JP2008010620A - Xy方向移動装置及びxy方向移動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】現在地からの移動方向に合ったオフセットを用いて移動量を補正し、高精度な位置決めが行なえるようにすること。
【解決手段】現在位置と移動目標位置とから、X方向別のオフセットデータテーブルをCPU50は決定し、次に移動目標位置が決定されたX方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定する。そして、決定されたいずれかのエリアに対応するX方向のオフセットデータを決定する。また、現在位置と移動目標位置とから、Y方向別のオフセットデータを決定する。従って、決定された移動方向別オフセットデータを加味して、CPU50はX軸駆動モータ16X及びY軸駆動モータ16Yを制御してXYテーブル16を移動させる。
【選択図】図3
【解決手段】現在位置と移動目標位置とから、X方向別のオフセットデータテーブルをCPU50は決定し、次に移動目標位置が決定されたX方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定する。そして、決定されたいずれかのエリアに対応するX方向のオフセットデータを決定する。また、現在位置と移動目標位置とから、Y方向別のオフセットデータを決定する。従って、決定された移動方向別オフセットデータを加味して、CPU50はX軸駆動モータ16X及びY軸駆動モータ16Yを制御してXYテーブル16を移動させる。
【選択図】図3
Description
本発明は、X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動装置及びXY方向移動方法に関する。
この種の移動装置は、プリント基板上に電子部品を装着する電子部品装着装置において、使用されている。具体的にはインデックスユニットの駆動により間欠回転するロータリーテーブルの周縁に複数配設された装着ヘッドが部品取出ステーションにて昇降して部品供給部から電子部品を取出して、部品装着ステーションにて昇降してXY方向に移動可能な移動テーブル上のプリント基板上に前記電子部品を装着する電子部品装着装置(例えば、特許文献1参照)や、XY方向に移動可能な装着ヘッドに設けられた吸着ノズルにより部品供給部から電子部品を取出して、不動の載置テーブル上のプリント基板上に前記電子部品を装着する電子部品装着装置において、使用されている。
特開2004−112003号公報
そして、このようなXY方向への移動を行なうときに、マトリックス状のオフセットを用いている。このオフセットは、ある移動目標先に1種類のものであるため、例えばボールネジ駆動のバックラッシのような移動方向によって停止位置が変わり、移動目標に対して微小な位置ズレが発生していた。
そこで本発明は、現在地からの移動方向に合ったオフセットを用いて移動量を補正し、高精度な位置決めが行なえるXY方向移動装置及びXY方向移動方法を提供することを目的とする。
このため第1の発明は、X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動装置において、各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを格納する記憶装置と、現在位置と移動目標位置とからX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定することによりX方向及びY方向のオフセットデータを決定する決定手段を設けたことを特徴とする。
また第2の発明は、X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動装置において、各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを格納する記憶装置と、現在位置と移動目標位置とからX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルを決定する第1決定手段と、移動目標位置がこの第1決定手段により決定されたX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定する第2決定手段と、この第2決定手段により決定されたいずれかのエリアに対応するX方向及びY方向のオフセットデータを決定する第3決定手段を設けたことを特徴とする。
更に第3の発明は、各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを記憶装置に格納し、X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動方法であって、現在位置と移動目標位置とからX方向別又はY方向別の前記オフセットデータテーブルを決定し、移動目標位置がこの決定されたX方向別又はY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定し、この決定されたいずれかのエリアに対応するX方向又はY方向のオフセットデータを決定することを特徴とする。
本発明は、現在地からの移動方向に合ったオフセットを用いて移動量を補正し、高精度な位置決めが行なえるXY方向移動装置及びXY方向移動方法を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態に係る電子部品装着装置について説明する。図1及び図2において、100はチップ状電子部品の自動装着装置を示している。この電子部品自動装着装置100は、電子部品供給セクション101と、取出しセクション102と、装着セクション103とからなっている。
まず、電子部品供給セクション101について説明する。電子部品供給セクション101は部品供給台1を有し、この供給台1にはナット2を介してボールねじ3が螺合されている。このボールねじ3はカップリング4を介して送りモータ5につながれており、この送りモータ5によりボールねじ3が駆動されると、部品供給台1は一対のリニアガイド6,6に案内されてX方向に往復動するようになっている。この部品供給台1には複数の部品供給ユニット7が設けられ、この部品供給ユニット7にはレバー13(図1)が設けられている。
このレバー13は後述するインデックスユニット14の動作に伴って連動する昇降レバー15に係合し、この昇降レバー15が昇降すると、上記レバー13が揺動するようになっている。このレバー13が揺動すると、テープリール17に巻回されたテープが取出しセクション102へ向けて繰り出され、カバーテープが剥離されたテープに収納されたチップ状部品が取出しセクション102の部品吸着ステーションA(図2)に供給されるようになっている。
取出しセクション102は、間欠的回転が可能なロータリーテーブル21(図1)を備え、このロータリーテーブル21の外縁部には、等間隔ピッチで、複数の装着ヘッド23,23…23が取付けられている。
各装着ヘッド23はヘッド昇降テーブル26の下端に固定され、このヘッド昇降テーブル26は一対のレール28に固定されている。一対のレール28はロータリーテーブル21の外周部に固定されたナット部材27によって昇降自在に支持されている。ヘッド昇降テーブル26の上端には取付板25が取付けられ、この取付板25は上方に延出して、その上端部25aには、一対のカムフォロワー29が取付けられている。
一対のカムフォロワー29は、支持台30の外周に固定された円筒リブカム31を上下から挟持しており、上述したロータリーテーブル21が回転すると、取付板25にヘッド昇降テーブル26を介して固定された装着ヘッド23は、カムフォロワー29を介して円筒リブカム31のプロフィールに従って昇降しながら、上述したロータリーテーブル21と一体的に回転するようになっている。
前記円筒リブカム31は、図示は省略したが、2ケ所が切断され、その2か所のいずれかに一対のカムフォロワー29が乗り込むと、図示を省略したカムの駆動により、その切断ケ所を通じて昇降体32が昇降し、この昇降体32と一体に装着ヘッド23が昇降するようになっている。
上記の2ケ所は、図2を参照して、電子部品の部品吸着ステーションAと装着ステーションCの2ケ所に相当し、吸着ステーションAでは供給される電子部品を取出すために装着ヘッド23が昇降し、装着ステーションCでは、後述するように取出した電子部品をプリント基板P上に装着するために装着ヘッド23が昇降する。
なお、前記装着ヘッド23は、ホルダ回転モータ18を備え、装着ヘッド23はそれ自体が回動自在に形成されている。前記装着ヘッド23に設けられた吸着ノズル33に形成された吸引通路は、真空ブロー切替弁(図示せず)及び真空チューブ35につながり、この真空チューブ35は真空吸引源(図示せず)につながれる。
そして、真空ブロー切替弁がオンすると真空吸引源に連通して吸着ノズル33より部品供給ユニット7から電子部品を真空吸着して取り出し、オフするとエアーブロー供給源(図示せず)に連通するエアーブロー管40との連通に切り替える。
エアーブロー管40はロータリーテーブル21とは非接触の状態に配設され、エアーブロー供給源(図示せず)に連通して常時エアーブロー管40の端部から吹出される空気はロータリーテーブル21の間欠回転に伴い、前記真空チューブ35に連通する真空ブロー切替弁に吹き込まれることが可能な構成である。
次に、図3の制御ブロック図について説明すると、前記電子部品装着装置100には、本装着装置100を統括制御する制御部としてのCPU(セントラル・プロッセンシング・ユニット)50と、該CPU50にバスラインを介して接続されるRAM(ランダム・アクセス・メモリ)51及びROM(リ−ド・オンリー・メモリ)52が備えられている。そして、CPU50は前記RAM51に記憶されたデータに基づき、前記ROM52に格納されたプログラムに従い、電子部品装着装置の電子部品の取出し及び装着に係る動作についてインターフェース53及び駆動回路54を介して各駆動源を統括制御する。
前記RAM51には、部品装着に係るプリント基板Pの種類毎に装着データが記憶されており、その装着順序毎(ステップ番号毎)に、プリント基板P内での各電子部品の装着座標のX方向、Y方向及び角度情報や、各部品供給ユニット7の配置番号情報等が格納されている。
また前記RAM51には、前記各部品供給ユニット5の部品供給ユニット配置番号に対応した各電子部品の種類の情報、即ち部品配置データが格納されており、更にはこの部品ID毎に電子部品のX方向、Y方向、厚さ情報及び使用吸着ノズル33のノズルID等に関する部品ライブラリデータが格納されている。
55はインターフェース53を介して前記CPU50に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ56により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置55にて行われ、CPU50に処理結果が送出される。即ち、CPU50は、部品認識カメラ56に撮像された画像を認識処理(位置ずれ量の算出など)するように指示を認識処理装置55に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置55から受取るものである。
即ち、前記認識処理装置55の認識処理により位置ずれ量が把握されると、その結果がCPU50に送られ、CPU50は装着セクション103に設けられたXYテーブル16のY軸駆動モータ16Y及びX軸駆動モータ16Xの駆動によりXY方向にプリント基板Pを移動させることにより、またホルダ回転モータ18により使用している吸着ノズル33をθ回転させ、X,Y方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。Y軸駆動モータ16Y、X軸駆動モータ16Xは、それぞれボールネジを回転させて各ナットを介してYテーブル、XテーブルをY方向、X方向に移動させ、結果としてY軸駆動モータ16Y及びX軸駆動モータ16Xの駆動によりXYテーブル16上のプリント基板PをXY方向に移動させる構成である。
尚、前記部品認識カメラ56により撮像された画像を認識処理装置55が取り込むが、その取り込まれた画像をモニタ57が表示する。そして、前記モニタ57にはデータ設定のための入力手段としての種々のタッチパネルスイッチ58が設けられ、作業者がタッチパネルスイッチ58を操作することにより、種々の設定を行うことができるが、データ設定のための入力手段としてキーボードを用いてもよい。
次に、図4及び図5に基いて、前記XYテーブル16のオフセットデータについて説明する。先ず、図4に示すように、XYテーブル16が移動する範囲(領域)を例えば4つに等分割してそれぞれをエリアA1、A2、A3、A4とし、現在位置G1から各エリアA1、A2、A3、A4の中心である各移動目標位置P1(x1、y1)、P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)へ移動した際の各移動目標位置と実際の停止位置との誤差を、そのエリアのオフセットとし、前記RAM51に格納する。
即ち、タッチパネルスイッチ58を操作して、初めに現在位置G1から移動目標位置P1(x1、y1)へ前記XYテーブル16を移動させて、基板認識カメラ59を用いて例えばXYテーブル16に支持されたプリント基板表面のマークを撮像して認識処理装置55で認識処理して、実際の停止位置(rg,up)と移動目標位置P1(x1、y1)とのズレ量をCPU50が計算し、移動目標位置P1(x1、y1)が属するエリアA1のオフセットデータ(rg−x1,up−y1)としてRAM51に格納する。
なお、プリント基板Pに実装した部品を基板認識カメラ59で撮像し、部品位置を測定して、ズレ量を求めても良く、また基板認識カメラ以外の測定装置を用いて、ズレ量を求めても良い。
同様に、実際の停止位置(rg,up)と各移動目標位置P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)とのズレ量をCPU50が計算し、移動目標位置P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)が属するエリアA2、A3、A4のオフセットデータとしてRAM51に格納する。ここで、計算されたエリアA1、A2、A3、A4のオフセットデータはOF1(rg−x1,up−y1)、OF2(rg−x2,up−y2)、OF3(rg−x3,up−y3)、OF4(rg−x4,up−y4)である。
また、図5において、現在位置G2から各エリアA1、A2、A3、A4の中心である各移動目標位置P1(x1、y1)、P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)へ移動した際の各移動目標位置と実際の停止位置との誤差を、そのエリアのオフセットとし、前記RAM51に格納する。即ち、タッチパネルスイッチ58を操作して、初めに現在位置G2から移動目標位置P1(x1、y1)へ前記XYテーブル16を移動させて、認識カメラ59を用いて撮像して認識処理装置55で認識処理して、実際の停止位置(lf,dw)と移動目標位置P1(x1、y1)とのズレ量をCPU50が計算し、移動目標位置P1(x1、y1)が属するエリアA1のオフセットデータ(lf−x1,dw−y1)としてRAM51に格納する。
同様に、実際の停止位置(lf,dw)と各移動目標位置P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)とのズレ量をCPU50が計算し、移動目標位置P2(x2、y2)、P3(x3、y3)、P4(x4、y4)が属するエリアA2、A3、A4のオフセットデータとしてRAM51に格納する。ここで、計算されたエリアA1、A2、A3、A4のオフセットデータはOF1(lf−x1,dw−y1)、OF2(lf−x2,dw−y2)、OF3(lf−x3,dw−y3)、OF4(lf−x4,dw−y4)である。
従って、X方向別のオフセットデータテーブル、即ち右方に移動する場合の各エリアA1、A2、A3、A4におけるX座標のオフセットデータテーブルは図6に示すようになり、左方に移動する場合の各エリアA1、A2、A3、A4におけるX座標のオフセットデータテーブルは図7に示すようになり、それぞれRAM51に格納される。
また、Y方向別のオフセットデータテーブル、即ち上方に移動する場合の各エリアA1、A2、A3、A4におけるY座標のオフセットデータテーブルは図8に示すようになり、下方に移動する場合の各エリアA1、A2、A3、A4におけるY座標のオフセットデータテーブルは図8に示すようになり、それぞれRAM51に格納される。
次に、プリント基板Pの生産について説明する。先ず、運転開始スイッチの操作により自動運転が開始されると、先ず、上流側装置(図示せず)から搬送されてきたプリント基板PはXYテーブル16上に移載され、基板認識カメラ59によりプリント基板Pに付された位置決めマークが撮像され、認識処理装置55により認識処理され、CPU50によりプリント基板Pの位置ズレ量が把握される。
そして、インデックスユニット14によりロータリーテーブル21が間欠回転により装着ヘッド23が吸着ステ−ションAに停止した際に、RAM51に格納された装着データに従い、送りモータ5の駆動により部品供給台1が移動され、ステップ番号0001の供給すべき電子部品を収納する部品供給ユニット7は吸着ステ−ションの装着ヘッド23の吸着ノズル33の吸着取出位置に停止されて該吸着ノズル33の下降により電子部品が取出される。即ち、真空ブロー切替弁が真空チューブ35を介して真空吸引源(図示せず)に連通して、吸着ノズル33は部品供給ユニット7より電子部品を真空吸着して電子部品を取出す。
次に、ロータリーテーブル21が同様に間欠回転を行い、電子部品を保持した吸着ノズル33を備えた装着ヘッド23は次のステ−ションに移動して停止し、さらに回転して行き認識ステ−ションBに移動する。
この認識ステーションBにおいて、部品認識カメラ56により吸着ノズル33に吸着された電子部品の撮像が行われ、その画像が認識処理装置55で認識処理され、電子部品の吸着ノズル33に対する位置ずれが認識される。
次に、認識が終了したならば、CPU50はこの部品認識カメラ56及び基板認識カメラ59の撮像に基づく認識結果により補正すべき量を装着データ(装着すべき座標等に関するデータ)に加えて算出する。このときの角度はホルダ回転モータ18により、平面方向はXYテーブル16を移動するためのX軸駆動モータ16X及びY軸駆動モータ16Yにより、装着データで示す位置にこの補正量及びXYテーブル16の移動方向別オフセットデータを加味して、CPU50はXYテーブル16及び吸着ノズル33を駆動させることとなる。
そして、ロータリーテーブル21は間欠回転を行って、電子部品を吸着保持した吸着ノズル33を有する装着ヘッド23が装着ステ−ションCに達し、前記補正量及びXYテーブル16の移動方向別オフセットデータを加味した角度位置決めが終了した電子部品をXYテーブル16の移動により平面方向の位置決めが終了したプリント基板P上に装着する。
このとき、CPU50は真空ブロー切替弁をオフさせて真空吸引源からエアーブロー供給源に連通するように切り替えて、吸着ノズル33内に吹き込まれ、真空破壊により吸着保持していた電子部品をプリント基板P上に装着する。
なお、XYテーブル16の移動方向別オフセットデータを加味してXYテーブル16を移動させる動作について、図10に基づき説明する。
先ず、現在位置(移動元)である原点位置と移動目標位置(RAM51に格納されたステップ番号0001のX座標)とから、X方向別のオフセットデータテーブルをCPU50は決定する。即ち、現在位置のX座標がX1で、移動目標位置のX座標がX2であるとすると、CPU50はX2からX1を差し引き、その値がプラスであれば図6で示すX方向別のオフセットデータテーブルを、マイナスであれば図7で示すX方向別のオフセットデータテーブルを決定する。
次に、移動目標位置が決定された図6又は図7で示されたX方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアA1、A2、A3、A4かをCPU50が決定する。
そして、CPU50は、決定されたいずれかのエリアA1、A2、A3、A4に対応するX方向のオフセットデータを決定する。即ち、プラス方向(右方向)であれば、各エリアA1、A2、A3、A4毎のX方向のオフセットデータであるrg−x1、rg−x2、rg−x3、rg−x4のいずれかであり、マイナス方向(左方向)であれば、各エリアA1、A2、A3、A4毎のX方向のオフセットデータであるlf−x1、lf−x2、lf−x3、lf−x4のいずれかである。
次に、Y方向のオフセットデータを決定する手順について、説明する。初めに、現在位置(移動元)である原点位置と移動目標位置(RAM51に格納されたステップ番号0001のY座標)とから、Y方向別のオフセットデータテーブルをCPU50は決定する。即ち、現在位置のY座標がY1で、移動目標位置のY座標がY2であるとすると、CPU50はY2からY1を差し引き、その値がプラスであれば図8で示すY方向別のオフセットデータテーブルを、マイナスであれば図9で示すY方向別のオフセットデータテーブルを決定する。
次に、移動目標位置が決定された図8又は図9で示されたY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアA1、A2、A3、A4かをCPU50が決定する。
そして、CPU50は、決定されたいずれかのエリアA1、A2、A3、A4に対応するY方向のオフセットデータを決定する。即ち、プラス方向(上方向)であれば、各エリアA1、A2、A3、A4毎のY方向のオフセットデータであるup−y1、up−y2、up−y3、up−y4のいずれかであり、マイナス方向(下方向)であれば、各エリアA1、A2、A3、A4毎のX方向のオフセットデータであるdw−y1、dw−y2、dw−y3、dw−y4のいずれかである。
従って、プリント基板P上に電子部品を装着するためのXYテーブル16の移動に際して、RAM51に格納された装着データで示す位置に部品認識カメラ56及び基板認識カメラ59の撮像に基づく前記認識処理装置55による補正量及び上述のようにして決定された移動方向別オフセットデータを加味して、CPU50はXYテーブル16を移動するためのX軸駆動モータ16X及びY軸駆動モータ16Yを制御して駆動させることとなる。このため、XYテーブル16の位置決め精度の向上及びそれによる部品装着精度の向上を図ることができる。
次に、現在位置である装着データのステップ番号0001の装着座標から移動先のステップ番号0002の装着座標に移動させる際にも、同様に、決定された移動方向別オフセットデータを加味してXYテーブル16を移動させるように制御し、以下同様に全ての電子部品がプリント基板Pに装着されると、このプリント基板Pは下流装置に送られることとなる。
次に、図11に基づいて移動の第1の具体例について、具体的に説明する。先ず、最初のマル1の座標は(5,5)であるべきところ、エリアA1の移動方向別オフセットデータを加味すると、(5+rg−x1,5+up−y1)となり、次のマル2の座標は(15,5)であるべきところ、エリアA2の移動方向別オフセットデータを加味するときY方向は移動しないので前回と同様に図8に示したオフセットデータテーブルを使用して、(15+rg−x2,5+up−y2)となり、次のマル3の座標は(5,15)であるべきところ、エリアA3の移動方向別オフセットデータを加味すると、(5+lf−x3,15+up−y3)となり、次のマル4の座標は(15,15)であるべきところ、エリアA4の移動方向別オフセットデータを加味すると、(15+rg−x4,15+up−y4)となる。
また、図12に基づいて移動の第2の具体例について、具体的に説明する。先ず、最初のマル1の座標は(15,15)であるべきところ、エリアA4の移動方向別オフセットデータを加味すると、(15+rg−x4,15+up−y4)となり、次のマル2の座標は(15,5)であるべきところ、エリアA2の移動方向別オフセットデータを加味するときX方向は変化しないので前回と同様に図6に示したオフセットデータテーブルを使用して、(15+rg−x2,5+dw−y2)となり、次のマル3の座標は(5,15)であるべきところ、エリアA3の移動方向別オフセットデータを加味すると、(5+lf−x3,15+up−y3)となり、次のマル4の座標は(5,5)であるべきところ、エリアA1の移動方向別オフセットデータを加味するときX方向は移動しないので前回と同様に図7に示したオフセットデータテーブルを使用して、(5+lf−x1,5+dw−y1)となる。
また、図13に基づいて移動の第3の具体例について、具体的に説明する。先ず、最初のマル1の座標は(3,3)であるべきところ、エリアA1の移動方向別オフセットデータを加味すると、(3+rg−x1,3+up−y1)となり、次のマル2の座標は(6,6)であるべきところ、エリアA1の移動方向別オフセットデータを加味すると、(6+rg−x1,6+up−y1)となり、次のマル3の座標は(16,6)であるべきところ、エリアA2の移動方向別オフセットデータを加味するときY方向は移動しないので前回と同様に図8に示したオフセットデータテーブルを使用して、(16+rg−x2,6+up−y2)となり、次のマル4の座標は(16,3)であるべきところ、エリアA2の移動方向別オフセットデータを加味するときX方向は移動しないので前回と同様に図6に示したオフセットデータテーブルのエリアA2のオフセットデータを使用して、(16+rg−x2,5+dw−y2)となり、次のマル5の座標は(6,13)であるべきところ、エリアA3の移動方向別オフセットデータを加味すると、(6+lf−x3,13+up−y3)となり、次のマル6の座標は(3,13)であるべきところ、エリアA3の移動方向別オフセットデータを加味するときY方向は移動しないので前回と同様に図8に示したオフセットデータテーブルのエリアA3のオフセットデータを使用して、(3+lf−x3,13+up−y3)となり、次のマル7の座標は(16,16)であるべきところ、エリアA4の移動方向別オフセットデータを加味すると、(16+rg−x4,16+up−y4)となり、次のマル8の座標は(13,13)であるべきところ、エリアA4の移動方向別オフセットデータを加味すると、(13+lf−x4,6+dw−y4)となる。
なお、本実施形態では、現在位置と移動目標位置とから、X方向別のオフセットデータテーブルを決定し、移動目標位置がこの決定されたX方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定し、この決定されたいずれかのエリアに対応するX方向のオフセットデータを決定してから、同様にY方向のオフセットデータを決定するようにしたが、Y方向のオフセットデータを決定してから、同様にX方向のオフセットデータを決定するようにしてもよい。
更に、この電子部品装着装置として、いわゆるロータリーテーブル型マウンタを例にしてXYテーブルに適用して説明したが、これに限らず多機能型チップマウンタの装着ヘッドのXY方向への移動装置に適用してもよく、その他種々のXY方向へ移動するXY方向移動装置およびXY方向移動方法に適用できる。
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
16 XYテーブル
21 ロータリーテーブル
23 装着ヘッド
33 吸着ノズル
50 CPU
51 RAM
P プリント基板
21 ロータリーテーブル
23 装着ヘッド
33 吸着ノズル
50 CPU
51 RAM
P プリント基板
Claims (3)
- X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動装置において、各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを格納する記憶装置と、現在位置と移動目標位置とからX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定することによりX方向及びY方向のオフセットデータを決定する決定手段を設けたことを特徴とするXY方向移動装置。
- X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動装置において、各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを格納する記憶装置と、現在位置と移動目標位置とからX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルを決定する第1決定手段と、移動目標位置がこの第1決定手段により決定されたX方向別及びY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定する第2決定手段と、この第2決定手段により決定されたいずれかのエリアに対応するX方向及びY方向のオフセットデータを決定する第3決定手段を設けたことを特徴とするXY方向移動装置。
- 各エリア毎のオフセットデータが定められたX方向別のオフセットデータテーブル及びY方向別のオフセットデータテーブルを記憶装置に格納し、X軸駆動源及びY軸駆動源によりXY方向に移動するXY方向移動方法であって、現在位置と移動目標位置とからX方向別又はY方向別の前記オフセットデータテーブルを決定し、移動目標位置がこの決定されたX方向別又はY方向別のオフセットデータテーブルのどのエリアに属するかを決定し、この決定されたいずれかのエリアに対応するX方向又はY方向のオフセットデータを決定することを特徴とするXY方向移動方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006179246A JP2008010620A (ja) | 2006-06-29 | 2006-06-29 | Xy方向移動装置及びxy方向移動方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006179246A JP2008010620A (ja) | 2006-06-29 | 2006-06-29 | Xy方向移動装置及びxy方向移動方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008010620A true JP2008010620A (ja) | 2008-01-17 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099674A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
JP2014187157A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 電子部品装着装置 |
WO2015083414A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 上野精機株式会社 | 電子部品搬送装置 |
-
2006
- 2006-06-29 JP JP2006179246A patent/JP2008010620A/ja active Pending
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JP2010099674A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
JP2014187157A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 電子部品装着装置 |
WO2015083414A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 上野精機株式会社 | 電子部品搬送装置 |
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