに保持された前記ウェーハを、該ウェーハテーブルに保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブルとにより、前記ウェーハを両面から保持して回転させ、該ウェーハを移動手段により砥石と相対的に移動させることにより該ウェーハの面取り加工を行うことを特徴とするウェーハ面取り方法。
- ウェーハを保持して回転するウェーハテーブルと、前記ウェーハテーブルと対向し、前記ウェーハテーブルに保持された前記ウェーハを、該ウェーハテーブルに保持されている面とは逆側の面から保持して回転する固定テーブルとを備えたウェーハ面取り装置において、前記ウェーハの面取り加工を行う砥石のツルーイングを行うツルーイング砥石を、前記ウェーハテーブルと前記固定テーブルとにより両面から保持して回転させ、前記ウェーハの面取り加工を行う砥石のツルーイングを行うことを特徴とするツルーイング方法。
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JP2006181517A JP2008010734A (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | ウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り方法、及びツルーイング方法 |
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